JP2010228293A - アクチュエーター、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】適正な振動特性を有し、断線による故障の少ないアクチュエーター、液滴の噴射
特性の良好な液体噴射ヘッドおよび画質の低下の少ない液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】共通内部電極１７、個別内部電極１６、圧電材料層１５、個別外部電極２２
および共通外部電極２１で形成される回路の抵抗のうち、共通外部電極２１に設けられた
外部接続部２６と最も近い共通内部電極１７との間の接続領域２１１に、低抵抗部２１ａ
を備えている。接続領域２１１の抵抗は、回路の直列抵抗部分に相当し、その抵抗値の大
きさの回路全体の抵抗値への寄与が大きい。したがって、回路中に抵抗値の大きい部分を
少なくでき、回路全体の抵抗値を下げることができ、電極部分の発熱による断線の少ない
、適正な振動特性を有するアクチュエーター１０を得ることができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、圧電素子に電圧を印加することによって変位するアクチュエーター、それを
用いた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。

液体としてのインク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構
成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口
からインク滴を吐出させる液体噴射ヘッドおよびそれを備えた液体噴射装置が知られてい
る。
液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッドとして、例えば、圧電素子の軸方
向に伸長、収縮する縦振動モードのアクチュエーターを使用したものが知られている。
このような縦振動モードのアクチュエーターとしては、共通内部電極と個別内部電極と
で圧電材料層を挟んで積層して形成された積層型の圧電素子が複数形成された圧電素子形
成部材を有し、圧電素子形成部材が固定基板に接合されているものが知られている。
圧電素子形成部材の表面には、個別外部電極と共通外部電極とが形成され、個別外部電
極は、圧電素子の先端側面部に露出された個別内部電極に接続される。また、共通外部電
極は、固定基板側面部に露出された共通内部電極に接続される（例えば、特許文献１参照
）。

特開２００４−３２７４６２号公報（８頁および９頁、図１および図２）

共通内部電極、個別内部電極、圧電材料層、個別外部電極および共通外部電極で形成さ
れる回路の抵抗は、各電極の抵抗値に依存する。
回路全体または回路の一部の抵抗値が高い場合、高周波で圧電素子を駆動すると、電気
相互干渉の影響が増加し、適正な振動特性が得られない。
また、抵抗値の高い電極部分が発熱し、断線が生じてアクチュエーターの故障を招く虞
がある。
さらに、抵抗値が高い回路を有するアクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドでは、液
滴の噴射特性に異常をきたし、このような液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置では、画
質の低下を招く虞があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料層を挟んで積層される圧電素子形成部材の一
端部側から他端部側に向う複数のスリットにより形成された複数の圧電素子と、前記一端
部側の端面において前記個別内部電極と接続される個別外部電極と、前記他端部側の端面
において前記共通内部電極と接続される共通外部電極と、前記共通外部電極に設けられ、
配線と接続される外部接続部と、前記外部接続部と前記共通内部電極との間の前記共通外
部電極の一部に設けられ、前記共通外部電極の他部より電気抵抗が小さい低抵抗部と、を
備えることを特徴とするアクチュエーター。

この適用例によれば、共通内部電極、個別内部電極、圧電材料層、個別外部電極および
共通外部電極で形成される回路の抵抗のうち、共通外部電極に設けられた外部接続部と共
通内部電極との間の共通外部電極の一部に、共通外部電極の他部より電気抵抗が小さい低
抵抗部を備えている。共通外部電極に設けられた外部接続部と共通内部電極との間の共通
外部電極の抵抗は、回路の直列抵抗部分に相当し、その抵抗値の大きさの回路全体の抵抗
値への寄与が大きい。したがって、回路中に抵抗値の大きい部分が少なくなり、回路全体
の抵抗値も下がり、電極部分の発熱による断線の少ない、適正な振動特性を有するアクチ
ュエーターが得られる。

［適用例２］
上記アクチュエーターにおいて、前記共通外部電極は、少なくとも前記他端部側の両角
部の近傍領域に、前記他端部側の端面から連続的に形成され、前記外部接続部は、前記両
角部の近傍領域に設けられ、前記低抵抗部は、前記他端部側の端面に形成された前記共通
外部電極に設けられていることを特徴とするアクチュエーター。
この適用例では、共通外部電極が他端部側の両角部の近傍領域と他端部側の端面との間
で連続的に形成されることにより、形成面の違いにより他端部側の端面に形成された共通
外部電極の抵抗値が大きくなっても、他端部側の端面に形成された共通外部電極に低抵抗
部を備えている。したがって、前述の効果を有するアクチュエーターが得られる。

［適用例３］
上記アクチュエーターにおいて、前記共通外部電極は、蒸着またはスパッタによって形
成されていることを特徴とするアクチュエーター。
この適用例では、蒸着、スパッタ方向に対する被蒸着、スパッタ面の傾きによって、他
端部側の両角部の近傍領域と他端部側の端面との間の共通外部電極の抵抗値が異なる場合
でも、接続領域に低抵抗部を備えている。したがって、前述の効果を有するアクチュエー
ターが得られる。

［適用例４］
上記アクチュエーターにおいて、前記低抵抗部は、前記外部接続部と前記共通内部電極
との間の前記共通外部電極の膜厚を、前記他部の前記他端部側の端面に形成された前記共
通外部電極の膜厚より厚くして設けられていることを特徴とするアクチュエーター。
この適用例では、共通外部電極の外部接続部と共通内部電極との間の膜厚を厚くするこ
とにより、外部接続部と共通内部電極との間の電子の通過量が増え、外部接続部と共通内
部電極との間の抵抗値が下がる。したがって、前述の効果を有するアクチュエーターが得
られる。

［適用例５］
上記アクチュエーターにおいて、前記低抵抗部は、前記共通外部電極と比較して低抵抗
の層によって設けられていることを特徴とするアクチュエーター。
この適用例では、共通外部電極の外部接続部と共通内部電極との間に共通外部電極と比
較して低抵抗の層を用いることにより、外部接続部と共通内部電極との間の抵抗値が下が
る。したがって、前述の効果を有するアクチュエーターが得られる。

［適用例６］
上記アクチュエーターにおいて、前記低抵抗部は、導電ペーストを前記共通外部電極に
塗布することによって設けられていることを特徴とするアクチュエーター。
この適用例では、導電ペーストを共通外部電極に塗布するだけで低抵抗部が得られる。
したがって、簡便で製造コストを抑えた前述の効果を有するアクチュエーターが得られる
。

［適用例７］
上記アクチュエーターにおいて、前記導電ペーストは、常温乾燥または常温接着タイプ
の銀ペーストであることを特徴とするアクチュエーター。
この適用例では、導電ペーストに常温乾燥または常温接着タイプの銀ペーストを用いる
ことにより、加熱することなく、より簡便で製造コストをより抑えた前述の効果を有する
アクチュエーターが得られる。

［適用例８］
上記アクチュエーターを備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。

この適用例によれば、前述の効果を有する液体噴射ヘッドが得られる。

［適用例９］
上記の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。

この適用例によれば、前述の効果を有する液体噴射装置が得られる。

記録装置を示す概略斜視図。 記録ヘッドの（ａ）は概略断面図、（ｂ）は概略部分平面図。 アクチュエーターの圧電素子側から見た概略斜視図。 アクチュエーターの共通電極側から見た概略斜視図。 （ａ）はアクチュエーターの概略平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ概略断面図。 図５の端面のエッジ部におけるＢ−Ｂ拡大概略部分断面図。 変形例１における端面のエッジ部における図５（ａ）のＢ−Ｂ拡大概略部分断面図。 変形例２における端面のエッジ部における図５（ａ）のＢ−Ｂ拡大概略部分断面図。

以下、実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図１は、実施形態における液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置（以下「記
録装置」という）１００を示す概略斜視図である。
図１において、記録装置１００は、キャリッジ１０１を有し、このキャリッジ１０１は
キャリッジモーター１０２により駆動されるタイミングベルト１０３を介し、ガイド部材
１０４に案内されてプラテン１０５の軸方向に往復移動されるように構成されている。

図１のキャリッジ１０１の記録用紙２００に対向する側には、後述する流体噴射ヘッド
である例えば、インクジェット式記録ヘッド（以下「記録ヘッド」という）３００が搭載
され、その上部には、記録ヘッド３００に液体である、例えば、インクを供給するブラッ
クインクカートリッジ１０６およびカラー用インクカートリッジ１０７が着脱可能に装填
されている。
そして、図１の記録用紙２００は、印字等領域Ｐに配置されて、記録ヘッド３００によ
ってインクが吐出され、印字等される構成となっている。

また、図１に示すように、記録用紙２００が配置されない非印字等領域である例えば、
ホームポジションＨには、キャップ部材や吸引手段等を有するクリーニング手段である例
えば、キャッピング手段１２０、吸引ポンプ１３０、そしてワイピング部材１４０が配置
されている。

図２は、記録ヘッド３００の概略図である。図２（ａ）は概略断面図、図２（ｂ）は概
略部分平面図である。
図２において、記録ヘッド３００は、アクチュエーター１０と、流路形成基板６０と、
振動板６５と、ノズル開口６６が形成されたノズル形成基板６７と、ヘッドケース６８と
を備えている。

アクチュエーター１０は、複数の圧電素子１１と、圧電素子形成部材１３と、固定基板
１４と、共通外部電極２１と、個別外部電極２２とを備えている。
以下に、アクチュエーター１０について詳しく説明する。
図３に、アクチュエーター１０の圧電素子１１側から見た概略斜視図を、図４に共通外
部電極２１側から見た概略斜視図を、図５（ａ）に概略平面図、図５（ｂ）に（ａ）のＡ
−Ａ概略断面図を示した。

図３、図４および図５において、アクチュエーター１０は、複数の圧電素子１１がその
幅方向に並設された列１２を有する圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の一
端部である先端部１３１が自由端となるように、他端部である基端部１３２が接合される
固定基板１４とを備えている。

図５において、圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、圧電素子１１の２つの極
を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別電極を構
成する個別内部電極１６と、隣接する圧電素子１１と電気的に共通する共通電極を構成す
る共通内部電極１７とを交互に挟んで積層することにより形成されている。

この圧電素子形成部材１３には、例えば、ワイヤソー等によって複数のスリット１８が
形成され、その先端部１３１側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１の列１２が形成さ
れている。なお、圧電素子１１の列１２の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有
する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、アクチュエーター１０を
、図２に示した記録ヘッド３００に組み込む際に、アクチュエーター１０を高精度に位置
決めするために設けられている。

ここで、各圧電素子１１の個別電極となる個別内部電極１６は、基本的には圧電素子形
成部材１３の略全面に亘って設けられているが、固定基板１４の端面１４ａ近傍に対向す
る領域で基端部１３２側１６ａと先端部１３１側１６ｂとに分離して設けられている。
一方、共通電極となる共通内部電極１７も基本的に圧電素子形成部材１３の略全面に亘
って設けられているが、個別内部電極１６と同様に、圧電素子１１の先端部１３１近傍で
分離されている。すなわち、圧電素子１１の固定基板１４に接合される領域は、振動に寄
与しない不活性領域となっており、圧電素子１１を構成する個別内部電極１６及び共通内
部電極１７間に電圧を印加すると、固定基板１４に接合されていない先端部１３１側の領
域のみが振動する。

この圧電素子形成部材１３の一方側の表面、例えば、本実施形態では、固定基板１４に
固定された面１３３とは反対側の表面１３４、基端部１３２側の端面１３ａおよび先端部
１３１側の端面１３ｂには、共通内部電極１７に接続される共通外部電極２１と、個別内
部電極１６に接続される個別外部電極２２とがそれぞれ電気的に独立して設けられている
。
共通外部電極２１は、圧電素子形成部材１３の基端部１３２の表面１３４の両角部１３
５近傍領域と基端部１３２側の端面１３ａとに連続的して設けられている。

共通外部電極２１は、端面１３ａで以下のように形成されている。
圧電素子形成部材１３の長手方向である幅方向の端面１３ａの両側面近傍で且つ厚さ方
向に亘った共通電極非形成部２３を除いて形成されている。そして、共通外部電極２１が
、圧電素子形成部材１３の端面１３ａに露出している共通内部電極１７と接続されている
。
なお、この共通電極非形成部２３の幅は、圧電素子形成部材１３表面の両角部１３５に
形成された共通外部電極２１の幅よりも狭くなるように形成され、共通外部電極２１が、
圧電素子形成部材１３の端面１３ａから表面１３４まで連続的に設けられている。ここで
、共通外部電極２１は、圧電素子形成部材１３の端面１３ａ全面に設けられていてもよい
。

低抵抗部２１ａが共通外部電極２１の外部接続部２６と共通内部電極１７との間の接続
領域２１１に設けられている。
図６に、図５の端面１３ａのエッジ部１３ｅにおけるＢ−Ｂ拡大概略部分断面図を示し
た。

共通外部電極２１は、多層から構成されている。圧電素子形成部材１３の端面１３ａお
よび表面１３４から順に、クロム層２１ｂ、銅層２１ｃ、ニッケルクロム層２１ｄ、金層
２１ｅが形成されている。クロム層２１ｂ、金層２１ｅは０．１μｍ程度、銅層２１ｃ、
ニッケルクロム層２１ｄは、０．５μｍ程度である。
共通外部電極２１は、単層であってもよいし、これらの層構成、膜厚に限らない。
図６において、低抵抗部２１ａは、接続領域２１１の少なくとも一部に導電ペーストで
ある銀ペーストを塗布することによって設けられている。
図では、低抵抗部２１ａは、共通外部電極２１の外部接続部２６と共通内部電極１７と
の間の層の厚みが薄い部分に設けられている。なお、低抵抗部２１ａは、接続領域２１１
を含んで、広い範囲にわたって設けられていてもよい。

一方、個別外部電極２２は、先端部１３１側の端面１３ｂから圧電素子形成部材１３の
表面１３４にかけて連続的に形成されている。表面１３４では、スリット１８の形成方向
に、圧電素子形成部材１３の表面１３４の両角部１３５近傍領域に形成されている共通外
部電極２１の間の領域の一部に重なるまで形成されている。
また、個別外部電極２２の基端部１３２側には、このような外部電極が形成されていな
い電極非形成部２４を有する。

図２において、流路形成基板６０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表
層部分には、複数の隔壁６１によって画成された圧力発生室６２がその幅方向に並設され
ている。また、各圧力発生室６２の長手方向一端部側には、各圧力発生室６２にインクを
供給するためのリザーバ６３がインク供給口６４を介して連通されている。また、流路形
成基板６０の圧力発生室６２の開口面側は振動板６５で封止され、他方面側にはノズル開
口６６が穿設されたノズル形成基板６７が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されてい
る。

振動板６５上には、図１に示したブラックインクカートリッジ１０６およびカラー用イ
ンクカートリッジ１０７に接続されるインク供給路を有するヘッドケース６８が固定され
ており、且つこのヘッドケース６８には、アクチュエーター１０が、固定基板１４によっ
て高精度に位置決めされて固定されている。すなわち、圧電素子１１の先端が振動板６５
上の各圧力発生室６２に対応する領域に設けられた各アイランド部６９に当接されて固定
されている。

アクチュエーター１０には、駆動電極５１上に駆動ＩＣ５２が搭載されたＴＡＢテープ
等の駆動配線５０が、例えば、半田、異方性導電剤等によって各個別外部電極２２及び共
通外部電極２１の外部接続部２６に接続されている。
外部接続部２６と駆動電極５１とが接続される領域以外は、絶縁層５３で絶縁されてい
る。

このように構成された記録ヘッド３００では、ブラックインクカートリッジ１０６およ
びカラー用インクカートリッジ１０７に連通されるインク供給路を介してリザーバ６３に
インクが供給され、インク供給口６４を介して各圧力発生室６２に分配される。
具体的には、アクチュエーター１０に電圧を印加することによりアクチュエーター１０
を収縮させる。これにより、振動板６５がアクチュエーター１０と共に引き上げられて圧
力発生室６２の容積が広げられ、圧力発生室６２内にインクが引き込まれる。そして、ノ
ズル開口６６に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、ア
クチュエーター１０に印加していた電圧を解除すると、アクチュエーター１０が伸長され
て元の状態に戻る。これにより、振動板６５も変位して元の状態に戻るため圧力発生室６
２が収縮され、内部圧力が高まりノズル開口６６からインク滴が吐出される。

以下に、アクチュエーター１０の形成方法について説明する。
まず、一方側の表面に、共通外部電極２１を有すると共に、一体的に設けられて後述す
る工程で圧電素子毎に切り分けられる個別外部電極２２を有する圧電素子形成部材１３を
形成する。
例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料層１５と個別内部電極１６及び
共通内部電極１７とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層して圧電素子形成部材１３を形
成する。その後、積層形成した圧電素子形成部材１３の表面に共通外部電極２１を形成す
ると共に、個別外部電極２２を一体的に形成する。

共通外部電極２１および個別外部電極２２は、圧電材料層１５上に、例えば、ステンレ
ス鋼（ＳＵＳ）等からなる所定形状のマスク部材を配置して、圧電素子形成部材１３の表
面に金属材料等の導電材料を蒸着、スパッタすることによって形成する。
図６において、クロム層２１ｂ、銅層２１ｃ、ニッケルクロム層２１ｄ、金層２１ｅを
蒸着、あるいはスパッタによって形成する。これにより、圧電素子形成部材１３表面のマ
スク部材で覆われていない領域、すなわち、圧電素子形成部材１３の基端部側の端面１３
ａからその表面の両角部近傍領域まで連続的に共通外部電極２１が形成される。

ここで、図６には、蒸着、スパッタ物質の進む方向の一例を白抜き矢印で示した。
蒸着、スパッタ方向に対する被蒸着、スパッタ面の傾きによって、蒸着、スパッタ層の
厚さが異なる。例えば、外部接続部２６の共通外部電極２１の厚さＷ２と端面１３ａの共
通外部電極２１の厚さＷ１とは異なり、Ｗ１がＷ２と比較して薄い。
低抵抗部２１ａは、共通外部電極２１の厚さＷ１の領域の一部で、共通内部電極１７ま
での接続領域２１１に設けられている。

図３〜図５において、圧電素子形成部材１３の先端部１３１側の端面１３ｂから共通外
部電極２１の間の領域に個別外部電極２２が共通外部電極２１とは独立して形成される。
また、これら共通外部電極２１と個別外部電極２２とは、電気的にも独立して形成される
。共通外部電極２１と圧電素子形成部材１３の基端部１３２側の端面１３ａとの間は、マ
スク部材で覆われているため共通外部電極２１及び個別外部電極２２が存在しない電極非
形成部２４となる。

このように共通外部電極２１及び個別外部電極２２を形成した後は、圧電素子形成部材
１３の基端部１３２側の面１３３に固定基板１４を接合する。これにより、アクチュエー
ター１０が形成される。なお、この固定基板１４は、特性の問題から比重が重く且つ硬い
材料、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）又はタングステン合金等の金属を用いることが好
ましい。

アクチュエーター１０は、共通外部電極２１と一体的に形成された個別外部電極２２と
が電気的に独立して設けられているため、この段階で、共通外部電極２１と個別外部電極
２２との絶縁不良、あるいは静電容量等の検査を行うことができる。すなわち、個別外部
電極２２を圧電素子１１毎に分割する前にこれらの検査を行うことができるため、検査工
程を著しく簡略化でき検査効率を向上することができる。
また、良品のアクチュエーター１０を形成することができるため、歩留まりが著しく向
上する。なお、本実施形態では、圧電素子形成部材１３に固定基板１４を接合してアクチ
ュエーター１０とし、その後、所定の検査を行うようにしたが、勿論、圧電素子形成部材
１３に固定基板１４を接合する前にこれらの検査を行うようにしてもよいことは言うまで
もない。

このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）共通内部電極１７、個別内部電極１６、圧電材料層１５、個別外部電極２２およ
び共通外部電極２１で形成される回路の抵抗のうち、共通外部電極２１に設けられた外部
接続部２６と最も近い共通内部電極１７との間の接続領域２１１に、低抵抗部２１ａを備
えている。接続領域２１１の抵抗は、回路の直列抵抗部分に相当し、その抵抗値の大きさ
の回路全体の抵抗値への寄与が大きい。したがって、回路中に抵抗値の大きい部分を少な
くでき、回路全体の抵抗値を下げることができ、電極部分の発熱による断線の少ない、適
正な振動特性を有するアクチュエーター１０を得ることができる。

（２）共通外部電極２１が基端部１３２側の両角部１３５の近傍領域と基端部１３２側
の端面１３ａとの間で連続的に形成されることにより、形成面の違いにより基端部１３２
側の端面１３ａに形成された共通外部電極２１の抵抗値が大きくなっても、基端部１３２
側の端面１３ａに形成された共通外部電極２１に低抵抗部２１ａを備えている。したがっ
て、回路中の抵抗値の大きい部分を少なくでき、回路全体の抵抗値を下げることができ、
電極部分の発熱による断線の少ない、適正な振動特性を有するアクチュエーター１０を得
ることができる。

（３）蒸着、スパッタ方向に対する被蒸着、スパッタ面の傾きによって、基端部１３２
側の両角部１３５の近傍領域と基端部１３２側の端面１３ａとの間の共通外部電極２１の
抵抗値が異なる場合でも、接続領域２１１に低抵抗部２１ａを備えている。したがって、
前述の効果を有するアクチュエーター１０を得ることができる。

（４）導電ペーストを共通外部電極２１に塗布するだけで低抵抗部２１ａを得ることが
できる。したがって、簡便で製造コストを抑えた前述の効果を有するアクチュエーター１
０を得ることができる。

（５）導電ペーストに常温乾燥または常温接着タイプの銀ペーストを用いることにより
、加熱することなく、より簡便で製造コストをより抑えた前述の効果を有するアクチュエ
ーター１０を得ることができる。

（６）前述の効果を有する記録ヘッド３００を得ることができる。

（７）前述の効果を有する記録装置１００を得ることができる。

低抵抗部２１ａは、共通外部電極２１の外部接続部２６と共通内部電極１７との間の接
続領域２１１の共通外部電極２１を厚く形成することによって設けてもよいし、別の層を
形成することによって設けてもよい。以下に、変形例を示す。

（変形例１）
共通外部電極２１の外部接続部２６と共通内部電極１７との間の共通外部電極２１を厚
くするには、蒸着、スパッタ源を移動させたり、圧電素子形成部材１３の傾きを変えたり
することによって行う。
図７に、圧電素子形成部材１３の傾きを変えて共通外部電極２１を形成した場合の端面
１３ａのエッジ部１３ｅにおける図５（ａ）のＢ−Ｂ拡大概略部分断面図を示した。
図７において、接続領域２１１の共通外部電極２１の膜厚Ｗ３は、共通外部電極２１の
外部接続部２６の膜厚Ｗ２と同程度である。共通外部電極２１の膜厚Ｗ３は、接続領域２
１１の一部が厚くてもよいし、接続領域２１１を含んで、広い領域で厚くてもよい。

（８）共通外部電極２１の接続領域２１１の膜厚を厚くすることにより、接続領域２１
１の電子の通過量を増やせ、接続領域２１１の抵抗値を下げることができる。したがって
、前述の効果を有するアクチュエーター１０を得ることができる。

（変形例２）
別の層を形成する例としては、共通外部電極２１の外部接続部２６と共通内部電極１７
との間の接続領域２１１の共通外部電極２１を金等の導電性のよい層ですべて置き換えて
もよい。
図８に、共通外部電極２１の接続領域２１１を金層２１ｅで置き換えて形成した場合の
端面１３ａのエッジ部１３ｅにおける図５（ａ）のＢ−Ｂ拡大概略部分断面図を示した。
図８において、接続領域２１１の部分を金層２１ｅで置き換えて低抵抗部２１ａを形成
している。金層２１ｅで置き換える領域は、接続領域２１１の一部であってもよいし、接
続領域２１１を含んで、広い領域であってもよい。

（９）共通外部電極２１の接続領域２１１に共通外部電極２１と比較して低抵抗の金層
２１ｅを用いることにより、接続領域２１１の抵抗値を下げることができる。したがって
、前述の効果を有するアクチュエーター１０を得ることができる。

上述した実施形態以外にも、種々の変更を行うことが可能である。
例えば、圧電素子形成部材１３表面に設けられる共通外部電極２１および個別外部電極
２２のパターンは、上述した実施形態に限定されるものではない。
また、スリット１８は、圧電素子形成部材１３の端面１３ａに達することなく形成され
ているが、スリット１８は、圧電素子形成部材１３の端面１３ａに達する長さで形成され
ていてもよい。圧電素子形成部材１３の端面１３ａには、両端部近傍以外の領域に共通外
部電極２１が形成されている。このため、圧電素子形成部材１３の端面１３ａに達するよ
うにスリット１８を形成し、積層されている共通内部電極１７の一部が圧電素子１１毎に
完全に分離されたとしても、分離された各共通内部電極１７は端面１３ａに設けられてい
る共通外部電極２１によって導通が確保される。

なお、実施形態では、個別外部電極２２を、圧電素子１１の列１２に対応する領域より
も若干広い領域に形成するようにしたため、位置決め部１９上の一部にも個別外部電極２
２が形成されている。このように、圧電素子１１の列１２の長さよりも広い領域に一体的
に個別外部電極２２を形成しておくことで、スリット１８の形成位置に多少の誤差が生じ
ても、個別外部電極２２を圧電素子１１毎に確実に分離して個別外部電極２２とすること
ができる。

また、実施形態では、圧電素子形成部材１３表面の個別外部電極２２の基端部１３２側
は、全ての領域が電極非形成部２４となっているが、これに限定されず、共通外部電極２
１が、基端部１３２に沿って設けられる電極層によって圧電素子形成部材１３表面に連続
的に設けられるようにしてもよい。
また、本実施形態では、共通外部電極２１が、圧電素子形成部材１３の基端部１３２側
の端面１３ａで共通内部電極１７と接続されるようにしたが、これに限定されず、例えば
、共通外部電極２１を圧電素子形成部材１３の幅方向両端面、すなわち、圧電素子形成部
材１３の両側面１３ｃ，１３ｄに連続的に設けるようにし、圧電素子形成部材１３の側面
１３ｃ，１３ｄで、共通外部電極２１と共通内部電極１７とが接続されるようにしてもよ
い。共通外部電極２１は、圧電素子形成部材１３の両側面１３ｃ，１３ｄと共に端面１３
ａに連続的に設けられていてもよい。

１０…アクチュエーター、１１…圧電素子、１３…圧電素子形成部材、１３ａ…他端部
側の端面、１３ｂ…一端部側の端面、１５…圧電材料層、１６，１６ａ，１６ｂ…個別内
部電極、１７…共通内部電極、１８…スリット、２１…共通外部電極、２１ａ…低抵抗部
、２２…個別外部電極、２６…外部接続部、１００…液体噴射装置としての記録装置、１
３１…一端部としての先端部、１３２…他端部としての基端部、１３５…両角部、２１１
…接続領域、３００…液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド。

Claims (9)

1. 個別内部電極と共通内部電極とが圧電材料層を挟んで積層される圧電素子形成部材の一
   端部側から他端部側に向う複数のスリットにより形成された複数の圧電素子と、
   前記一端部側の端面において前記個別内部電極と接続される個別外部電極と、
   前記他端部側の端面において前記共通内部電極と接続される共通外部電極と、
   前記共通外部電極に設けられ、配線と接続される外部接続部と、
   前記外部接続部と前記共通内部電極との間の前記共通外部電極の一部に設けられ、前記
   共通外部電極の他部より電気抵抗が小さい低抵抗部と、を備える
   ことを特徴とするアクチュエーター。
2. 請求項１に記載のアクチュエーターにおいて、
   前記共通外部電極は、少なくとも前記他端部側の両角部の近傍領域に、前記他端部側の
   端面から連続的に形成され、
   前記外部接続部は、前記両角部の近傍領域に設けられ、
   前記低抵抗部は、前記他端部側の端面に形成された前記共通外部電極に設けられている
   ことを特徴とするアクチュエーター。
3. 請求項１または請求項２に記載のアクチュエーターにおいて、
   前記共通外部電極は、蒸着またはスパッタによって形成されている
   ことを特徴とするアクチュエーター。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
   前記低抵抗部は、前記外部接続部と前記共通内部電極との間の前記共通外部電極の膜厚
   を、前記他部の前記他端部側の端面に形成された前記共通外部電極の膜厚より厚くして設
   けられている
   ことを特徴とするアクチュエーター。
5. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
   前記低抵抗部は、前記共通外部電極と比較して低抵抗の層によって設けられている
   ことを特徴とするアクチュエーター。
6. 請求項４または請求項５に記載のアクチュエーターにおいて、
   前記低抵抗部は、導電ペーストを前記共通外部電極に塗布することによって設けられて
   いる
   ことを特徴とするアクチュエーター。
7. 請求項６に記載のアクチュエーターにおいて、
   前記導電ペーストは、常温乾燥または常温接着タイプの銀ペーストである
   ことを特徴とするアクチュエーター。
8. 請求項１〜請求項７のいずれか一項に記載のアクチュエーターを備えた
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
9. 請求項８に記載の液体噴射ヘッドを備えた
   ことを特徴とする液体噴射装置。

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