JP2007190911A - インクジェットプリントヘッド及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力チャンバ111を有する流路形成基板110と、流路形成基板110の上部に形成されて圧力チャンバにインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエータ140とを備えるインクジェットプリントヘッドにおいて、圧電アクチュエータは、流路形成基板の上部に圧力チャンバに対応するように設けられる圧電膜142と、圧電膜の長手方向に交互に配列される複数の共通電極141及び複数の駆動電極143と、を備えるインクジェットプリントヘッドである。
【選択図】図3
Description
=d33×V3/L3
ここで、d33は、長手方向(分極方向と同じ方向)の圧電定数であり、E3は、電場の強度である。V3は、駆動電極143に印加される電圧であり、L3は、セクション(S)の距離である。
一例として、d31=−100×10−12m/V(符号“−”は、圧電膜142の長さが縮少されることを意味する)、V3=65V、L3=10μmを前記式に代入すれば、Lr=1300μm/mである。Lrと圧電膜142の総有効長1990μmとを乗算すれば、圧電膜142の総長の変化量は、2.587μm=2587nmとなる。結果的に、長さ3000μmの圧電膜142を、単位長が10μmである199個のセクション(S)に分け、各セクション(S)に幅がそれぞれ5μmである共通電極141及び駆動電極143を設置した場合に、圧電膜142の長さの総変化量は2587nmとなる。
=(d31×V3/T)×L
=(−100×10−12×65/25×10−6)×3000=−780nm
すなわち、圧電膜42の長さは、780nm縮小する。
=(−2×d31×V3/L3)×(n−1)×L3
=−2×d31×V3×(n−1)
すなわち、圧電膜142の長さの変化量は、セクション(S)の数が多いほど、言い換えれば、共通電極141及び駆動電極143の幅と各セクション(S)の長さL3とが小さいほど増加する。したがって、本発明に係る圧電方式のインクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータ140によれば、圧電膜142のサイズが同じであり、駆動電圧V3が同じである場合に、従来の圧電アクチュエータより大きな変位が得られる。従来の圧電アクチュエータ40は、圧電膜42の変形量を算出するに当って、分極方向(圧電膜42の厚さ方向)に直角である横方向の圧電定数d31を使用する。したがって、圧電膜42の厚さの均一性が維持されて初めて安定した駆動特性が得られる。しかし、本発明に係るインクジェットプリンタの圧電アクチュエータ140は、圧電膜142の変形量を算出するに当って、分極方向と同じ方向(圧電膜142の長手方向)である縦方向の圧電定数d33を使用する。したがって、圧電膜142の厚さの均一性が多少低下しても、これにより、圧電膜142の変位に大きな変化が発生せず、共通電極141及び駆動電極143が均一に形成されるならば、均一な変位を有する圧電アクチュエータ140の具現が可能である。これにより、均一な品質の画像を印刷できるインクジェットプリントヘッドの具現が可能である。
111 圧力チャンバ、
112 リストリクター、
113 マニホルド、
120 ノズル基板、
122 ノズル、
131 絶縁層、
140 圧電アクチュエータ、
141 共通電極、
142 圧電膜、
143 駆動電極。
Claims (4)
- 圧力チャンバを有する流路形成基板と、前記流路形成基板の上部に形成されて、前記圧力チャンバにインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエータとを備えるインクジェットプリントヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータは、
前記流路形成基板の上部に前記圧力チャンバに対応するように設けられる圧電膜と、
前記圧電膜の長手方向に交互に配列される複数の共通電極及び複数の駆動電極と、を備えることを特徴とするインクジェットプリントヘッド。 - 前記流路形成基板と前記圧電アクチュエータとの間には、絶縁層が設けられたことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記複数の共通電極及び前記複数の駆動電極は、前記圧電膜の上部に形成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 圧力チャンバを有する流路形成基板と、前記流路形成基板の上部に形成されて、前記圧力チャンバにインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエータとを備えるインクジェットプリントヘッドの駆動方法において、
前記圧電アクチュエータの圧電膜を長手方向に複数のセクションに区分し、前記各セクションへ前記長手方向に駆動電界を印加することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの圧電アクチュエータの駆動方法。
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