JP3567989B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
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【発明の属する技術の分野】
本発明は、圧力発生室の一方の面を振動板で封止し、この振動板を縦振動モードの圧電振動子により圧力発生室を膨張、収縮させてノズル開口からインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、特許文献1に示されたような縦振動モードの圧電振動子をインクジェット式記録ヘッドの駆動に使用すると、圧電振動子と振動板との当接面積を極めて小さくできるため、1ユニット当たり180DPI以上の解像度を実現できる。
【0003】
縦振動モードの圧電振動子Aは、図8に示したように一方の極となる内部電極Bと、他方の極となる内部電極Cとを圧電材料Dを介してサンドイッチ状に積層し、一方の内部電極Bを先端側に、また他方の内部電極Cを後端側に露出させて、各端面でセグメント電極E、及び共通電極Fに接続した圧電定数d31のものとして構成され、固定基板Gに一定のピッチで配列、固定して構成され、セグメント電極Eと共通電極FとにフレキシブルケーブルHの導電パターンを接続して外部駆動回路からの信号を供給するように構成されている。
【特許文献1】特開平5−104715号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
後端側に形成される共通電極Fは、すべての圧電振動子Aの駆動電流が流れるため、これの抵抗を可及的に小さくする目的で、圧電振動子Aの上面、後端面、及び裏面の3面に導電層F1〜F3を形成し、後端側を一部残すように櫛歯状に歯割りして、導電路を確保するように構成されている。なお、図中符号Jは、圧電振動子Aによりインクの加圧を受けてインク滴を吐出する流路ユニットを示す。
このため、圧電振動子Aの先端面、後端面、及び表裏両面の4面に外部接続用の電極層を必要とし、これらの外部電極層は、インクに対する耐腐蝕性や半田付けの容易さを確保する目的で金が使用されている。このため、高速駆動を可能ならしめるため電極層の抵抗を下げるために電極層を厚く形成しようとすると、電極形成にコストが掛かるという問題がある。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは外部接続用の電極層を3面として、高価な電極材料の使用料を低減することができるインクジェット式記録ヘッドを提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために本発明においては、変位軸方向に延びる2つの極の内部電極を圧電材料を挟んで交互に積層され、一方の極となる前記内部電極が先端面に延び、また他方の極となる前記内部電極が後端面に延びて圧電定数d31を有する複数の圧電振動子を、その後端側を固定基板に固定し、また前記圧電振動子の前記先端面を圧力発生室の一部を構成する弾性板に当接させ、フレキシブルケーブルにより前記圧電振動子のそれぞれに駆動信号を供給して前記圧力発生室の容積を膨張、収縮させてノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記固定基板の少なくとも前記圧電振動子の固定面が導電性を有し、また前記圧電振動子の前記先端面、及び前記固定基板に接着されていない側の面に、隣接する前記圧電振動子と電気的に独立し、かつ前記フレキシブルケーブルに接続されるセグメント電極が形成され、また前記セグメント電極から一定の間隔をおいて前記固定基板に接着されていない側の面から前記圧電振動子の前記後端面に延びた共通電極が形成され、さらに前記共通電極と前記固定基板とが導電性接着手段により導通され、前記圧電振動子の列の少なくとも一端側の圧電振動子の固定基板に接着されていない面の前記共通電極と同一の面に、前記フレキシブルケーブルのアース用の導電パターンが接合されている。
【0006】
【作用】
圧電振動子の共通電極自体、及び導電性を有する固定基板とにより並列接続して電気抵抗を低減させて、圧電振動子に形成する共通電極を2面だけに形成することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1、図2は本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであって、流路ユニット1は、ノズル開口2を一定ピッチで穿設したノズルプレート3と、ノズル開口2に連通する圧力発生室4、これにインク供給口5を介してインクを供給するリザーバ6を備えた流路形成基板7と、圧電振動ユニット8の縦振動モードの各圧電振動子9の先端に当接して圧力発生室4の容積を膨張、縮小させる弾性板10とを一体に積層して構成されている。
【0008】
流路ユニット1は、高分子材料の射出成形等により構成されたホルダー11の開口面12に、また圧電振動ユニット8は外部からの駆動信号を伝達するフレキシブルケーブル13に接続された上で収容室14に収容され、それぞれのホルダ11との当接面を接着剤により固定され、ノズルプレート側にシールド材を兼ねる枠体15を挿入して記録ヘッドに構成されている。
【0009】
縦振動モードの圧電振動子9は、先端側から固定基板16との固定領域の手前まで延びる一方の極となる内部電極21と、先端近傍から後端まで延びる他方の極となる内部電極22とを圧電材料23を介してサンドイッチ状に積層し、一方の内部電極21を先端側で、また他方の内部電極22を後端側で露出させて、圧電定数d31のものとして構成されている。
【0010】
一方の内部電極21は、先端面から圧電振動子9の中央近傍まで導電層を形成してなるセグメント電極24に、また他方の内部電極22は、後端面から圧電振動子9の中央部で、かつセグメント電極24の後端側と一定の間隔25を有するように導電層を形成してなる共通電極26に接続されている。
【0011】
一方、固定基板16は、導電性材料、たとえば不錆鋼や、セラミックスの表面に金属層を形成して構成され、これの表面に圧電振動子9を圧力発生室4の配列ピッチに一致させて固定するとともに、圧電振動子9の共通電極26の後端面26aと導電性接着剤や、半田ペーストの導電接合部27により導電的に接続されている。
【0012】
そして、これら圧電振動子9の列の少なくとも一端側には、図3、図4に示したように圧電振動子9と同様に構成、つまり先端側から固定基板16との固定領域の手前まで延びる一方の極となる内部電極21と、先端近傍から後端まで延びる他方の極となる内部電極22とを圧電材料23を介してサンドイッチ状に積層し、一方の内部電極21を先端側で、また他方の内部電極22を後端側で露出させ、さらに内部電極21は、先端面から圧電振動子9の中央近傍まで導電層を形成してなるセグメント電極24に、また他方の内部電極22は、後端面から圧電振動子9の中央部で、かつセグメント電極24の後端側と一定の間隔25を有するように導電層を形成してなる共通電極26に接続し、圧電振動子9よりも若干幅広に形成されたダミー圧電振動子9’が固定されている。
【0013】
振動子ユニット8の各圧電振動子9のセグメント電極24、共通電極26は、半田層28、29を介してフレキシブルケーブル13の導電パターンに接続されている。
【0014】
フレキシブルケーブル13は、図5に示したように振動子ユニット8の両端のダミーの圧電振動子9’、9’の幅に一致するアース用の導電パターン31、31と、圧電振動子9、9、9‥‥のセグメント電極24に対応する駆動信号供給用の導電パターン32、32、32、‥‥をベース材33に形成して構成されている。
【0015】
この実施例において、フレキシブルケーブル13を介して外部駆動回路から駆動信号を供給すると、インク滴を吐出させるべき圧電振動子9は、フレキシブルケーブル13の導電パターン32、及びセグメント電極24を介して一方の極となる内部電極21に、またアース用導電パターン31、固定基板16、及び共通電極26を介して他方の極となる内部電極22に駆動信号を受け、圧電定数D31による変位によりノズル開口2からインク滴を吐出させる。
【0016】
このように、各圧電振動子9は、その共通電極26が半田ペーストの導電接合部27により導電性を有する固定基板16に接合されて並列に接続されているため、小さな抵抗でフレキシブルケーブル16のアース用導電パターンに接続することになる。
【0017】
次に上述の圧電振動子ユニット8の製造方法を図6、7に基づいて説明する。先端から活性領域の終端側まで延びる一方の極となる内部電極となる導電材料41と、後端から先端近傍まで延びる他方の極となる内部電極となる導電材料42を、圧電材料43をはさみながら積層し、乾燥後に焼成して形成された圧電振動板44、44を2枚を用意する(図6(I))。
【0018】
この圧電振動板44、44を2枚重ね合わせ、露出している表面と裏面の、セグメント電極と共通電極との境界領域にマスク材45、45を固定し(図4(II))、全周に外部接続用電極形成材料を蒸着して電極層46、47を形成する(図4(III))。
【0019】
蒸着が終了した段階で、2枚の圧電振動板44、44を分離し、またマスク材45、45を除去すると、先端面、後端面、及び一方の表面の3面にだけ導電層が形成された2枚の圧電振動板50、50を得ることができる(図4(IV))。
【0020】
他方の内部電極52だけが形成された領域、つまり不活性領域を、金属や、固定面に導電層が形成された固定基板53を位置決めして(図7(I))に接着剤で固定し、圧電振動板50の端面50aと固定基板53とを導電性接着剤、または半田ペースト54により導電接続する。
【0021】
ついで、ダイシングソウやワイヤソウの切断具55により、自由端側の先端から少なくともセグメント電極となる導電層46と導電材料41の後端側までスリット56、56、56、‥‥を形成し、圧電振動子9としての振動領域と、セグメント電極となる領域を櫛歯状に切分けると、圧電振動子ユニットが完成する。
【0022】
なお、スリット56、56、56、‥‥を形成する際、両端部を若干幅広に切り出して振動関与しない若干幅広なダミーの圧電振動子9’、9’を形成し、また導電層47を連続した状態で残すと、共通電極の電気抵抗を下げるのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施例を示す組み立て斜視図である。
【図2】同上装置の断面構造を示す図である。
【図3】同上記録ヘッドのダミーの圧電振動子とフレキシブルケーブルの接続構造を示す断面図である。
【図4】図(イ)、(ロ)は、それぞれ同上記録ヘッドに用いる圧電振動ユニットの一実施例を示す斜視図である。
【図5】フレキシブルケーブルの一実施例を示す図である。
【図6】図(I)乃至(IV)は、それぞれ同上記録ヘッドに用いる振動子ユニットの製造工程の内、電極形成工程を示す図である。
【図7】図(I)乃至(III)は、それぞれ同上記録ヘッドに用いる振動子ユニットの製造工程の内、分割工程までを示す図である。
【図8】圧電定数d31の圧電振動子を使用した従来のインクジェット式記録ヘッドの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 流路ユニット 8 振動子ユニット 9 圧電振動子 9’ ダミーの圧電振動子 13 フレキシブルケーブル 16 固定基板 24 セグメント電極 26 共通電極 27 導電接合部27
Claims (7)
- 変位軸方向に延びる2つの極の内部電極を圧電材料を挟んで交互に積層され、一方の極となる前記内部電極が先端面に延び、また他方の極となる前記内部電極が後端面に延びて圧電定数d31を有する複数の圧電振動子を、その後端側を固定基板に固定し、また前記圧電振動子の前記先端面を圧力発生室の一部を構成する弾性板に当接させ、フレキシブルケーブルにより前記圧電振動子のそれぞれに駆動信号を供給して前記圧力発生室の容積を膨張、収縮させてノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記固定基板の少なくとも前記圧電振動子の固定面が導電性を有し、また前記圧電振動子の前記先端面、及び前記固定基板に接着されていない側の面に、隣接する前記圧電振動子と電気的に独立し、かつ前記フレキシブルケーブルに接続されるセグメント電極が形成され、また前記セグメント電極から一定の間隔をおいて前記固定基板に接着されていない側の面から前記圧電振動子の前記後端面に延びた共通電極が形成され、さらに前記共通電極と前記固定基板とが導電性接着手段により導通され、
前記圧電振動子の列の少なくとも一端側の圧電振動子の固定基板に接着されていない面の前記共通電極と同一の面に、前記フレキシブルケーブルのアース用の導電パターンが接合されているインクジェット式記録ヘッド。 - 前記内部電極の一方が前記圧電振動子の先端面に露出し、前記内部電極の他方が前記圧電振動子の後端面に露出している請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記導電性接着手段が、半田ペーストである請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記導電性接着手段が、導電性接着剤である請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記固定基板が、防錆鋼により形成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記固定基板が、セラミックの表面に金属層を形成して構成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記圧電振動子の列の少なくとも一端側に振動しないダミー振動子が形成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
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