JP3528908B2 - インクジェット式記録ヘッド、及び前記記録ヘッドに適した圧電振動子ユニット - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及び前記記録ヘッドに適した圧電振動子ユニットInfo
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、縦振動モードの
圧電振動子の伸縮によりノズル開口からインク滴を吐出
させて画像や文字を記録用紙に記録するインクジェット
式記録ヘッド、より詳細には複数の圧電振動子を固定基
板の一定のピッチで固定して構成された振動子ユニット
と、これに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと
の接続構造に関する。
圧電振動子の伸縮によりノズル開口からインク滴を吐出
させて画像や文字を記録用紙に記録するインクジェット
式記録ヘッド、より詳細には複数の圧電振動子を固定基
板の一定のピッチで固定して構成された振動子ユニット
と、これに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと
の接続構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドの中でも、
高速駆動が可能である縦振動モードの圧電振動子を使用
した記録ヘッドは、ノズル開口、及びリザーバに連通す
る圧力発生室の一部を弾性板によりインク吐出部を形成
し、軸長方向に伸縮する圧電振動子を、その一端を一定
ピッチで固定基板に固定した振動子ユニットにより駆動
するように構成されている。
高速駆動が可能である縦振動モードの圧電振動子を使用
した記録ヘッドは、ノズル開口、及びリザーバに連通す
る圧力発生室の一部を弾性板によりインク吐出部を形成
し、軸長方向に伸縮する圧電振動子を、その一端を一定
ピッチで固定基板に固定した振動子ユニットにより駆動
するように構成されている。
【０００３】このような振動子ユニットは、圧電振動子
の後端を、フレキシブルケーブルの接続パターンと半田
付けにより接続されて、外部からの駆動信号の供給を受
けるように構成されている。
の後端を、フレキシブルケーブルの接続パターンと半田
付けにより接続されて、外部からの駆動信号の供給を受
けるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そして圧電振動子は、
長さがせいぜい数ミリ、幅が０．０５ｍｍ程度と極めて
小さく、相互間の間隙が小さいため、半田の溶け出しに
より短絡が生じるという問題がある。このような問題を
解消するため、半導体素子とプリント基板との接合作業
に広く使用されている、熱溶着性高分子材料に導電性粒
子を混練したペースト剤や、これをてフィルム状に整形
した異方性導電膜等の異方性導電部材を使用することも
考えられる。しかながら、異方性導電膜は、半田に比較
してその接合力が低いため、機械的変位を伴う圧電振動
子との接合には十分な強度を確保することができず、記
録ヘッドとしての信頼性が低下するという問題がある。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであっ
て、その目的とするとことは十分な信頼性を確保しつつ
異方性導電膜により圧電振動子とフレキシブルケーブル
とを接合したインクジェット式記録ヘッドを提供するこ
とである。
長さがせいぜい数ミリ、幅が０．０５ｍｍ程度と極めて
小さく、相互間の間隙が小さいため、半田の溶け出しに
より短絡が生じるという問題がある。このような問題を
解消するため、半導体素子とプリント基板との接合作業
に広く使用されている、熱溶着性高分子材料に導電性粒
子を混練したペースト剤や、これをてフィルム状に整形
した異方性導電膜等の異方性導電部材を使用することも
考えられる。しかながら、異方性導電膜は、半田に比較
してその接合力が低いため、機械的変位を伴う圧電振動
子との接合には十分な強度を確保することができず、記
録ヘッドとしての信頼性が低下するという問題がある。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであっ
て、その目的とするとことは十分な信頼性を確保しつつ
異方性導電膜により圧電振動子とフレキシブルケーブル
とを接合したインクジェット式記録ヘッドを提供するこ
とである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、ノズル開口とインク供給口を介
してリザーバに連通し、駆動用の圧電振動子により加圧
される圧力発生室を複数備え、前記圧電振動子の表面に
形成された外部電極にフレキシブルケーブルの導電パタ
ーンを接続して駆動信号を供給するインクジェット式記
録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が固定基板に固定さ
れ、また前記フレキシブルケーブルが、ベース材に導電
層形成材を積層して形成された前記導電パターンを備え
るとともに、前記導電パターンの先端領域に前記圧電振
動子の外部電極の配列ピッチに一致し、かつ前記ベース
材に支持され、かつ前記外部電極と対向する領域に空間
を形成するための凹所を有する接続部を備え、前記接続
部と前記圧電振動子の前記外部電極との間に異方性導電
部材を介して前記フレキシブルケーブルが前記異方性導
電部材を構成する導電性粒子により導電接続され、また
前記接続部近傍の凹所に流入した前記異方性導電部材を
構成する高分子接合剤により前記フレキシブルケーブル
と前記圧電振動子とが機械的にも接合されている。ま
た、請求項１１の発明は、圧電振動子が固定基板に固定
されてフレキシブルケーブルにより駆動信号の供給を受
ける圧電振動子ユニットにおいて、前記フレキシブルケ
ーブルが、ベース材に導電層形成材を積層して形成され
た前記導電パターンを備えるとともに、前記導電パター
ンの先端領域に前記圧電振動子の外部電極の配列ピッチ
に一致し、かつ前記ベース材に支持され、かつ前記外部
電極と対向する領域に空間を形成するための凹所を有す
る接続部を備え、前記接続部と前記圧電振動子の前記外
部電極との間に異方性導電部材を介して前記フレキシブ
ルケーブルが前記異方性導電部材を構成する導電性粒子
により導電接続され、また前記接続部近傍の凹所に流入
した前記異方性導電部材を構成する高分子接合剤により
前記フレキシブルケーブルと前記圧電振動子とが機械的
にも接合されている。
に、請求項１の発明は、ノズル開口とインク供給口を介
してリザーバに連通し、駆動用の圧電振動子により加圧
される圧力発生室を複数備え、前記圧電振動子の表面に
形成された外部電極にフレキシブルケーブルの導電パタ
ーンを接続して駆動信号を供給するインクジェット式記
録ヘッドにおいて、前記圧電振動子が固定基板に固定さ
れ、また前記フレキシブルケーブルが、ベース材に導電
層形成材を積層して形成された前記導電パターンを備え
るとともに、前記導電パターンの先端領域に前記圧電振
動子の外部電極の配列ピッチに一致し、かつ前記ベース
材に支持され、かつ前記外部電極と対向する領域に空間
を形成するための凹所を有する接続部を備え、前記接続
部と前記圧電振動子の前記外部電極との間に異方性導電
部材を介して前記フレキシブルケーブルが前記異方性導
電部材を構成する導電性粒子により導電接続され、また
前記接続部近傍の凹所に流入した前記異方性導電部材を
構成する高分子接合剤により前記フレキシブルケーブル
と前記圧電振動子とが機械的にも接合されている。ま
た、請求項１１の発明は、圧電振動子が固定基板に固定
されてフレキシブルケーブルにより駆動信号の供給を受
ける圧電振動子ユニットにおいて、前記フレキシブルケ
ーブルが、ベース材に導電層形成材を積層して形成され
た前記導電パターンを備えるとともに、前記導電パター
ンの先端領域に前記圧電振動子の外部電極の配列ピッチ
に一致し、かつ前記ベース材に支持され、かつ前記外部
電極と対向する領域に空間を形成するための凹所を有す
る接続部を備え、前記接続部と前記圧電振動子の前記外
部電極との間に異方性導電部材を介して前記フレキシブ
ルケーブルが前記異方性導電部材を構成する導電性粒子
により導電接続され、また前記接続部近傍の凹所に流入
した前記異方性導電部材を構成する高分子接合剤により
前記フレキシブルケーブルと前記圧電振動子とが機械的
にも接合されている。
【０００６】
【作用】フレキシブルケーブルの接続部が、圧電振動子
の外部電極と対向する領域に空間を形成するための凹所
を有し、接続部と外部電極とが異方性導電部材を構成す
る導電性粒子により導電接続され、同時に接続部近傍の
凹所に流入した異方性導電部材の高分子接合剤により機
械的にも接合することができる。
の外部電極と対向する領域に空間を形成するための凹所
を有し、接続部と外部電極とが異方性導電部材を構成す
る導電性粒子により導電接続され、同時に接続部近傍の
凹所に流入した異方性導電部材の高分子接合剤により機
械的にも接合することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、流路ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで
穿設したノズルプレート３と、ノズル開口２に連通する
圧力発生室４、これにインク供給口５を介してインクを
供給するリザーバ６を備えた流路形成基板７と、振動子
ユニット８の各圧電振動子９の先端に当接されて圧力発
生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板１０とを一体に
積層して構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、流路ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで
穿設したノズルプレート３と、ノズル開口２に連通する
圧力発生室４、これにインク供給口５を介してインクを
供給するリザーバ６を備えた流路形成基板７と、振動子
ユニット８の各圧電振動子９の先端に当接されて圧力発
生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板１０とを一体に
積層して構成されている。
【０００８】流路ユニット１は、高分子材料の射出成形
等により構成されたホルダー１１の開口面１２に、また
振動子ユニット８は外部からの駆動信号を伝達するフレ
キシブルケーブル１３を後述する異方性導電膜４０を介
装して接続された上で収容室１４に収容され、それぞれ
のホルダー１１との当接面を接着剤により固定され、ノ
ズルプレート側に静電シールド材を兼ねる枠体１５を挿
入して記録ヘッドに纏められている。
等により構成されたホルダー１１の開口面１２に、また
振動子ユニット８は外部からの駆動信号を伝達するフレ
キシブルケーブル１３を後述する異方性導電膜４０を介
装して接続された上で収容室１４に収容され、それぞれ
のホルダー１１との当接面を接着剤により固定され、ノ
ズルプレート側に静電シールド材を兼ねる枠体１５を挿
入して記録ヘッドに纏められている。
【０００９】図３は、同上振動子ユニット８の一実施例
を示すものであって、一方の極となる電極と、他方の極
となる電極とを圧電材料を介してサンドイッチ状に積層
して構成された圧電材料板を、一端が自由端となるよう
に他端を固定基板２０に固定した上で、両端に若干幅広
となるダミーの振動子２１、２２を残すように等間隔に
ワイヤソウ等により一定の間隔で、固定領域となる後端
に連続部を形成するように機械的に櫛歯状に切分け圧電
振動子９、９、９を形成して構成されている。
を示すものであって、一方の極となる電極と、他方の極
となる電極とを圧電材料を介してサンドイッチ状に積層
して構成された圧電材料板を、一端が自由端となるよう
に他端を固定基板２０に固定した上で、両端に若干幅広
となるダミーの振動子２１、２２を残すように等間隔に
ワイヤソウ等により一定の間隔で、固定領域となる後端
に連続部を形成するように機械的に櫛歯状に切分け圧電
振動子９、９、９を形成して構成されている。
【００１０】圧電振動子９の自由端側に各圧電振動子９
の一方の内部電極と接続する外部電極としてのセグメン
ト電極２４が、また固定基板側には各圧電振動子９の他
方の内部電極と接続するとともに、フレキシブルケーブ
ル１３と接続する外部電極としての共通電極２５が形成
されている。共通電極２５は、連続領域を介してダミー
の圧電振動子２１、２２に形成された導電層２７、２８
に接続されている。
の一方の内部電極と接続する外部電極としてのセグメン
ト電極２４が、また固定基板側には各圧電振動子９の他
方の内部電極と接続するとともに、フレキシブルケーブ
ル１３と接続する外部電極としての共通電極２５が形成
されている。共通電極２５は、連続領域を介してダミー
の圧電振動子２１、２２に形成された導電層２７、２８
に接続されている。
【００１１】振動子ユニット８に駆動信号を供給するフ
レキシブルケーブル１３は、図４（イ）、（ロ）に示し
たようにポリイミド等の耐熱性電気絶縁フィルムからな
るベース材３０と、これの表面に銅箔等を張り付け形成
された導電層３１とを有し、導電層を、圧電振動子９、
９、９‥‥に信号を供給するのに適した導電パターン３
２、３２、３２、‥‥にエッチングして構成されてい
る。
レキシブルケーブル１３は、図４（イ）、（ロ）に示し
たようにポリイミド等の耐熱性電気絶縁フィルムからな
るベース材３０と、これの表面に銅箔等を張り付け形成
された導電層３１とを有し、導電層を、圧電振動子９、
９、９‥‥に信号を供給するのに適した導電パターン３
２、３２、３２、‥‥にエッチングして構成されてい
る。
【００１２】またこの導電層３１は、他端側においてホ
スト等の印刷信号出力手段に接続する導電パターン３
３、３３、３３、‥‥が同様の手法で形成されている。
スト等の印刷信号出力手段に接続する導電パターン３
３、３３、３３、‥‥が同様の手法で形成されている。
【００１３】そして導電パターン３２、３２、３２、‥
‥の先端側には、圧電振動子９、９、９‥‥のセグメン
ト電極２４、２４、‥‥に一致するピッチで接続部３
４、３４、３４‥‥が形成され、図５に示したように接
続部３４、３４、３４‥‥の導電性を維持する程度に孔
３５、３５、３５、‥‥、もしくはハーフエッチングに
よる凹部が形成されている。
‥の先端側には、圧電振動子９、９、９‥‥のセグメン
ト電極２４、２４、‥‥に一致するピッチで接続部３
４、３４、３４‥‥が形成され、図５に示したように接
続部３４、３４、３４‥‥の導電性を維持する程度に孔
３５、３５、３５、‥‥、もしくはハーフエッチングに
よる凹部が形成されている。
【００１４】これらの導電パターン３２の全体、及び導
電パターン３３の接続部３６以外の領域は、必要に応じ
て電気絶縁性を備えた柔軟なカバーコート３７で被覆さ
れている。
電パターン３３の接続部３６以外の領域は、必要に応じ
て電気絶縁性を備えた柔軟なカバーコート３７で被覆さ
れている。
【００１５】なお、図中符号３８は、外部から供給され
た印刷信号に基づいて圧電振動子９、９、９、‥‥を選
択して駆動するための信号を発生する半導体集積回路を
示す。また、図中符号３９は、ダミーの圧電振動子２
１、２２の導電層２７、２８に接続される接続部で、導
電層４０により外部の駆動回路のアースに接続されてい
る。
た印刷信号に基づいて圧電振動子９、９、９、‥‥を選
択して駆動するための信号を発生する半導体集積回路を
示す。また、図中符号３９は、ダミーの圧電振動子２
１、２２の導電層２７、２８に接続される接続部で、導
電層４０により外部の駆動回路のアースに接続されてい
る。
【００１６】つぎに、フレキシブルケーブルと１３と圧
電振動子ユニットとの接続について説明する。図６
（イ）に示したようにセグメント電極２４、２４、２４
‥‥を上面とするようにして治具に固定された振動子ユ
ニット８のセグメント電極２４、２４、２４‥‥に異方
性導電膜４０を載置してフレキシブルケーブル１３の接
続部３４、３４、３４‥‥を位置決めする。
電振動子ユニットとの接続について説明する。図６
（イ）に示したようにセグメント電極２４、２４、２４
‥‥を上面とするようにして治具に固定された振動子ユ
ニット８のセグメント電極２４、２４、２４‥‥に異方
性導電膜４０を載置してフレキシブルケーブル１３の接
続部３４、３４、３４‥‥を位置決めする。
【００１７】ついで、図６（ロ）に示したように、フレ
キシブルケーブル１３の表面からヒータツール４１によ
り加温しながら一定の圧力を加えると、異方性導電膜
は、セグメント電極２４、２４、２４‥‥の領域に高い
圧力を受ける。
キシブルケーブル１３の表面からヒータツール４１によ
り加温しながら一定の圧力を加えると、異方性導電膜
は、セグメント電極２４、２４、２４‥‥の領域に高い
圧力を受ける。
【００１８】異方性導電膜４０を構成している高分子材
料が軟化し、セグメント電極２４の接続部３４の孔３５
以外の領域から排除されて、導電性粒子（図中、黒点）
が残留して厚み方向にのみ導電性を発現する。
料が軟化し、セグメント電極２４の接続部３４の孔３５
以外の領域から排除されて、導電性粒子（図中、黒点）
が残留して厚み方向にのみ導電性を発現する。
【００１９】一方、セグメント電極２４、２４、２４と
フレキシブルケーブル１３の接続部３４、３４、３４‥
‥の孔３５、３５、３５との対向領域では、異方性導電
膜４０に対する圧力が低いため高分子材料が孔３５に流
れ込むからこの領域ではあまり高分子材料が排除されな
い。
フレキシブルケーブル１３の接続部３４、３４、３４‥
‥の孔３５、３５、３５との対向領域では、異方性導電
膜４０に対する圧力が低いため高分子材料が孔３５に流
れ込むからこの領域ではあまり高分子材料が排除されな
い。
【００２０】所定時間の経過後にヒータツール４１を除
去すると、セグメント電極２４、２４、２４とフレキシ
ブルケーブル１３の接続部３４、３４、３４‥‥の孔３
５以外の領域とが対向する部分には高い密度で導電性粒
子（図中、黒点）が存在して導電性が生じる。
去すると、セグメント電極２４、２４、２４とフレキシ
ブルケーブル１３の接続部３４、３４、３４‥‥の孔３
５以外の領域とが対向する部分には高い密度で導電性粒
子（図中、黒点）が存在して導電性が生じる。
【００２１】一方、フレキシブルケーブル１３の接続部
３４、３４、３４‥‥の孔３５、３５、３５の領域で
は、孔３５に流れ込んで固化した高分子材料が、フレキ
シブルケーブル１３と圧電振動子とを圧電振動子９の変
位では剥がれない程度に強固に接合するとともに、圧電
振動子相互を非振動領域で一体に接合して機械的強度を
増加させる。
３４、３４、３４‥‥の孔３５、３５、３５の領域で
は、孔３５に流れ込んで固化した高分子材料が、フレキ
シブルケーブル１３と圧電振動子とを圧電振動子９の変
位では剥がれない程度に強固に接合するとともに、圧電
振動子相互を非振動領域で一体に接合して機械的強度を
増加させる。
【００２２】このようにしてフレキシブルケーブル１３
に接続された圧電振動子ユニット８の各圧電振動子９に
駆動信号を印加すると、圧電振動子９が収縮、伸長し
て、弾性板１０を変位させる。これにより、圧力発生室
４の容積が膨張、縮小してインク供給口５を介してリザ
ーバ６のインクが圧力発生室４に流れ込み、また圧力発
生室４のインクが加圧されてノズル開口２からインク滴
が吐出する。
に接続された圧電振動子ユニット８の各圧電振動子９に
駆動信号を印加すると、圧電振動子９が収縮、伸長し
て、弾性板１０を変位させる。これにより、圧力発生室
４の容積が膨張、縮小してインク供給口５を介してリザ
ーバ６のインクが圧力発生室４に流れ込み、また圧力発
生室４のインクが加圧されてノズル開口２からインク滴
が吐出する。
【００２３】なお、上述の実施例においては、圧電振動
子近傍の凹所を接続部３４、３４、３４、‥‥に設けた
孔３５により形成しているが、図７に示したように接続
部３４、３４、３４‥を、三角形状のジグザクのパター
ンに形成したり、図８に示したように唐草模様状のパタ
ーンに形成したり、また図９に示したように唐草模様の
一部を曲面として形成しても同様の作用を奏する。
子近傍の凹所を接続部３４、３４、３４、‥‥に設けた
孔３５により形成しているが、図７に示したように接続
部３４、３４、３４‥を、三角形状のジグザクのパター
ンに形成したり、図８に示したように唐草模様状のパタ
ーンに形成したり、また図９に示したように唐草模様の
一部を曲面として形成しても同様の作用を奏する。
【００２４】また上述の実施例においては、接続部３
４、３４、３４、‥‥に高分子流入用の凹部を形成して
いるが、図１０（イ）に示したように、ベース材３０を
接続部３４、３４、３４、‥‥よりも先端に突出させ、
圧電振動子９との間に導電層３１の厚み程度の間隙Ｇを
形成してもよい。
４、３４、３４、‥‥に高分子流入用の凹部を形成して
いるが、図１０（イ）に示したように、ベース材３０を
接続部３４、３４、３４、‥‥よりも先端に突出させ、
圧電振動子９との間に導電層３１の厚み程度の間隙Ｇを
形成してもよい。
【００２５】この実施例によれば、導電層３１が存在し
ない領域ではヒータツール４１による圧力が低いため、
図１０（ロ）に示した異方性導電膜４０の高分子材料が
十分に残留するから、高い強度での接着が可能となる。
ない領域ではヒータツール４１による圧力が低いため、
図１０（ロ）に示した異方性導電膜４０の高分子材料が
十分に残留するから、高い強度での接着が可能となる。
【００２６】なお、上述の実施例においては、異方性導
電部材としてフィルム状に成形されたものを使用してい
るが、熱溶着性高分子材料に導電性粒子を混練した異方
性導電ペースト剤を、接合領域に層状に塗布して同様の
手法により接着しても同様の作用を奏することは明らか
である。
電部材としてフィルム状に成形されたものを使用してい
るが、熱溶着性高分子材料に導電性粒子を混練した異方
性導電ペースト剤を、接合領域に層状に塗布して同様の
手法により接着しても同様の作用を奏することは明らか
である。
【００２７】
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。
例を示す組み立て斜視図である。
【図２】同上記録ヘッドの断面構造を示す図である。
【図３】同上記録ヘッドに使用するユニットの一実施例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上記録ヘッド
のフレキシブルケーブルの一実施例を示す平面図と、Ａ
−Ａ線における断面図である。
のフレキシブルケーブルの一実施例を示す平面図と、Ａ
−Ａ線における断面図である。
【図５】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上フレキシブ
ルケーブルの接続領域を拡大して示す上面図と断面図で
ある。
ルケーブルの接続領域を拡大して示す上面図と断面図で
ある。
【図６】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上フレキシブ
ケーブルと圧電振動子ユニットとの接合工程を示す図で
ある。
ケーブルと圧電振動子ユニットとの接合工程を示す図で
ある。
【図７】同上フレキシブルケーブルの他の実施例を、接
続領域を拡大して示す上面図である。
続領域を拡大して示す上面図である。
【図８】同上フレキシブルケーブルの他の実施例を、接
続領域を拡大して示す上面図である。
続領域を拡大して示す上面図である。
【図９】同上フレキシブルケーブルの他の実施例を、接
続領域を拡大して示す上面図である。
続領域を拡大して示す上面図である。
【図１０】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の他の
実施例を、フレキシブルケーブルと圧電振動子ユニット
との接合工程でもって示す図である。
実施例を、フレキシブルケーブルと圧電振動子ユニット
との接合工程でもって示す図である。
１ 流路ユニット
８ 振動子ユニット
９ 圧電振動子
１３ フレキシブルケーブル
２４ セグメント電極
２５ 共通電極
３０ ベース材
３１ 導電層
３２ 導電パターン
３４ 接続部
３５ 孔
４１ 異方性導電膜
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/045
B41J 2/055
Claims (20)
- 【請求項１】 ノズル開口とインク供給口を介してリザ
ーバに連通し、駆動用の圧電振動子により加圧される圧
力発生室を複数備え、前記圧電振動子の表面に形成され
た外部電極にフレキシブルケーブルの導電パターンを接
続して駆動信号を供給するインクジェット式記録ヘッド
において、 前記圧電振動子が固定基板に固定され、また前記フレキ
シブルケーブルが、ベース材に導電層形成材を積層して
形成された前記導電パターンを備えるとともに、前記導
電パターンの先端領域に前記圧電振動子の外部電極の配
列ピッチに一致し、かつ前記ベース材に支持され、かつ
前記外部電極と対向する領域に空間を形成するための凹
所を有する接続部を備え、前記接続部と前記圧電振動子
の前記外部電極との間に異方性導電部材を介して前記フ
レキシブルケーブルが前記異方性導電部材を構成する導
電性粒子により導電接続され、また前記接続部近傍の凹
所に流入した前記異方性導電部材を構成する高分子接合
剤により前記フレキシブルケーブルと前記圧電振動子と
が機械的にも接合されているインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項２】 前記異方性導電部材がフィルム材、また
はペースト剤により構成されている請求項１に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記圧電振動子と前記フレキシブルケー
ブルとの接続領域が、前記圧電振動子の前記固定基板と
対向する表面である請求項１に記載のインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記凹所が、前記接続部に形成された孔
により形成されている請求項１に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記孔が、前記導電パターンをハーフエ
ッチングすることにより形成されている請求項４に記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記凹所が、前記接続部をジグザグ状に
形成して構成されている請求項１に記載のインクジェッ
ト式記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記凹所が、前記ベース材を前記接続部
よりも先端側に突出させることによっても形成されてい
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記圧電振動子が一定のピッチで複数
個、その非振動領域を前記固定基板に固定されている請
求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記フレキシブルケーブルが、前記圧電
振動子の非振動領域で前記圧電振動子を、前記圧電振動
子の間に流れ込んだ高分子接合剤により相互接続してい
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記圧電振動子が、圧電材料と導電材
料とを複数積層することにより構成されている請求項１
に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１１】 圧電振動子が固定基板に固定されてフ
レキシブルケーブルにより駆動信号の供給を受ける圧電
振動子ユニットにおいて、 前記フレキシブルケーブルが、ベース材に導電層形成材
を積層して形成された前記導電パターンを備えるととも
に、前記導電パターンの先端領域に前記圧電振動子の外
部電極の配列ピッチに一致し、かつ前記ベース材に支持
され、かつ前記外部電極と対向する領域に空間を形成す
るための凹所を有する接続部を備え、前記接続部と前記
圧電振動子の前記外部電極との間に異方性導電部材を介
して前記フレキシブルケーブルが前記異方性導電部材を
構成する導電性粒子により導電接続され、また前記接続
部近傍の凹所に流入した前記異方性導電部材を構成する
高分子接合剤により前記フレキシブルケーブルと前記圧
電振動子とが機械的にも接合されている圧電振動子ユニ
ット。 - 【請求項１２】 前記異方性導電部材がフィルム材、ま
たはペースト剤により構成されている請求項１１に記載
の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１３】 前記圧電振動子と前記フレキシブルケ
ーブルとの接続領域が、前記圧電振動子の前記固定基板
と対向する表面である請求項１１に記載の圧電振動子ユ
ニット。 - 【請求項１４】 前記凹所が、前記接続部に形成された
孔により形成されている請求項１１に記載の圧電振動子
ユニット。 - 【請求項１５】 前記孔が、前記導電パターンをハーフ
エッチングすることにより形成されている請求項１４に
記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１６】 前記凹所が、前記接続部をジグザグ状
に形成して構成されている請求項１１に記載の圧電振動
子ユニット。 - 【請求項１７】 前記凹所が、前記ベース材を前記接続
部よりも先端側に突出させることによっても形成されて
いる請求項１１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１８】 前記圧電振動子が一定のピッチで複数
個、その非振動領域を前記固定基板に固定されている請
求項１１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項１９】 前記フレキシブルケーブルが、前記圧
電振動子の非振動領域で前記圧電振動子を、前記圧電振
動子の間に流れ込んだ高分子接合剤により相互接続して
いる請求項１１に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項２０】 前記圧電振動子が、圧電材料と導電材
料とを複数積層することにより構成されている請求項１
１に記載の圧電振動子ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28229898A JP3528908B2 (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | インクジェット式記録ヘッド、及び前記記録ヘッドに適した圧電振動子ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28229898A JP3528908B2 (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | インクジェット式記録ヘッド、及び前記記録ヘッドに適した圧電振動子ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000108346A JP2000108346A (ja) | 2000-04-18 |
| JP3528908B2 true JP3528908B2 (ja) | 2004-05-24 |
Family
ID=17650610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28229898A Expired - Lifetime JP3528908B2 (ja) | 1998-10-05 | 1998-10-05 | インクジェット式記録ヘッド、及び前記記録ヘッドに適した圧電振動子ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3528908B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4362996B2 (ja) * | 2001-08-22 | 2009-11-11 | 富士ゼロックス株式会社 | 格子状配列構造の圧電／電歪アクチュエータ及びその製造方法 |
| JP5668898B2 (ja) * | 2012-12-19 | 2015-02-12 | 株式会社村田製作所 | 圧電トランス装置 |
| EP4052910A4 (en) * | 2019-10-30 | 2023-11-15 | Kyocera Corporation | LIQUID DISCHARGE HEAD AND RECORDING DEVICE |
-
1998
- 1998-10-05 JP JP28229898A patent/JP3528908B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000108346A (ja) | 2000-04-18 |
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