JP2018043365A - インクジェットヘッド駆動装置及びインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルの数よりも少ない補正データで製造上のばらつき等に起因する濃度ムラを目立たなくすることができ、回路規模の縮小と補正データ設定作業の容易化を図る。【解決手段】インクジェットヘッド駆動装置は、第１パルス発生回路、複数の第２パルス発生回路、波形生成回路及び駆動回路を含む。第１パルス発生回路は、インクジェットヘッドのノズル列を形成する全てのノズルに対して共通の第１パルスを発生する。第２パルス発生回路は、ノズル列のうちの複数の連続するノズル群に対応して各々設けられ、ノズル群に対する補正データを入力し、その補正データに応じてパルス幅が変化する第２パルスを発生する。波形生成回路は、第１パルスと第２パルスとを入力し、駆動波形を生成する。駆動回路は、駆動波形を入力し、ノズルからインク液滴を吐出させるためのアクチュエータを駆動する。【選択図】 図７

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッドの駆動装置及びこの駆動装置によって駆動されるインクジェットヘッドに関する。

インク液滴を吐出するための複数のノズルを一方向に配列してなるインクジェットヘッドは、必ずしも各ノズルから吐出されるインク液滴の体積が均一ではない。このため、各ノズルから同じ数のインク液滴を吐出させてベタ画像を印刷した場合でも濃度ムラを生じることがある。また、インクジェットヘッドのノズル配列方向の幅よりも広い印刷領域を印刷する場合、印刷領域を幅方向に分割し、その分割された領域毎に複数のインクジェットヘッドを並べて印刷する場合がある。このような場合、ヘッドとヘッドとの境目で濃度に段差が生じることがある。

各ノズルから吐出されるインク液滴の体積が均一にならない原因は、主にインクジェットヘッドに構造上のばらつきが生じているためである。例えば各ノズルの径、あるいは、各ノズルにそれぞれ連通する圧力室の容積は、必ずしも一定ではない。このような構造上のばらつきは、インクジェットヘッドを製造する際に用いられる加工機の特性に起因する場合が多い。

従来、各ノズルにそれぞれ対応した各アクチュエータに印加される駆動パルス信号のパルス幅を補正することで、ノズル毎にインク液滴の吐出量を調整する技術がある。この技術を用いることにより、各ノズルから吐出されるインク液滴の量を均一化することはできる。しかし均一化するためには、ノズル毎にパルス幅を補正するための補正データを設定しなければならない。例えば３１８個のノズルを有するインクジェットヘッドに対しては３１８個分の補正データを設定しなければならず、大変な手間を要する。しかも、補正データに従い駆動パルス信号のパルス幅を制御する回路がノズル毎に必要となるため、回路規模が非常に大きくなる。

特開２０１２−４５７８０号公報 特開２０１３−５９９６１号公報

本発明の実施形態が解決しようとする課題は、ノズルの数よりも少ない補正データで製造上のばらつき等に起因する濃度ムラを目立たなくすることができ、回路規模の縮小と補正データ設定作業の容易化を図り得るインクジェットヘッド駆動装置及びこの駆動装置によって駆動されるインクジェットヘッドを提供しようとするものである。

一実施形態において、インクジェットヘッド駆動装置は、第１パルス発生回路、複数の第２パルス発生回路、波形生成回路及び駆動回路を含む。第１パルス発生回路は、インクジェットヘッドのノズル列を形成する全てのノズルに対して共通の第１パルスを発生する。第２パルス発生回路は、前記ノズル列のうちの複数の連続するノズル群に対応して各々設けられ、前記ノズル群に対する補正データを入力し、その補正データに応じてパルス幅が変化する第２パルスを発生する。波形生成回路は、前記第１パルスと前記第２パルスとを入力し、駆動波形を生成する。駆動回路は、前記駆動波形を入力し、前記ノズルからインク液滴を吐出させるためのアクチュエータを駆動する。

インクジェットヘッドの一部を分解して示す斜視図。 同インクジェットヘッドの前方部における横断面図。 同インクジェットヘッドの前方部における縦断面図。 同インクジェットヘッドの動作原理を説明するための模式図。 同インクジェットヘッドに印加される駆動パルス信号と、この駆動パルス信号の生成に必要なDrawパルス信号、Releaseパルス信号及びPushパルス信号の各波形図。 インク引き込み時間Drawを調整する具体例を説明するためのタイミング図。 第１の実施形態であるインクジェットヘッド駆動装置のブロック図。 図７に示す波形生成回路と駆動回路との回路構成図。 補正データを与えずに各ノズルから吐出させたインク液滴で形成されるドット径のグラフ。 補正データを与えて各ノズルから吐出させたインク液滴で形成されるドット径のグラフ。 第２の実施形態であるインクジェットヘッド駆動装置のブロック図。 図１１に示す波形生成回路と駆動回路との回路構成図。

はじめに、インクジェットヘッド１００（以下、ヘッド１００と略称する）の構成について、図１乃至図３を用いて説明する。図１は、ヘッド１００の一部を分解して示す斜視図、図２は、ヘッド１００の前方部における横断面図、図３は、ヘッド１００の前方部における縦断面図である。なお、ヘッド１００は、長手方向を縦方向、長手方向に直交する方向を横方向とする。

図１に示すようにヘッド１００は、長方形のベース基板９を有する。ヘッド１００は、ベース基板９の前方側の上面に第１の圧電部材１を接合し、この第１の圧電部材１の上に第２の圧電部材２を接合する。接合された第１の圧電部材１と第２の圧電部材２とは、図２の矢印で示すように、板厚方向に沿って互いに相反する方向に分極する。

ベース基板９は、誘電率が小さく、かつ圧電部材１，２との熱膨張率の差が小さい材料を用いて形成する。ベース基板９の材料としては、例えばアルミナ（Al203）、窒化珪素（Si3N4）、炭化珪素（SiC）、窒化アルミニウム（AlN）、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）等がよい。一方、圧電部材１，２の材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）、ニオブ酸リチウム（LiNbO3）、タンタル酸リチウム（LiTaO3）等が用いられる。

ヘッド１００は、接合された圧電部材１，２の先端側から後端側に向けて、多数の長尺な溝３を設ける。各溝３は、間隔が一定でありかつ平行である。各溝３は、先端が開口し、後端が上方に傾斜する。このような多数の溝３の形成には、切削加工機を用いることができる。

図２，図３に示すようにヘッド１００は、各溝３の隔壁に電極４を設ける。電極４は、ニッケル（Ni）と金（Au）との二層構造となっている。電極４は、例えばメッキ法によって各溝３内に均一に成膜される。電極４の形成方法は、メッキ法に限定されない。他に、スパッタ法や蒸着法等を用いることもできる。

図１に示すようにヘッド１００は、各溝３の後端から第２の圧電部材２の後部上面に向けて引出し電極１０を設ける。引出し電極１０は、前記電極４から延出する。

図１，図３に示すようにヘッド１００は、天板６とオリフィスプレート７とを備える。天板６は、各溝３の上部を塞ぐ。オリフィスプレート７は、各溝３の先端を塞ぐ。ヘッド１００は、天板６とオリフィスプレート７とで囲まれた各溝３によって、複数の圧力室１５を形成する。圧力室１５は、例えば深さが３００μｍで幅が８０μｍの形状を有し、１６９μｍのピッチで平行に配列される。ただし、切削加工機の特性に起因する製造時のばらつき等により、各圧力室１５の形状が必ずしも均一になるとは限らない。例えば切削加工機は１６本の圧力室１５を一括して形成し、これを２０回繰り返すことによって３２０本の圧力室１５を形成する。このとき１６本の圧力室１５を形成する加工刃が個体差を持っていれば、各圧力室１５の形状は周期性をもつことになる。しかも圧力室１５の形状は、２０回の繰り返し加工の際の加工温度の変化等に起因して僅かずつ変化していく。これらの圧力室１５の微小な変化が最終的には印刷濃度の微小な周期的変化の原因のひとつとなる。

天板６は、その内側後方に共通インク室５を備える。オリフィスプレート７は、各溝３と対向する位置にノズル８を穿設する。ノズル８は、対向する溝３つまりは圧力室１５と連通する。ノズル８は、圧力室１５側から反対側のインク吐出側に向けて先細りの形状をなす。ノズル８は、隣り合う３つの圧力室１５に対応したものを１セットとし、溝３の高さ方向（図２の紙面の上下方向）に一定の間隔でずれて形成される。なお、図２では、ノズル８の位置がわかるようにノズル８を模式的に図示している。ノズル８は、例えば、レーザ加工機により形成することができる。レーザ加工機が所定の位置にノズル８を形成する際、各ノズル８の加工位置を決める方法として、レーザービームの位置を光学的に設定する方法と、ワーク、すなわちオリフィスプレート７側を機械的に移動する方法とがある。ノズル８の数が多い場合には、２つの方法を併用すると都合がよい。しかしながら、光学的位置決め方法と機械的位置決め方法とを併用した穴加工を行うと、それぞれの加工毎の穴形状の微小変化によって穴形状に周期性が生じる。この穴形状の周期性も印刷濃度の微小な周期的変化の原因のひとつとなる。

図１に示すようにヘッド１００は、ベース基板９の後方側の上面に、導電パターン１３が形成されたプリント基板１１を接合する。そしてヘッド１００は、このプリント基板１１に、後述するインクジェットヘッド駆動装置を実装したドライブＩＣ１２を搭載する。ドライブＩＣ１２は、導電パターン１３に接続する。導電パターン１３は、各引出し電極１０とワイヤボンディングにより導線１４で結合する。ドライブＩＣ１２は、一つで全てのノズル８に対応する電極を駆動するものであってもよい。しかし、一つのドライバＩＣ当たりの回路数が多くなり過ぎると、いくつかのデメリットが生じる。例えば、チップサイズが大きくなり歩留まりが低下する、出力回路の配線が困難になる、駆動時の発熱が集中する、ドライバＩＣの数を増減してノズル数の増減に対応することができない等である。このため、例えばノズル８の数が３２０のヘッドに対しては、出力数が８０回路のドライバＩＣ１２を４つ使用すればよい。しかしながらその場合には、ドライバＩＣ１２内の配線抵抗の差異などに起因して出力波形がノズル８の並び方向に応じて空間的な周期を持つ。その周期性の強さはドライバドライバＩＣ１２の個体差などに依存して変化する。この出力波形の空間的周期性もまた印刷濃度の微小な周期的変化の原因のひとつとなる。

次に、上記の如く構成されたヘッド１００の動作原理について、図４及び図５を用いて説明する。

図４の（ａ）は、中央の圧力室１５ｂと、この圧力室１５ｂに隣接する両隣の圧力室１５ａ，１５ｃとの各壁面にそれぞれ配設された電極４の電位がいずれもグラウンド電位ＧＮＤである状態を示している。この状態では、圧力室１５ａと圧力室１５ｂとで挟まれた隔壁１６ａ及び圧力室１５ｂと圧力室１５ｃとで挟まれた隔壁１６ｂは、いずれも何ら歪み作用を受けない。本明細書では、図４の（ａ）の状態を定常状態と称する。

図４の（ｂ）は、中央の圧力室１５ｂの電極４に負極性の電圧−Ｖが印加され、両隣の圧力室１５ａ，１５ｃの電極４の電位がいずれもグラウンド電位ＧＮＤのままである状態を示している。この状態では、各隔壁１６ａ，１６ｂに対して、圧電部材１，２の分極方向と直交する方向に電圧Ｖの電界が作用する。この作用により、各隔壁１６ａ，１６ｂは、圧力室１５ｂの容積を拡張するようにそれぞれ外側に変形する。本明細書では、図４の（ｂ）の状態を拡張状態と称する。

図４の（ｃ）は、中央の圧力室１５ｂの電極４に正極性の電圧＋Ｖが印加され、両隣の圧力室１５ａ，１５ｃの電極４の電極４の電位がいずれもグラウンド電位ＧＮＤのままである状態を示している。この状態では、各隔壁１６ａ，１６ｂに対して、図４（ｂ）のときとは逆の方向に電圧Ｖの電界が作用する。この作用により、各隔壁１６ａ，１６ｂは、圧力室１５ｂの容積を収縮するようにそれぞれ内側に変形する。本明細書では、図４の（ｃ）の状態を収縮状態と称する。

さて、圧力室１５ｂに連通するノズル８からインク液滴を吐出させる場合、先ずヘッド１００は、ステップＳ１として、圧力室１５ｂを定常状態から拡張状態に変化させる。拡張状態になると、図４の（ｂ）に示すように、圧力室１５ｂの両側の隔壁１６ａ，１６ｂが、圧力室１５ｂの容積を拡大するようにそれぞれ外側に変形する。この変形により、圧力室１５ｂ内の圧力が低下して、共通インク室５から圧力室１５ｂ内にインクが流れ込む。

次にヘッド１００は、ステップＳ２として、圧力室１５ｂを拡張状態から定常状態に戻す。定常状態に戻ると、図４の（ａ）に示すように、圧力室１５ｂの両側の隔壁１６ａ，１６ｂが定常状態に復元される。この復元により、圧力室１５ｂ内の圧力が増大して、圧力室１５ｂに対応したノズル８からインク液滴が吐出される。かくして、圧力室１５ａ，１５ｂを隔てる隔壁１６ａと、圧力室１５ｂ，１５ｃを隔てる隔壁１６ｂとは、当該隔壁１６ａ，１６ｂを壁面とする圧力室１５ｂの内部に圧力振動を与えるためのアクチュエータとなる。

次にヘッド１００は、ステップＳ３として、圧力室１５ｂを定常状態から収縮状態に変化させる。収縮状態になると、図４の（ｃ）に示すように、圧力室１５ｂの両側の隔壁１６ａ，１６ｂが、圧力室１５ｂの容積を縮小するようにそれぞれ内側に変形する。この変形により、圧力室１５ｂ内の圧力がさらに増大する。このため、インク液滴の吐出後に圧力室１５ｂ内に生じる圧力低下が緩和されて、圧力室１５ｂ内に残っていた圧力振動がキャンセルされる。

その後ヘッド１００は、ステップＳ４として圧力室１５ｂを収縮状態から定常状態に戻す。定常状態に戻ると、図４の（ａ）に示すように、圧力室１５ｂの両側の隔壁１６ａ，１６ｂが定常状態に復元される。

図５は、上述したステップＳ１〜Ｓ４の動作を実現させるために、圧力室１５ｂのアクチュエータに印加される駆動パルス信号Ｐの波形と、駆動パルス信号Ｐの生成に必要なDrawパルス信号ｄ、Releaseパルス信号ｒ及びPushパルス信号ｐの各波形とを示す。図５において、時間Ｔは、１滴のインク液滴を吐出するのに必要な時間である。時間Ｔは、インク引き込み時間Drawと、インク吐出時間Releaseと、キャンセル時間Pushとを含む。図５に示すように、インク引き込み時間DrawはDrawパルス信号ｄのパルス幅に相当し、インク吐出時間ReleaseはReleaseパルス信号ｒのパルス幅に相当し、キャンセル時間PushはPushパルス信号ｐのパルス幅に相当する。これらのパルス幅、すなわちインク引き込み時間Draw、インク吐出時間Release及びキャンセル時間Pushは、通常、ヘッド１００毎に、使用するインクや温度等の条件により適切な値に設定される。

図５において、時点ｔ１になると、ヘッド１００では、Drawパルス信号ｄがオンする。そしてこのオン状態は、インク引き込み時間Drawだけ継続する。Drawパルス信号ｄがオンすると、駆動パルス信号Ｐは、圧力室１５ｂの電極に負極性の電圧−Ｖを印加する。したがって、圧力室１５ｂが定常状態から拡張状態に変化する（ステップＳ１）。

インク引き込み時間Drawが経過して時点ｔ２になると、ヘッド１００では、Releaseパルス信号ｒがオンする。そしてこのオン状態は、インク吐出時間Releaseだけ継続する。Releaseパルス信号ｒがオンすると、駆動パルス信号Ｐは、グラウンド電位ＧＮＤとなる。したがって、圧力室１５ｂが拡張状態から定常状態に戻される（ステップＳ２）。

インク吐出時間Releaseが経過して時点ｔ３になると、Pushパルス信号ｐがオンする。そしてこのオン状態は、キャンセル時間Pushだけ継続する。Pushパルス信号ｐがオンすると、駆動パルス信号Ｐは、圧力室１５ｂの電極に正極性の電圧＋Ｖを印加する。したがって、圧力室１５ｂが定常状態から拡張状態に変化する（ステップＳ３）。

キャンセル時間Pushが経過して時点ｔ４になると、駆動パルス信号Ｐは、グラウンド電位ＧＮＤとなる。したがって、圧力室１５ｂが拡張状態から定常状態に戻される（ステップＳ４）。かくして時点ｔ１から時間Ｔが経過するまでの期間内の駆動パルス信号Ｐにより、ヘッド１００では、圧力室１５ｂに連通するノズル８からインク液滴が１滴吐出される。

その後、時点ｔ５になると、ヘッド１００では、Drawパルス信号ｄが再びオンする。そして以後、時点ｔ６，時点ｔ７及び時点ｔ８において、前述した時点ｔ２，時点ｔ３及び時点ｔ３と同様にDrawパルス信号ｄ、Releaseパルス信号ｒ及びPushパルス信号ｐが順次オン、オフする。かくして時点ｔ５から時間Ｔが経過するまでの期間内に生じる駆動パルス信号Ｐにより、ヘッド１００では、圧力室１５ｂに連通するノズル８から２滴目のインク液滴が吐出される。

このように、時点ｔ５以降においても時点ｔ１〜ｔ４と同様な動作を繰り返すことにより、ノズル８からインク液滴を連続して吐出させることができる。ここで、インク液滴の吐出数は、図示しないイネーブル信号のオン時間によって決まる。例えば、イネーブル信号のオン時間が時間Ｔと等しければ吐出数は“１”となり、時間Ｔの２倍と等しければ吐出数は“２”となる。このようにイネーブル信号のオン時間を調整することによって、ヘッド１００は、可変数のインク液滴で一つのドットを形成する、いわゆるマルチドロップ方式による階調印字が可能となる。

マルチドロップ方式では、印刷の濃淡をインク液滴の数によって調整する。しかし、各ノズル８から同じ数のインク液滴をそれぞれ吐出させて印刷を行っても、前述した製造上のばらつきに起因して濃度ムラを生じることがある。このような濃度ムラは、インク液滴の数を調整しても粗すぎて解消されない。

インク液滴の体積は、圧力室１５ｂ内にインクを引き込む時間、いわゆるインク引き込み時間Drawに依存することは知られている。例えば本願出願人による特許第５４８１３１７号には、インク液滴の体積とインク引き込み時間との関係について詳しく説明されている。それによると、インク引き込み時間Drawが圧力振動の半周期（ＡＬ）に等しいとき、インク液滴の体積は最大となり、圧力振動の半周期（ＡＬ）よりも短いとインク液滴の体積は小さくなる。

そこで本実施形態では、補正データによりインク引き込み時間Drawを調整して、各ノズル８から吐出されるインク液滴の体積を均一化することで、濃度ムラを解消する。図６は、インク引き込み時間Drawを調整する具体例を説明するためのタイミング図である。図６において、パルス波形Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃは、いずれも圧力室１５ｂのアクチュエータに印加される駆動パルス信号Ｐの波形を示す。ここで説明の便宜上、パルス波形Ｐａは、図５に示す駆動パルス信号Ｐと一致しており、このパルス波形Ｐａを補正前の基準波形とする。

パルス波形Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃを対比すればわかるように、本実施形態では、時点ｔ１のタイミングを、時間“−ｔ”から“＋ｔ”の範囲内で変化させる。時点ｔ１のタイミングをどの程度変化させるかについては、補正データによって決まる。例えば、補正データが時点ｔ１のタイミングを早める方向、すなわち“−ｔ”の方向に変化させるデータであると、基準波形よりもインク引き込み時間Drawが長くなる（Ｄｂ＞Ｄａ）。逆に、補正データが時点ｔ１のタイミングを遅らす方向、すなわち“＋ｔ”の方向に変化させるデータであると、基準波形よりもインク引き込み時間Drawが短くなる（Ｄａ＞Ｄｃ）。このように、時点ｔ１のタイミングを“−ｔ”の方向または“＋ｔ”の方向にずらすことによって、インク引き込み時間Drawを可変することができる。すなわち、ノズルから吐出されるインク液滴の体積を調整することができる。

なお、インク引き込み時間Drawが変わると、残留振動のキャンセル条件が変化する。このため、インク引き込み時間Drawの調整に応じてインク吐出時間Release及びキャンセル時間Pushも調整することが望ましい。しかし、インク引き込み時間Drawの調整範囲が小さければ、インク吐出時間Releaseとキャンセル時間Pushとの調整量は無視できるほど小さいものとなる。そこで本実施形態では、インク吐出時間Releaseとキャンセル時間Pushとは補正対象外とし、常に一定とする。

一方、インク引き込み時間Drawの調整をノズル単位で行うと、ノズルの数だけ補正データが必要となる。また、各補正データでインク引き込み時間Drawを調整するための回路もノズルの数だけ必要となる。このため、回路規模が膨大になる。そこで本実施形態では、連続する複数のノズルをグループ化し、このグループ毎にインク引き込み時間Drawを調整する。

以下、ノズルの数よりも少ない補正データで製造上のばらつき等に起因する濃度ムラを目立たなくすることができ、回路規模の縮小と補正データ設定作業の容易化を図り得るインクジェットヘッド駆動装置の実施形態（第１及び第２の実施形態）について説明する。

始めに、第１の実施形態について図７及び図８を用いて説明する。
図７は、第１の実施形態であるインクジェットヘッド駆動装置２０（以下、駆動装置２０と称する）のブロック図である。駆動装置２０は、３２４個のノズルを一方向に配列してなるヘッド２００に対応したものである。ただしこのようなヘッド２００は、端部側のノズルでクロストークにより吐出量が多くなる現象が現れやすい。そこで図７に示すように、一方の端部にある３個のノズルと他方の端部にある３個のノズルとをそれぞれダミー（dummy）とする。そしてその間の３１８個のノズル（Nozzle#1〜Nozzle#318）からインク液滴を吐出して印刷を行うヘッド２００を例示する。

駆動装置２０は、ダミー（dummy）を含めて３２４個のノズルにそれぞれ対応させて、波形生成回路２１と駆動回路２２とを対にして設ける。すなわち駆動装置２０は、３２４個の波形生成回路（波形生成回路#1〜#324）２１と、同じく３２４個の駆動回路（駆動回路#1〜#324）２２とを設ける。波形生成回路２１は、対応するノズルのアクチュエータに印加される駆動パルス信号Ｐの波形を生成する回路である。駆動回路２２は、波形生成回路２１で生成された駆動波形の駆動パルス信号Ｐを対応するノズルのアクチュエータに出力して、当該アクチュエータを駆動させる回路である。

また駆動装置２０は、駆動パルス信号Ｐの生成に必要なDrawパルス信号ｄ、Releaseパルス信号ｒ及びPushパルス信号ｐをそれぞれ発生する回路、すなわちDrawパルス発生回路２３、Releaseパルス発生回路２４及びPushパルス発生回路２５を設ける。ここで本実施形態では、ダミーとしたノズルも含めて一方の端部から順に連続する６個のノズルをグループ化する。すなわち、３２４個のノズルを５４個のノズル群にまとめる。そして、そのノズル群を単位としてインク引き込み時間Drawを調整する。このため駆動装置２０は、図７に示すように、３２４個の波形生成回路２１及び駆動回路２２を、一方の端部のダミーとしたノズルに対応したものから順に６個ずつグループ化する。さらに駆動装置２０は、波形生成回路２１及び駆動回路２２のグループに対応させて、５４個のDrawパルス発生回路（Drawパルス発生回路#1〜#54）２３を設ける。Releaseパルス発生回路２４及びPushパルス発生回路２５は、それぞれ１個ずつである。

各Drawパルス発生回路２３には、それぞれ補正データdata1〜data54が入力される。補正データdata1は、一方の端部側の３つのダミーとしたノズルと１〜３番のノズルNozzle1〜Nozzle3とに対する補正データである。補正データdata1は、４〜９番のノズルNozzle4〜Nozzle9に対する補正データである。以下同様であり、補正データdata1は、３１６〜３１８番のノズルNozzle316〜Nozzle318と他方の端部側の３つのダミーとしたノズルとに対する補正データである。

各補正データdata1〜data54は、例えばヘッド２００を搭載したプリンタのメモリに設定されている。あるいはヘッド２００のドライブＩＣに内蔵されたメモリに設定されていてもよい。各Drawパルス発生回路２３は、それぞれ補正データdata1〜data54に従い、Drawパルス信号ｄ１〜ｄ５４のオンタイミングを時間ｔ１−ｔ≦ｔ１≦ｔ１＋ｔの範囲内で可変する。

駆動装置２０は、各Drawパルス発生回路２３からそれぞれ対応するグループに属する６つの波形生成回路２１に対し、共通のDrawパルス信号ｄ１〜ｄ５４が供給されるように配線されている。また駆動装置２０は、Releaseパルス発生回路２４及びPushパルス発生回路２５から全ての波形生成回路２１に対して、それぞれReleaseパルス信号ｒ及びPushパルス信号ｐが供給されるように配線されている。

ここに、Releaseパルス発生回路２４及びPushパルス発生回路２５は、インクジェットヘッドのノズル列を形成する全てのノズルに対して共通の第１パルスを発生する第１パルス発生回路に相当する。また、各Drawパルス発生回路２３は、前記ノズル列のうちの複数の連続するノズル群に対応して各々設けられ、前記ノズル群に対する補正データを入力し、その補正データに応じてパルス幅が変化する第２パルスを発生する複数の第２パルス発生回路に相当する。

図８は、１つの波形生成回路２１と、その波形生成回路２１と対になった駆動回路２２との回路構成図である。他の波形生成回路２１と駆動回路２２との回路構成も図８と同様なので、ここでの説明は省略する。

波形生成回路２１は、ドロップ数指定回路２１１、ＮＡＮＤ回路２１２、及び２つのＡＮＤ回路２１３、２１４を含む。ドロップ数指定回路２１１は、ノズル毎に１ドット内に吐出するドロップの数を指定する情報、いわゆるdrop数を入力する。drop数は、ヘッド２００を搭載したプリンタのコントローラから印刷データに基づいて与えられる。ドロップ数指定回路２１１は、入力されたdrop数に応じてイネーブル信号Ｅのオン時間を決定する。そしてドロップ数指定回路２１１は、イネーブル信号ＥをＮＡＮＤ回路２１２及び２つのＡＮＤ回路２１３、２１４に出力する。

ＮＡＮＤ回路２１２は、イネーブル信号ＥとPushパルス信号ｐとを入力とし、その否定論理積信号を駆動回路２２に出力する。一方のＡＮＤ回路２１３は、イネーブル信号ＥとReleaseパルス信号ｒとを入力とし、その論理積信号を駆動回路２２に出力する。他方のＡＮＤ回路２１４は、イネーブル信号ＥとDrawパルス信号ｄｍ（ｍ：１〜５４）とを入力とし、その論理積信号を駆動回路２２に出力する。

駆動回路２２は、負論理入力のＰ型ＭＯＳＦＥＴ２２１と、２つのＮ型ＭＯＳＦＥＴ２２２，２２３とを含む。そして駆動回路２２は、ＮＡＮＤ回路２１２から出力される否定論理積信号をＰ型ＭＯＳＦＥＴ２２１のゲート信号とする。また駆動回路２２は、ＡＮＤ回路２１３から出力される論理積信号をＮ型ＭＯＳＦＥＴ２２２のゲート信号とし、ＡＮＤ回路２１４から出力される論理積信号をＮ型ＭＯＳＦＥＴ２２３のゲート信号とする。

駆動回路２２において、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴ２２１は、ドレイン端子を＋Ｖ電源端子に接続し、ソース端子をＮ型ＭＯＳＦＥＴ２２２のドレイン端子に接続する。Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ２２２は、ソース端子を接地する。Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ２２３は、ドレイン端子をＰ型ＭＯＳＦＥＴ２２１のソース端子とＮ型ＭＯＳＦＥＴ２２２のドレイン端子との接続点に接続し、ソース端子をーＶ電源端子に接続する。そして駆動回路２２は、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴ２２１のソース端子とＮ型ＭＯＳＦＥＴ２２２及びＮ型ＭＯＳＦＥＴ２２３の各ドレイン端子との接続点を駆動パルス信号Ｐの出力端子とし、この出力端子にノズルのアクチュエータ３０を接続する。

かかる構成の波形生成回路２１及び駆動回路２２であれば、イネーブル信号Ｅがオンのとき、Drawパルス信号ｄｍがオンすると、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ２２３がオンするので、アクチュエータ３０に−Ｖ電圧が印加される。Drawパルス信号ｄｍがオフし、Releaseパルス信号ｒがオンすると、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ２２３がオフし、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ２２２がオンするので、アクチュエータ３０に印加される電圧レベルがグラウンド電位ＧＮＤとなる。Releaseパルス信号ｒがオフし、Pushパルス信号ｐがオンすると、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ２２２がオフし、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴ２２１がオンするので、アクチュエータ３０に＋Ｖ電圧が印加される。Pushパルス信号ｐがオフし、Releaseパルス信号ｒがオンすると、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴ２２１がオフし、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ２２２がオンするので、アクチュエータ３０に印加される電圧レベルがグラウンド電位ＧＮＤとなる。

したがって、駆動装置２０は、図５に示すように、先ず、時点ｔ１において５４個のDrawパルス発生回路（Drawパルス発生回路#1〜#54）２３からDrawパルス信号ｄｍをインク引き込み時間Drawだけ出力する。次いで駆動装置２０は、時点ｔ２においてReleaseパルス発生回路２４からReleaseパルス信号ｒをインク吐出時間Releaseだけ出力する。次いで駆動装置２０は、時点ｔ３においてPushパルス発生回路２５からPushパルス信号ｐをキャンセル時間Push出力する。次いで駆動装置２０は、時点ｔ４においてReleaseパルス発生回路２４からReleaseパルス信号ｒを時間ｔ５までの時間だけ出力する。このような動作を駆動装置２０が繰り返すことで、ドロップ数指定回路２１１に入力されたdrop数のインク液滴がノズルから連続して吐出される。

ここで、Drawパルス信号ｄｍがオンするタイミングｔ１は、補正データによってｔ１−ｔからｔ１＋ｔの範囲内で変化する。そして、−ｔの方向にオンタイミングが変化するDrawパルス信号ｄｍが供給されたグループの各ノズルに対応した圧力室１５のインク引き込み時間Drawは、時点ｔ１のタイミングでDrawパルス信号ｄｍがオンしたグループの各ノズルに対応した圧力室１５のインク引き込み時間Drawよりも長くなる。逆に、＋ｔの方向にオンタイミングが変化するDrawパルス信号ｄｍが供給されたグループの各ノズルに対応した圧力室１５のインク引き込み時間Drawは、時点ｔ１のタイミングでDrawパルス信号ｄｍがオンしたグループの各ノズルに対応した圧力室１５のインク引き込み時間Drawよりも短くなる。

そこで、同一波形の駆動パルス信号Ｐが与えられた場合に、他のグループのノズル群よりもインク液滴の体積が小さくなるグループのノズル群に対しては、Drawパルス信号ｄｍの出力タイミングがｔ１−ｔとなるような補正データをDrawパルス発生回路２３に与える。逆に、他のグループのノズル群よりもインク液滴の体積が大きくなるグループのノズル群に対しては、Drawパルス信号ｄｍの出力タイミングがｔ１＋ｔとなるような補正データをDrawパルス発生回路２３に与える。

このように複数の連続するノズルをまとめたグループを単位として適切な補正データを各Drawパルス発生回路２３に与えることにより、ヘッド２００のノズル列を形成する全てのノズルから吐出されるインク液滴の体積を均一化することができる。その結果、製造上のばらつき等に起因する濃度ムラを目立たなくすることができる。その際、補正データの数はグループの数であり、ノズルの数よりも大幅に少ない。したがって、補正データの数を減らすことができるので、補正データの設定に要する負担を軽減できる。また、Drawパルス発生回路２３の数もグループの数で良いので、ノズルの数だけ必要な場合よりも回路規模を小さくすることができる。

図９は、Drawパルス発生回路２３に補正データを与えずに各ノズルから吐出させたインク液滴から形成されるドットの径（４ドット移動平均（ｕｍ））をノズル毎にグラフ化したものである。なお、図９において、白抜きの三角で表わしたマークは、６つの連続するノズルを１つのグループとしたときのそのグループに対する調整値を表す。一方、図１０は、調整値を補正データとしてDrawパルス発生回路２３に与えて各ノズルから吐出させたインク液滴から形成されるドットの径（４ドット移動平均（ｕｍ））をノズル毎にグラフ化したものである。図９と図１０とを比較すれば明らかなように、Drawパルス発生回路２３に補正データを与えることにより、ドット径を均一化することができる。

ところで本実施形態では、連続する６つのノズルを１つのグループとし、そのグループ単位にインク引き込み時間Drawを補正する。ここで、何故１グループに属するノズルの数を６つとしたかについてその理由を説明する。
この種のヘッド２００において濃度ムラが目立ちやすいのは、均一な階調値でベタ印字を行うときであり、特にベタ印字の中に数ｍｍの周期をもって濃度ムラがあると目立ちやすいことが知られている。一方、グループに属するノズルの数を多くすればするほど、回路規模の縮小と補正データ設定作業の容易化というメリット大きくなる。しかしその場合には調整分解能が粗くなるため、均一な印刷結果を得るような調整ができなくなる。そこで、上述した濃度ムラの目立ちやすさの観点から、１つのグループに属するノズルの数は、連続するノズルによって印刷される領域の範囲が１ｍｍとなる数以下とする。印刷範囲が１ｍｍ以下となるのは、１５０dpiのヘッド２００の場合、６ノズル以下である。したがって本実施形態では、その最大値である６つのノズルを１つのグループとし、そのグループ単位にインク引き込み時間Drawを補正するようにしている。

次に、第２の実施形態について図１１及び図１２を用いて説明する。なお、第１の実施形態で説明した図７及び図８と共通する部分には同一符号を付し、その詳しい説明は省略する。

図７は、第２の実施形態であるインクジェットヘッド駆動装置４０（以下、駆動装置４０と称する）のブロック図である。駆動装置４０は、３２４個のノズルを一方向に配列してなるシェアドウォール方式のヘッド１００に対応したものである。ヘッド１００においても、端部側のノズルでクロストークにより吐出量が多くなる現象が現れやすい。そこで図１１に示すように、一方の端部にある３個のノズルと他方の端部にある３個のノズルとをそれぞれダミー（dummy）とする。そしてその間の３１８個のノズル（Nozzle#1〜Nozzle#318）からインク液滴を吐出して印刷を行うシェアドウォール方式のヘッド１００を例示する。

駆動装置４０は、ダミー（dummy）を含めて３２４個のノズルにそれぞれ対応させて、駆動回路４２を設ける。また駆動装置４０は、連続する３つの駆動回路４２毎に１つの波形生成回路４１を設ける。すなわち駆動装置４０は、３２４個の駆動回路（駆動回路#1〜#324）４２と、１０８個の波形生成回路（波形生成回路#1〜#108）４１とを設ける。波形生成回路４１は、対応する３つのノズルのアクチュエータに印加される駆動パルス信号Ｐの波形をそれぞれ生成する回路である。駆動回路４２は、波形生成回路４１で生成された波形の駆動パルス信号Ｐを対応するノズルのアクチュエータに出力して、当該アクチュエータを駆動させる回路である。

シェアドウォール方式のヘッド１００の場合、隣接するチャネルは原理的に同時に印刷できないため、ノズルの配置を千鳥配列として分割駆動を行う。分割数は“３”とするのが一般的である。３分割駆動の各ノズルを一方の端部から他方の端部に向けて順番に番号３ｎ＋１、番号３ｎ＋２、番号３ｎ＋３（ｎは整数）で区分すると、番号３ｎ＋１、番号３ｎ＋２、番号３ｎ＋３にそれぞれ対応するノズルは、順次駆動される。したがって、３つの連続するノズルのうち２以上のノズルに駆動パルス信号Ｐが同時に出力されることはない。そこで駆動装置４０は、連続する３つの駆動回路４２毎に１つの波形生成回路４１を設けている。

また駆動装置４０は、駆動装置２０と同様に、５４個のDrawパルス発生回路（Drawパルス発生回路#1〜#54）２３と、それぞれ１つのReleaseパルス発生回路２４及びPushパルス発生回路２５とを設ける。そして駆動装置４０は、各Drawパルス発生回路２３からそれぞれ対応する２つの波形生成回路４１に対し、共通のDrawパルス信号ｄ１〜ｄ５４が供給されるように配線されている。また駆動装置４０は、Releaseパルス発生回路２４及びPushパルス発生回路２５から全ての波形生成回路４１に対して、それぞれReleaseパルス信号ｒ及びPushパルス信号ｐが供給されるように配線されている。

ここに、第２の実施形態においても、、Releaseパルス発生回路２４及びPushパルス発生回路２５は第１パルス発生回路に相当し、各Drawパルス発生回路２３は第２パルス発生回路に相当する。

図１２は、１つの波形生成回路４１と、その波形生成回路４１と対になった３つの駆動回路４２との回路構成図である。他の波形生成回路４１と駆動回路４２との回路構成も図１２と同様なので、ここでの説明は省略する。

波形生成回路４１は、ドロップ数指定回路４１１、ＮＯＴ回路４１２、及び第１〜第３の論理回路４１３を含む。ドロップ数指定回路４１１は、ノズル毎に１ドット内に吐出するドロップの数を指定する情報、いわゆるdrop数を入力する。drop数は、ヘッド１００を搭載したプリンタのコントローラから印刷データに基づいて与えられる。ドロップ数指定回路４１１は、入力されたdrop数に応じてイネーブル信号Ｅのオン時間を決定する。そしてドロップ数指定回路４１１は、イネーブル信号Ｅを各論理回路４１３に出力する。

ＮＯＴ回路４１２は、Releaseパルス信号ｒを入力とし、その否定信号を駆動回路４２に出力する。

第１〜第３の論理回路４１３は、それぞれ３つのＡＮＤ回路Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３と負論理のＮＯＴ回路Ｇ４と、ＯＲ回路Ｇ５とを含む。ＡＮＤ回路Ｇ１は、イネーブル信号Ｅとともに、番号３ｎ＋１、番号３ｎ＋２、番号３ｎ＋３にそれぞれ対応するノズルの選択信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３とを入力とする。具体的には、番号３ｎ＋１のノズルに対応した第１の論理回路４１３のＡＮＤ回路Ｇ１は選択信号Ｓ１を入力とし、番号３ｎ＋２のノズルに対応した第２の論理回路４１３のＡＮＤ回路Ｇ１は選択信号Ｓ２を入力とし、番号３ｎ＋３のノズルに対応した第３の論理回路４１３のＡＮＤ回路Ｇ１は選択信号Ｓ３を入力とする。そしてＡＮＤ回路Ｇ１は、イネーブル信号Ｅと選択信号Ｓ１，Ｓ２又はＳ３との論理積信号をＡＮＤ回路Ｇ２とＮＯＴ回路Ｇ４とに出力する。ＡＮＤ回路Ｇ２は、ＡＮＤ回路Ｇ１の論理積信号とDrawパルス信号ｄｍ（ｍ：１〜５４）とを入力とし、その論理積信号をＯＲ回路Ｇ５に出力する。ＮＯＴ回路Ｇ４は、ＡＮＤ回路Ｇ１の論理積信号を入力とし、その論理積信号が負論理のとき否定信号をＡＮＤ回路Ｇ３に出力する。ＡＮＤ回路Ｇ３は、否定回路Ｇ４の否定信号とPushパルス信号ｐとを入力とし、その論理積信号をＯＲ回路Ｇ５に出力する。ＯＲ回路Ｇ５は、ＡＮＤ回路Ｇ２の論理積信号とＡＮＤ回路Ｇ３の論理積信号とを入力とし、その論理和信号を駆動回路４２に出力する。

各駆動回路４２は、いずれも負論理入力のＰ型ＭＯＳＦＥＴ４２１と、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ４２２とを含む。そして各駆動回路４２は、ＮＯＴ回路４１２から出力される否定信号をＰ型ＭＯＳＦＥＴ４２１のゲート信号とする。また各駆動回路４２は、ＯＲ回路Ｇ５から出力される論理和信号をＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２のゲート信号とする。

各駆動回路４２において、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴ４２１は、ドレイン端子を＋Ｖ電源端子に接続し、ソース端子をＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２のドレイン端子に接続する。Ｎ型ＭＯＳＦＥＴ４２２は、ソース端子を接地する。そして駆動回路４２は、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴ４２１のソース端子とＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２のドレイン端子との接続点を駆動パルス信号Ｐの出力端子とし、この出力端子に隣接するノズルが共有する２つのアクチュエータ５０を接続する。

ここで、説明の便宜上、第１の論理回路４１３のＯＲ回路Ｇ５から出力される論理和信号をゲート信号とするＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２を有する駆動回路４２を第１の駆動回路４２と称する。同様に、第２の論理回路４１３のＯＲ回路Ｇ５から出力される論理和信号をゲート信号とするＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２を有する駆動回路４２を第２の駆動回路４２と称し、第３の論理回路４１３のＯＲ回路Ｇ５から出力される論理和信号をゲート信号とするＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２を有する駆動回路４２を第３の駆動回路４２と称する。

かかる構成の波形生成回路４１及び駆動回路４２であれば、例えば選択信号Ｓ２がオン、選択信号Ｓ１，Ｓ３がオフの場合において、Releaseパルス信号ｒがオンすると、第１〜第３の駆動回路４２のＰ型ＭＯＳＦＥＴ４２１がいずれもオンする。このとき、隣接する３つのノズルにそれぞれ対応したアクチュエータ５０間で電位差が生じないので、各ノズルに対応した圧力室は定常状態である。

この状態で、イネーブル信号Ｅがオンし、Releaseパルス信号ｒがオフし、Drawパルス信号ｄｍがオンすると、第２の論理回路４１３のＡＮＤ回路Ｇ２の出力がハイレベルとなる。そうすると、第２の駆動回路４２のＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２がオンして、隣接する３つのノズルのうち中央のノズルに対応したアクチュエータ５０の電位が、その両隣のノズルに対応したアクチュエータ５０の電位よりも−Ｖだけ低くなる。その結果、中央のノズルに対応した圧力室が拡張状態となって、圧力室内にインクが流れ込む。

その後、Drawパルス信号ｄｍがオフし、Releaseパルス信号ｒがオンすると、前述したように第１〜第３の駆動回路４２のＰ型ＭＯＳＦＥＴ４２１がいずれもオンする。したがって、中央のノズルに対応した圧力室が定常状態に戻る。その結果、中央のノズルからインク液滴が吐出される。

その後、Releaseパルス信号ｒがオフし、Pushパルス信号ｐがオンすると、第１及び第３の論理回路４１３のＡＮＤ回路Ｇ３の出力がハイレベルとなる。そうすると、第１及び第３の駆動回路４２のＮ型ＭＯＳＦＥＴ４２２がオンして、隣接する３つのノズルのうち中央のノズルに対応したアクチュエータ５０の電位が、その両隣のノズルに対応したアクチュエータ５０の電位よりも＋Ｖだけ高くなる。その結果、中央のノズルに対応した圧力室が収縮状態となって、圧力振動が抑制される。

したがって、駆動装置４０は、例えば選択信号Ｓ２がオンしているときに、図５に示すように、先ず、時点ｔ１において５４個のDrawパルス発生回路（Drawパルス発生回路#1〜#54）２３からDrawパルス信号ｄｍをインク引き込み時間Drawだけ出力する。次いで駆動装置４０は、時点ｔ２においてReleaseパルス発生回路２４からReleaseパルス信号ｒをインク吐出時間Releaseだけ出力する。次いで駆動装置４０は、時点ｔ３においてPushパルス発生回路２５からPushパルス信号ｐをキャンセル時間Push出力する。次いで駆動装置２０は、時点ｔ４においてReleaseパルス発生回路２４からReleaseパルス信号ｒを時間ｔ５までの時間だけ出力する。このような動作を駆動装置４０が繰り返すことで、ドロップ数指定回路４１１に入力されたdrop数のインク液滴がノズル番号３ｎ＋２のノズルから連続して吐出される。

このような作用は、他の選択信号Ｓ１又はＳ３がオンしている場合も同様である。すなわち、選択信号Ｓ１がオンしているときに同様な動作を駆動装置４０が繰り返すと、ドロップ数指定回路４１１に入力されたdrop数のインク液滴がノズル番号３ｎ＋１のノズルから連続して吐出される。選択信号Ｓ３がオンしているときに同様な動作を駆動装置４０が繰り返すと、ドロップ数指定回路４１１に入力されたdrop数のインク液滴がノズル番号３ｎ＋３のノズルから連続して吐出される。

ここで、第１の実施形態と同様に、Drawパルス信号ｄｍがオンするタイミングｔ１は、補正データによってｔ１−ｔからｔ１＋ｔの範囲内で変化する。したがって、第２の実施形態においても、グループを単位として適切な補正データを各Drawパルス発生回路２３に与えることにより、ヘッド１００のノズル列を形成する全てのノズルから吐出されるインク液滴の体積を均一化することができる。その結果、シェアドウォール方式のヘッド１００に対しても、ノズルの数よりも少ない補正データで製造上のばらつき等に起因する濃度ムラを目立たなくすることができ、回路規模の縮小と補正データ設定作業の容易化を図り得る駆動装置４０を提供できる。

なお、シェアドウォール方式のヘッド１００に対しては、グループに属するノズルの数を分割数の整数倍とすることで、波形生成回路４１及び駆動回路４２の構成が最も簡単となる。このため、グループに属するノズルの数は分割数の整数倍であることが望ましい。

この他、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１００，２００…インクジェットヘッド、２０，４０…インクジェットヘッド駆動装置、２１，４１…波形生成回路、２２，４２…駆動回路、２３…Drawパルス発生回路、２４…Releaseパルス発生回路、２５…Pushパルス発生回路。

Claims (5)

1. インクジェットヘッドのノズル列を形成する全てのノズルに対して共通の第１パルスを発生する第１パルス発生回路と、
   前記ノズル列のうちの複数の連続するノズル群に対応して各々設けられ、前記ノズル群に対する補正データを入力し、その補正データに応じてパルス幅が変化する第２パルスを発生する複数の第２パルス発生回路と、
   前記第１パルスと前記第２パルスとを入力し、駆動波形を生成する波形生成回路と、
   前記駆動波形を入力し、前記ノズルからインク液滴を吐出させるためのアクチュエータを駆動する駆動回路と、
   を具備するインクジェットヘッド駆動装置。
2. 前記第２パルスは、前記インクジェットヘッドの圧力室を拡張させるパルスである、請求項１記載のインクジェットヘッド駆動装置。
3. 前記インクジェットヘッドは、シェアドウォール式インクジェットヘッドであり、
   前記ノズル群のノズル数は、前記シェアドウォール式インクジェットヘッドの駆動分割数の整数倍である、請求項１又は２記載のインクジェットヘッド駆動装置。
4. 前記ノズル列の両端部のノズルをダミーとし、残りのノズル列で前記ノズル群を設定する、請求項１乃至３のうちいずれか１記載のインクジェットヘッド駆動装置。
5. ノズル列と、
   前記ノズル列を形成する各ノズルからインクを吐出させるアクチュエータと、
   前記ノズル列を形成する全てのノズルに対して共通の第１パルスを発生する第１パルス発生回路と、
   前記ノズル列のうちの複数の連続するノズル群に対応して各々設けられ、前記ノズル群に対する補正データを入力し、その補正データに応じてパルス幅が変化する第２パルスを発生する複数の第２パルス発生回路と、
   前記第１パルスと前記第２パルスとを入力し、駆動波形を生成する波形生成回路と、
   前記駆動波形を入力し、前記アクチュエータを駆動する駆動回路と、
   を具備するインクジェットヘッド。