KR20070082692A - 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법 및 잉크젯 헤드의압전 액츄에이터 형성 방법 - Google Patents

스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법 및 잉크젯 헤드의압전 액츄에이터 형성 방법 Download PDF

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Abstract

스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법 및 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법이 개시된다. 개시된 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법은, 후막이 형성될 표면상에 소정 깊이의 가이드 홈을 형성하는 단계와, 가이드 홈 내부에 페이스트 상태의 물질을 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 후막을 형성하는 단계를 구비한다. 상기 가이드 홈은 후막과 동일한 평면 형상을 가지도록 형성되며, 상기 페이스트 상태의 물질은 가이드 홈의 폭보다 좁은 폭으로 도포된 후 평탄화되면서 그 폭이 가이드 홈의 폭과 동일하게 될 수 있다. 그리고, 개시된 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법은, 진동판 위에 절연막을 형성하면서, 진동판과 절연막 중 어느 하나의 상면에 다수의 압력 챔버 각각에 대응되도록 소정 깊이의 가이드 홈을 형성하는 단계와, 절연막의 상면에 하부 전극을 형성하는 단계와, 가이드 홈 내부에 페이스트 상태의 압전 물질을 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 압전막을 형성하는 단계와, 압전막의 상면에 상부 전극을 형성하는 단계를 구비한다.

Description

스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법 및 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법{Method for forming thick layer by screen printing and method for forming piezoelectric actuator of inkjet head}
도 1a는 종래의 압전 방식의 잉크젯 헤드의 일반적인 구성을 도시한 단면도이며, 도 1b는 도 1a에 표시된 A-A'선을 따른 단면도로서 종래의 스크린 프린팅에 의해 형성된 압전 액츄에이터의 형상을 보여준다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명에 따른 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법을 이용하여 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터를 형성하는 방법을 단계적으로 보여주는 도면들이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법을 이용하여 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터를 형성하는 다른 방법을 단계적으로 보여주는 도면들이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110...유로 플레이트 113...압력 챔버
120...진동판 121...절연막
125,126...가이드 홈 130...노즐 플레이트
131...노즐 140...압전 액츄에이터
141...하부 전극 142...압전막
143...상부 전극
본 발명은 스크린 프린팅에 의해 보다 균일한 형상의 후막을 형성하는 방법 및 이 방법을 이용하여 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터를 형성하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 헤드는, 인쇄용 잉크의 미소한 액적(droplet)을 인쇄 매체 상의 원하는 위치에 토출시켜서 소정 색상의 화상으로 인쇄하는 장치이다. 이러한 잉크젯 헤드는 잉크 토출 방식에 따라 크게 두 가지로 나뉠 수 있다. 그 하나는 열원을 이용하여 잉크에 버블(bubble)을 발생시켜 그 버블의 팽창력에 의해 잉크를 토출시키는 열구동 방식의 잉크젯 헤드이고, 다른 하나는 압전체를 사용하여 그 압전체의 변형으로 인해 잉크에 가해지는 압력에 의해 잉크를 토출시키는 압전 방식의 잉크젯 헤드이다.
도 1a는 종래의 압전 방식의 잉크젯 헤드의 일반적인 구성을 도시한 단면도이며, 도 1b는 도 1a에 표시된 A-A'선을 따른 단면도로서 종래의 스크린 프린팅에 의해 형성된 압전 액츄에이터의 형상을 보여준다.
도 1a와 도 1b를 함께 참조하면, 잉크젯 헤드의 유로 플레이트(10)에는 잉크 유로를 구성하는 매니폴드(11), 다수의 리스트릭터(12) 및 다수의 압력 챔버(13)가 형성되어 있다. 상기 유로 플레이트(10)의 상면에는 압전 액츄에이터(40)의 구동에 의해 변형되는 진동판(20)이 접합되어 있으며, 유로 플레이트(10)의 저면에는 다수의 노즐(31)이 형성된 노즐 플레이트(30)가 접합되어 있다. 한편, 상기 유로 플레이트(10)와 진동판(20)은 일체로 형성될 수 있으며, 또한 유로 플레이트(10)와 노즐 플레이트(30)도 일체로 형성될 수 있다.
상기 매니폴드(11)는 도시되지 않은 잉크 저장고로부터 유입된 잉크를 다수의 압력 챔버(13) 각각으로 공급하는 통로이며, 리스트릭터(12)는 매니폴드(11)로부터 다수의 압력 챔버(13)의 내부로 잉크가 유입되는 통로이다. 상기 다수의 압력 챔버(13)는 토출될 잉크가 채워지는 곳으로, 매니폴드(11)의 일측 또는 양측에 배열되어 있다. 상기 다수의 노즐(31)은 노즐 플레이트(30)를 관통하도록 형성되며 다수의 압력 챔버(13) 각각에 연결된다. 상기 진동판(20)은 다수의 압력 챔버(13)를 덮도록 유로 플레이트(10)의 상면에 접합된다. 상기 진동판(20)은 압전 액츄에이터(40)의 구동에 의해 변형되면서 다수의 압력 챔버(13) 각각에 잉크의 토출을 위한 압력 변화를 제공한다. 상기 압전 액츄에이터(40)는 진동판(20) 위에 순차 적층된 하부 전극(41)과, 압전막(42)과, 상부 전극(43)으로 구성된다. 하부 전극(41)은 진동판(20)의 전 표면에 형성되며, 공통 전극의 역할을 하게 된다. 압전막(42)은 다수의 압력 챔버(13) 각각의 상부에 위치하도록 하부 전극(41) 위에 형성된다. 상부 전극(43)은 압전막(42) 위에 형성되며, 압전막(42)에 전압을 인가하는 구동 전극의 역할을 하게 된다.
상기한 바와 같은 구성을 가진 종래의 압전 방식의 잉크젯 헤드에 있어서, 상기 압전 액츄에이터(40)는 일반적으로 아래와 같은 방법에 의해 형성된다. 상기 하부 전극(41)은 진동판(20)의 상면에 소정의 금속물질을 스퍼터링에 의해 소정 두께로 증착함으로써 형성된다. 상기 압전막(42)은 압전 특성을 가진 페이스트(paste) 상태의 세라믹 재료를 하부 전극(41) 위에 스크린 프린팅(screen printing)에 의해 소정 두께로 도포한 뒤 소결함으로써 형성되며, 상부 전극(43)은 압전막(42)의 상면에 도전성 물질을 스크린 프린팅에 의해 도포한 뒤 소결함으로써 형성된다.
그런데, 상기 압전막(42)은 페이스트 상태의 압전 재료를 스크린 프린팅에 의해 수십 ㎛ 정도의 후막으로 도포한 후, 이를 건조 및 소결시킴으로써 형성되는데, 이와 같이 후막으로 도포된 페이스트 상태의 압전 재료는 페이스트의 유동 특성으로 인해 시간이 경과함에 따라 평탄화(leveling)되면서 옆으로 퍼지게 된다. 이에 따라, 도 1b에 도시된 바와 같이, 압전막(42)의 중간 부분은 두껍고 양측 가장자리 부분은 얇아지게 되어, 균일한 폭과 두께를 가진 압전막(42)이 형성되기 힘들다. 그리고, 압전막(42)의 가장자리 부분도 직선으로 형성되지 않고 굴곡되게 형성될 수 있으며, 이에 따라 압전막(42) 전체도 굴곡 및 요철의 형상을 띄게 된다. 또한, 스크린 프린팅에 의해 압전막(42)의 상면에 형성되는 상부 전극(43)도 그 폭과 두께 및 모양이 균일하지 못하게 된다. 또한, 상기 압전막(42)의 두께가 불균일함으로써 그 상면에 형성되는 상부 전극(43)과 그 아래의 하부 전극(41) 사이의 거리가 불균일하고, 이에 따라 상부 전극(43)과 하부 전극(41) 사이에 형성되는 전기장도 불균일하게 되는 문제점이 있다.
한편, 보다 높은 인쇄 품질, 즉 고해상도와 높은 인쇄 속도를 얻기 위해서는 노즐 밀도를 높이는 것이 필요하다. 여기에서, 노즐 밀도는 일반적으로 cpi(channel per inch)로 나타내어지며, 화상의 해상도는 일반적으로 dpi(dot per inch)로 나타내어진다. 노즐 밀도를 높이기 위해서는, 인접한 압력 챔버(13) 사이의 간격을 줄여야 하는데, 이에 따라 인접한 압전막들(42) 사이의 간격도 줄어들게 된다. 그러나, 상기한 바와 같이 종래의 방법에 의해 형성된 압전막(42)은 그 폭이 불균일하여 인접한 압전막(42)과 서로 접촉될 수 있으며, 이에 따라 노즐 밀도를 높이는데 한계가 있다.
상기한 바와 같이, 종래의 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법에 의하면, 압전 액츄에이터(40)의 압전막(42)의 두께와 폭을 균일하게 형성할 수 없는 문제점이 있었으며, 또한 잉크젯 헤드의 노즐 밀도를 높이는 것이 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 특히 압전막의 폭과 두께를 균일하게 형성할 수 있으며 노즐 밀도를 높일 수 있는 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법 및 이 방법을 이용한 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법은,
상기 후막이 형성될 표면상에 소정 깊이의 가이드 홈을 형성하는 단계; 및
상기 가이드 홈 내부에 페이스트 상태의 물질을 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 상기 후막을 형성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 가이드 홈은 상기 후막과 동일한 평면 형상을 가지도록 형성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 후막 형성 단계에서, 상기 페이스트 상태의 물질은 상기 가이드 홈의 폭보다 좁은 폭으로 도포된 후, 평탄화되면서 그 폭이 상기 가이드 홈의 폭과 동일하게 될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 후막은 수십 ㎛ 정도의 두께를 가질 수 있다.
그리고, 상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법은,
진동판의 상부에 형성되어 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법에 있어서,
상기 진동판 위에 절연막을 형성하면서, 상기 진동판과 절연막 중 어느 하나의 상면에 상기 다수의 압력 챔버 각각에 대응되도록 소정 깊이의 가이드 홈을 형성하는 단계;
상기 절연막의 상면에 하부 전극을 형성하는 단계;
상기 가이드 홈 내부에 페이스트 상태의 압전 물질을 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 압전막을 형성하는 단계; 및
상기 압전막의 상면에 상부 전극을 형성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 진동판의 상면에 상기 가이드 홈을 형성한 후, 상기 절연막을 상기 진동판 위에 형성할 수 있으며, 또는 상기 진동판 위에 상기 절연막을 형성한 후, 상기 절연막의 상면에 상기 가이드 홈을 형성할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 절연막은 실리콘 산화막일 수 있으며, 상기 하부 전극은 도전성 금속 물질을 소정 두께로 증착함으로써 형성될 수 있다. 바람직하게는, 상기 하부 전극은 스퍼터링에 의해 Ti 층과 Pt 층을 순차적으로 증착함으로써 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 가이드 홈은 상기 압전막과 동일한 평면 형상을 가지도록 형성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 가이드 홈의 폭은 상기 압력 챔버의 폭과 실질적으로 동일한 것이 더 바람직하다. 또한, 상기 압전막 형성 단계에서, 상기 페이스트 상태의 압전 재료는 상기 가이드 홈의 폭보다 좁은 폭으로 도포된 후, 평탄화되면서 그 폭이 상기 가이드 홈의 폭과 동일하게 될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 상부 전극은 상기 압전막의 상면에 페이스트 상태의 전극 재료를 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 압전막과 상부 전극은 함께 소결될 수 있다.
한편, 상기 상부 전극은 상기 압전막 위에 도전성 금속 물질을 스퍼터링에 의해 소정 두께로 증착함으로써 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 압전막의 소결 후에 상기 상부 전극이 형성될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상 에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명에 따른 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법을 이용하여 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터를 형성하는 방법을 단계적으로 보여주는 도면들이다.
도 2a를 참조하면, 압전 방식의 잉크젯 헤드는 잉크 유로를 가지며, 이 잉크 유로는 복수의 판, 예컨대 세 개의 판(110, 120, 130)에 형성될 수 있다. 잉크젯 헤드의 유로 플레이트(110)에는 다수의 압력 챔버(113)가 형성되어 있으며, 상기 유로 플레이트(110)의 상면에는 다수의 압력 챔버(113)를 덮는 진동판(120)이 접합되어 있고, 유로 플레이트(110)의 저면에는 다수의 노즐(131)이 관통 형성된 노즐 플레이트(130)가 접합되어 있다. 그리고, 상기 유로 플레이트(110)에는 도시되지는 않았지만 매니폴드와 다수의 리스트릭터가 형성될 수 있다. 한편, 상기 유로 플레이트(110)와 진동판(120)은 하나의 판으로 이루어질 수 있으며, 또한 유로 플레이트(110)와 노즐 플레이트(130)도 하나의 판으로 이루어질 수 있다.
상기한 바와 같은 구성을 가진 잉크젯 헤드의 진동판(120) 위에는 이 진동판(120)을 변형시킴으로써 다수의 압력 챔버(113) 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터(도 2e의 140)가 아래와 같은 단계를 거쳐 형성된다.
먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 상기 진동판(120)의 전 표면에 절연막(121)을 형성한다. 이때, 상기 절연막(121)은 대략 1㎛ ~ 2㎛ 정도의 두께로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 진동판(120)이 실리콘 기판으로 이루어진 경우에는, 상기 절연막(121)은 실리콘 산화막으로 이루어질 수 있다.
다음으로, 도 2b를 참조하면, 상기 절연막(121)에 소정 깊이의 가이드 홈(125)을 형성한다. 상기 가이드 홈(125)은 패터닝된 포토레지스트를 식각 마스크로 이용하여 상기 절연막(121)을 부분적으로 식각함으로써 형성될 수 있다. 상기 절연막(121)이 상기한 바와 같이 대략 1㎛ ~ 2㎛ 정도의 두께를 가진 경우, 상기 가이드 홈(125)은 상기 절연막(121)의 두께의 반 정도의 깊이, 즉 대략 0.5㎛ ~ 1㎛ 정도의 깊이를 가지도록 형성됨으로써, 상기 가이드 홈(125) 부위에도 절연막(121)이 잔존하도록 한다. 그리고, 상기 가이드 홈(125)은 다수의 압력 챔버(113) 각각에 대응되는 위치에 형성된다. 또한, 상기 가이드 홈(125)은 압전 액츄에이터(140)의 압전막(도 2d의 142)과 동일한 평면 형상을 가지도록 형성되며, 그 폭은 상기 압력 챔버(113)의 폭과 실질적으로 동일한 것이 바람직하다.
다음으로, 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 절연막(121) 위에 압전 액츄에이터(140)의 공통 전극으로서의 역할을 하는 하부 전극(141)을 형성한다. 상기 하부 전극(141)은 절연막(121)의 전 표면에 도전성 금속 물질을 소정 두께로 증착함으로써 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 전극(141)은 하나의 금속 물질층으로 이루어질 수 있으나, Ti 층과 Pt 층의 두 개의 금속 물질층으로 이루어질 수도 있다. 후자의 경우, 상기 Ti 층은 스퍼터링(sputtering)에 의해 대략 400Å 정도의 두께로 형성될 수 있으며, Pt 층은 스퍼터링에 의해 대략 5,000Å 정도의 두께로 형성될 수 있다.
다음으로, 도 2d에 도시된 바와 같이, 상기 가이드 홈(125) 내부에 압전막(142)을 형성한다. 구체적으로, 페이스트 상태의 압전 재료, 예컨대 PZT(Lead Zirconate Titanate) 세라믹 재료를 스크린 프린팅(screen printing)에 의해 소정 두께, 예컨대 30㎛ ~ 60㎛ 정도의 두께로 도포한다. 이때, 압전 재료는 상기 가이드 홈(125)의 폭보다 약간 좁은 폭으로 도포되는 것이 바람직하다. 이와 같이 도포된 압전 재료는 시간의 경과에 따라 페이스트의 유동 특성에 의해 평탄화(leveling)되면서 그 폭이 넓어지게 되어, 도 2d에 도시된 형상과 같은 압전막(142)이 형성된다. 이때, 압전막(142)의 폭은 상기 가이드 홈(125)의 폭으로 제한됨으로써 일정하게 되고, 그 두께도 종래에 비해 비교적 균일하게 된다. 그리고, 상기 압전막(142)을 자연 건조시키거나 또는 대략 100℃ 정도의 핫 플레이트를 사용하여 강제 건조시킨다. 이와 같은 건조 방법들은 페이스트의 점도에 따라 선택될 수 있다.
다음으로, 도 2e를 참조하면, 건조된 압전막(142)의 상면에 구동 전극으로서의 역할을 하는 상부 전극(143)을 형성한다. 이때, 상부 전극(143)은 압전막(142)의 상면에 전극 재료, 예컨대 Ag-Pd 페이스트를 스크린 프린팅한 후, 건조시킴으로써 형성될 수 있다. 이어서, 상기 압전막(142)과 상부 전극(143)을 대략 900℃~1200℃ 정도에서 소결시킨다. 그러면, 상기 압전막(142)은 대략 10㎛ ~ 30㎛ 정도의 두께로 수축된다.
상기한 단계들을 거치게 되면, 도 2e에 도시된 바와 같이, 하부 전극(141)과, 압전막(142)과, 상부 전극(143)이 순차 적층된 구조를 가진 압전 액츄에이터(140)가 완성된다. 이와 같이 완성된 압전 액츄에이터(140)의 압전막(142)은 가이드 홈(125)에 의해 균일한 폭과 비교적 평탄한 상면을 가질 수 있게 된다. 그리고, 상기 압전막(140)의 가장자리도 직선으로 형성될 수 있다.
한편, 위에서는 상부 전극(143)이 스크린 프린팅에 의해 형성되는 것으로 도시되고 설명되었으나, 상부 전극(143)은 스크린 프린팅이 아니라 스퍼터링에 의해 형성될 수 있다. 상세하게 설명하면, 도 2d에 도시된 단계에서 압전막(142)을 먼저 소결한 후, 소결된 압전막(142)의 상면에 전극 물질, 예컨대 Au 또는 Pt와 같은 도전성 금속 물질을 스퍼터링에 의해 소정 두께로 증착함으로써, 도 2e에 도시된 바와 같은 상부 전극(143)을 형성할 수 있다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법을 이용하여 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터를 형성하는 다른 방법을 단계적으로 보여주는 도면들이다. 도 3a 내지 도 3c에 도시된 실시예는 진동판의 상면에 가이드 홈이 형성되는 점을 제외하고는 도 2a 내지 도 2e에 도시된 실시예와 동일하므로, 설명의 중복을 피하기 위해 간략하게 설명하기로 한다.
먼저, 도 3을 참조하면, 잉크젯 헤드의 진동판(120)에 소정 깊이의 가이드 홈(126)을 형성한다. 상기 가이드 홈(126)은 패터닝된 포토레지스트를 식각 마스크로 이용하여 상기 진동판(120)을 부분적으로 식각함으로써 형성될 수 있다. 상기 진동판(120)은 압력 챔버(131)의 크기에 따라 대략 10㎛ ~ 20㎛ 정도의 두께를 가지므로, 상기 가이드 홈(126)이 대략 0.5㎛ ~ 1㎛ 정도의 깊이를 가지도록 형성되더라도, 진동판(120)의 작용에는 영향을 미치지 않는다. 그리고, 상기 가이드 홈(126)의 위치와 형상은 전술한 실시예에서와 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
다음으로, 도 3b에 도시된 바와 같이, 진동판(120)의 전 표면에 절연막(121)과 하부 전극(141)을 순차 적층한다. 상기 절연막(121)과 하부 전극(141)의 형성 방법도 전술한 실시예와 동일하다.
다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 가이드 홈(126) 내부에 스크린 프린팅에 의해 압전막(142)을 형성하고, 상기 압전막(142)의 상면에 스크린 프린팅 또는 스퍼터링에 의해 상부 전극(143)을 형성한다. 상기 압전막(142)과 상부 전극(142)의 형성 방법도 전술한 실시예와 동일하다.
상기한 단계들을 거치게 되면, 도 3c에 도시된 바와 같이, 하부 전극(141)과, 압전막(142)과, 상부 전극(143)이 순차 적층된 구조를 가진 압전 액츄에이터(140)가 완성된다.
이상 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명했지만, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들어, 위에서는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터를 형성하는 방법에 대해 도시되고 설명되었지만, 본 발명은 가이드 홈을 이용하여 스크린 프린팅에 의해 균일한 형상을 가진 후막을 형성하는 방법에도 적용될 수 있음은 명백하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 균일한 형상을 가진 압전막을 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 압전막의 상면에 형성되는 형상도 균일하게 제 어할 수 있게 되며, 상부 전극과 하부 전극 사이의 거리가 비교적 균일하게 되어 균일한 전기장이 형성될 수 있다. 그리고, 압전 액츄에이터의 압전막의 폭을 일정하게 제어할 수 있으므로, 잉크젯 헤드의 노즐 밀도를 높이는 것이 용이하게 된다.

Claims (17)

  1. 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법에 있어서,
    상기 후막이 형성될 표면상에 소정 깊이의 가이드 홈을 형성하는 단계;
    상기 가이드 홈 내부에 페이스트 상태의 물질을 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 상기 후막을 형성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드 홈은 상기 후막과 동일한 평면 형상을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 후막 형성 단계에서, 상기 페이스트 상태의 물질은 상기 가이드 홈의 폭보다 좁은 폭으로 도포된 후, 평탄화되면서 그 폭이 상기 가이드 홈의 폭과 동일하게 되는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 후막은 수십 ㎛ 정도의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 후막 형성 방법.
  5. 진동판의 상부에 형성되어 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법에 있어서,
    상기 진동판 위에 절연막을 형성하면서, 상기 진동판과 절연막 중 어느 하나의 상면에 상기 다수의 압력 챔버 각각에 대응되도록 소정 깊이의 가이드 홈을 형성하는 단계;
    상기 절연막의 상면에 하부 전극을 형성하는 단계;
    상기 가이드 홈 내부에 페이스트 상태의 압전 물질을 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 압전막을 형성하는 단계; 및
    상기 압전막의 상면에 상부 전극을 형성하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 진동판의 상면에 상기 가이드 홈을 형성한 후, 상기 절연막을 상기 진동판 위에 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 진동판 위에 상기 절연막을 형성한 후, 상기 절연막의 상면에 상기 가이드 홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방 법.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 절연막은 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 하부 전극은 도전성 금속 물질을 소정 두께로 증착함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 하부 전극은 스퍼터링에 의해 Ti 층과 Pt 층을 순차적으로 증착함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  11. 제 5항에 있어서,
    상기 가이드 홈은 상기 압전막과 동일한 평면 형상을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 가이드 홈의 폭은 상기 압력 챔버의 폭과 실질적으로 동일한 것을 특징 으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  13. 제 5항에 있어서,
    상기 압전막 형성 단계에서, 상기 페이스트 상태의 압전 재료는 상기 가이드 홈의 폭보다 좁은 폭으로 도포된 후, 평탄화되면서 그 폭이 상기 가이드 홈의 폭과 동일하게 되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  14. 제 5항에 있어서,
    상기 상부 전극은 상기 압전막의 상면에 페이스트 상태의 전극 재료를 스크린 프린팅에 의해 도포함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 압전막과 상부 전극을 함께 소결시키는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  16. 제 5항에 있어서,
    상기 상부 전극은 상기 압전막 위에 도전성 금속 물질을 스퍼터링에 의해 소정 두께로 증착함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 압전막을 소결시키는 단계를 더 구비하며, 상기 압전막의 소결 후에 상기 상부 전극이 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드의 압전 액츄에이터 형성 방법.
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