JPH11300956A

JPH11300956A - インクジェット式記録ヘッド

Info

Publication number: JPH11300956A
Application number: JP31648498A
Authority: JP
Inventors: Norihiko Kurashima; 憲彦倉島; Katsuhiro Okubo; 勝弘大久保; Shuji Yonekubo; 周二米窪
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1997-11-06
Filing date: 1998-11-06
Publication date: 1999-11-02
Anticipated expiration: 2018-11-06
Also published as: JP3521768B2

Abstract

(57)【要約】【課題】記録ヘッド全体の大型化を招くことなく複数
列の圧電振動板の電位を可及的に一定として安定にイン
ク滴を吐出させることができるインクジェット式記録ヘ
ッドを提供する。【解決手段】アクチュエータユニット３０の表面にＴ
ＣＰ２のセグメント端子２４１〜２４６と接続するため
のセグメント端子電極３７１〜３７６とこれら電極３７
１ａ、ｂ〜３７６ａ、ｂの列設方向の両端にコモン端子
電極３８１ａ、ｂ〜３８６ａ、ｂとを形成し各列の両端
のコモン端子電極３８１ａと３８１、〜３８６ａと３８
６ｂとを導電部材３８１ｃ〜３８６ｃにより接続する。
ＴＣＰ２上の各ＧＮＤライン２５１〜２５７はアクチュ
エータユニット３０上の各コモン端子電極構成部材３８
１〜３８６を介して相互に接続する。したがって、複数
のアクチュエータユニット３０上のコモン端子電極３８
１ａ〜３８６ｂを外部と接地接続されたＧＮＤライン２
５１、２５２と導通させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たわみ振動する圧
電振動板により圧力発生室の容積を膨張、収縮させてノ
ズル開口からインク滴を吐出させ、記録媒体に印刷を行
うインクジェット式記録ヘッド、より詳細には圧電振動
板とケーブルとの接続構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】たわみ振動する圧電振動により圧力発生
室の容積を膨張、収縮させてノズル開口からインク滴を
吐出させるインクジェット式記録ヘッドは、圧力発生室
を封止する弾性変形可能な弾性板の表面に各圧力発生室
に対応させて圧電振動板を配設し、圧電振動板にフレキ
シブルケーブルにより駆動信号を供給するように構成さ
れている。

【０００３】このようなフレキシブルケーブルは、通
常、絶縁フィルム上に各圧電弾性板の配列ピッチに合わ
せて少なくとも圧電振動板と同数の信号ラインと、共通
のＧＮＤラインを形成し、各信号ラインを圧電振動板の
一方の極に、またＧＮＤラインを他方の極に接続されて
いる。

【０００４】このため、記録ヘッドを小型化したり、ま
たノズル開口の配列密度を高めると、フレキシブケーブ
ルに形成する各圧電振動板に駆動信号を供給する信号パ
ターンの幅が必然的に狭くなり、その電気抵抗が増大す
る。

【０００５】この結果、各圧電振動板のＧＮＤラインに
対する電位が変動して圧電振動板の変位量にばらつきが
生じ、結果としてノズル開口間でのインク滴の吐出特性
に変動を招くという問題がある。

【０００６】信号パターンの電気抵抗の増大を軽減する
ため、フレキシブルケーブルの可及的に圧電振動板に近
い領域に駆動信号を生成する駆動信号発生用の半導体集
積回路を実装したテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）
技術が採用されている。これによれば、駆動信号の伝送
距離を短縮できるため、ノズル開口間でのインク滴の吐
出特性の変動を軽減することができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、同一の
ヘッドに複数列の圧力発生室を配列してカラー印刷や高
密度印刷を実現しようとすると、その構造上、つまり各
列のノズル開口間の距離を可及的に小さくしてドットの
着弾精度を確保する必要上、ＧＮＤラインとの接続端
子、いわゆるコモン端子を圧電振動板に駆動信号を供給
する端子、いわゆるセグメント端子列の一端側にしか設
けることができない。

【０００８】このため、他端側に位置する圧電振動板の
コモン端子電極とＧＮＤラインとの間に大きな距離が生
じ、同一列の圧電振動板間や、また列間の圧電振動板の
変位特性にばらつきが生じインク滴の吐出特性に変動が
生じるという新たな問題がある。

【０００９】特に圧電振動板の他方の極を弾性板の表面
に形成するたわみ変位を利用する圧電振動板を使用する
記録ヘッドにあっては、弾性板の弾性を確保するため、
下部電極を可及的に薄く形成する必要上、電気抵抗が高
くなり、上述の問題が一層顕在化する。

【００１０】もとよりこのような問題は、ＴＣＰの面積
を一回り大きくして外側にＧＮＤラインを設ける方法も
考えられるが、記録ヘッド全体のサイズが大きくなると
いう問題がある。

【００１１】また、駆動信号発生用半導体集積回路をフ
レキシブルケーブルに実装したＴＣＰを使用する記録ヘ
ッドにあっては、フレキシブルケーブルの剛性が増大す
るため、記録ヘッドチップにＴＣＰを接続する際の変形
等や、またＴＣＰと圧電振動板との接触等により、圧電
振動板の振動特性が変化してインクの吐出特性が影響を
受ける等の問題がある。

【００１２】したがって、本発明のインクジェット式記
録ヘッドの第１の目的は、記録ヘッド全体の大型化を招
くことなく、複数列の圧電振動板の電位を可及的に一定
として安定にインク滴を吐出させることができるインク
ジェット式記録ヘッドを提供することにある。

【００１３】本発明のインクジェット式記録ヘッドの第
２の目的は、ＴＣＰと圧電振動板との接触を防止して安
定にインク滴を吐出させることができるインクジェット
式記録ヘッドを提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
式記録ヘッドは、インクを吐出する複数のノズル開口
と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力
発生室の容積を膨張、縮小させる圧電振動板と、前記圧
電振動板に対応して設けられ前記圧電振動板の一方の極
と接続されたセグメント端子電極、及び前記セグメント
端子電極の列設方向の両端に配置されて前記圧電振動板
の他方の極と接続されたコモン端子電極とを有し、前記
セグメント端子電極に接続され、外部からの入力信号に
基づいて生成された駆動信号を伝達する信号パターンと
導通関係を有するセグメント端子と、前記セグメント端
子の両端に位置し、前記コモン端子電極に接続されるコ
モン端子と、両側部の前記入力信号パターン側に配置さ
れた前記コモン端子に接続する接地ラインとを有するテ
ープキャリアパッケージと、前記セグメント端子電極の
両端に配置された前記コモン端子電極を接続する接続部
材とを備える。

【００１５】このような構成により、アクチュエータユ
ニットの同一列の両端に分散して形成されたコモン端子
電極をアクチュエータユニット領域内で外部の接地ライ
ンに確実に導通させて、圧電振動子の電位変動を防止す
ることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】（第１実施例）そこで以下に本発
明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。なお、
図１においては、ＴＣＰ２の裏面側に露出する端子群２
５１ａ〜２５４ａ、２４１〜２４６を、理解の助けとな
るように表面側に表記して描かれている。

【００１７】インクジェット式記録ヘッドは、図１に示
したようにノズルプレート１１、リザーバプレート１
２、及び複数、この実施例では３つのアクチュエータユ
ニット３０とから構成されるヘッドチップ１と、各アク
チュエータユニット３０に駆動信号を供給するＴＣＰ２
とから構成されている。

【００１８】ＴＣＰ２は、図示しないホストからの印刷
信号に基づいて駆動信号を生成する駆動信号発生用半導
体集積回路２１をフレキシブルケーブルに実装し、必要
な配線パターンを形成して構成されている。

【００１９】ヘッドチップ１に設けられた各アクチュエ
ータユニット３０は、ノズルプレート１１に設けられた
６列のノズル開口１１１の列の隣接する各２列に対応し
て配置されている。

【００２０】このような構成により、各列のノズル開口
１１１から吐出させるインクの色を異ならせて６色イン
クでの印刷が可能な記録ヘッドに構成したり、また１つ
のアクチュエータユニット３０に対応する２列のノズル
開口列の配列ピッチを半ピッチずつずらして、３色のイ
ンクでより高い密度で印刷が可能な記録ヘッドを構成す
ることができる。

【００２１】ＴＣＰ２に実装された駆動信号発生用の半
導体集積回路２１は、ホストからの印刷信号を供給する
入力信号パターン２２と、半導体集積回路２１により生
成された駆動信号を各アクチュエータユニット３０に出
力する出力信号パターン２３に接続され、信号パターン
２２、２３は、接続領域だけを露出させた状態でレジス
ト層２６（図２）により被覆されている。

【００２２】出力信号パターン２３の接続領域には、ア
クチュエータユニット３０の接続端子３７１〜３７６の
配列ピッチに一致してセグメント端子２４１〜２４６が
設けられている。

【００２３】そして、ＴＣＰ２の両側のセグメント端子
２４１、及び２４６の一端には、外部に接地接続された
接地ラインとしてのＧＮＤライン２５１、２５２が設け
られ、また隣接するセグメント端子２４２と２４３の
間、２４４と２４５との間には、半導体集積回路２１側
に図示しない外部で設置するＧＮＤライン２５３、２５
４が、さらにセグメント端子２４１〜２４６の先端側、
つまり半導体集積回路２１から離れた側には各アクチュ
エータユニット３０を横断するようにＧＮＤライン２５
５、２５６、２５７が形成されている。

【００２４】ＧＮＤライン２５１、及びライン２５２
は、後述するコモン端子電極３８１ａ、及び電極３８６
ａとの接続領域を複数、この実施例では３つの分割して
接続端子２５１ａ、及び２５２ａが形成されている。

【００２５】同様に、ＧＮＤライン２５５、２５６、２
５７は、後述するコモン端子電極３８２ａ〜電極３８５
ａとの接続領域を複数、この実施例では３つの分割して
接続端子２５３ａ〜２５４ａ’が形成されている。

【００２６】一方、アクチュエータユニット３０の表面
には、セグメント端子２４１〜２４６と半田付け等によ
り接続するためのセグメント端子電極３７１〜３７６が
形成され、またセグメント端子電極３７１〜３７６のそ
れぞれの列設方向の両端部にコモン端子電極３８１ａ、
３８１ｂ〜３８６ａ、３８６ｂが形成され、これら各列
のコモン端子電極３８１ａ、３８１ｂ〜３８６ａ、３８
６ｂは、それぞれアクチュエータユニット３０の中央領
域をセグメント端子電極３７１〜３７６の列設方向に延
び、セグメント端子電極３７１〜３７６やコモン端子電
極３８１ａ〜３８６ｂと同様の手法で形成された導電部
材３８１ｃ〜３８６ｃにより接続されている。

【００２７】これらコモン端子電極形成部材３８１ａ〜
３８６ｃは、例えばコモン端子電極形成部材３８１を例
に採って説明すると、セグメント端子電極３７１の列設
方向の端部側でＴＣＰ２と接続する端部３８１ａ、３８
１ｂを備え、特に半導体集積回路側のコモン端子電極３
８１ａは複数、この実施例では３つに分割されている。

【００２８】このような接続構造により、ＴＣＰ２をヘ
ッドチップ１の接続すると、ＴＣＰの各ＧＮＤライン２
５１〜２５７は、アクチュエータユニット３０上の各コ
モン端子電極３８１ａ〜３８６ｃを介して相互に接続さ
れる。つまり、ＧＮＤライン２５１はコモン端子２５１
ａにより３つのコモン端子電極３８１ａに接続され、ア
クチュエータユニット３０の中央領域に延びる導電部材
３８１ｃを導通して他端のコモン端子電極３８１ｂに導
通する。コモン端子電極３８１ｂと同一のアクチュエー
タユニット３０の他側のコモン端子電極３８２ｂとはＴ
ＣＰ２のＧＮＤライン２５５により導通され、導電部材
３８２ｃを導通して他端のコモン端子電極３８２ａに導
通する。コモン端子電極３８２ａは、ＴＣＰ２のＧＮＤ
ライン２５３のコモン端子２５３ａに接続され、ＧＮＤ
ライン２５３により対向する側のコモン端子２５３ａ’
に導通し、隣接する他のアクチュエータユニット３０の
コモン端子２５３ａと導通する。

【００２９】以下、このように同一アクチュエータユニ
ット３０間では導電部材３８１ｃ〜３８６ｃと、ＴＣＰ
２の半導体集積回路２１から離れた端部に形成されたＧ
ＮＤライン２５５〜２５７により、また隣接するアクチ
ュエータユニット３０間では半導体集積回路２１側のＧ
ＮＤライン２５３、２５４により導通して、ＴＣＰ２の
両側に形成されたＧＮＤライン２５１とライン２５２と
を導通関係に維持することができる。

【００３０】このため、アクチュエータユニット３０の
数にかかわりなく、アクチュエータユニット３０上のコ
モン端子電極３８１ａ、３８１ｂ〜３８６ａ、３８６ｂ
を外部と接地接続されたＧＮＤライン２５１、及びライ
ン２５２とに確実に導通させることができる。

【００３１】ところで、各コモン端子電極３８１〜３８
６の端部の半導体集積回路２１側のコモン端子電極３８
１ａ〜３８６ａは、先端側のコモン端子電極３８１ｂ〜
３８６ｂよりも数が多く、かつ総面積が広く形成され、
またＴＣＰ２のＧＮＤライン２５１〜２５４には対応し
たパターン構造が形成されている。このような構造によ
り、記録ヘッド全体として小型化を図る場合に、ＴＣＰ
２をセグメント端子やコモン端子の形成領域と半導体集
積回路２１との間、つまり図中Ａ−Ａ線を折り曲げ線と
して２つに折り曲げて組み付ける場合に、ＴＣＰ２の曲
げ応力によって１つ、例えばＧＮＤライン２５１の３つ
のコモン端子２５１ａと３つのコモン端子電極３８１ａ
との接続のうち、たとえ１つが剥がれたとしても残りの
２つによって導通を維持することができる。また、分割
して形成されているため１つのコモン端子電極３８１ａ
の熱容量が小さいため、１つに纏めて形成する場合に比
較してはんだ付けを容易に行うことができる。

【００３２】以下に、図３に基づいてセグメント端子電
極の構造を、また図４に基づいてコモン端子電極形成部
材を、さらに図５に基づいてアクチュエータユニット３
０の表面構造について詳述する。

【００３３】ヘッドチップ１は、インクをインク滴とし
て吐出するためのノズル開口１１１が穿設されたノズル
プレート１１と、各圧力発生室３２にインクを供給する
リザーバ１２１が形成されたリザーバプレート１２とを
図示しない熱溶着フィルム等により液密に接着し、その
表面にアクチュエータユニット３０を液密に接着して構
成されている。

【００３４】アクチュエータユニット３０は、リザーバ
１２１および各ノズル開口１１１と連通する複数の圧力
発生室３２が形成された圧力発生室形成部材３１と、圧
力発生室３２の一方の面を封止する弾性板３３とをセラ
ミックス材料により一体に焼成し、弾性板３３の表面に
他方の極としての下部電極３４を、その表面に圧電振動
板３５を形成し、さらに圧電振動板３５の表面に一方の
極としての上部電極３６を形成して構成されている。

【００３５】下部電極３４は、各圧力発生室３２に対応
して白金（Ｐｔ）により１〜５μｍの厚さで形成され、
図５に見られるごとくそれぞれが中央領域３４ａで導通
し、さらに中央領域３４ａの表面には厚さ１０〜２０μ
ｍの銀（Ａｇ）により導電部材３８１ｃ、３８２ｃが形
成されている。

【００３６】このように下部電極３４が導電部材３８１
ｃ、３８２ｃによっても導通しているため、セグメント
端子電極３７１、３７２の列設方向の一端のみでＧＮＤ
ライン２５１、２５２と導通する場合と比べて、ＧＮＤ
ライン２５１、２５２から下部電極３４までの抵抗が小
さくなり、下部電極３４の電位が変化するのを防ぐこと
ができる。なお、好ましくは下部電極３４と間隙３４１
ａ等で下部電極３４と非導通関係となるようにダミーの
下部電極３４１を形成すると、圧電振動板３５と弾性板
３３との接合強度を確保しやすい。

【００３７】一方、上部電極３６は、下部電極３４に対
応して５〜１５μｍの厚さで形成された圧電振動板３５
の表面に０．１〜１μｍの厚さの金（Ａｕ）により形成
され、その端部側には、厚さ１０〜２０μｍの銀（Ａ
ｇ）によりＴＣＰ２の接続端子２４１、２４２と接続す
るセグメント端子電極３７１、３７２が形成されてい
る。

【００３８】そして、セグメント端子電極３７１、３７
２、コモン電極形成部材３８１、３８２は、その厚みＧ
を圧電振動板３５の厚み以上に設定されていて、各セグ
メント端子電極３７１、３７２に対応した圧電振動板３
５とコモン端子電極形成部材３８１、３８２との間に段
差ｇを確保されている。これにより、ＴＣＰ２が圧電振
動板３５との間に空間を介して位置することになり、Ｔ
ＣＰ２と圧電振動板３５との機械的接触を防止すること
できる。

【００３９】また、セグメント端子電極３７１、３７
２、３８１、３８２の厚さＧが大きいため、コモン端子
電極形成部材３８１、３８２を含めた導電路全体の抵抗
が小さくなるので、下部電極３４相互間の電位の変動を
防止することができる。

【００４０】そして後述するように好ましくは図６、及
び図７に示したようにノズル開口１１１と対向しない領
域にダミーの圧電振動板３５１、３５２を形成し、その
表面にコモン端子電極形成部材３８１、３８２を作り付
けることにより、圧電振動板３５とコモン端子電極３８
１ａ、３８１ｂ、３８２ａ、３８２ｂとの間に大きな段
差ｇ’を設けて、ＴＣＰ２と圧電振動板３５との機械的
接触を確実に防止することできる。

【００４１】このように構成されたインクジェット式記
録ヘッドは、ホスト等の外部からの印刷信号に対応して
駆動半導体集積回路２１で駆動信号が生成される。この
駆動信号は、ＴＣＰ２のパターン２３、及びセグメント
端子２４１を経てヘッドチップ１のセグメント端子電極
３７１に印加される。

【００４２】セグメント端子電極３７１と導通した上部
電極３６と、コモン端子電極３８１を介してＧＮＤライ
ン２５１に接続された下部電極３４との電界により圧電
振動板３５がたわみ変位する。これにより、弾性板３３
が変位して圧力発生室３２のインクが加圧され、印刷信
号に対応してノズル開口１１１からインク滴が吐出す
る。

【００４３】この実施例によれば、複数のアクチュエー
タユニット３０に１つのＴＣＰ２から駆動信号を供給す
るため、アクチュエータユニット毎に独立したＴＣＰを
設ける場合に比較して記録ヘッド全体のサイズを小型化
することができる。

【００４４】その際に、ＴＣＰ２の複数のＧＮＤライン
２５１、２５２が各アクチュエータユニット３０のコモ
ン端子電極形成部材３７１、３７２を介して相互に接続
されているから、各アクチュエータユニット３０のコモ
ン端子電極３７１、３７２の浮遊電位が最小限で接地さ
れることになり、各圧電振動板３５に印加される電界が
同一となる。これにより、ヘッドチップ全体の圧電振動
板３５の変位量が一定となり、各ノズル開口１１１から
一定体積のインク滴を吐出させることができ、高い品質
での印刷が可能となる。

【００４５】（第２実施例）図６、及び図７は本発明の
インクジェット式記録ヘッドの第２実施例を示すもので
あって、アクチュエータユニット３０の弾性板３３は、
その表面の下部電極３４に圧電振動板３５を形成する工
程で、アクチュエータユニット３０の中央部と両側とに
ダミーの圧電振動板３５１、３５２がそれぞれ形成され
ている。

【００４６】そして圧電振動板３５の上部電極３６を形
成する工程に合わせてアクチュエータユニット３０の両
側のダミーの圧電振動板３５１には上部電極３６を、ま
た中央部のダミーの圧電振動板３５２には上部電極３６
とは導電関係を形成しないダミーの上部電極３６１を形
成し、さらにこれら上部電極３６、３６１の表面にＴＣ
Ｐ２と接続するセグメント端子電極３８１、３８２を形
成する。

【００４７】この実施例によれば、第１実施例に示した
インクジェット式記録ヘッドの製造工程に大幅な変更を
来すことなく、電極形成パターン等の形状を変更するだ
けで、圧電振動板３５が形成されている領域よりもセグ
メント端子電極３７１、３７２、コモン電極形成部材３
８１、３８２の領域の弾性板からの高さを、ダミーの圧
電振動板３５１、３５２の厚み分だけ高くすることがで
き、ＴＣＰ２と圧電振動板３５との間のギャップｇ’を
十分に確保してＴＣＰ２と圧電振動板３５との接触を確
実に防止することができる。

【００４８】（第３実施例）図８、及び図９は、本発明
のインクジェット式記録ヘッドの第３実施例を示すもの
であって、この実施例においては、セグメント端子電極
３７１〜３７６のそれぞれの列設方向の両端に配置され
たコモン端子電極３８１ａ、３８１ｂ、〜３８６ａ、３
８６ｂ同士を接続する導電部材３８１ｃ〜３８６ｃを不
要とし、代って外部の導電部材によりこれらセグメント
端子電極３７１〜３７６のそれぞれの列設方向の両端に
配置されたコモン端子電極３８１ａ、と３８１ｂ、〜３
８６ａと３８６ｂとを接続するようにしたものである。
なお、図中符号６は、ＴＣＰ２と端子とを接続する異方
性導電接着フィルムで、これは加圧方向にのみ導電性を
発現する接着フイルムで、熱可塑性高分子材料と金属の
微粉末とを混合してフィルムに延伸して構成されてい
る。

【００４９】この実施例におけるＴＣＰ２は、図１０に
示したように前述の実施例と同様にフレキシブケーブル
に駆動信号発生用の半導体集積回路２１を実装し、アク
チュエータユニット３０に対応させて接続用のセグメン
ト端子２４１〜２４６、及びＴＣＰ２の両側のセグメン
ト端子２４１、２４６の半導体集積回路２１側には、外
部に接地接続された接地ラインとしてのＧＮＤライン２
５１、２５２が設けられている。

【００５０】また、隣接するセグメント端子２４２と２
４３の間、２４４と２４５との間の一端側には前述の実
施例と同様なＧＮＤライン２５３、２５４が、さらにセ
グメント端子２４１〜２４６の先端側には、ライン２５
５〜２５７よりも広い面積を有する三角形状のＧＮＤ領
域２６１、２６２、２６３が設けられている。

【００５１】ＧＮＤライン２５１、２５２、及び先端側
のＧＮＤ領域２６１〜２６３のうの両端のＧＮＤ領域２
６１、２６３には、後述する基板５の導電パターン５０
０に対向する領域に半田付け等の導電接続が可能な窓２
５１ａ、２５２ａ、及び２６１ａ、２６３ａが形成され
ている。

【００５２】ＧＮＤライン２５１、２５２の先端にはア
クチュエータユニット３０のコモン電極端子２７１ａ、
２７６ａと接続する３分割されたコモン端子２５１ｂ、
２５２ｂが、またＧＮＤ領域２６１、２６３の先端には
３分割されたコモン端子２６１ｂ〜２６３ｂが、さらに
ＧＮＤライン２５３、２５４の先端には３分割されたコ
モン端子２５３ｂ、２３５ｂ’２５４ｂ、２５４ｂ’が
形成されている。

【００５３】基板５は、図１１に示したようにガラスエ
ポキシ系基板を基材とし、ＴＣＰ２の窓２５１ａ、２５
２ａを介して導通する端子部５０１、５０２、及び窓２
６１ａ、２６３ａを介して導通する端子部５０３、５０
４を備えた導電パターン５００が形成されている。

【００５４】これにより、ＴＣＰ２と基板５とを窓２５
１ａ〜２６３ａの領域で半田付けすると、先端側のコモ
ン接続端子２６１ｂ、２６３ｂが基板５の導電パターン
５０５、５０６を介してライン２５１、２５２に接続さ
れる。

【００５５】このようにしてＴＰＣ２と基板５との接合
が終了した段階で、異方性導電膜６や、半田付けにより
ＴＰＣ２の各端子を前述の実施例と同様にヘッドチップ
１の端子電極に接合することにより記録ヘッドが完成す
る。

【００５６】この実施例においても、前述の実施例と同
様に複数のアクチュエータユニット３０に１つのＴＣＰ
２を接続することにより記録ヘッドの大きさを小型化
し、かつＴＣＰ２の複数のＧＮＤライン２５１、２５２
が各アクチュエータユニット３０のコモン端子電極及び
基板５の導電パターンを介して相互に接続されるから、
各アクチュエータユニット３０のコモン端子電極が浮遊
電位を最小限として接地され、圧電振動板３４に印加さ
れる電界が同一となる。これにより、ヘッドチップ全体
の圧電振動板３４の変位量が一定となり、各ノズル開口
１１１から一定量のインクを安定にインク滴として吐出
させることができ、高い品質での印刷が可能となる。

【００５７】（第４実施例）図１２、及び図１３は、本
発明のインクジェット式記録ヘッドの第４実施例を示す
ものであって、この実施例においては第３実施例におけ
る基板５を、ＴＣＰ２により形成し、ＴＣＰ２の先端
部、及び両側部を折り畳んだものである。

【００５８】ＴＣＰ２は、図１４に示したようにその先
端側に、前述の基板５と同等の機能を果たす補助配線部
２７０が複数のスリット２８１を挟んで形成されてい
る。

【００５９】補助配線部２７０は、前述の基板５の導電
パターン５００と同一形状を持つ導電パターン２７１が
形成されている。そしてスリット２８１を中心として折
り曲げたとき、ＴＣＰ２の窓２５１ａ、２５２ａを介し
て、導電パターン２７１が導通する端子部を露出させる
窓２７２、２７３、及び窓２６１ａ、２６３ａを介して
導通する端子部２７４、２７５が形成されている。

【００６０】また、ヘッドチップ１と接続する端子２４
１乃至２４６が形成された領域の両側には、スリット２
８２、２８２を挟んで延長部２７６、２７７が形成さ
れ、これの表面にコモン電極端子２６１ｂ、２６３ｂを
接続する補助グランドライン２５１ｃ、２５２ｃが形成
されている。

【００６１】この実施例においては、図１２、図１３に
示した如くＴＣＰ２の延長部２７６、２７７をスリット
２８２を中心に内側に畳み込み、ついで補助配線部２７
０をスリット２８１を中心に折り曲げ、ＴＣＰ２の窓２
５１ａ、２５２ａから露出しているＧＮＤライン２５
１、２５２と、補助配線部２７０の窓２７２、２７３か
ら露出している導電パターン２７１、及びＴＣＰ２の窓
２６１ａ、２６３ａから露出しているＧＮＤ領域２６
１、２６３とをハンダ付けして導通させ、補助配線部４
とＴＣＰ５とを折り畳んだ状態で固定する。このように
して所定の形状に折り畳み縮小されたＴＣＰ２をヘッド
チップ１にハンダ付けすることによりインクジェット式
記録ヘッドが完成する。

【００６２】この実施例においては、基板５が存在しな
い分だけ、薄くでき、同時に前述の実施例と同様にＴＣ
Ｐ２の複数のＧＮＤライン２５１、２５２が各アクチュ
エータユニット３０のコモン端子電極を介して相互に接
続され、さらには両側のコモン電極列設方向の端部領域
のコモン端子２５１ａと２５１ｂ、及び２５２ａと２５
２ｂが延長部２７６、２７７の補助グランドライン２５
１ｃ、２５２ｃにより接続されているから、各アクチュ
エータユニット３０のコモン端子電極が浮遊電位を最小
限として接地され、圧電振動板に印加される電界が同一
となる。これにより、ヘッドチップ全体の圧電振動板の
変位量が一定となり、各ノズル開口１１１から安定にイ
ンク滴を吐出させることができ、高い品質での印刷が可
能となる。

【００６３】なお、この実施例においては、先端側に補
助配線部２７０を形成することにより、フレキシブルケ
ーブル構成材を有効利用しているが、補助配線部２７０
を幅方向に形成、つまり図１４における延長部２７６と
同様に一側部、または両側部に形成するとともに、その
サイズを折り畳んだ時に窓２５１ａ、２５２ａ、２６１
ａ、２６３ａに到達する大きさとすることにより同様の
作用を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット式記録ヘッドの第
１実施例を示す斜視図である。

【図２】インクジェット式記録ヘッドの１つのアクチュ
エータユニットを拡大して示す斜視図である。

【図３】インクジェット式記録ヘッドを構成しているヘ
ッドチップとＴＣＰとの構造を、セグメント端子電極で
の断面構造として示す図である。

【図４】ヘッドチップのコモン端子電極での断面構造を
示す図である。

【図５】インクジェット式記録ヘッドを構成するアクチ
ュエータユニットの一実施例を示す分解斜視図である。

【図６】本発明に係るインクジェット式記録ヘッドの第
２実施例をセグメント端子電極での断面構造として示す
図である。

【図７】記録ヘッドのアクチュエータユニットの一実施
例を示す分解斜視図である。

【図８】本発明に係るインクジェット式記録ヘッドの第
３実施例を、ノズル開口側から見た分解斜視図である。

【図９】インクジェット式記録ヘッドを、上方から見た
分解斜視図である。

【図１０】インクジェット式記録ヘッドに使用するＴＣ
Ｐの一実施例を示す上面図である。

【図１１】インクジェット式記録ヘッドを構成する基板
の導通パターンを示す上面図である。

【図１２】本発明に係るインクジェット式記録ヘッドの
第４実施例をノズル開口側から見た分解斜視図である。

【図１３】インクジェット式記録ヘッドを上方から見た
分解斜視図である。

【図１４】インクジェット式記録ヘッドに使用するＴＣ
Ｐの構造を示す上面図である。

【符号の説明】

２テープキャリアパッケージ３０アクチュエータユニット３２圧力発生室３５圧電振動板１１１ノズル開口２８１スリット３５１，３５２ダミー圧電振動板３７１〜３７６セグメント端子電極３８１a,b〜３８６a,b コモン端子電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出する複数のノズル開口と、
該ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室の
容積を膨張、縮小させる圧電振動板と、該圧電振動板に
対応して設けられ当該圧電振動板の一方の極と接続され
たセグメント端子電極、及び該セグメント端子電極の列
設方向の両端に配置されて前記圧電振動板の他方の極と
接続されたコモン端子電極とを有し、前記セグメント端子電極に接続され、外部からの入力信
号に基づいて生成された駆動信号を伝達する信号パター
ンと導通関係を有するセグメント端子と、前記セグメン
ト端子の両端に位置し、前記コモン端子電極に接続され
るコモン端子と、両側部の、前記入力信号パターン側に
配置された前記コモン端子に接続する接地ラインとを有
するテープキャリアパッケージと、前記セグメント端子電極の両端に配置された前記コモン
端子電極を接続する接続部材と、を備えたインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】テープキャリアパッケージに前記入力信
号に基づいて駆動信号を生成する半導体集積回路が実装
されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。
【請求項３】前記他方の極が、前記アクチュエータユ
ニットの中央領域で同一列が共通接続されている請求項
１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】前記接続部材が、前記アクチュエータユ
ニットに形成されている請求項１に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド。
【請求項５】前記導電部材が、前記他方の極を共通接
続する領域に形成されている請求項３に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。
【請求項６】前記接続部材が、基板に導電パターンを
形成して構成されている請求項１に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド。
【請求項７】前記テープキャリアパッケージが前記基
板を挟むように折り畳まれている請求項６に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。
【請求項８】前記接続部材が、前記テープキャリアパ
ッケージの先端側を延長してスリットにより折り曲げ可
能な領域に導電パターンを形成して構成されている請求
項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項９】前記導電パターンに、前記テープキャリ
アパッケージの両側部に形成された前記接地ライン同士
を接続するパターンが形成されている請求項７、または
請求項８に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１０】前記セグメント端子電極、及びコモン
端子電極の表面が、前記圧電振動板の表面よりも突出
し、前記テープキャリアパッケージと前記圧電振動板と
の間に空間が確保されている請求項１に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。
【請求項１１】前記セグメント端子電極、及びコモン
端子電極が前記圧電振動板と同一の材料により形成され
たダミーの圧電振動板の表面に形成されている請求項１
０に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１２】前記アクチュエータユニットが複数設
けられ、前記テープキャリアパッケージが、前記アクチュエータ
ユニットのそれぞれの前記セグメント端子電極に接続さ
れ、外部からの入力信号を伝達する入力信号パターンと
導通関係を有するセグメント端子と、前記セグメント端
子の両端に位置し、前記コモン端子電極に接続されるコ
モン端子とを有し、前記セグメント端子電極の両端に配置された前記コモン
端子電極が接続部材により接続されている請求項１に記
載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１３】前記テープキャリアパッケージに、隣
接する前記アクチュエータユニットの前記コモン端子電
極を接続する導電パターンが前記半導体集積回路側に形
成されている請求項１、または請求項１２に記載のイン
クジェット式記録ヘッド。
【請求項１４】前記コモン端子電極を接続する導電パ
ターンが複数に分割して形成されている請求項１２に記
載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１５】前記テープキャリアパッケージの前記
セグメント端子電極、及び前記コモン端子電極の形成領
域の外部側方に、前記セグメント端子電極の両端に配置
された前記コモン端子電極を接続するパターンを有する
延長部が折り曲げ可能に形成されている請求項１２に記
載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１６】前記入力信号パターン側の前記コモン
端子電極、及び前記コモン端子が複数に分割して形成さ
れている請求項１、または請求項１２に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。