JP2002011878A

JP2002011878A - アクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッド

Info

Publication number: JP2002011878A
Application number: JP2000198817A
Authority: JP
Inventors: Munehide Kanetani; 谷宗秀金; Takahiro Katakura; 倉孝浩片
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2000-06-30
Filing date: 2000-06-30
Publication date: 2002-01-15
Anticipated expiration: 2020-06-30
Also published as: JP3844188B2

Abstract

(57)【要約】【課題】セグメント端子とコモン端子とのショートを
防止する。【解決手段】複数のアクチュエータ３０と、それらに
接続される複数の端子２０、２１から成る端子列２２
と、を備える。各アクチュエータ３０は、圧力室に対応
して弾性膜上に形成された下部電極膜と、下部電極膜上
に形成された圧電体膜と、圧電体膜上に形成された上部
電極膜と、を有する。複数の端子２０、２１は、複数の
上部電極膜のそれぞれに対応して設けられた複数のセグ
メント端子２０と、複数の下部電極膜のすべて又は一部
において共有される少なくとも１つのコモン端子２１
と、を有する。コモン端子２１とこれに隣接するセグメ
ント端子２０との間隔は、互いに隣接するセグメント端
子２０同士の間隔よりも広い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アクチュエータユ
ニット及び同ユニットを備えたインクジェット式記録ヘ
ッドに係わり、特に、圧力室の上面開口を封止する弾性
膜を圧電体膜の変位により振動させ、これにより圧力室
内のインクの圧力を変化させてノズル開口からインク滴
を吐出させるアクチュエータユニット及びインクジェッ
ト式記録ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、圧力発生手段によって圧力室内
のインクを加圧してノズルプレートのノズル開口からイ
ンク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドとし
て、軸方向に伸縮する縦振動モードの圧電振動子を圧力
発生手段として利用するものと、たわみ振動モードの圧
電振動子を圧力発生手段として利用するものとがある。

【０００３】前者は、圧電振動子の端面を弾性板に当接
させて圧電振動子の伸縮動作により圧力室の容積を変化
させるものであり、高密度印刷に適した記録ヘッドの製
作が可能である反面、圧電振動子をノズル開口の配列ピ
ッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な工程
や、切り分けられた圧電振動子を圧力室に位置決めして
固定する作業が必要となり、製造工程が複雑であるとい
う問題がある。

【０００４】これに対して後者は、圧電材料のグリーン
シートを圧力室の形状に合わせて貼付し、これを焼成す
るという比較的簡単な工程で弾性膜に圧電振動子（圧電
体膜）を作りつけることができる。

【０００５】図１１及び図１２は、たわみ振動モードの
圧電振動子（圧電体膜）を備えた従来のインクジェット
式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図及び透
視図である。このアクチュエータユニットは、互いに対
向する一対の縁部に、複数の端子１００、１０１から成
る一対の端子列１０２を備えている。端子１００は互い
に分離されたセグメント端子であり、端子１０１はコモ
ン端子である。また、このアクチュエータユニットは、
複数のノズル開口に連通するノズル連通孔１０３を列状
に配置して成るノズル連通孔列１０４を２列備えてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の記録ヘ
ッドにおいては、セグメント端子１００及びコモン端子
１０１から成る複数の端子が、すべて均一な間隔で配置
されていた。すなわち、端子列１０２の両端に配置され
たコモン端子１０１とこのコモン端子１０１に隣接する
セグメント端子１００との間隔が、セグメント端子１０
０同士の間隔と同一に設定されていた。

【０００７】ところが、セグメント端子１００とコモン
端子１０１との間には相当な電位差が存在するために、
両端子間でショートすると大電流が流れて危険である。
コモン端子１０１の形成には一般的に銀が使用される
が、銀はイオン化傾向が高いために、セグメント端子１
００とコモン端子１０１との間の電位差に起因して銀が
イオン化し、マイグレーションが発生して両端子間が電
気的につながってショートしてしまう恐れがある。ま
た、記録ヘッドの実装工程時における半田づけ作業の際
に、セグメント端子１００とコモン端子１０１とが誤っ
て接続されてしまう恐れもある。

【０００８】特に、近年の印刷密度の高密度化の要請に
応えるために、記録ヘッドの端子同士の間隔がますます
狭くなってきているので、上述したセグメント端子１０
０とコモン端子１０１とのショートの問題が深刻化して
いる。

【０００９】本発明は、上述した事情を考慮して成され
たものであって、その目的とするところは、セグメント
端子とコモン端子とのショートを防止することができる
アクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッ
ドを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明によるアクチュエータユニットは、複数のノ
ズル開口とそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力
室の一壁面を構成する弾性膜と、前記複数の圧力室に対
応して前記弾性膜上に形成された複数のアクチュエータ
と、前記複数のアクチュエータに接続される複数の端子
から成る端子列と、を備え、前記複数のアクチュエータ
は、前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成さ
れた複数の下部電極膜と、前記複数の下部電極膜上に形
成された複数の圧電体膜と、前記複数の圧電体膜上に形
成された複数の上部電極膜と、を有し、前記複数の端子
は、前記複数の上部電極膜のそれぞれに対応して設けら
れた複数のセグメント端子と、前記複数の下部電極膜の
すべて又は一部において共有される少なくとも１つのコ
モン端子と、を有し、前記コモン端子とこれに隣接する
前記セグメント端子との間隔は、互いに隣接する前記セ
グメント端子同士の間隔よりも広いことを特徴とする。

【００１１】また、好ましくは、前記セグメント端子及
び前記コモン端子はすべて、前記端子列の長手方向に沿
って測った幅が同一である。

【００１２】また、好ましくは、前記複数の下部電極膜
はいくつかのグループに分類され、前記各グループに対
応して前記各コモン端子が設けられ、前記各グループに
属する前記下部電極膜同士を連結すると共に対応する前
記コモン端子に前記下部電極膜を接続する各コモン連絡
導線をさらに有する。

【００１３】また、好ましくは、前記各グループには一
対の前記下部電極膜が属している。

【００１４】また、好ましくは、前記コモン連絡導線
は、前記下部電極膜と同一平面上に形成され、互いに隣
接する前記アクチュエータ同士の間を通って延設された
部分を有する。

【００１５】また、好ましくは、前記コモン連絡導線
は、端子列に近い側において、互いに隣接する前記下部
電極膜の端部同士を連結している。

【００１６】また、好ましくは、前記複数のアクチュエ
ータが複数列状に形成されると共に、前記複数の端子か
ら成る端子列が１列形成され、単一の前記端子列に、複
数列の前記アクチュエータの全列が接続されている。

【００１７】また、好ましくは、前記単一の端子列は前
記アクチュエータユニットの１つの縁部に形成されてい
る。

【００１８】また、好ましくは、前記複数のアクチュエ
ータが複数列状に形成されると共に、前記複数の端子か
ら成る端子列が複数列形成され、複数列の前記端子列の
うちの少なくとも１列には、複数列の前記アクチュエー
タのうちの少なくとも２列が接続されている。

【００１９】また、好ましくは、複数列の前記端子列は
前記アクチュエータユニットの互いに対向する一対の縁
部に形成されている。

【００２０】また、好ましくは、複数列の前記端子列の
うちの少なくとも１列は、前記アクチュエータの列同士
の間に配置されると共にその両側に位置する一対の前記
アクチュエータの列の両方が接続されている。

【００２１】上記課題を解決するために、本発明による
インクジェット式記録ヘッドは、上記いずれかのアクチ
ュエータユニットと、前記複数のノズル開口が形成され
たノズルプレートと、を備えたことを特徴とする。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態によ
るインクジェット式記録ヘッドについて図１乃至図５を
参照して説明する。

【００２３】図１は本実施形態による記録ヘッドにおけ
る１つのアクチュエータ及びその周辺を拡大して示した
縦断面図であり、図１に示したようにこの記録ヘッド
は、ノズル開口１を有するノズルプレート２と、このノ
ズルプレート２に積層された流路形成基板３と、この流
路形成基板３に積層された供給口形成基板１７と、この
供給口形成基板１７に積層されたアクチュエータユニッ
ト５とを備えている。

【００２４】アクチュエータユニット５は、圧力室６が
形成された圧力室形成基板７を有し、この圧力室形成基
板７の上面には弾性膜８が形成されている。弾性膜８の
上面には下部電極膜９及び台座膜２５が形成されてお
り、下部電極膜９の上面には圧電体膜１１が形成されて
いる。圧電体膜１１の上面には上部電極膜１２が形成さ
れており、この上部電極膜１２はセグメント端子２０に
接続されている。１つの圧電体膜１１、１つの上部電極
膜１２、及び１つの下部電極膜９によって１つのアクチ
ュエータ３０が構成される。アクチュエータユニット５
の一部を構成する連通孔形成基板４には、複数のノズル
連通孔１３及び複数のリザーバ連通孔１４が形成されて
いる。

【００２５】供給口形成基板１７には、ノズル連通孔１
３に連通する第２のノズル連通孔１８と、リザーバ連通
孔１４に連通するインク供給口１９とが形成されてい
る。流路形成基板３には、ノズル開口１及び第２のノズ
ル連通孔１８に連通する接続孔１５と、インク供給口１
９に連通するリザーバ１６が形成されている。リザーバ
１６には、複数の圧力室６に供給されるインクが貯留さ
れている。なお、圧力室６からノズル開口１に連通する
ノズル連通孔１３と、リザーバ１６に連通するリザーバ
連通孔１４とは、２つある孔のうちどちらかがそれぞれ
の役目を果たせば良い。

【００２６】図２及び図３は、本実施形態による記録ヘ
ッドのアクチュエータユニット５の平面図及び透視図で
ある。このアクチュエータユニット５は、互いに対向す
る一対の縁部に、複数のセグメント端子２０及び複数の
コモン端子２１から成る一対の端子列２２を備えてい
る。また、複数のノズル開口１に連通する複数のノズル
連通孔１３を列状に配置して成るノズル連通孔列２３が
２列形成されている。

【００２７】図４及び図５は、図１乃至図３に示したア
クチュエータユニットの各層を示した図である。図４
（ａ）は連通孔形成基板４を示し、図４（ｂ）は圧力室
形成基板７を示している。連通孔形成基板４には複数の
ノズル開口１に連通する複数のノズル連通孔１３が２列
形成されており、また、リザーバ１６に連通する複数の
リザーバ連通孔１４が２列形成されている。圧力室形成
基板７には、ノズル連通孔１３及びリザーバ連通孔１４
に連通する複数の圧力室６がノズル連通孔１３及びリザ
ーバ連通孔１４の各列に対応して２列形成されている。

【００２８】図４（ｃ）に示したように圧力室形成基板
７の上面には弾性膜８が形成されており、この弾性膜８
によって複数の圧力室６の上面開口が封止されている。
弾性膜８の上面には、図４（ｄ）に示したように圧力室
形成基板７の対向する両縁部に端子形成用の台座部２４
が形成されている。

【００２９】さらに、図５（ａ）に示したように弾性膜
８の上面及び台座部２４の上面には、複数の圧力室６の
上方を通るようにして複数の下部電極膜９及びその連絡
導線９ａが、白金等の導電材料を用いた印刷工程によっ
て形成されている。なお、図５（ａ）において符号２５
は複数の圧電体膜１１の一部を支持する台座部である。

【００３０】図５（ｂ）に示したように、各下部電極膜
９の上面には各圧電体膜１１が印刷工程にて形成されて
いる。複数の圧電体膜１１の上面には、図５（ｃ）に示
したように複数の上部電極膜１２が形成されている。

【００３１】図５（ｄ）に示したように、各上部電極膜
１２に接続するようにして各セグメント端子２０が台座
部２４上に形成されている。また、台座部２４上には下
部電極膜９に接続されたコモン端子２１も形成されてお
り、圧力室６の各列の両端に位置するコモン端子２１同
士の間は端子延長部２６によって連結されている。端子
延長部２６は下部電極膜９の連絡導線９ａに重ねて形成
されており、これにより、コモン端子２１は複数の下部
電極膜９に電気的に接続されている。なお、コモン端子
２１に対応する位置にある上部電極膜１２は端子延長部
２６で覆われており、この位置にある圧力室６は使用さ
れない。

【００３２】そして、本実施形態による記録ヘッドにお
いては、図１に示したように、コモン端子２１とこれに
隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１は、隣接する
セグメント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広く設定され
ている。この間隔ｄ１は０．１ｍｍ以上であることが望
ましい。

【００３３】セグメント端子２０及びコモン端子２１の
幅はすべて、端子列２２の長手方向に沿って測った幅が
同一である。また、セグメント端子２０同士の間隔はす
べて均等である。

【００３４】このように本実施形態による記録ヘッドに
おいてはコモン端子２１とこれに隣接するセグメント端
子２０との間隔ｄ１をセグメント端子２０同士の間隔ｄ
２よりも広くし、０．１ｍｍ以上としたので、セグメン
ト端子２０とコモン端子２１とが記録ヘッドの実装工程
時の半田づけ作業の際に誤って接続される可能性が低く
なる。これにより、両端子に配線を接続する際の位置合
わせの許容誤差が大きくなるので製造工程の管理が容易
になる。また、記録ヘッドの使用時においても、セグメ
ント端子２０とコモン端子２１との間隔ｄ１が十分に大
きいため、両端子間におけるマイグレーションが発生し
にくく、両端子間におけるショートを防止することがで
きる。

【００３５】また、セグメント端子２０及びコモン端子
２１の幅はすべて、端子列２２の長手方向に沿って測っ
た幅が同一であるので、半田づけの際の半田の熱容量が
すべての端子２０、２１において同一となる。従って、
一体型のヒートツールで複数の端子２０、２１に同時に
半田づけを行った時に均一な半田づけが可能であり、こ
の結果、半田づけ作業の時間の短縮及び歩留まりの向上
を図ることができる。

【００３６】次に、本発明の第２実施形態によるインク
ジェット式記録ヘッドについて図６を参照して説明す
る。

【００３７】図６は、本実施形態による記録ヘッドのア
クチュエータユニット３５の平面図である。このアクチ
ュエータユニット３５は、互いに対向する一対の縁部
に、複数のセグメント端子２０及び複数のコモン端子２
１から成る一対の端子列２２を備えている。

【００３８】本実施形態においては、互いに隣接する一
対のアクチュエータ３０を１つのグループとして、各グ
ループに対応して各コモン端子２１を設けている。各グ
ループに属する一対のアクチュエータ３０の下部電極膜
同士はコモン連絡導線４１によって接続されている。各
コモン連絡導線４１は、アクチュエータ３０同士の間を
通って延設された細線部分４１ａを有している。

【００３９】そして、上記第１実施形態と同様に、セグ
メント端子２０とこれに隣接するコモン端子２１との間
隔ｄ１は、互いに隣接するセグメント端子２０同士の間
隔ｄ２よりも広く設定されている。

【００４０】以上述べたように本実施形態によるインク
ジェット式記録ヘッドによれば、コモン端子２１とこれ
に隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメン
ト端子２０同士の間隔ｄ２よりも広くしたので、上記第
１実施形態と同様の効果が得られる。

【００４１】また、複数のアクチュエータ３０をいくつ
かのグループに分類して各グループに対応して各コモン
端子２１を設けたので、コモン連絡導線４１の全長が短
くなって電圧降下が生じにくくなる。このため、上記第
１実施形態における端子延長部２６に相当する膜を形成
しなくとも十分な導通が得られ、複数のノズル開口の特
性を均一化することが可能であり、記録ヘッドの製造工
程の簡素化を図ることができると共に、両端のアクチュ
エータ３０が使用不可能となることがないので有効なノ
ズル開口の数の減少を招くことがない。

【００４２】また、図７は本実施形態の一変形例による
アクチュエータユニット４５を示しており、この変形例
においては、端子列２２に近い側の端部において下部電
極膜同士がコモン連絡導線４２によって連結されてい
る。

【００４３】この変形例によれば、上記実施形態と同様
の効果が得られると共に、アクチュエータ３０同士の間
に細い導線を延設する必要がないので、コモン連絡導線
４２を形成する際の印刷精度に対する要求が緩和され
る。

【００４４】次に、本発明の第３実施形態によるインク
ジェット式記録ヘッドについて図８を参照して説明す
る。

【００４５】図８は、本実施形態による記録ヘッドのア
クチュエータユニット５５の平面図である。このアクチ
ュエータユニット５５はその１つの縁部に、複数のセグ
メント端子２０及び一対のコモン端子２１から成る端子
列２２を１列備えている。

【００４６】本実施形態においては、複数のアクチュエ
ータ３０が２列に形成されており、単一の端子列２２に
対してアクチュエータ３０の全列が接続されている。よ
り具体的には、端子列２２から遠い側の列に属するアク
チュエータ３０の上部電極膜は、端子列２２に近い側の
列に属するアクチュエータ３０同士の間をぬって延設さ
れた上部電極用の連絡導線５１によってセグメント端子
２０に接続されている。また、端子列２２に近い側の列
に属するアクチュエータ３０の下部電極膜は、端子列２
２に遠い側の列に属するアクチュエータ３０同士の間を
ぬって延設された下部電極用の連絡導線５２によって端
子延長部５３に接続されている。端子延長部５３の両端
部は一対のコモン端子２１に接続されている。

【００４７】そして、本実施形態においても、上記各実
施形態と同様に、セグメント端子２０とこれに隣接する
コモン端子２１との間隔ｄ１は、互いに隣接するセグメ
ント端子２０同士の間隔ｄ２よりも広く設定されてい
る。

【００４８】以上述べたように本実施形態によるインク
ジェット式記録ヘッドによれば、コモン端子２１とこれ
に隣接するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメン
ト端子２０同士の間隔ｄ２よりも広くしたので、上記各
実施形態と同様の効果が得られる。

【００４９】また、複数列のアクチュエータ３０の全列
を単一の端子列２２に接続するようにしたので、記録ヘ
ッドの実装工程の際の端子列２２への半田付け工程が容
易となり、また、記録ヘッドの小型化を図ることができ
る。

【００５０】次に、本発明の第４実施形態によるインク
ジェット式記録ヘッドについて図９を参照して説明す
る。

【００５１】図９は、本実施形態による記録ヘッドのア
クチュエータユニット６５の平面図である。図９に示し
たようにこのアクチュエータユニット６５は、図８に示
した第３実施形態のアクチュエータユニット５５の構成
を、１つのアクチュエータユニット６５の中に一体的に
２つ組み入れた構成を備えている。

【００５２】そして、本実施形態によるインクジェット
式記録ヘッドにおいても、コモン端子２１とこれに隣接
するセグメント端子２０との間隔ｄ１をセグメント端子
２０同士の間隔ｄ２よりも広くしたので、上記各実施形
態と同様の効果が得られる。

【００５３】また、一対の端子列２２のそれぞれに複数
列（２列）のアクチュエータ３０を接続するようにした
ので、記録ヘッドの実装工程の際の端子列２２への半田
付け工程が容易となり、また、記録ヘッドの小型化を図
ることができる。

【００５４】次に、本発明の第５実施形態によるインク
ジェット式記録ヘッドについて図１０を参照して説明す
る。

【００５５】図１０は、本実施形態による記録ヘッドの
アクチュエータユニット７５の平面図である。このアク
チュエータユニット７５は、その互いに対向する一対の
縁部に形成された一対の端子列２２と、一対の端子列２
２の間に配置された中央の端子列２２とから成り、中央
の端子列２２の両側に位置する一対のアクチュエータ３
０の列の両方が中央の端子列２２に接続されている。

【００５６】そして、本実施形態によるインクジェット
式記録ヘッドにおいても、アクチュエータユニット７５
の両縁部の端子列２２及び中央の端子列２２のそれぞれ
において、コモン端子２１とこれに隣接するセグメント
端子２０との間隔ｄ１をセグメント端子２０同士の間隔
ｄ２よりも広くしたので、上記各実施形態と同様の効果
が得られる。

【００５７】また、本実施形態によれば、中央の１列の
端子列２２に対して２列のアクチュエータ３０を接続す
るようにしたので、合計４列のアクチュエータ３０に対
して合計３列の端子列２２で対応することが可能であ
り、記録ヘッドの実装工程の際の端子列２２への半田付
け工程が容易となり、また、記録ヘッドの小型化を図る
ことができる。

【００５８】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、コモ
ン端子とこれに隣接するセグメント端子との間隔をセグ
メント端子同士の間隔よりも広くしたので、各端子への
配線の接続を容易且つ的確に行うことができると共に、
記録ヘッドの使用時においても、セグメント端子とコモ
ン端子との間隔が十分に大きいため、両端子間における
マイグレーションが発生しにくく、両端子間におけるシ
ョートを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドにおける１つのアクチュエータ及びその周辺
を拡大して示した縦断面図。

【図２】本発明の第１実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。

【図３】本発明の第１実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドのアクチュエータユニットの透視図。

【図４】本発明の第１実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平
面図。

【図５】本発明の第１実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドのアクチュエータユニットの各層を示した平
面図。

【図６】本発明の第２実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。

【図７】本発明の第２実施形態の一変形例によるインク
ジェット式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面
図。

【図８】本発明の第３実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。

【図９】本発明の第４実施形態によるインクジェット式
記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。

【図１０】本発明の第５実施形態によるインクジェット
式記録ヘッドのアクチュエータユニットの平面図。

【図１１】従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチ
ュエータユニットの平面図。

【図１２】従来のインクジェット式記録ヘッドのアクチ
ュエータユニットの透視図。

【符号の説明】

１ノズル開口２ノズルプレート３流路形成基板４連通孔形成基板５、３５、４５、５５、６５、７５アクチュエータユ
ニット６圧力室７圧力室形成基板８弾性膜９下部電極膜１１圧電体膜１２上部電極膜１３ノズル連通孔１４リザーバ連通孔１５接続孔１６リザーバ１７供給口形成基板１８第２のノズル連通孔１９インク供給口２０セグメント端子２１コモン端子２２端子列３０アクチュエータ４１、４２コモン連絡導線ｄ１コモン端子とこれに隣接するセグメント端子との
間隔ｄ２互いに隣接するセグメント端子同士の間隔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のノズル開口とそれぞれ連通する複数
の圧力室と、前記圧力室の一壁面を構成する弾性膜と、前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された
複数のアクチュエータと、前記複数のアクチュエータに接続される複数の端子から
成る端子列と、を備え、前記複数のアクチュエータは、前記複数の圧力室に対応
して前記弾性膜上に形成された複数の下部電極膜と、前
記複数の下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、
前記複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜
と、を有し、前記複数の端子は、前記複数の上部電極膜のそれぞれに
対応して設けられた複数のセグメント端子と、前記複数
の下部電極膜のすべて又は一部において共有される少な
くとも１つのコモン端子と、を有し、前記コモン端子とこれに隣接する前記セグメント端子と
の間隔は、互いに隣接する前記セグメント端子同士の間
隔よりも広いことを特徴とするアクチュエータユニッ
ト。
【請求項２】前記セグメント端子及び前記コモン端子は
すべて、前記端子列の長手方向に沿って測った幅が同一
であることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ
ユニット。
【請求項３】前記複数の下部電極膜はいくつかのグルー
プに分類され、前記各グループに対応して前記各コモン
端子が設けられ、前記各グループに属する前記下部電極膜同士を連結する
と共に対応する前記コモン端子に前記下部電極膜を接続
する各コモン連絡導線をさらに有することを特徴とする
請求項１又は２に記載のアクチュエータユニット。
【請求項４】前記各グループには一対の前記下部電極膜
が属していることを特徴とする請求項３記載のアクチュ
エータユニット。
【請求項５】前記コモン連絡導線は、前記下部電極膜と
同一平面上に形成され、互いに隣接する前記アクチュエ
ータ同士の間を通って延設された部分を有することを特
徴とする請求項３又は４に記載のアクチュエータユニッ
ト。
【請求項６】前記コモン連絡導線は、端子列に近い側に
おいて、互いに隣接する前記下部電極膜の端部同士を連
結していることを特徴とする請求項３又は４に記載のア
クチュエータユニット。
【請求項７】前記複数のアクチュエータが複数列状に形
成されると共に、前記複数の端子から成る端子列が１列
形成され、単一の前記端子列に、複数列の前記アクチュエータの全
列が接続されていることを特徴とする請求項１記載のア
クチュエータユニット。
【請求項８】前記単一の端子列は前記アクチュエータユ
ニットの１つの縁部に形成されていることを特徴とする
請求項７記載のアクチュエータユニット。
【請求項９】前記複数のアクチュエータが複数列状に形
成されると共に、前記複数の端子から成る端子列が複数
列形成され、複数列の前記端子列のうちの少なくとも１列には、複数
列の前記アクチュエータのうちの少なくとも２列が接続
されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエ
ータユニット。
【請求項１０】複数列の前記端子列は前記アクチュエー
タユニットの互いに対向する一対の縁部に形成されてい
ることを特徴とする請求項９記載のアクチュエータユニ
ット。
【請求項１１】複数列の前記端子列のうちの少なくとも
１列は、前記アクチュエータの列同士の間に配置される
と共にその両側に位置する一対の前記アクチュエータの
列の両方が接続されていることを特徴とする請求項９記
載のアクチュエータユニット。
【請求項１２】請求項１乃至請求項１１のいずれか一項
に記載のアクチュエータユニットと、前記複数のノズル開口が形成されたノズルプレートと、
を備えたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッ
ド。