JP5407162B2 - インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを備えた塗布装置及びインクジェットヘッドの駆動方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを備えた塗布装置及びインクジェットヘッドの駆動方法に関するものである。

インクジェットヘッドには種々の方式が提案されているが、その一つにせん断モードタイプのインクジェットヘッドがある（特許文献１〜５参照）。

このせん断モードタイプのインクジェットヘッドでは、隣接するインクチャネルのクロストークが原因となって、連続駆動する場合の端部のインクチャネルに対応するノズルから吐出されるインク液滴の液滴量あるいは液滴速度が低下するという問題がある。

従来、このようなクロストークの問題を解決するための技術として、駆動波形を変更する技術（特許文献１）、個々のインクチャネルの駆動電圧またはパルス幅を調整する技術（特許文献２）、印字しているインクチャネルに隣接しているインクチャネルにダミーパルスを与える技術（特許文献３）、同相で駆動される隣接チャネルの駆動位相が重ならないようにする技術（特許文献４）、全インクチャネルを４つのグループに分けて４サイクルで分割駆動し、同一サイクルの駆動位相をずらす技術（特許文献５）等が知られている。
特開平１０−１６２１２号公報 特開２０００−７９６８４号公報 特開２０００−２５５０５５号公報 特開２０００−２５５０５４号公報 特開２００１−２３９６６５号公報

インクジェット方式による印刷や塗布を高速で行うシステムとして、複数のせん断モードタイプのインクジェットヘッドをライン状に並べて固定し、被印刷物や被塗布物に対して１パスで印刷あるいは塗布するシステムが考えられ、例えば、ロール状の被印刷物や被塗布物を連続的に処理することができる。

このとき問題になるのがヘッドの端部に発生するクロストークによる印刷濃度むらである。ヘッドの端部は構造的にクロストークが避けられないことから、ヘッドの繋ぎ目部分の濃度異常は筋状に固定した塗布欠陥となり、印刷物の品質を著しく損ねる。

図２１は、ノズルの形状が同じである３２個のインクチャネルを有するせん断モードタイプのインクジェットヘッドについて、共通の電圧パルスを印加して全インクチャネルを時分割で３周期（インクチャネル２本おきに）駆動させた場合の液適量分布の一例であり、一方の端部３チャネルと他方の端部３チャネルで液適量が著しく低下しているのが判る。

クロストーク対策として上記の従来技術が知られているが、駆動方法が複雑であるため、駆動回路が複雑化し、コストが上がる問題がある。一方で、ヘッドの端部に位置するインクチャネルでは、その外側に隣接部がほとんど存在しないために十分なクロストーク対策がとれない問題がある。

本発明は、単純な駆動回路を用いているにもかかわらず、クロストークに起因するヘッド単体の端部のインクチャネルからのインク滴の液滴量の低下を改善し、印刷物品質を改善できるインクジェットヘッド、インクジェットヘッドを備えた塗布装置及びインクジェットヘッドの駆動方法を提供することを課題とする。

本発明の課題は、以下のような構成により達成される。
１．
少なくとも一部が圧電材料で構成された側壁により隔てられ、前記側壁表面の上方から底面に亘って繋がる電極が密着形成された複数のインクチャネルが配列され、前記側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネルに連通したノズルからインクを吐出せしめるインクジェットヘッドであって、
前記インクチャネルにおける圧力波の音響的共振周期の１／２をＡＬとしたとき、インクを吐出する前記複数のインクチャネルの配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルと、中央に位置するインクチャネルとで、ノズルのインク吐出側の開口径は同一であり、且つ、ＡＬが異なる値となるようにノズルの形状が異なることを特徴とするインクジェットヘッド。
２．
前記両端に位置する２つのインクチャネルは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする１に記載のインクジェットヘッド。
３．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする１または２に記載のインクジェットヘッド。
４．
前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとで、ＡＬが異なる値となるようにノズルの形状が異なることを特徴とする１に記載のインクジェットヘッド。
５．
前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする４に記載のインクジェットヘッド。
６．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする４または５に記載のインクジェットヘッド。
７．
前記ノズルの形状が異なるとは、ノズルのインクチャネル側の開口径が異なることであ
ることを特徴とする１乃至６の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
８．
前記ノズルが、インク吐出側の開口に連続して設けられたストレート部を有し、前記ノズルの形状が異なるとは、前記ストレート部の長さが異なることであることを特徴とする１乃至６の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
９．
前記両端に位置する２つのインクチャネルの外側にインクを吐出しないダミーチャネルを有することを特徴とする１乃至８の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
１０．
前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルのＡＬと、中央に位置するインクチャネルのＡＬとの差の絶対値が０．１μｓ以上５μｓ以下であることを特徴とする１乃至９の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
１１．
前記ノズルが形成されているノズル形成部材は、シリコンで構成されることを特徴とする１乃至１０の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
１２．
１乃至１１の何れか１項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする塗布装置。
１３．
前記側壁は、側壁の少なくとも一部に形成された電極に印加される電圧パルスによりせん断変形され、前記電圧パルスは、前記インクチャネルの容積を膨張させた後、収縮させる膨張パルスを有し、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルの側壁の電極に印加される膨張パルスのパルス幅と、前記中央に位置するインクチャネルの側壁の電極に印加される膨張パルスのパルス幅とは互いに等しいことを特徴とする１２に記載の塗布装置。
１４．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルの全てのインクチャネルの側壁の電極に印加される膨張パルスのパルス幅が互いに等しいことを特徴とする１３に記載の塗布装置。
１５．
前記中央に位置するインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量及び前記一方のインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量のうちの大きい方の液滴量に対する小さい方の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内の値になるように前記膨張パルスのパルス幅が設定されていることを特徴とする１３または１４に記載の塗布装置。
１６．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎に順次電圧パルスが印加されることを特徴とする１３乃至１５の何れか１項に記載の塗布装置。
１７．
前記インクを吐出する複数のインクチャネルの全てのインクチャネルの側壁の電極に共通の電圧パルスが印加されることを特徴とする１３乃至１６の何れか１項に記載の塗布装置。
１８．
前記電圧パルスは矩形波の電圧パルスであることを特徴とする１３乃至１７の何れか１項に記載の塗布装置。
１９．
連続搬送される長尺状の支持体上に、支持体の幅方向に塗布幅に対応して配置された複数の前記インクジェットヘッドから塗布液の液滴を吐出させて塗膜を形成させることを特徴とする１２乃至１８の何れか１項に記載の塗布装置。
２０．
１乃至１１の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの駆動方法であって、前記インクジェットヘッドの各インクチャネルにインクを供給し、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルの側壁の少なくとも一部に形成された電極に前記インクチャネルの容積を膨張させた後、収縮させる膨張パルスを有する電圧パルスを印加してノズルからインク液滴を吐出させ、前記膨張パルスのパルス幅の変化に対するインク液滴の液滴量の変化の関係を示す液滴量のパルス幅依存性を測定する工程と、
前記中央に位置するインクチャネルの側壁の少なくとも一部に形成された電極に前記インクチャネルの容積を膨張させた後、収縮させる膨張パルスを有する電圧パルスを印加してノズルからインク液滴を吐出させ、前記膨張パルスのパルス幅の変化に対するインク液滴の液滴量の変化の関係を示す液滴量のパルス幅依存性を測定する工程と、
前記一方のインクチャネルの側壁の電極に印加する膨張パルスのパルス幅と、前記中央に位置するインクチャネルの側壁の電極に印加する膨張パルスのパルス幅とは互いに等しく、かつ前記中央に位置するインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量と前記一方のインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量のうちの大きい方の液滴量に対する小さい方の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内の値になるように前記膨張パルスのパルス幅を設定する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。

本発明によれば、単純な駆動回路を用いているにもかかわらず、クロストークに起因するヘッド単体の端部のインクチャネルからのインク滴の液滴量の低下を改善し、印刷物品質を改善できるインクジェットヘッド、インクジェットヘッドを備えた塗布装置及びインクジェットヘッドの駆動方法を提供することができる。

以下に本発明に関する実施の形態の例を示すが、本発明の態様はこれらに限定されるものではない。

図１は、ライン型の塗布装置１の構成を示す模式図である。

ロール状に巻かれた長尺状の支持体１０は、図示しない駆動手段により巻き出しロール１０Ａから矢印Ｘ方向に繰り出され搬送される。

長尺状の支持体１０はバックロール２０に巻回され支持されながら搬送される。インクジェットヘッドユニット３０より塗布液であるインクが支持体１０に向け吐出され、インクが支持体１０に塗布される。インクジェットユニット３０は、支持体幅方向に塗布幅に対応した複数のインクジェットヘッド３１を有する。また、各インクジェットヘッド３１毎に設けられた電圧パルス発生手段１０１（図５参照）を備え、制御部（図示せず）は、電圧パルス発生手段１０１を制御して、各インクジェットヘッド３１毎に共通の所定のパルス幅の膨張パルスを有する電圧パルスをインクジェットヘッド３１に出力させ、ノズルからインク液滴を吐出させる。

図２は、インクジェットヘッドユニット３０のインクジェットヘッド３１の配置例である。また、全てのインクジェットヘッド３１が、インクを一時的に貯留する中間タンク４０に対して同じ高さに配置されている例である。前述のように、１つのインクジェットヘッドで吐出できる塗布幅（吐出幅）はインクジェットヘッドの外形寸法よりも狭いことから、隙間なく塗布するために複数のインクジェットヘッドを支持体搬送方向に対して千鳥配置している。図２に示す例では、支持体幅方向に塗布幅に対応した複数のインクジェットヘッドを２列の千鳥配置としている。図３に、インクジェットヘッド３１の外形、吐出幅及び千鳥配置の関係を示す。インクジェットヘッド３１の数及び千鳥配置の列数は、インクジェットヘッド３１の吐出幅、塗布幅等により適宜設定されるものであり、図２の例に限定されるものではない。

インクは、インクジェットヘッド３１のインクの背圧を調整する中間タンク４０から複数の送液配管４３を介してインクジェットヘッド３１毎に供給される。なお、本説明において、図中の送液配管４３は、複数の配管である。

中間タンク４０へのインク供給は、インクを貯留する貯留タンク５０から供給管５１の途中に配設された送液ポンプＰで行われる。

塗膜が形成された支持体は、乾燥部１００で塗膜の乾燥が行われ、巻き取りロール１０Ｂに巻き取られる。

次に、せん断モードタイプのインクジェットヘッド３１について説明する。

各インクジェットヘッド３１は、ノズル面側が支持体１０の塗布面と対向するように配置されており、フレキシケーブル６を介して、電圧パルスを生成するための回路が設けられる電圧パルス発生手段１０１（図５参照）に電気的に接続されている。

図４は、せん断モードタイプのインクジェットヘッド３１の一例の概略構成を示す図であり、（ａ）は一部断面で示す斜視図、（ｂ）はインク供給部を備えた状態の断面図である。図９は、インクチャネル列の断面図であり、わかりやすいように各インクチャネルに対応して設けられたノズルのインク吐出側の開口を示してある。図１３，１４は、１つのノズルの断面図とインク吐出側から見た正面図である。正面図にはノズルに対応して配置されるインクチャネルの位置を示してある。

図５（ａ）〜（ｃ）はその動作を示す図である。

図４及び図５において１０１は電圧パルス発生手段、３１はインクジェットヘッド、２２はノズル形成部材、２３はノズル、２４はカバープレート、２５はインク供給口、２６は基板、２７は側壁、Ｌはインクチャネルの長さ、Ｄはインクチャネルの深さ、Ｗはインクチャネルの幅である。そして、インクチャネル２８が側壁２７、カバープレート２４及び基板２６によって形成されている。

ここで、図からも明らかなように、インクチャネルにおけるインクチャネルの配列方向の長さをインクチャネルの幅、配列方向に垂直な２方向のうち、長手方向の長さをインクチャネルの長さ、もう一方の長さをインクチャネルの深さと定義している。

インクジェットヘッド３１は、図５、図９に示すように、カバープレート２４と基板２６の間に、電気・機械変換手段であるＰＺＴ等の圧電材料からなる複数の側壁２７で隔てられたインクチャネル２８が１７個配列されたせん断モードタイプのヘッドである。図５では１７個のインクチャネル２８の一部である３本（２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ）が示されている。インクチャネル２８の一端（以下、これをノズル端という場合がある）はノズル形成部材２２に形成されたノズル２３につながり、他端（以下、これをマニホールド端という場合がある）はインク供給口２５を経て、送液配管４３に接続されている。そして、各インクチャネル２８内の側壁２７表面には両側壁２７の上方から基板２６の底面に亘って繋がる電極２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃが密着形成され、各電極２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃは電圧パルス発生手段１０１に接続している。

インクを吐出する１７個のインクチャネル２８の両外側には、ノズル２３が形成されておらず、インクの吐出を行わない２つのダミーチャネル１２８が設けられている。本実施形態では、このダミーチャネルにインクが供給されるように構成されている。

図１３（ｂ）、（ｃ）、図１４（ｂ）は、インクを吐出する１７個のインクチャネル２８の配列方向の端部に位置するインクチャネルの各ノズルの形状、図１３（ａ）、図１４（ａ）は中央に位置するインクチャネルのノズルの形状をそれぞれ示したものである。

本実施形態のノズル２３は、図１３（ａ）、（ｂ）に示すようにインク吐出側の開口に連続して設けられたストレート部から構成され、インク吐出側の開口とインクチャネル側の開口とも円形形状である。ここでストレート部とは、テーパ角が±５°の範囲にあることを意味し、後述するテーパ部とは、テーパ角が５°より大きく９０°より小さい範囲にあることを意味する。

図１３（ａ）、（ｂ）において、インクを吐出する１７個のインクチャネル２８の配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルのノズルのインク吐出側の開口径ｄ２とインクチャネル側の開口径Ｄ２の両方を、中央に位置するインクチャネルのノズルのインク吐出側の開口径ｄ１、インクチャネル側の開口径Ｄ１より相対的に大きくしている（ｄ２＞ｄ１かつＤ２＞Ｄ１）。なお開口径は、ノズルのインク吐出側の開口径あるいはインクチャネル側の開口径の少なくとも一方が異なるようにすればいい。

また、開口径が異なる以外は、例えばストレート部の長さ（ノズルの長さ）ｔ、テーパ角α等のノズル形状は同じにしてある。また、その他のインクチャネルのノズルにおける開口径を含めたノズルの形状は、中央に位置するインクチャネルのノズルの形状と同じにしてある。

ここで、開口径とは、開口が円形の場合は、その直径をさす。なお、開口形状は円形形状に限定されることはなく、円形形状の代わりに、楕円形状や多角形状や星形形状等としてもよい。尚、形状が円でない場合、その面積を同じ面積の円形に置き換えた場合の直径を開口径とする。

インクジェットヘッド３１のインクチャネル数は、インクジェットヘッド３１の吐出幅により適宜、１０個〜１０００個程度に設定されるものであり、図９の例に限定されるものではない。なお、例えば、インクチャネル数が偶数の場合のように、中央にインクチャネルが存在しない場合の中央に位置するインクチャネルとは、中央近傍に位置する２つのインクチャネルのうちの何れか一方のインクチャネルを指す。

また、図９では両端に位置する２つのインクチャネルのノズルのインク吐出側の開口径ｄ２とインクチャネル側の開口径Ｄ２の両方を、中央部に位置するインクチャネルのノズルより相対的に大きくしているが、インクチャネルにおける圧力波の音響的共振周期の１／２をＡＬとしたとき、両端に位置する２つのインクチャネルと、中央に位置するインクチャネルとで、ＡＬが異なる値となるようにノズルの形状が異なっていればよく、様々な実施形態をとりうる。

図１０は、インクの吐出を行わない４つのダミーチャネルが設けられている例である。端部のインクチャネルに隣接して設けられたダミーチャネルは、端部に位置するインクチャネルと隣接するダミーチャネルを仕切る側壁の金属電極に電圧パルスを印加し、この側壁も駆動して両端のインクチャネルからより安定的にインクを吐出させるためのものであるが、さらにその外側にダミーチャネルを設けることにより、端部に位置するインクチャネルのクロストークの影響を低減できるため好ましい。

図１１は、両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルのノズルのインク吐出側の開口径ｄ２とインク吐出側の開口径Ｄ２の両方を、中央部に位置するインクチャネルのノズルのインク吐出側の開口径ｄ１、インク吐出側の開口径Ｄ１より相対的に大きくしている。また、その他のインクチャネルのノズルにおける開口径を含めたノズルの形状は、中央に位置するインクチャネルのノズルの形状と同じにしてある。複数のインクチャネルのうち間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行う場合に特に有効であり、本発明の効果がより一層顕著に発揮される。これは、前述の図２１に示すように３つの組に分割して駆動すると、各駆動において両端に位置することになる各端部の３チャネルにおいて液滴量が低下するからである。

図９〜図１１の実施形態において開口径を異ならせることに代えて、あるいは、加えてストレート部の長さを異ならせるようにしても良い。例えば、端部に位置するインクチャネルのノズルの形状を図１３の（ｃ）に示すように、インク吐出側の開口に連続して設けられたストレート部２３ａとインクチャネル側に向かって径が徐々に増加するテーパ部２３ｂとから構成する。端部に位置するインクチャネルのノズルのストレート部の長さｔ１を、図１３の（ａ）に示す中央に位置するインクチャネルのノズルのストレート部の長さｔより相対的に小さくすればいい。なお、テーパ部を設けたことに伴ってインクチャネル側の開口形状を長さＤ３、幅Ｄ４の長円形状とし、それぞれテーパ角α１、α２を有する以外は、例えばノズルの長さｔ、インク吐出側の開口径ｄ２、テーパ角α等のノズル形状は同じである。

ノズルの形状は、ストレート部だけの形状、ストレート部とテーパ部とを有する形状に限らず、テーパ部だけの形状、あるいは、２段以上の階段形状でもよい。

図９〜図１１の実施形態において、２段の階段形状のノズル形状とし、インク吐出側の開口径あるいはインクチャネル側の開口径の少なくとも一方を異ならせるようにしても良い。例えば、図１４に示すようにノズルは、インク吐出側の小径部２３ｃとインクチャネル側の大径部２３ｄとから構成され、小径部２３ｃは、中央部、端部共に開口形状が円形となっており、それぞれのインク吐出側の開口径は、同じである。また、大径部２３ｄは、中央部の開口形状が一辺の長さがＤ４の正方形、端部の開口形状が長辺の長さがＤ３、短辺の長さがＤ４の長方形となっている。又、大径部２３ｄの開口形状の中心と小径部２３ｃの開口形状の中心は同心としている。

次に、インクジェットヘッド３１の製造方法と構成材料について説明する。

基板２６上に互いに分極方向が異なる２枚の圧電材料２７ａ、２７ｂを接着剤を介して上下に貼り合わせ、その上側の圧電材料２７ａからダイヤモンドブレード等により、インクチャネル２８となる複数の溝が全て同じ幅、同じ長さ、同じ深さで平行に切削加工される。隣接するインクチャネル２８は、矢印の方向に分極された側壁２７によって区画される。また、インクチャネル２８は、インクチャネル２８の出口側（図４における左側）の深溝部２８ａと、該深溝部２８ａからインクチャネル２８の入口側（図４における右側）に行くに従って徐々に浅くなる浅溝部２８ｂとを有している。

各側壁２７は、ここでは図５の矢印で示すように分極方向が異なる２枚の圧電材料２７ａ、２７ｂによって構成されているが、圧電材料は例えば符号２７ａの部分のみであってもよく、側壁２７の少なくとも一部にあればよい。

圧電材料２７ａ，２７ｂに使用される圧電材料としては、電圧を加えることにより変形を生じるものであれば特に限定されず、公知のものが用いられ、有機材料からなる基板であっても良いが、圧電性非金属材料からなる基板が好ましく、この圧電性非金属材料からなる基板として、例えば成形、焼成等の工程を経て形成されるセラミックス基板、又は塗布や積層の工程を経て形成される基板等がある。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料が挙げられる。

セラミックス基板としては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ₃−ＰｂＴｉＯ₃）、第三成分添加ＰＺＴがあり、第三成分としてはＰｂ（Ｍｇ_1/3Ｎｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｍｎ_1/3Ｓｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｃｏ_1/3Ｎｂ_2/3）Ｏ₃等があり、さらにＢａＴｉＯ₃、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴａＯ₃等を用いて形成することができる。

また、塗布や積層の工程を経て形成される基板として、例えば、ゾル−ゲル法、積層基板コーティング等で形成することができる。

圧電材料２７ａの上面には、全インクチャネル２８に亘って深溝部２８ａ上を覆うようにカバープレート２４が接着剤を介して接着されると共に、各インクチャネル２８の浅溝部２８ｂ上に、インクチャネル２８内へのインク流入口７７が形成されている。

カバープレート２４の接着後、ノズル２３が開設された１枚のノズル形成部材２２が接着剤を介して接着される。

カバープレート２４及び基板２６の材料は、特に限定されず、有機材料からなる基板であっても良いが、非圧電性非金属材料からなる基板が好ましく、この非圧電性非金属材料からなる基板として、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英、分極されていないＰＺＴの少なくとも１つから選ばれることが好ましい。有機材料としては、有機ポリマー、有機ポリマーと有機物とのハイブリッド材料が挙げられる。

また、ノズル形成部材２３の材料としては、ポリイミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、液晶ポリマー、アロマティックポリアミド樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリサルフォン樹脂等の樹脂材料のほか、ステンレス等の金属材料、シリコンを用いることもできる。

樹脂材料のノズル形成部材にノズルを形成する方法として、高分子材料の穿孔に適するエキシマレーザーによるアブレーション加工が好ましい。

エキシマレーザーによるアブレーション加工は、常温、常圧、短時間で、サブミクロン〜ミクロンオーダーの精度で、熱歪みやバリのない孔や溝を形成でき、また、マスクを透過したエキシマレーザー光を、レンズで被加工物に結像させれば、マスクパターンを数分の１に縮小、転写して、任意の形状の孔や溝を一括して形成できる。即ち、焦点加工でなく、マスク加工ができる特徴がある。エキシマレーザーは短パルス（〜２０ｎｓ）、高輝度（〜数十ＭＷ）の紫外光を出力できる。発振波長は、レーザーガスの種類により異なるが、アブレーションに良く使用されるのは、ＸｅＣｌ（波長３０８ｎｍ）、ＫｒＦ（波長２４８ｎｍ）である。

ノズル形成部材は、シリコンを用いることが好ましい。

シリコン基板は、マイクロマシン分野の微細加工技術であるシリコン基板等を対象とした半導体プロセスを用いて高精度のノズル穴加工ができる。

シリコン基板を用いて、公知のフォトリソグラフィ処理（レジスト塗布、露光、現像）及びシリコン異方性ドライエッチング技術によりノズルを加工する。

以上のように、シリコン基板は、エッチング技術により、ノズル形状の制御が容易であるため加工精度が極めて良く、所望のノズル形状を得ることができる。

各インクチャネル２８及びダミーチャネル１２８内には、その両側面から底面にかけて金属電極２９が形成されており、この金属電極２９は、浅溝部２８ｂを通って圧電材料２７ａの後部側表面まで延びている。各金属電極２９には、この後部側表面において異方導電性フィルム７８を介してフレキシブルケーブル６が接着されており、電圧パルス発生手段１０１から各金属電極２９に電圧パルスを印加することにより側壁２７をせん断変形させ、その変形時の圧力によりインクチャネル２８内のインクをノズルプレート２２に形成されたノズル２３から吐出するようになっている。また、両端に位置するインクチャネルと隣接するダミーチャネルを仕切る側壁の金属電極にも電圧パルスが印加され、この側壁も駆動して両端のインクチャネルからインクを吐出させる。

金属電極２９に用いられる金属としては、白金、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、ニッケル、タンタル、チタンを用いることができ、特に、電気的特性、加工性の点から、金、アルミニウム、銅、ニッケルが好ましく、めっき、蒸着、スパッタで形成される。

せん断モードタイプのインクジェットヘッド３１は、以上のように圧電材料２７ａ，２７ｂにインクチャネル２８を形成して、その側壁２７に金属電極２９を形成するだけで、ヘッドの主要部分を構成できるので、製造が簡単で、多数のインクチャネル２８を高密度に配置できるために、高精細な画像記録を行う上で好ましい態様である。

次に、吐出動作について説明する。

各側壁２７表面に密着形成された電極２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃに電圧パルス発生手段１０１から電圧パルスが印加されると、以下に例示する動作によってインク滴をノズル２３から吐出する。なお、図５ではノズルは省略してある。

なお、かかるインクジェットヘッド３１では、以上のように、側壁２７の変形によってインクチャネル２８内のインクに正負の圧力が付与されるものであり、この側壁２７は圧力付与手段を構成している。

図６は、本発明に係る実施の形態の液滴吐出方法における電圧パルスを示している。図６において、横軸は時間、縦軸は駆動電圧を表す。

（１）かかるインクジェットヘッド３１は、図５（ａ）に示す状態において、電極２９Ａ及び２９Ｃをアースに接続すると共に電極２９Ｂに、パルス幅がＰＷの矩形波からなる膨張パルス（正電圧）を印加すると、まず、パルスの最初の立ち上がり（Ｐ１）によって、側壁２７Ｂ、２７Ｃを構成する圧電材料２７ａ、２７ｂの分極方向に直角な方向の電界が生じ、２７ａ、２７ｂともに側壁の接合面にズリ変形を生じ、図５（ｂ）に示すように側壁２７Ｂ及び側壁２７Ｃは互いに外側に向けて変形し、インクチャネル２８Ｂの容積が膨張する。これによりインクチャネル２８Ｂ内のインクに負の圧力が生じてインクが流れ込む（Ｄｒａｗ）。

（２）この最初のＰ１の印加からＰＷ時間経過後に電位を０に戻す（Ｐ２）と、側壁２７Ｂ，２７Ｃは膨張位置から図５（ａ）に示す中立位置に戻り、インクチャネル２８Ｂ内のインクに高い圧力が掛かる。

引き続いて、矩形波からなるパルス幅が２ＰＷの収縮パルス（負電圧）を印加する。まず収縮パルスの立ち下がり（Ｐ３）によって、図５（ｃ）に示すように、側壁２７Ｂ及び２７Ｃは互いに逆方向に変形し、インクチャネル２８Ｂの容積が収縮する。この収縮によりインクチャネル２８Ｂ内のインクに更に高い圧力を掛かる（Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅ）。これによりノズル内のインクメニスカスがノズル２３から押し出される方向に変化する。この正の圧力がインク滴をノズルから吐出させるほど大きくなるとインク滴はノズルから吐出する。

（３）更に、２ＰＷ時間経過すると、電位を０に戻し（Ｐ４）、側壁２７Ｂ、２７Ｃを収縮位置から中立位置に戻す。

これらの一連の動作によりインクチャネル２８Ｂ内のインクの一部がインク滴としてノズル２３から飛翔する。

このような液滴吐出方法は、いわゆるＤＲＲ（Ｄｒａｗ−Ｒｅｌｅａｓｅ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅ）方式による液滴吐出方法であり、膨張パルスのパルス幅ＰＷはインク滴の吐出力に大きく影響し、１ＡＬ近傍にこのパルス幅が一致したときにインク滴吐出力（吐出速度）は最大となる。

なお、ＡＬ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｌｅｎｇｔｈ）とは、上述したように、インクチャネルの音響的共振周期の１／２である。このＡＬは、電気・機械変換手段である側壁２７に矩形波のパルスを印加して吐出するインク滴の速度を測定し、矩形波の電圧値を一定にして矩形波のパルス幅を変化させたときに、インク滴の飛翔速度が最大になるパルス幅として求められる。このＡＬの値は、ヘッドの構造やインクの密度等に依存して決まるものである。

また、パルスとは、一定電圧波高値の矩形波であり、０Ｖを０％、波高値電圧を１００％とした場合に、パルス幅とは、電圧の０Ｖからの電圧の立ち上がり始め又は立ち下がり始めの１０％から波高値電圧からの立ち下がり始め又は立ち上がり始めの１０％との間の時間として定義する。更に、ここで矩形波とは、電圧の１０％と９０％との間の立ち上がり時間、立ち下がり時間のいずれもがＡＬの１／２以内、好ましくは１／４以内であるような波形を指す。

電圧パルスとして矩形波を用いることは、吐出効率が向上するとともにパルス幅の設定が容易になるため好ましい。

また、図６の電圧パルスでは、膨張パルスの駆動電圧Ｖｏｎ（Ｖ）と収縮パルスの駆動電圧Ｖｏｆｆ（Ｖ）の比を｜Ｖｏｎ｜＞｜Ｖｏｆｆ｜とすることが好ましい。このように｜Ｖｏｎ｜＞｜Ｖｏｆｆ｜の関係とすると、インクチャネル内へのインクの供給を促進する効果があり、特に、高粘度インクで高周波駆動を行う場合に好ましい。なお、この電圧Ｖｏｎと電圧Ｖｏｆｆの基準電圧は０とは限らない。この電圧Ｖｏｎと電圧Ｖｏｆｆは、それぞれ基準電圧からの差分の電圧である。また、｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜＝２とすることがより好ましい。

かかるせん断モードタイプのインクジェットヘッドでは、側壁２７の変形は壁の両側に設けられる電極に掛かる電圧差で起こるので、インク吐出を行うインクチャネルの電極に負電圧を掛ける代わりに、インク吐出を行うインクチャネルの電極を接地して、その両隣のインクチャネルの電極に正電圧を掛けるようにしても同様に動作させることができる。この後者の方法によれば、正電圧だけで駆動できるため、電源コストの点で好ましい態様である。

このように少なくとも一部が圧電材料で構成された側壁２７によって隔てられた複数のインクチャネル２８を有するインクジェットヘッドを駆動する場合、一つのインクチャネルの側壁が吐出の動作をすると、隣のインクチャネルが影響を受けるため、通常、複数のインクチャネル２８のうち、互いに１本以上のインクチャネル２８を挟んで離れているインクチャネル２８をまとめて１つの組となすようにして、２つ以上の組に分割し、各組毎にインク吐出動作を時分割で順次行うように駆動制御される。例えば、全インクチャネル２８を駆動してベタ画像を出力する場合には、インクチャネル２８を２チャネルおきに選んで３相に分けて吐出する、いわゆる３サイクル吐出法が行われる。

本実施形態では、１７個のインクチャネルについて、一方の端部のインクチャネルから他方の端部のインクチャネルに向かって順次チャネル番号１、２，３・・・・・１７としたとき、全インクチャネルを、チャネル番号１，４，７，１０、１３、１６をＡ組、チャネル番号２，５，８，１１、１４、１７をＢ組、チャネル番号３，６，９，１２、１５をＣ組として３組に分けて分割駆動する。

かかる３サイクル吐出動作について図６の電圧パルスで駆動する場合について図７を用いて説明する。図７には、１７個のインクチャネルのうち中央近傍の各組３個づつ計９固のインクチャネル２８が図示されている。また、このときのＡ、Ｂ、Ｃの各組のインクチャネル２８に印加される電圧パルスのタイミングチャートを図８に示す。

インク吐出時には、まずＡ組の各チャネルの電極に図６の電圧パルスを印加し、その両隣のチャネルの電極を接地して、Ａ組の各チャネルのノズルからインク滴を吐出させる。

続いてＢ組の各チャネル２８、更に続いてＣ組の各チャネル２８へと上記同様に動作する。

次に、本実施形態のインクジェットヘッドの作用について説明する。
（従来例１）
図１２は、各インクチャネルのノズルの形状が互いに等しい従来のインクジェットヘッドのインクチャネル列の断面図である。このヘッドにおいて、インクチャネルの密度は１８０ｄｐｉ（１４１μｍピッチ）とし、各インクチャネルの深さＤは３１０μｍ、幅Ｗは８５μｍ、長さＬは６．５ｍｍ、各ノズルは図１３（ａ）に示す形状とし、インクには水系インクを使用した場合について説明する。

ノズル形成部材の材料として、厚さ７５μｍのポリイミド樹脂シートを用意し、エキシマレーザー（λ＝２４８ｎｍ）を用いてインク吐出側の開口及びインクチャネル側の開口がともに円形状であるストレート形状となるように１７個の貫通孔を形成し、これをノズルとするノズル形成部材を作成した。

なお、各ノズルに対する加工条件は以下のようにすべて同一とした。

直径ｄ１：３９μｍ
直径Ｄ１：５０μｍ
テーパ角：４．２°
得られたノズル形成部材を１７個のインクチャネルを形成したＰＺＴを含むアクチュエータ基板の前端面に接着剤を用いて接着し、図４に示すようなインクジェットヘッドを作成した。

インクチャネルのＡＬが１０．４μｓであった。

ヘッドの評価は、図６に示す電圧パルスを基本とし矩形波の膨張パルスの駆動電圧Ｖｏｎと矩形波の収縮パルスの駆動電圧Ｖｏｆｆの比（｜Ｖｏｎ｜／｜Ｖｏｆｆ｜）を２とし、膨張パルスの駆動電圧Ｖｏｎが１３．２Ｖになる電圧で、膨張パルスのパルス幅ＰＷを変更しながら、電圧パルスを印加してヘッドを図８に示すように全インクチャネルを時分割で３周期（インクチャネル２本おきに）駆動させることにより、一方の端部と中央部のインクチャネルのノズルから吐出される１つのインク滴の液滴量を測定した。なお、図６の電圧パルスでは、収縮パルスのパルス幅を２ＰＷとしているため、膨張パルスのパルス幅ＰＷを変更すると、同時に収縮パルスのパルス幅も変更される事になる。収縮パルスのパルス幅を、ＰＷに依存しない全インクチャネルに共通に所定のパルス幅に設定しても良い。

図１５にパルス幅ＰＷと液滴量のグラフを示す。

図１５より、中央のインクチャネル、端部のインクチャネルともパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである１０．４μｓに一致したときに液滴量が最大になることがわかる。

従来、圧力室の容積を膨張させた後、収縮させることで圧力室の圧力を高めノズルからインク滴を吐出させる場合に、圧力室の容積を膨張させた後、収縮させる膨張パルスのパルス幅ＰＷは、ＡＬに一致したときに最も効率良く吐出できると考えられ、用いられてきた。

図１５より、パルス幅ＰＷがＡＬである１０．４μｓにおける、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．８５であり、端部のノズルの液滴量が大きく低下していることが判る。また、パルス幅ＰＷを変更しても中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．９０程度で変化がないことが判る。

従来のヘッドで、中央部と端部の液滴量を均一にするには、各チャネル毎に駆動電圧や電圧パルス幅を最適化する方法があるが、各チャネル毎に駆動回路を用意する必要があり、コストがかかる問題がある。
（実施の形態１）
次に、図１１に示すインクジェットヘッドを、両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルのノズルを図１３（ｂ）に示すｄ２：４２μｍ、Ｄ２：５３μｍとし、中央に位置するインクチャネルとその他のインクチャネルのノズルを従来例１と同じとした以外は、従来例１のヘッドと同様にして作製し、同様の評価を行った場合について説明する。

端部のインクチャネルに対するＡＬが９．９μｓ、中央のインクチャネルに対するＡＬが１０．４μｓであった。このように、開口径を大きくすることによりＡＬが短くなっている。

図１６にパルス幅ＰＷと液滴量のグラフを、それぞれ示す。

図１６より、中央のインクチャネルはパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである１０．４μｓに一致したときに液滴量が最大になり、端部のインクチャネルはパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである９．９μｓに一致したときに液滴量が最大になることがわかる。

ここで、図１６から明らかなように、端部のインクチャネルのパルス幅ＰＷと中央部のインクチャネルのパルス幅ＰＷを等しくした場合においても、最適なパルス幅を選択することにより、端部と中央部の液滴量の差を小さくすることができる。特に、中央部の液滴量分布曲線と端部の液滴量分布曲線が交差する位置である９．０μｓにパルス幅ＰＷを設定すれば、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は１．００となり、中央部と端部の液滴量を同じにすることができる。

また、従来のヘッドと同じパルス幅ＰＷが１０．４μｓにおける、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．９７であり、分布が改善されている。このパルス幅ＰＷを７．８μｓ〜１１．８μｓの範囲内のいずれか１つに選定した上で、各インクチャネルにこのパルス幅ＰＷの共通の電圧パルスを印加し、全インクチャネルの各ノズルから吐出される液滴量を測定したところ、最大の液滴量に対する最小の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内に収まっていることが確認できた。
（実施の形態２）
次に、図１１に示すインクジェットヘッドを、両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルのノズルを図１３（ｃ）に示す形状でｄ２：４０μｍ、Ｄ３：１１０μｍ、Ｄ４：６０μｍ、ｔ１：３０μｍ、ｔ２：４５μｍ、α：４．２°、α１：３６．１°、α２：９．８°とし、中央に位置するインクチャネルとその他のインクチャネルのノズルを従来例１と同じとした以外は、従来例１のヘッドと同様にして作製し、同様の評価を行った場合について説明する。

端部のノズルに対するＡＬが１０．１μｓ、中央部のノズルに対するＡＬが１０．４μｓであった。このように、ストレート部の長さを短くすることによりＡＬが短くなっている。

図１７にパルス幅ＰＷと液滴量のグラフを、それぞれ示す。

図１７より、中央のインクチャネルはパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである１０．４μｓに一致したときに液滴量が最大になり、端部のインクチャネルはパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである１０．１μｓに一致したときに液滴量が最大になることがわかる。

ここで、図１７から明らかなように、端部のインクチャネルのパルス幅ＰＷと中央部のインクチャネルのパルス幅ＰＷを等しくした場合においても、最適なパルス幅を選択することにより、端部と中央部の液滴量の差を小さくすることができる。特に、中央部の液滴量分布曲線と端部の液滴量分布曲線が交差する位置である８．７μｓにパルス幅ＰＷを設定すれば、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は１．００となり、中央部と端部の液滴量を同じにすることができる。

また、従来のヘッドと同じパルス幅ＰＷが１０．４μｓにおける、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．９７であり、分布が改善されている。このパルス幅ＰＷを７．４μｓ〜１１．２μｓの範囲内のいずれか１つに選定した上で、各インクチャネルにこのパルス幅ＰＷの共通の電圧パルスを印加し、全インクチャネルの各ノズルから吐出される液滴量を測定したところ、最大の液滴量に対する最小の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内に収まっていることが確認できた。
（従来例２）
図１２は、各インクチャネルのノズルの形状が互いに等しい従来のインクジェットヘッドのインクチャネル列の断面図である。このヘッドにおいて、インクチャネルの密度は１８０ｄｐｉ（１４１μｍピッチ）とし、各インクチャネルの深さＤは３１０μｍ、幅Ｗは８５μｍ、長さＬは６．５ｍｍ、各ノズルは図１４（ａ）に示す形状とし、インクには水系インクを使用した場合について説明する。

ノズル形成部材の材料として、厚み２００μｍのシリコン基板を用意し、フォトリソグラフィ処理（レジスト塗布、露光、現像）及びシリコン異方性ドライエッチング技術を用いて、図１４（ａ）に示す小径部２３ｃの直径ｄ１を３９μｍ、テーパ角α：０°、長さｔ１：３０μｍ、大径部２３ｄのＤ４：５０μｍ、テーパ角α：０°、長さｔ２：１７０μｍとした２段ノズル１７個を形成し、これをノズルとするノズル形成部材を作成した以外は、従来例１のヘッドと同様にして作製し、同様の評価を行った場合について説明する。

インクチャネルに対するＡＬが９．９μｓであった。

図１８にパルス幅ＰＷと液滴量のグラフを示す。

図１８より、中央のインクチャネル、端部のインクチャネルともパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである９．９μｓに一致したときに液滴量が最大になることがわかる。

図１８より、パルス幅ＰＷがＡＬである９．９μｓにおける、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．８５であり、端部のノズルの液滴量が大きく低下していることが判る。また、パルス幅ＰＷを変更しても中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．９０程度で変化がないことが判る。

従来のヘッドで、中央部と端部の液滴量を均一にするには、各チャネル毎に駆動電圧や電圧パルス幅を最適化する方法があるが、各チャネル毎に駆動回路を用意する必要があり、コストがかかる問題がある。
（実施の形態３）
次に、図１１に示すインクジェットヘッドを、両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルのノズルを図１４（ｂ）に示す形状で小径部２３ｃの直径ｄ２を３９μｍ、テーパ角α：０、長さｔ１：３０μｍ、大径部２３ｄのＤ３＝１５０μｍ、Ｄ４＝５０μｍ、テーパ角α：０、長さｔ１：１７０μｍとし、中央に位置するインクチャネルとその他のインクチャネルのノズルを従来例２と同一形状とした以外は、従来例２のヘッドと同様にして作製し、同様の評価を行った場合について説明する。

端部のインクチャネルに対するＡＬが９．５μｓ、中央部のインクチャネルに対するＡＬが９．９μｓであった。このように、大径部（インクチャネル側）の開口径を大きくすることによりＡＬが短くなっている。

図１９にパルス幅ＰＷと液滴量のグラフを示す。

図１９より、中央のインクチャネルはパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである９．９μｓに一致したときに液滴量が最大になり、端部のインクチャネルはパルス幅ＰＷがインクチャネルのＡＬである９．５μｓに一致したときに液滴量が最大になることがわかる。

ここで、図１９から明らかなように、端部のインクチャネルのパルス幅ＰＷと中央部のインクチャネルのパルス幅ＰＷを等しくした場合においても、最適なパルス幅を選択することにより、端部と中央部の液滴量の差を小さくすることができる。特に、中央部の液滴量分布曲線と端部の液滴量分布曲線が交差する位置である８．５μｓにパルス幅ＰＷを設定すれば、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は１．００となり、中央部と端部の液滴量を同じにすることができる。

また、従来例２のヘッドと同じパルス幅ＰＷが９．９μｓにおける、中央部のノズルの液滴量に対する端部のノズルの液滴量の比は０．９６であり、分布が改善されている。このパルス幅ＰＷを７．３μｓ〜１１．４μｓの範囲内のいずれか１つに選定した上で、各インクチャネルにこのパルス幅ＰＷの共通の電圧パルスを印加し、全インクチャネルの各ノズルから吐出される液滴量を測定したところ、最大の液滴量に対する最小の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内に収まっていることが確認できた。

以上のように、本実施の形態では、インクを吐出する前記複数のインクチャネルの配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルと、中央に位置するインクチャネルとで、ＡＬが異なる値となるようにノズルの形状が異なっているので、最適な膨張パルスのパルス幅ＰＷを選択することにより、端部ノズルより吐出されるインク滴量の低下を補うことができ、高品質の印字を行うことができる。これにより、各インクチャネルに共通の電圧パルスを印加する単純な駆動回路を用いることが可能になる。

また、図１６、１７，１９に示す端部ノズルと中央部ノズルの液滴量分布曲線において、交差する位置の近傍の適正パルス幅範囲内にパルス幅ＰＷを設定することにより、中央に位置するインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量及び前記一方のインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量のうちの大きい方の液滴量に対する小さい方の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内の値になるように膨張パルスのパルス幅ＰＷを設定することが可能になる。

また、中央のインクチャネルのＡＬに対する端部のインクチャネルのＡＬのシフト量は、前述の図１６、１７，１９に示す端部ノズルと中央部ノズルの液滴量分布曲線が交差するように設定されることが好ましく、端部のインクチャネルのＡＬと、中央のインクチャネルのＡＬとの差の絶対値が０．１μｓ以上５μｓ以下であることが好ましい。この範囲を外れると、端部の液滴量低下を十分に補うことができない場合があり、また、５μｓより大きいとインク滴の吐出効率が低下し、駆動電圧が上昇する場合がある。

さらに、本発明は、図２０に示すような、１チャネルおきにインクを供給してインクチャネル２８とし、その間のチャネルにはインク供給せずに空気チャネルとし、インクチャネル２８と空気チャネル２８’が交互に形成された独立チャネルヘッドにも適用できる。インクチャネルに対応してノズル２３を設けることにより、ノズル２３からインクが吐出される。また、入口と出口を有するインクチャネルの略中央部分に設けたノズルからインクを吐出するサイドシューターと呼ばれるタイプのヘッドにも適用できる。例えば、図４に示すインクジェットヘッドにおいて、ノズル形成部材側をインク出口側として、カバープレート２４あるいは基板２６におけるインクチャネル長手方向の略中央の位置に各ノズルを設け、インクチャネルの入口から出口に向かって連続的にインクを流しながら、インクチャネルの略中央に設けたノズルからインクを吐出させる。

ライン型の塗布装置の構成を示す模式図である。 インクジェットヘッドの配置例を示す図である。 インクジェットヘッドの千鳥配置の位置関係を示す図である。 実施の形態に係るせん断モード（シェアモード）タイプのインクジェットヘッドの概略構成を示す図であり、（ａ）は一部断面で示す斜視図、（ｂ）はインク供給部を備えた状態の断面図である。 （ａ）〜（ｃ）はヘッドの動作を示す図である。 電圧パルスの波形を示す図である。 （ａ）〜（ｃ）はヘッドの時分割駆動の説明図である。 Ａ、Ｂ、Ｃの各組のインクチャネルの電極に印加される電圧パルスのタイミングチャートである。 実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。 他の実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。 他の実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。 従来のインクジェットヘッドのインクチャネル列の断面図である。 ノズルの形状の一例を示す正面図と断面図である。（ａ）は中央のノズル、（ｂ）は端部のノズル、（ｃ）は端部のノズルの別の例を示している。 ノズルの形状の一例を示す正面図と断面図である。（ａ）は中央のノズル、（ｂ）は端部のノズルを示している。 従来のインクジェットヘッドの膨張パルスのパルス幅ＰＷと液滴量の関係を示す図である。 実施の形態に係るインクジェットヘッドの膨張パルスのパルス幅ＰＷと液滴量の関係を示す図である。 他の実施の形態に係るインクジェットヘッドの膨張パルスのパルス幅ＰＷと液滴速度の関係を示す図である。 従来のインクジェットヘッドの膨張パルスのパルス幅ＰＷと液滴量の関係を示す図である。 田の実施の形態に係るインクジェットヘッドの膨張パルスのパルス幅ＰＷと液滴量の関係を示す図である。 他の実施の形態に係るインクチャネル列の断面図である。 従来のインクジェットヘッドの液適量分布の一例を示す図である。

符号の説明

１ 塗布装置
１０ 支持体
１０Ａ 捲き出しロール
１０Ｂ 巻き取りロール
２０ バックロール
３０ インクジェットユニット
３１ インクジェットヘッド

Claims (20)

1. 少なくとも一部が圧電材料で構成された側壁により隔てられ、前記側壁表面の上方から底面に亘って繋がる電極が密着形成された複数のインクチャネルが配列され、前記側壁のせん断変形によりインクチャネル内の圧力を変化させて、インクチャネルに連通したノズルからインクを吐出せしめるインクジェットヘッドであって、
   前記インクチャネルにおける圧力波の音響的共振周期の１／２をＡＬとしたとき、インクを吐出する前記複数のインクチャネルの配列方向の両端に位置する２つのインクチャネルと、中央に位置するインクチャネルとで、ノズルのインク吐出側の開口径は同一であり、且つ、ＡＬが異なる値となるようにノズルの形状が異なることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記両端に位置する２つのインクチャネルは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとで、ＡＬが異なる値となるようにノズルの形状が異なることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルおよび他方のインクチャネルから中央に位置するインクチャネルに向かって連続する３つのインクチャネルと前記中央に位置するインクチャネルとを除いた他のインクチャネルと、前記中央に位置するインクチャネルとは、ノズルの形状が同じであることを特徴とする請求項４または５に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記ノズルの形状が異なるとは、ノズルのインクチャネル側の開口径が異なることであることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記ノズルが、インク吐出側の開口に連続して設けられたストレート部を有し、前記ノズルの形状が異なるとは、前記ストレート部の長さが異なることであることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
9. 前記両端に位置する２つのインクチャネルの外側にインクを吐出しないダミーチャネルを有することを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
10. 前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルのＡＬと、中央に位置するインクチャネルのＡＬとの差の絶対値が０．１μｓ以上５μｓ以下であることを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
11. 前記ノズルが形成されているノズル形成部材は、シリコンで構成されることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
12. 請求項１乃至１１の何れか１項に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする塗布装置。
13. 前記側壁は、側壁の少なくとも一部に形成された電極に印加される電圧パルスによりせん断変形され、前記電圧パルスは、前記インクチャネルの容積を膨張させた後、収縮させる膨張パルスを有し、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルの側壁の電極に印加される膨張パルスのパルス幅と、前記中央に位置するインクチャネルの側壁の電極に印加される膨張パルスのパルス幅とは互いに等しいことを特徴とする請求項１２に記載の塗布装置。
14. 前記インクを吐出する複数のインクチャネルの全てのインクチャネルの側壁の電極に印加される膨張パルスのパルス幅が互いに等しいことを特徴とする請求項１３に記載の塗布装置。
15. 前記中央に位置するインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量及び前記一方のインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量のうちの大きい方の液滴量に対する小さい方の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内の値になるように前記膨張パルスのパルス幅が設定されていることを特徴とする請求項１３または１４に記載の塗布装置。
16. 前記インクを吐出する複数のインクチャネルのうち、間に２本のインクチャネルを挟んで離れているインクチャネルをまとめて１つの組として、全インクチャネルを３つの組に分割し、各組毎に順次電圧パルスが印加されることを特徴とする請求項１３乃至１５の何れか１項に記載の塗布装置。
17. 前記インクを吐出する複数のインクチャネルの全てのインクチャネルの側壁の電極に共通の電圧パルスが印加されることを特徴とする請求項１３乃至１６の何れか１項に記載の塗布装置。
18. 前記電圧パルスは矩形波の電圧パルスであることを特徴とする請求項１３乃至１７の何れか１項に記載の塗布装置。
19. 連続搬送される長尺状の支持体上に、支持体の幅方向に塗布幅に対応して配置された複数の前記インクジェットヘッドから塗布液の液滴を吐出させて塗膜を形成させることを特徴とする請求項１２乃至１８の何れか１項に記載の塗布装置。
20. 請求項１乃至１１の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの駆動方法であって、前記インクジェットヘッドの各インクチャネルにインクを供給し、前記両端に位置する２つのインクチャネルの一方のインクチャネルの側壁の少なくとも一部に形成された電極に前記インクチャネルの容積を膨張させた後、収縮させる膨張パルスを有する電圧パルスを印加してノズルからインク液滴を吐出させ、前記膨張パルスのパルス幅の変化に対するインク液滴の液滴量の変化の関係を示す液滴量のパルス幅依存性を測定する工程と、
    前記中央に位置するインクチャネルの側壁の少なくとも一部に形成された電極に前記インクチャネルの容積を膨張させた後、収縮させる膨張パルスを有する電圧パルスを印加してノズルからインク液滴を吐出させ、前記膨張パルスのパルス幅の変化に対するインク液滴の液滴量の変化の関係を示す液滴量のパルス幅依存性を測定する工程と、
    前記一方のインクチャネルの側壁の電極に印加する膨張パルスのパルス幅と、前記中央に位置するインクチャネルの側壁の電極に印加する膨張パルスのパルス幅とは互いに等しく、かつ前記中央に位置するインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量と前記一方のインクチャネルのノズルから吐出されるインク液滴の液滴量のうちの大きい方の液滴量に対する小さい方の液滴量の比率が、０．９５以上１．０以下の範囲内の値になるように前記膨張パルスのパルス幅を設定する工程と、
    を有することを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方法。

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