JP2009208369A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体を吐出するノズル開口21に連通する圧力発生室12と、圧力発生室12に圧力を付与する圧力発生手段と、圧力発生室12に連通するリザーバ100の少なくとも一部を構成するリザーバ部31を有するリザーバ形成基板30とを具備し、リザーバ形成基板30には、リザーバ部31を封止する封止膜32がリザーバ形成基板30に一体的に設けられていると共に、封止膜32を含むリザーバ部31の内壁には耐液体性を有する液体保護膜41が設けられており、封止膜32と封止膜32の表面に設けられた液体保護膜41とが、リザーバ100内の圧力変化を受けて変形するコンプライアンス部40を構成している。
【選択図】図2
Description
かかる態様では、コンプライアンス部がリザーバ内の圧力変化に応じて変形することにより、良好な液体吐出特性が保持される。さらに、樹脂材料からなるシート部材(フィルム)とそれを固定する固定板とで構成されたコンプライアンス基板を設ける必要が無いので、材料コストを削減できる。
かかる態様では、良好な液体吐出特性を備えると共にコストが削減された液体噴射装置を実現できる。
図1は、一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。また、図2(a)は一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図2(b)は、そのA−A′断面図である。
Claims (5)
- 液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室に圧力を付与する圧力発生手段と、前記圧力発生室に連通するリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部を有するリザーバ形成基板とを具備し、
前記リザーバ形成基板には、前記リザーバ部を封止する封止膜が当該リザーバ形成基板に一体的に設けられていると共に、前記封止膜を含む前記リザーバ部の内壁には耐液体性を有する液体保護膜が設けられており、
前記封止膜と当該封止膜の表面に設けられた前記液体保護膜とが、前記リザーバ内の圧力変化を受けて変形するコンプライアンス部を構成していることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記リザーバ形成基板が、シリコン単結晶基板で構成されており、前記封止膜が、前記リザーバ形成基板を構成するシリコン単結晶基板を熱酸化させることで形成された二酸化シリコン層で構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記液体保護膜が、前記リザーバ内に連続的に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記液体保護膜が、酸化タンタル、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム又は二酸化シリコンで構成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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