JP2007054992A - インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置、インクジェットヘッド用ノズルプレート、インクジェットヘッド、およびインクジェット記録装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 11
- 238000003491 array Methods 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
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- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
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Abstract
【解決手段】 レンズを通してレーザー光をノズルプレート面上に照射し、複数のノズル開口を形成するインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法において、このレンズが同一平面上に並べられた複数のマイクロレンズ5a〜5nであり、ノズルプレート27の配列方向においての隣接するマイクロレンズ5a〜5nのピッチを、隣接するノズル開口28のピッチの整数倍とする。
【選択図】 図6
Description
関係(ii)ノズルピッチとノズル開口インク室側直径の関係(iii)マイクロレンズ直径と
解像度と整数Nの関係(iv)ノズル開口インク室側直径と解像度との関係について説明す
る。図7は、整数N=2でノズル開口28を加工中のマイクロレンズ5a〜5bとノズルプレート27の様子を示す断面図である。また、ノズルプレート27にはノズル開口28b〜28dが形成されており、ノズル開口のインク室側口(図中上面)が大きく吐出側口(図中下面)が小さい円となっている。またここでは、単純化するために、ノズル開口28及びマイクロレンズ5a〜5bが直線上に並んでいるものと仮定する。
(i)ノズルピッチ(μm)とマイクロレンズ直径(μm)および整数倍Nの関係は、
マイクロレンズ直径≦N×ノズルピッチ
(ii)ノズルピッチ(μm)とノズル開口インク室側直径(μm)の関係は、
ノズル開口インク室側直径<ノズルピッチ
となる。また、1インチ=25.4mmであり、解像度(dpi)=25400/ノズルピッチであることから上の式を書き換えると、
(iii)マイクロレンズ直径(μm)と解像度(dpi)と整数Nの関係は、
マイクロレンズ直径≦N×25400/解像度
(iv)ノズル開口インク室側直径(μm)と解像度(dpi)との関係は、
ノズル開口インク室側直径<25400/解像度
となる。
2 エキシマレーザー装置(レーザー光源)
3 拡大光学系
4 ミラー
5 マイクロレンズアレイ
5a〜5n マイクロレンズ
6 X−Yステージ(被加工物搬送手段)
10 インクジェットヘッド
20 インクジェットヘッドチップ
21 圧電セラミックプレート
22 インク室(アクチュエータ)
23 側壁
24 電極
27 ノズルプレート(被加工物)
28 ノズル開口
30 流路基板
40 配線基板
41 駆動回路(駆動手段)
50 ベースプレート
60 負圧調整部
100 インクジェット記録装置
101 インク供給管
110 キャリッジ
111 インクカートリッジ(インク供給部)
116 搬送ローラ(被記録媒体搬送手段)
117 搬送ローラ(被記録媒体搬送手段)
S 被記録媒体
Claims (11)
- レンズを通してレーザー光をノズルプレートの上面に照射し、複数のノズル開口を形成するインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法において、
前記レンズが同一平面上に並べられた複数のマイクロレンズであることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法。 - 前記マイクロレンズの配列方向において、隣接する前記マイクロレンズのピッチが、隣接する前記ノズル開口のピッチの整数倍であることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法。
- 前記整数倍が2倍から4倍であり、前記複数のマイクロレンズと前記ノズルプレートの少なくとも一方を前記マイクロレンズの配列方向に間欠的に移動させ穿孔することを特徴とする請求項2記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法。
- 前記レーザー光がエキシマレーザーであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法。
- レーザー光源と、
前記レーザー光源と被加工物との間の同一平面上に設けられ、レーザー光を被加工物面上に集光し複数のノズル開口を形成する複数のマイクロレンズと、
前記被加工物を少なくとも前記マイクロレンズの配列方向に平行移動させる被加工物搬送手段と、を有し、
前記マイクロレンズの配列方向においての隣接する前記マイクロレンズのピッチが、隣接する前記被加工物面上集光位置のピッチの整数倍であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置。 - 前記整数倍が2倍から4倍であり、前記複数のマイクロレンズと前記被加工物の少なくとも一方を前記マイクロレンズの配列方向に間欠的に移動させ穿孔することを特徴とする請求項5記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置。
- 前記複数のマイクロレンズが、前記マイクロレンズの配列方向と直行する方向にずらして配置された複数のマイクロレンズからなるマイクロレンズユニットを構成しており、前記マイクロレンズユニットを前記マイクロレンズの配列方向に複数並べることにより、マイクロレンズアレイを構成している請求項5記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置。
- 前記レーザー光源がエキシマレーザーであることを特徴とする請求項5から7のうちいずれか1項記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッド用ノズルプレート。
- 請求項9記載のノズルプレートと、
前記ノズルプレートのノズル開口と連通し、両側にそれぞれ電極が設けられた側壁によって分離されるインク吐出用のアクチュエータを複数並列的に有するインクジェットヘッドチップと、
前記インクジェットヘッドチップにアクチュエータ駆動用の駆動信号を送る駆動手段と、
を具備するインクジェットヘッド。 - 請求項10記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドにインクを供給するインク供給部と、前記インクジェットヘッドからインクが吐出される被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段と、からなるインクジェット記録装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005240724A JP2007054992A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置、インクジェットヘッド用ノズルプレート、インクジェットヘッド、およびインクジェット記録装置 |
US11/502,179 US7829818B2 (en) | 2005-08-23 | 2006-08-09 | Ink jet head nozzle plate manufacturing method, ink jet head nozzle plate manufacturing apparatus, ink jet head nozzle plate, ink jet head, and ink jet recording apparatus |
GB0616654A GB2429433B (en) | 2005-08-23 | 2006-08-22 | Ink jet head nozzle plate, manufacturing method and apparatus therefor, ink jet head and ink jet recording apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005240724A JP2007054992A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置、インクジェットヘッド用ノズルプレート、インクジェットヘッド、およびインクジェット記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007054992A true JP2007054992A (ja) | 2007-03-08 |
Family
ID=37102666
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005240724A Pending JP2007054992A (ja) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッド用ノズルプレートの製造装置、インクジェットヘッド用ノズルプレート、インクジェットヘッド、およびインクジェット記録装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7829818B2 (ja) |
JP (1) | JP2007054992A (ja) |
GB (1) | GB2429433B (ja) |
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2005
- 2005-08-23 JP JP2005240724A patent/JP2007054992A/ja active Pending
-
2006
- 2006-08-09 US US11/502,179 patent/US7829818B2/en active Active
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A621 | Written request for application examination |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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A02 | Decision of refusal |
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