JP2007216684A - スクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法及びインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法 - Google Patents

スクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法及びインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法 Download PDF

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Abstract

【課題】スクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法及びインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法を提供すること。
【解決手段】厚膜が形成される表面上に所定深さのガイド溝１２５を形成するステップと、ガイド溝１２５の内部にペースト状の物質をスクリーンプリンティングにより塗布することによって厚膜を形成するステップと、を含むスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法である。ガイド溝１２５は、厚膜と同じ平面形状を有するように形成され、ペースト状の物質は、ガイド溝１２５の幅より狭く塗布された後、平坦化されつつその幅がガイド溝１２５の幅と同じくなりうる。
【選択図】図２Ｅ

Description

本発明は、スクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法及びインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法に関し、特に、スクリーンプリンティングによってさらに均一な形状の厚膜を形成する方法及びその方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法に関する。
一般的に、インクジェットヘッドは、印刷用インクの微小な液滴を印刷媒体上の所望の位置に吐出させて所定色の画像に印刷する装置である。このようなインクジェットヘッドは、インク吐出方式によって２つに大別されうる。その一つは、熱源を利用してインクにバブルを発生させて、そのバブルの膨張力によりインクを吐出させる熱駆動方式のインクジェットヘッドであり、他の一つは、圧電体を使用して、その圧電体の変形によりインクに加えられる圧力によりインクを吐出させる圧電方式のインクジェットヘッドである。
図１Ａは、従来の圧電方式のインクジェットヘッドの一般的な構成を示す断面図であり、図１Ｂは、図１Ａに表示されたＡ−Ａ’線による断面図であって、従来のスクリーンプリンティングにより形成された圧電アクチュエータの形状を示す。
図１Ａ及び図１Ｂを共に参照すれば、インクジェットヘッドの流路プレート１０には、インク流路を構成するマニホルド１１、複数のリストリクター１２及び複数の圧力チャンバ１３が形成されている。前記流路プレート１０の上面には、圧電アクチュエータ４０の駆動により変形される振動板２０が接合されており、流路プレート１０の底面には、複数のノズル３１が形成されたノズルプレート３０が接合されている。一方、前記流路プレート１０と振動板２０とは一体に形成され、また、流路プレート１０とノズルプレート３０とも一体に形成されうる。
前記マニホルド１１は、図示されていないインク貯蔵庫から流入されたインクを複数の圧力チャンバ１３のそれぞれに供給する通路であり、リストリクター１２は、マニホルド１１から複数の圧力チャンバ１３の内部にインクが流入される通路である。前記複数の圧力チャンバ１３は、吐出されるインクが充填されるものであって、マニホルド１１の一側または両側に配列されている。前記複数のノズル３１は、ノズルプレート３０を貫通するように形成され、複数の圧力チャンバ１３のそれぞれに連結される。前記振動板２０は、複数の圧力チャンバ１３を覆うように流路プレート１０の上面に接合される。前記振動板２０は、圧電アクチュエータ４０の駆動により変形されつつ、複数の圧力チャンバ１３のそれぞれにインクの吐出のための圧力変化を提供する。前記圧電アクチュエータ４０は、振動板２０上に順次に積層された下部電極４１と、圧電膜４２と、上部電極４３とから構成される。下部電極４１は、振動板２０の全面に形成され、共通電極の役割を行う。圧電膜４２は、複数の圧力チャンバ１３のそれぞれの上部に位置するように下部電極４１上に形成される。上部電極４３は、圧電膜４２上に形成され、圧電膜４２に電圧を印加する駆動電極の役割を行う。
前記のような構成を有する従来の圧電方式のインクジェットヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータ４０は、一般的に、下記のような方法により形成される。前記下部電極４１は、振動板２０の上面に所定の金属物質を、スパッタリングにより所定の厚さに蒸着することによって形成される。前記圧電膜４２は、圧電特性を有するペースト状のセラミック材料を、下部電極４１上にスクリーンプリンティングにより所定の厚さに塗布した後に焼結することによって形成され、上部電極４３は、圧電膜４２の上面に導電性物質を、スクリーンプリンティングにより塗布した後に焼結することによって形成される。
米国特許第６５５０８９７号明細書
しかしながら、前記圧電膜４２は、ペースト状の圧電材料をスクリーンプリンティングにより約数十μｍの厚膜に塗布した後、これを乾燥及び焼結させることによって形成されるが、このように厚膜に塗布されたペースト状の圧電材料は、ペーストの流動特性により経時的に平坦化されつつ広がる。これにより、図１Ｂに示すように、圧電膜４２の中間部分は厚く、両側端部は薄くなって、均一な幅及び厚さを有する圧電膜４２が形成され難い。そして、圧電膜４２の端部も直線に形成されずに曲がるように形成され、これにより、圧電膜４２の全体も屈曲及び凹凸の形状を有する。また、スクリーンプリンティングにより圧電膜４２の上面に形成される上部電極４３も、その幅、厚さ及び形状が不均一になる。また、前記圧電膜４２の厚さが不均一であることによって、その上面に形成される上部電極４３とその下側の下部電極４１との間の距離が不均一であり、それにより、上部電極４３と下部電極４１との間に形成される電場も不均一になるという問題点がある。
一方、さらに高い印刷品質、すなわち、高解像度及び高い印刷速度を得るためには、ノズルの密度を高めることが必要である。ここで、ノズルの密度は、一般的に、ｃｐｉ（ｃｈａｎｎｅｌ ｐｅｒ ｉｎｃｈ）で表され、画像の解像度は、一般的に、ｄｐｉ（ｄｏｔ ｐｅｒ ｉｎｃｈ）で表される。ノズルの密度を高めるためには、隣接した圧力チャンバ１３の間の間隔を縮小させねばならないが、これにより隣接した圧電膜４２の間の間隔も縮小する。しかし、前記のように、従来の方法により形成された圧電膜４２は、その幅が不均一であって、隣接した圧電膜４２と相互接触し、これにより、ノズルの密度の上昇に限界がある。
前記のように、従来のスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法によれば、圧電アクチュエータ４０の圧電膜４２の厚さ及び幅を均一に形成できないという問題点があり、また、インクジェットヘッドのノズルの密度を上昇させ難いという問題点があった。
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、特に、圧電膜の幅及び厚さを均一に形成でき、ノズルの密度を上昇させることが可能な、新規かつ改良されたスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法及びその方法を利用したインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、スクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法において、前記厚膜が形成される表面上に所定深さのガイド溝を形成するステップと、前記ガイド溝の内部にペースト状の物質をスクリーンプリンティングにより塗布することによって前記厚膜を形成するステップと、を含むスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法が提供される。
また、前記ガイド溝は、前記厚膜と同じ平面形状を有するように形成されるものであってもあってもよい。
また、前記厚膜の形成ステップで、前記ペースト状の物質は、前記ガイド溝の幅より狭い範囲で塗布された後、平坦化されつつその幅が前記ガイド溝の幅と同一になるものであってもよい。
また、前記厚膜は、１０μｍ以上３０μｍ以下の厚さを有するものであってもよい。
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、振動板の上部に形成されて、複数の圧力チャンバのそれぞれにインクの吐出のための駆動力を提供するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法において、前記振動板上に絶縁膜を形成しつつ、前記振動板及び絶縁膜のうち何れか一つの上面に、前記複数の圧力チャンバのそれぞれに対応するように所定深さのガイド溝を形成するステップと、前記絶縁膜の上面に下部電極を形成するステップと、前記ガイド溝の内部にペースト状の圧電物質をスクリーンプリンティングにより塗布することによって圧電膜を形成するステップと、前記圧電膜の上面に上部電極を形成するステップと、を含むインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法が提供される。
また、前記振動板の上面に前記ガイド溝を形成した後、前記絶縁膜を前記振動板上に形成するものであってもよい。
また、前記振動板上に前記絶縁膜を形成した後、前記絶縁膜の上面に前記ガイド溝を形成するものであってもよい。
また、前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であってもよい。
また、前記下部電極は、導電性の金属物質を所定の厚さに蒸着することによって形成されるものであってもよい。
また、前記下部電極は、スパッタリングによりＴｉ層及びＰｔ層を順次に蒸着することによって形成されるものであってもよい。
また、前記ガイド溝は、前記圧電膜と同じ平面形状を有するように形成されるものであってもよい。
また、前記ガイド溝の幅は、前記圧力チャンバの幅と実質的に同一であってもよい。
また、前記圧電膜の形成ステップで、前記ペースト状の圧電材料は、前記ガイド溝の幅より狭い範囲で塗布された後、平坦化されつつその幅が前記ガイド溝の幅と同一になるものであってもよい。
また、前記上部電極は、前記圧電膜の上面にペースト状の電極材料をスクリーンプリンティングにより塗布することによって形成されるものであってもよい。
また、前記圧電膜及び上部電極を共に焼結させるステップをさらに含むものであってもよい。
また、前記上部電極は、前記圧電膜上に導電性の金属物質をスパッタリングにより所定の厚さに蒸着することによって形成されるものであってもよい。
また、前記圧電膜を焼結させるステップをさらに含み、前記圧電膜の焼結後に前記上部電極が形成されるものであってもよい。
本発明によれば、均一な形状を有する圧電膜を容易に形成できる。したがって、圧電膜の上面に形成される形状も均一に制御でき、上部電極と下部電極との間の距離が比較的均一になって均一な電場が形成されうる。そして、圧電アクチュエータの圧電膜の幅を一定に制御できるので、インクジェットヘッドのノズルの密度を上昇させることが容易になる。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。また、図面上で各構成要素のサイズは、説明の明瞭性及び便宜のために誇張されている場合がある。
図２Ａないし図２Ｅは、本発明に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法を段階的に示す図面である。
図２Ａに示すように、圧電方式のインクジェットヘッドは、インク流路を有し、このインク流路は、複数の板、例えば、三つの板１１０、１２０、１３０に形成される。インクジェットヘッドの流路プレート１１０には、複数の圧力チャンバ１１３が形成されており、前記流路プレート１１０の上面には複数の圧力チャンバ１１３を覆う振動板１２０が接合されており、流路プレート１１０の底面には、複数のノズル１３１が貫設されたノズルプレート１３０が接合されている。そして、前記流路プレート１１０には、図示されていないが、マニホルド及び複数のリストリクターが形成される。一方、前記流路プレート１１０及び振動板１２０は、一つの板に形成され、また、流路プレート１１０とノズルプレート１３０とも一つの板に形成される。
前記のような構成を有するインクジェットヘッドの振動板１２０上には、この振動板１２０を変形させることによって、複数の圧力チャンバ１１３のそれぞれにインクの吐出のための駆動力を提供する圧電アクチュエータ（図２Ｅの１４０）が下記のような段階を経て形成される。
まず、図２Ａに示すように、前記振動板１２０の全面に絶縁膜１２１を形成する。このとき、前記絶縁膜１２１は、約１μｍ〜２μｍの厚さに形成される。そして、前記振動板１２０がシリコン基板から形成される場合には、前記絶縁膜１２１は、シリコン酸化膜から形成される。
次いで、図２Ｂに示すように、前記絶縁膜１２１に所定の深さのガイド溝１２５を形成する。前記ガイド溝１２５は、パターニングされたフォトレジストをエッチングマスクとして利用して、前記絶縁膜１２１を部分的にエッチングすることによって形成される。前記絶縁膜１２１が前記のように約１μｍ〜２μｍの厚さを有する場合、前記ガイド溝１２５は、前記絶縁膜１２１の厚さの約半分の深さ、すなわち、約０.５μｍ〜１μｍの深さを有するように形成されることによって、前記ガイド溝１２５の部位にも絶縁膜１２１を残存させる。そして、前記ガイド溝１２５は、複数の圧力チャンバ１１３のそれぞれに対応する位置に形成される。また、前記ガイド溝１２５は、圧電アクチュエータ１４０の圧電膜（図２Ｄの１４２）と同じ平面形状を有するように形成され、その幅は、前記圧力チャンバ１１３の幅と実質的に同じであることが望ましい。
次いで、図２Ｃに示すように、前記絶縁膜１２１上に圧電アクチュエータ１４０の共通電極としての役割を行う下部電極１４１を形成する。前記下部電極１４１は、絶縁膜１２１の全面に導電性金属物質を所定の厚さに蒸着することによって形成される。例えば、前記下部電極１４１は、一つの金属物質層から形成されるが、Ｔｉ層及びＰｔ層の二つの金属物質層から形成されてもよい。後者の場合、前記Ｔｉ層は、スパッタリングにより約４００Åの厚さに形成され、Ｐｔ層は、スパッタリングにより約５,０００Åの厚さに形成されうる。
次いで、図２Ｄに示すように、前記ガイド溝１２５の内部に圧電膜１４２を形成する。具体的に、ペースト状の圧電材料、例えば、ＰＺＴ（Ｌｅａｄ Ｚｉｒｃｏｎａｔｅ Ｔｉｔａｎａｔｅ）セラミック材料をスクリーンプリンティングにより所定の厚さ、例えば、約３０μｍ〜６０μｍの厚さに塗布する。このとき、圧電材料は、前記ガイド溝１２５の幅よりやや狭い幅に塗布されることが望ましい。このように塗布された圧電材料は、経時的にペーストの流動特性により平坦化されつつ、その幅が広くなって、図２Ｄに示す形状のような圧電膜１４２が形成される。このとき、圧電膜１４２の幅は、前記ガイド溝１２５の幅に制限されることによって一定になり、その厚さも、従来に比べて比較的均一になる。そして、前記圧電膜１４２を自然乾燥させるか、または約１００℃のホットプレートを使用して強制的に乾燥させる。このような乾燥方法は、ペーストの粘度によって選択される。
次いで、図２Ｅに示すように、乾燥された圧電膜１４２の上面に、駆動電極としての役割を行う相部電極１４３を形成する。このとき、上部電極１４３は、圧電膜１４２の上面に電極材料、例えば、Ａｇ−Ｐｄペーストをスクリーンプリンティングした後に乾燥させることによって形成されうる。次いで、前記圧電膜１４２及び上部電極１４３を約９００℃〜１２００℃で焼結させる。それにより、前記圧電膜１４２は、約１０μｍ〜３０μｍの厚さに収縮する。
前記段階を経れば、図２Ｅに示すように、下部電極１４１と、圧電膜１４２と、上部電極１４３とが順次に積層された構造を有する圧電アクチュエータ１４０が完成される。このように完成された圧電アクチュエータ１４０の圧電膜１４２は、ガイド溝１２５により均一な幅及び比較的に平坦な上面を有する。そして、前記圧電膜１４０の端部も直線に形成される。
一方、上述のように、上部電極１４３はスクリーンプリンティングにより形成されると説明したが、上部電極１４３は、スクリーンプリンティングではなく、スパッタリングにより形成されうる。詳細に説明すれば、まず、図２Ｄに示す段階で圧電膜１４２をまず焼結した後、焼結された圧電膜１４２の上面に電極物質、例えば、ＡｕまたはＰｔのような導電性金属物質をスパッタリングにより所定の厚さに蒸着することによって、図２Ｅに示すような上部電極１４３を形成できる。
図３Ａないし図３Ｃは、本発明に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用して、インクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する他の方法を段階的に示す図面である。図３Ａないし図３Ｃに示す実施形態は、振動板の上面にガイド溝が形成される点を除いては、図２Ａないし図２Ｅに示す実施形態と同じであるので、その重複説明を避けるために簡略に説明する。
まず、図３Ａに示すように、インクジェットヘッドの振動板１２０に所定の深さのガイド溝１２６を形成する。前記ガイド溝１２６は、パターニングされたフォトレジストをエッチングマスクとして利用して、前記振動板１２０を部分的にエッチングすることによって形成されうる。前記振動板１２０は、圧力チャンバ１３１のサイズによって約１０μｍ〜２０μｍの厚さを有するので、前記ガイド溝１２６が約０.５μｍ〜１μｍの深さを有するように形成されても、振動板１２０の作用には影響を及ぼさない。そして、前記ガイド溝１２６の位置及び形状は、前述した実施形態と同じであるので、これについての詳細な説明を省略する。
次いで、図３Ｂに示すように、振動板１２０の全面に絶縁膜１２１及び下部電極１４１を順次に積層する。前記絶縁膜１２１及び下部電極１４１の形成方法も、前述した実施形態と同じである。
次いで、図３Ｃに示すように、前記ガイド溝１２６の内部にスクリーンプリンティングにより圧電膜１４２を形成し、前記圧電膜１４２の上面に、スクリーンプリンティングまたはスパッタリングにより上部電極１４３を形成する。前記圧電膜１４２及び上部電極１４２の形成方法も前述した実施形態と同じである。
前記段階を経れば、図３Ｃに示すように、下部電極１４１と、圧電膜１４２と、上部電極１４３とが順次に積層された構造を有する圧電アクチュエータ１４０が完成される。
以上、本発明の望ましい実施形態を詳細に説明したが、これは例示的なものに過ぎず、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者ならば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点が理解できるであろう。例えば、前記では、インクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法について図示されかつ説明されたが、本発明は、ガイド溝を利用してスクリーンプリンティングにより均一な形状を有する厚膜を形成する方法にも適用されうるということは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明の真の技術的な保護範囲は、特許請求の範囲によって定められる。
本発明は、圧電アクチュエータの形成方法関連の技術分野に好適に利用されうる。
従来の圧電方式のインクジェットヘッドの一般的な構成を示す断面図である。 図１Ａに示すＡ−Ａ’線による断面図であって、従来のスクリーンプリンティングにより形成された圧電アクチュエータの形状を示す。 本発明の一実施形態に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法を段階的に示す図面である。 本発明の一実施形態に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法を段階的に示す図面である。 本発明の一実施形態に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法を段階的に示す図面である。 本発明の一実施形態に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法を段階的に示す図面である。 本発明の一実施形態に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する方法を段階的に示す図面である。 本発明の一実施形態に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する他の方法を段階的に示す図面である。 本発明の一実施形態に係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する他の方法を段階的に示す図面である。 本発明の一実施形態にに係るスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法を利用してインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを形成する他の方法を段階的に示す図面である。
符号の説明
１１０ 流路プレート
１１３ 圧力チャンバ
１２０ 振動板
１２１ 絶縁膜
１３０ ノズルプレート
１３１ ノズル
１４０ 圧電アクチュエータ
１４１ 下部電極
１４２ 圧電膜
１４３ 上部電極

Claims (17)

  1. スクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法において、
    前記厚膜が形成される表面上に所定深さのガイド溝を形成するステップと、
    前記ガイド溝の内部にペースト状の物質をスクリーンプリンティングにより塗布することによって前記厚膜を形成するステップと、
    を含むことを特徴とする、スクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法。
  2. 前記ガイド溝は、前記厚膜と同じ平面形状を有するように形成されることを特徴とする、請求項１に記載のスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法。
  3. 前記厚膜の形成ステップで、前記ペースト状の物質は、前記ガイド溝の幅より狭い範囲で塗布された後、平坦化されつつその幅が前記ガイド溝の幅と同一になることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法。
  4. 前記厚膜は、１０μｍ以上３０μｍ以下の厚さを有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のスクリーンプリンティングによる厚膜の形成方法。
  5. 振動板の上部に形成されて、複数の圧力チャンバのそれぞれにインクの吐出のための駆動力を提供するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法において、
    前記振動板上に絶縁膜を形成しつつ、前記振動板及び絶縁膜のうち何れか一つの上面に、前記複数の圧力チャンバのそれぞれに対応するように所定深さのガイド溝を形成するステップと、
    前記絶縁膜の上面に下部電極を形成するステップと、
    前記ガイド溝の内部の前記下部電極上にペースト状の圧電物質をスクリーンプリンティングにより塗布することによって圧電膜を形成するステップと、
    前記圧電膜の上面に上部電極を形成するステップと、
    を含むことを特徴とする、インクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  6. 前記振動板の上面に前記ガイド溝を形成した後、前記絶縁膜を前記振動板上に形成することを特徴とする、請求項５に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  7. 前記振動板上に前記絶縁膜を形成した後、前記絶縁膜の上面に前記ガイド溝を形成することを特徴とする、請求項５に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  8. 前記絶縁膜は、シリコン酸化膜であることを特徴とする、請求項５〜７のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  9. 前記下部電極は、導電性の金属物質を所定の厚さに蒸着することによって形成されることを特徴とする、請求項５〜８のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  10. 前記下部電極は、スパッタリングによりＴｉ層及びＰｔ層を順次に蒸着することによって形成されることを特徴とする、請求項９に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  11. 前記ガイド溝は、前記圧電膜と同じ平面形状を有するように形成されることを特徴とする、請求項５〜１０のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  12. 前記ガイド溝の幅は、前記圧力チャンバの幅と実質的に同一であることを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  13. 前記圧電膜の形成ステップで、前記ペースト状の圧電材料は、前記ガイド溝の幅より狭い範囲で塗布された後、平坦化されつつその幅が前記ガイド溝の幅と同一になることを特徴とする、請求項５〜１２のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  14. 前記上部電極は、前記圧電膜の上面にペースト状の電極材料をスクリーンプリンティングにより塗布することによって形成されることを特徴とする、請求項５〜１３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  15. 前記圧電膜及び上部電極を共に焼結させるステップをさらに含むことを特徴とする、請求項１４に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  16. 前記上部電極は、前記圧電膜上に導電性の金属物質をスパッタリングにより所定の厚さに蒸着することによって形成されることを特徴とする、請求項５〜１３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
  17. 前記圧電膜を焼結させるステップをさらに含み、前記圧電膜の焼結後に前記上部電極が形成されることを特徴とする、請求項１６に記載のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法。
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