図1は、本発明の一実施形態である記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ1(以下、プリンタ1とする)は、4つの液体吐出ヘッド2を有している。これらの液体吐出ヘッド2は、印刷用紙Pの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ1に固定されている。液体吐出ヘッド2は、図1の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。
プリンタ1には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、給紙ユニット114、搬送ユニット120および紙受け部116が順に設けられている。また、プリンタ1には、液体吐出ヘッド2や給紙ユニット114などのプリンタ1の各部における動作を制御するための制御部100が設けられている。
給紙ユニット114は、複数枚の印刷用紙Pを収容することができる用紙収容ケース115と、給紙ローラ145とを有している。給紙ローラ145は、用紙収容ケース115に積層して収容された印刷用紙Pのうち、最も上にある印刷用紙Pを1枚ずつ送り出すことができる。
給紙ユニット114と搬送ユニット120との間には、印刷用紙Pの搬送経路に沿って、二対の送りローラ118aおよび118b、ならびに、119aおよび119bが配置されている。給紙ユニット114から送り出された印刷用紙Pは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット120へと送り出される。
搬送ユニット120は、エンドレスの搬送ベルト111と2つのベルトローラ106および107を有している。搬送ベルト111は、ベルトローラ106および107に巻き掛けられている。搬送ベルト111は、2つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト111は、2つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む互いに平行な2つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら2つの平面のうち、液体吐出ヘッド2に近い方の平面が、印刷用紙Pを搬送する搬送面127である。
ベルトローラ106には、図1に示されるように、搬送モータ174が接続されている。搬送モータ174は、ベルトローラ106を矢印Aの方向に回転させることができる。また、ベルトローラ107は、搬送ベルト111に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ174を駆動してベルトローラ106を回転させることにより、搬送ベルト111は、矢印Aの方向に沿って移動する。
ベルトローラ107の近傍には、ニップローラ138とニップ受けローラ139とが、搬送ベルト111を挟むように配置されている。ニップローラ138は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ138の下方のニップ受けローラ139は、下方に付勢されたニップローラ138を、搬送ベルト111を介して受け止めている。2つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト111に連動して回転する。
給紙ユニット114から搬送ユニット120へと送り出された印刷用紙Pは、ニップローラ138と搬送ベルト111との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の搬送面127に押し付けられ、搬送面127上に固着する。そして、印刷用紙Pは、搬送ベルト111の回転に従って、液体吐出ヘッド2が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト111の外周面113に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Pを搬送面127に確実に固着させることができる。
4つの液体吐出ヘッド2は、搬送ベルト111による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド2は、下端にヘッド本体13を有している。ヘッド本体13の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔8が設けられている(図3参照)。
1つの液体吐出ヘッド2に設けられた液体吐出孔8からは、同じ色の液滴(インク)が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド2の液体吐出孔8は一方方向(印刷用紙Pと平行で印刷用紙P搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド2の長手方向)に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド2から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)およびブラック(K)である。各液体吐出ヘッド2は、ヘッド本体13の下面と搬送ベルト111の搬送面127との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
搬送ベルト111によって搬送された印刷用紙Pは、液体吐出ヘッド2と搬送ベルト111との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド2を構成するヘッド本体13から印刷用紙Pの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Pの上面には、制御部100によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
搬送ユニット120と紙受け部116との間には、剥離プレート140と二対の送りローラ121aおよび121bならびに122aおよび122bとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Pは、搬送ベルト111によって剥離プレート140へと搬送される。このとき、印刷用紙Pは、剥離プレート140の右端によって、搬送面127から剥離される。そして、印刷用紙Pは、送りローラ121a〜122bによって、紙受け部116に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Pが順次紙受け部116に送られ、紙受け部116に重ねられる。
なお、印刷用紙Pの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド2とニップローラ138との間には、紙面センサ133が設置されている。紙面センサ133は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Pの先端位置を検出することができる。紙面センサ133による検出結果は制御部100に送られる。制御部100は、紙面センサ133から送られた検出結果により、印刷用紙Pの搬送と画像の印刷とが同期するように、液体吐出ヘッド2や搬送モータ174等を制御することができる。
次に本発明の液体吐出ヘッドを構成するヘッド本体13について説明する。図2は、図1に示されたヘッド本体13を示す上面図である。図3は、図2の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、ヘッド本体13の一部である。図4は、図3と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔8の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図3および図4において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき液体加圧室10(液体加圧室群9)、しぼり12および液体吐出孔8を実線で描いている。図5は図3のV−V線に沿った縦断面図である。
ヘッド本体13は、平板状の流路部材4と、流路部材4上に、アクチュエータユニットである圧電アクチュエータユニット21とを有している。圧電アクチュエータユニット21は台形形状を有しており、その台形の1対の平行対向辺が流路部材4の長手方向に平行になるように流路部材4の上面に配置されている。また、流路部材4の長手方向に平行な2本の仮想直線のそれぞれに沿って2つずつ、つまり合計4つの圧電アクチュエータユニット21が、全体として千鳥状に流路部材4上に配列されている。流路部材4上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット21の斜辺同士は、流路部材4の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット21を駆動することにより印刷される領域では、2つの圧電アクチュエータユニット21により吐出された液滴が混在して着弾することになる、
流路部材4の内部には液体流路の一部であるマニホールド5が形成されている。マニホールド5は流路部材4の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材4の上面にはマニホールド5の開口5bが形成されている。開口5bは、流路部材4の長手方向に平行な2本の直線(仮想線)のそれぞれに沿って5個ずつ、合計10個形成されている。開口5bは、4つの圧電アクチュエータユニット21が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド5には開口5bを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
流路部材4内に形成されたマニホールド5は、複数本に分岐している(分岐した部分のマニホールド5を副マニホールド5aということがある)。開口5bに繋がるマニホールド5は、圧電アクチュエータユニット21の斜辺に沿うように延在しており、流路部材4の長手方向と交差して配置されている。2つの圧電アクチュエータユニット21に挟まれた領域では、1つのマニホールド5が、隣接する圧電アクチュエータユニット21に共有されており、副マニホールド5aがマニホールド5の両側から分岐している。これらの副マニホールド5aは、流路部材4の内部の各圧電アクチュエータユニット21に対向する領域に互いに隣接してヘッド本体13の長手方向に延在している。
流路部材4は、複数の液体加圧室10がマトリクス状(すなわち、2次元的かつ規則的)に形成されている4つの液体加圧室群9を有している。液体加圧室10は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室10は流路部材4の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室10は、流路部材4の上面における圧電アクチュエータユニット21に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室10によって形成された各液体加圧室群9は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室10の開口は、流路部材4の上面に圧電アクチュエータユニット21が接着されることで閉塞されている。
本実施形態では、図3に示されているように、マニホールド5は、流路部材4の短手方向に互いに平行に並んだ4列のE1〜E4の副マニホールド5aに分岐し、各副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に4列配列されている。副マニホールド5aに繋がった液体加圧室10の並ぶ列は副マニホールド5aの両側に2列ずつ配列されている。
全体では、マニホールド5から繋がる液体加圧室10は、等間隔に流路部材4の長手方向に並ぶ液体加圧室10の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に16列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室10の数は、アクチュエータである変位素子50の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔8もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に600dpiの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド5aには平均すれば150dpiに相当する間隔で個別流路32が接続されている。これは、600dpi分の液体吐出孔8を4つ列の副マニホールド5aに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド5aに繋がる個別流路32が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド5aの延在方向、すなわち主走査方向に平均170μm(150dpiならば25.4mm/150=169μm間隔である)以下の間隔で個別流路32が形成されているということである。
圧電アクチュエータユニット21の上面における各液体加圧室10に対向する位置には後述する駆動電極35がそれぞれ形成されている。駆動電極35は液体加圧室10より一回り小さく、液体加圧室10とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する領域内に収まるように配置されている。
流路部材4の下面の液体吐出面には多数の液体吐出孔8が形成されている。これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側に配置された副マニホールド5aと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔8は、流路部材4の下面側における圧電アクチュエータユニット21と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔群7は圧電アクチュエータユニット21とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット21の変位素子50を変位させることにより液体吐出孔8から液滴が吐出できる。液体吐出孔8の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔8は、流路部材4の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
ヘッド本体13に含まれる流路部材4は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材4の上面から順に、キャビティプレート22、ベースプレート23、アパーチャ(しぼり)プレート24、サプライプレート25、26、マニホールドプレート27、28、29、カバープレート30およびノズルプレート31である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路32および副マニホールド5aを構成するように、位置合わせして積層されている。ヘッド本体13は、図5に示されているように、液体加圧室10は流路部材4の上面に、副マニホールド5aは内部の下面側に、液体吐出孔8は下面にと、個別流路32を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室10を介して副マニホールド5aと液体吐出孔8とが繋がる構成を有している。
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第1に、キャビティプレート22に形成された液体加圧室10である。第2に、液体加圧室10の一端から副マニホールド5aへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート23(詳細には液体加圧室10の入り口)からサプライプレート25(詳細には副マニホールド5aの出口)までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート24に形成されたしぼり12と、サプライプレート25、26に形成された個別供給流路6とが含まれている。
第3に、液体加圧室10の他端から液体吐出孔8へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ(部分流路)と呼称される。ディセンダは、ベースプレート23(詳細には液体加圧室10の出口)からノズルプレート31(詳細には液体吐出孔8)までの各プレートに形成されている。第4に、副マニホールド5aを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート27〜30に形成されている。
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド5aからの液体の流入口(副マニホールド5aの出口)から液体吐出孔8に至る個別流路32を構成している。副マニホールド5aに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔8から吐出される。まず、副マニホールド5aから上方向に向かって、個別供給流路6を通り、しぼり12の一端部に至る。次に、しぼり12の延在方向に沿って水平に進み、しぼり12の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室10の一端部に至る。さらに、液体加圧室10の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室10の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔8へと進む。
圧電アクチュエータユニット21は、図5に示されるように、2枚の圧電セラミック層21a、21bからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層21a、21bはそれぞれ20μm程度の厚さを有している。圧電アクチュエータユニット21全体の厚さは40μm程度である。圧電セラミック層21a、21bのいずれの層も複数の液体加圧室10を跨ぐように延在している(図3参照)。これらの圧電セラミック層21a、21bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなる。
圧電アクチュエータユニット21は、Ag−Pd系などの金属材料からなる共通電極34、Au系などの金属材料からなる駆動電極35および補助電極41を有している。駆動電極35は上述のように圧電アクチュエータユニット21の上面における液体加圧室10と対向する位置に配置されている。駆動電極35の一端は、液体加圧室10と対向する領域外に引き出されて接続電極36が形成されている。接続電極36は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、接続電極36は、図示されていないFPC(Flexible Printed Circuit)に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、駆動電極35には、制御部100からFPCを通じて駆動信号(駆動電圧)が供給される。駆動信号は、印刷媒体Pの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
補助電極41は、駆動電極36の周囲に、共通電極34と対向して設けられている。図6(a)は補助電極41の形状の一例である。ここで、駆動電極の周囲とは、流路部材と前記圧電アクチュエータとの積層方向から見たとき、液体加圧室の面積重心点から補助電極41が形成されている部位への角度が360度となっていること、つまり、平面上のどの方向にも補助電極41が形成されていることが好ましいが、接続電極が形成されている方向を除く概略360度近く形成されて入ればよく、その角度は270度(3/4周)以上であればよい。また、1つの駆動電極36の周囲の補助電極41は全て繋がっていなくてもよい。補助電極41の一部には、補助電極用接続電極46が形成されている。補助電極用接続電極46は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが15μm程度で凸状に形成されている。また、補助電極用接続電極36は、図示されていないFPC(Flexible Printed Circuit)に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、補助電極41には、制御部100からFPCを通じて駆動補助信号が供給される。駆動補助信号は、駆動信号と同期して一定の周期で供給される。
補助電極の他の例を図6(b)およ(c)に示す。いずれも圧電セラミック層221b、321b上に、液体加圧室210、310に重なる位置に駆動電極235、335が形成されており、駆動電極235、335の周囲に補助電極241、341が形成されている。
図6(b)では流路部材と前記圧電アクチュエータとの積層方向から見たとき、液体加圧室110の面積重心点Cから補助電極241が形成されている部位への角度θは345度となっている。この場合、実際に変位が生じる液体加圧室210から離れた駆動電極235の引き出し部の周囲に補助電極241を形成していないが、実効的に効果を変えずに、補助電極141の形状を簡略化できる。
図6(c)では流路部材と前記圧電アクチュエータとの積層方向から見たとき、液体加圧室310の面積重心点から補助電極341が形成されている部位への角度は、それぞれの補助電極341の角度を合計して計算する。この場合、さらに補助電極341の形状を簡略化できる。
共通電極34は、圧電セラミック層21aと圧電セラミック層21bとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極34は、圧電アクチュエータユニット21に対向する領域内の全ての液体加圧室10を覆うように延在している。共通電極34の厚さは2μm程度である。共通電極34は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層21b上において、駆動電極35からなる電極群を避ける位置に駆動電極35とは異なる表面電極(不図示)が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層21bの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極34と電気的に接続されているとともに、多数の駆動電極35と同様に、FPC上の別の電極と接続されている。
図5に示されるように、共通電極34と駆動電極35とは、最上層の圧電セラミック層21bのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層21bにおける駆動電極35と共通電極34とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット21においては、最上層の圧電セラミック層21bのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック21aは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット21はいわゆるユニモルフタイプの構成を有している。
なお、後述のように、駆動電極35および補助電極41に選択的に所定の駆動信号および駆動補助信号が供給されることにより、この駆動電極35に対応する液体加圧室10内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路32を通じて、対応する液体吐出口8から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット21における各液体加圧室10に対向する部分は、各液体加圧室10および液体吐出口8に対応する個別の変位素子50(アクチュエータ)に相当する。つまり、2枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図5に示されているような構造を単位構造とする変位素子50が液体加圧室10毎に、液体加圧室10の直上に位置する振動板21a、共通電極34、圧電セラミック層21b、駆動電極35により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット21には変位素子50が複数含まれている。なお、本実施形態において1回の吐出動作によって液体吐出口8から吐出される液体の量は5〜7pL(ピコリットル)程度である。
多数の駆動電極35は、個別に電位を制御することができるように、それぞれがFPC上のコンタクトおよび配線を介して、個別にアクチュエータ制御手段に電気的に接続されている。
本実施形態における圧電アクチュエータユニット21の駆動方法を、まず駆動電極35に供給される駆動電圧(駆動信号)に関して説明する。駆動電極35を共通電極34と異なる電位にして圧電セラミック層21bに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この時圧電セラミック層21bは、その厚み方向すなわち積層方向に伸長または収縮し、圧電横効果により積層方向と垂直な方向すなわち面方向には収縮または伸長しようとする。一方、残りの圧電セラミック層21aは、駆動電極35と共通電極34とに挟まれた領域を持たない非活性層であるので、自発的に変形しない。つまり、圧電アクチュエータユニット21は、上側(つまり、液体加圧室10とは離れた側)の圧電セラミック層21bを、活性部を含む層とし、かつ下側(つまり、液体加圧室10に近い側)の圧電セラミック層21aを非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている
この構成において、電界と分極とが同方向となるように、アクチュエータ制御部により駆動電極35を共通電極34に対して正または負の所定電位とすると、圧電セラミック層21bの電極に挟まれた部分(活性部)が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層21aは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層21bと圧電セラミック層21aとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層21bは液体加圧室10側へ凸となるように変形(ユニモルフ変形)する。
本実施の形態における実際の駆動手順のひとつは引き打ちと呼ばれるもので、予め駆動電極35を共通電極34より高い電位(以下高電位と称す)にしておき、吐出要求がある毎に駆動電極35を共通電極34と一旦同じ電位(以下低電位と称す)とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、駆動電極35が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層21a、bが元の形状に戻り、液体加圧室10の容積が初期状態(両電極の電位が異なる状態)と比較して増加する。このとき、液体加圧室10内に負圧が与えられ、液体がマニホールド5側から液体加圧室10内に吸い込まれる。その後再び駆動電極35を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層21a、bが液体加圧室10側へ凸となるように変形し、液体加圧室10の容積減少により液体加圧室10内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を駆動電極35に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室10内において圧力波がマニホールド5から液体吐出孔8まで伝播する時間長さであるAL(Acoustic Length)が理想的である。これによると、液体加圧室10内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
これとは逆に押し打ちと呼ばれる駆動方法も使用できる。押し打ちは、駆動電極35を共通電極34と同じ電位(低電位)にしておき吐出要求がある毎に駆動電極35を共通電極34より高い電位(高電位)とする。これにより、液体加圧室10の体積増加により、液体吐出孔8から押し出された液柱が、液体加圧室10内部が正圧状態から負圧状態に反転するときに合わせて、液体加圧室10の体積を増加させて、液柱の根元を切断し、切り離された液滴を吐出する。
また、階調印刷においては、液体吐出孔8から連続して吐出される液滴の数、つまり液滴吐出回数で調整される液滴量(体積)で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する液体吐出孔8から連続して行なう。一般に、液体吐出を連続して行なう場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をALとすることが好ましい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致し、これらが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。
以上のような基本的に引き打ちの動作においては、駆動劣化が起きる原因を、図7を用いて詳細に説明する図7(a)は電圧を加えていない状態の圧電セラミック層21b、共通電極34、駆動電極35および補助電極41の縦断面である。以下、共通電極34と駆動電極35とに挟まれた部分の圧電セラミック層21bを駆動部51と呼び、共通電極34と補助電極41とに挟まれた部分の圧電セラミック層21bを補助駆動部53と呼び、以上のいずれでもない部分の圧電セラミック層21bを非駆動部52と呼ぶ。なお、分極は、駆動電極35から共通電極34への方向および補助電極41から共通電極34への方向にされている。いずれの分極も逆の方向に行なっておいてもよく、その場合、以下の説明では加える電圧差は逆になる。
上述の説明のように、一般的な引き打ちでは、図7(b)のように共通電極34が0V、駆動電極35が正の電圧の状態で待機し(以下、吐出する前の状態を待機状態という)、図7(c)のように共通電極34が0V、駆動電極35が0Vとなる駆動電圧を与えて駆動し(以下、待機状態とは異なる駆動電圧が与えられている状態を駆動状態という)、その後、図7(b)の待機状態に戻るという一連の動作を行なうことにより、液体吐出孔8から液滴が吐出される。図7(b)の待機状態では駆動部51が平面方向に縮んでおり、非駆動部52には引っ張り応力が働いている。なお、補助駆動部53も僅かに引っ張られる場合もあるが、図7(b)では無視して描いている。この応力が非常に長時間、繰り返し加わるため、非駆動部52は、しだいに横方向に分極されていく。そして、横方向への分極が進むと、非駆動部52は横方向に延びてしまい、図7(c)の駆動状態では駆動部51を押すように働くため、駆動状態での変位が少なくなる。これが駆動劣化である。なお、この際の、共通電極34と駆動電極35との間に生じる電界が、圧電セラミック層21bに分域回転歪が生じる抗電界Ecの0.8倍以上であると、駆動劣化の進行が非常にはやくなる。
これに対して、本発明の記録装置では、引き打ちの際には、図7(d)のように共通電極34が0V、駆動電極35が正の電圧(生じる電界は0.8Ec以上)、補助電極41が負の電圧の状態で待機し、図7(e)のように共通電極34が0V、駆動電極35が0V、補助電極41が0Vとなる駆動電圧および補助駆動電圧を与えて駆動し、その後、図7(d)の待機状態に戻る一連の動作を行なうことにより、液体吐出孔8から液滴が吐出される。図7(c)の待機状態では駆動部51が平面方向に縮んでいるが、補助駆動部53には逆の電界が生じるように電圧が加えられており補助駆動部53伸びている。そのため、非駆動部52には、理想的には応力が生じない状態にできる。このため、このため駆動劣化は生じなくなる。また、駆動劣化が生じないため、待機状態の駆動電極35に加わる電圧を、駆動部51に生じる電界を0.8Ec以上にすることが可能になり、吐出量を多くしたり、吐出速度を速くしたりすることができる。
なお、高密度化するために、補助電極41を駆動電極35と同等の大きさで形成できない場合も考えられるが、その場合でも非駆動部52に加わる応力は低減でき、待機状態の駆動電極35に加わる電圧を、駆動部51に生じる電界を0.8Ec以上にすることが可能になり、吐出量を多くしたり、吐出速度を速くしたりすることができる。
以上、説明を簡単にするため、駆動状態の電圧などを0Vとしてきたが、圧電セラミック層21bの寸法変化の挙動が、上述の状態となるようにすれば、他の電圧でもかまわない。一般的には、次のように表せる。
圧電セラミック層21bに分域回転歪が生じる抗電界をEcとしたとき、駆動電極35と共通電極34との間の電圧を、生じる電界が0.8Ec以上となる正(分極の方向と同じ方向の電界が生じる電圧を正の電圧、逆を負の電圧とする)の第1の電圧V1にして待機し、電圧が前記第1の電圧よりも低い第2の電圧V2にして液体加圧室10の体積を増加させて駆動した後、電圧を前記第1の電圧V1に戻すとともに、待機時には、補助電極41と共通電極34との間の電圧を、生じる電界が−0.8Ec以上となる負の第3の電圧V3とし、駆動時には、第3の電圧V3より高い第4の電圧V4とする
この駆動電圧の変化を図8(a)に示し、補助駆動電圧の変化を図8(b)示す。図中の(0.8Ec)または(−0.8Ec)は抗電界Ecの0.8倍または−0.8倍の電界が生じ電圧を表している。駆動電極35と補助電極41の面積が異なる場合の、駆動部51に抗電界Ecの0.8倍の電界が生じる電圧と、補助駆動部53に抗電界Ecの0.8倍の電界が生じる電圧とは異なる。
第4の電圧V4を正の電圧V4’とするバイポーラ駆動を行なうと、補助電極41の面積が狭い場合であっても、図7(d)に示す待機状態で非駆動部52を押す量が多くなるため、非駆動部52に生じる引っ張り応力を低くすることができる。
続いて、押し打ちの場合について説明する。一般的な押し打ちでは、図7(c)のように共通電極34が0V、駆動電極35が0Vとなる状態で待機し、図7(b)のように共通電極34が0V、駆動電極35が正の電圧となる駆動電圧を与えて駆動し)、その後、図7(c)の待機状態に戻る一連の動作を行なうことにより、液体吐出孔8から液滴が吐出される。図7(b)の駆動状態では駆動部51が平面方向に縮んでおり、非駆動部52には引っ張り応力が働いている。なお、補助駆動部53も僅かに引っ張られる場合もあるが、図7(b)では無視して描いている。この応力が非常に長時間、繰り返し加わるため、非駆動部52は、しだいに横方向に分極されていく。そして。横方向への分極が進むと、非駆動部52は横方向に延びてしまい、図7(c)の待機状態では駆動部51を押すように働くため、駆動状態に変化する際の変位量の差が少なくなる。これが駆動劣化である。なお、この際の、共通電極34と駆動電極35との間に生じる電界が、圧電セラミック層21bに分域回転歪が生じる抗電界Ecの0.8倍以上であると、駆動劣化の進行が早くなる。
本発明の記録装置では、駆動状態で生じる引っ張り応力を、引き打ちの場合の図7(d)と同様に応力を低減できる。これは一般的には、次のように表せる。
圧電セラミック層21bに分域回転歪が生じる抗電界をEcとしたとき、駆動電極35と共通電極34の間の電圧を第5の電圧V5にして待機し、電圧を上げて生じる電界が0.8Ec以上となる正の第6の電圧V6にして液体加圧室10の体積を減少させて駆動した後、電圧を前記第5の電圧V5に戻すとともに、補助電極41と共通電極34との間の電圧を、待機時には、第7の電圧V7にし、駆動時には、第7の電圧V7より低いとともに、生じる電界が−0.8Ec以上となる負の第8の電圧V8にする。
この駆動電圧の変化を図8(c)に示し、補助駆動電圧の変化を図8(d)示す。図中の(0.8Ec)は抗電界Ecの0.8倍の電界が生じ電圧を表している。駆動電極35と補助電極41の面積が異なる場合の、駆動部51に抗電界Ecの0.8倍の電界が生じる電圧と、補助駆動部53に抗電界Ecの0.8倍の電界が生じる電圧とは異なる。
第7の電圧V7を正の電圧V7’とするバイポーラ駆動を行なうと、補助電極41の面積が狭い場合であっても、図7(d)に示す待機状態で非駆動部52を押す量が多くなるため、非駆動部52に生じる引っ張り応力を低くすることができる。
なお、引っ張り応力が加わる時間は、引き打ちの待機状態の方が長くなるため、本発明は、特に引き打ち方式に対して有効である。
また、駆動部51の分極方向と補助駆動部53の分極方向を逆にすると、駆動電極35と補助電極41に加える電圧差をすくなくできるため、短絡が発生するおそれを低減できる。
また、補助電極部41に印加する信号は、駆動部51と非駆動部52の界面に応力をできるだけ緩和させるため、単純に駆動電極部52へ印加される電圧と等価な値ではなく、駆動部51の変位に応じた変位を発生させるだけの電圧を印加することが望ましい。この値は電極面積によって異なるため、電極寸法ごとに駆動部51・非駆動部52の変位が等価となる様に調整する。具体的には、圧電体の変位量は駆動電極35のサイズによって異なり、分極方向に垂直方向に変位する振動モードの場合、径方向の長さに対して比例関係となる。現実的には多連多列の高密度に配置されたインクジェットプリンターヘッドにおいては駆動電極35間の間隔は狭く高密度配置が進む程、間隔が狭くなる。よって、例えば一つの駆動電極35が800μ角程度のサイズで600dpiの多連多列のプリンターヘッドにおいて1インチ程度のヘッドサイズに設計する場合、補助電極41幅は最大でも50μm程度しかとれない。この場合、駆動電極35部の変位量を打ち消す程度に補助駆動部53を変位させることは、抗電界Ecの限界よりできない。
そこで、引き打ちの場合は、面積と加える電圧については、駆動電極35の面積をS1(m2)とし、補助電極41の面積をS2(m2)とし、第1の電圧V1により駆動電極34と共通電極34との間に生じる電界をE1(V/m)とし、第3の電圧V3により補助電極41と共通電極34との間に生じる電界をE2(V/m)としたとき、0.05≦S2/S1<1.0、E1≦E2≦0.8Ecとするのが好ましい。
また、押し打ちの場合は、面積と加える電圧については、駆動電極35の面積をS1(m2)とし、補助電極41の面積をS2(m2)とし、第5の電圧V5により駆動電極34と共通電極34との間に生じる電界をE1(V/m)とし、第8の電圧V8により補助電極41と共通電極34との間に生じる電界をE2(V/m)としたとき、0.05≦S2/S1<1.0、E1≦E2≦0.8Ecとするのが好ましい。
圧電セラミック層に用いる圧電材料をチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)とし、PZTを用いたスラリーを作成し、このスラリーから、成形方法としてロールコーター法を採用して、グリーンシートを作製した。
次いで、金型打ち抜きによって、100μm径の貫通孔をグリーンシートに形成した。
その後、Ag−Pd合金を含む導体ペーストを用いたスクリーン印刷法により、各グリーンシートの表面に、共通電極となる電極パターンを形成した。
また、Ag−Pd合金に対して、圧電体粉末をフィラー剤として30体積%添加してビア導体ペーストを作製し、これをスクリーン印刷にて、グリーンシートに形成した貫通孔の内部に充填し、ビア電極を形成した。
次いで、このグリーンシートを2層積層して、内部に共通電極及びビア電極を備えた積層成形体を作製した。その後、この積層成形体を1020℃の温度で焼成して圧電焼結体を作製した。得られた圧電焼結体は1層あたり約20μmであった。
この圧電焼結体の表面に、変位素子を構成する部分の共通電極に相対するように主成分Auを含む導体ペーストを用いたスクリーン印刷により、マトリックス状に、幅0.8mm、長さ0.8mmの駆動電極及び駆動電極の端から0.03mmの位置に線幅0.03mmの補助電極を同時に形成し、しかる後に、800℃の熱処理によって駆動電極及び補助電極を形成した。
次に、圧電セラミック層のほぼ全面を分極するために、圧電セラミック層の表面に駆動電極と補助電極を覆うように、Agを主体とする仮電極ペーストを塗布し、乾燥させて分極電極を形成した。なお、圧電セラミック層の表面に形成されたビア電極とその周囲には分極電極を形成しなかった。
この全面分極を行った後に、共通電極と、分極電極との間に電圧を印加して圧電セラミック層のほぼ全面を分極し、その後、有機溶剤中で超音波洗浄して分極電極を除去した。
さらに、溝幅0.9mm、溝長さ0.9mmの溝形状(開口部面積0.81mm2)を有し、溝ピッチが0.13mmで格子状にマトリックス配置された流路部材の上に、圧電アクチュエータを、開口部にそれぞれの変位素子が位置するように接着して液体吐出ヘッドを作製し、さらに液体吐出ヘッドの動作を制御するドライバーICを含む制御部を接続し、記録装置を作製した。
得られた記録装置を用いて、駆動信頼性を評価した。駆動信頼性の指標として、まず圧電アクチュエータを駆動させる前に、あらかじめ変位素子の初期変位量Aを測定した。次いで、駆動電極と共通電極間にピーク電圧、周波数2KHz、デューティ80%のパルス波を100億サイクル印加した後で、変位素子の駆動後変位量Bを測定し、初期変位量Aに対する駆動後変位量Bの劣化率(A−B)/Aを算出した。表では、この低下率が10%以下であるものを○、5%以下であるものを◎と評価した。
なお、変位量の測定は、ドライバーICを用いたアクチュエータ駆動回路を用いて変位素子部に駆動信号(矩形波)を入力し変位部をグラフテック社製のレーザードップラー変位形にて変位を測定して行った。
また、第1の電圧V1は、駆動部に生じる電界が抗電界Ecとなる電圧に対する割合で規格化して表1に表記した。第3の電圧V3は、補助駆動部に0.8Ecの電界が生じる電圧とした。第2の電圧V2および第4の電圧V4は、0Vとした。
なお、圧電材料の抗電界Ecの値は東陽テクニカ製強誘電体評価装置FCEを使用して測定周波数1Hzの三角波を入力してP−Eヒステリシスを測定し、X軸切片の値より求めた結果、9kV/cmであった。
結果を表1に示す。補助駆動電圧を加えない試料No.1および2の記録装置では、E/Ec=0.8となる電圧より高い電圧では駆動劣化が生じたが、試料No.3および4の本発明の記録装置ではE/Ec=0.80となる電圧より高い第1の電圧での駆動が可能であり、E/Ec=0.8以下の場合と比較して、吐出量を多くでき、吐出速度を速くできた。
補助駆動電圧の第3の電圧V3および第4の電圧V4を表2に記した値にした以外は、実施例1と同じ評価を行なった。
結果を表2に示す。試料No.11〜15では補助駆動電圧の第4の電圧V4を負にしていることで、駆動時に補助駆動部が非駆動部を引っ張ることになるため、非駆動部の分極がある程度進んでも駆動時の液体加圧室の体積を、使用初期における駆動時の液体加圧室の体積と同じ体積にできるため、試料No.4と比較して駆動劣化がより抑制できた。
圧電セラミックの作成方法は実施例1と同様にして、駆動電極を幅1.0mm、長さ1.0mm、補助電極を駆動電極の端から0.05mm離れた位置に線幅0.05mmで形成し、実施例1と同様にして圧電アクチュエータを作成した。また溝幅1.1mm、溝長さ1.1mmの溝形状(開口部面積1.21mm2)を有し、溝ピッチが0.23mmで格子状にマトリックス配置された流路部材の上に、実施例1と同様に圧電アクチュエータを接着して液体吐出ヘッドを作製し、さらに液体吐出ヘッドの動作を制御するドライバーICを含む制御部を接続し、記録装置を作製した。
得られた記録装置を用いて、実施例1と同様に駆動信頼性を評価した。結果を表3に示した。補助駆動電圧を加えない試料No.21〜23の記録装置では、実施例1とは変位素子の大きさが違っているが、同じE/Ec=0.8となる電圧より高い電圧では、駆動劣化が生じた。そして、試料No.24の本発明の記録装置ではE/Ec=0.80となる電圧より高い第1の電圧での駆動が可能であり、E/Ec=0.8以下の場合と比較して、吐出量を多くでき、吐出速度を速くできた。