JP3468279B2 - 圧電振動子ユニットの製造方法 - Google Patents
圧電振動子ユニットの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、伸縮軸方向に平行
に内部電極が積層形成された圧電振動子ユニット、より
詳細には内部電極の構造、及びインクジェット式記録ヘ
ッドに関する。 【０００２】 【従来の技術】縦振動モードの圧電振動子を使用したイ
ンクジェット式記録ヘッドは、特開平4-1052号公報に見
られるように、複数のノズルを穿設したノズルプレート
の背面に狭い間隙をおいて弾性板を配設し、さらに弾性
板の背面に流路形成基板の各圧力発生室に対応するよう
分割した圧電定数ｄ31の圧電振動子を当接させて構成
し、リサーバからのインクをインク供給口を経由させて
圧力発生室に導いた上で、ここのインクを記録信号に応
じて駆動させた圧電振動子により加圧してインク滴とし
てノズル開口から吐出させるようにしたものである。 【０００３】このような圧電振動子は、例えば特開平7-
195688号公報に見られるように共通内部電極と、個別内
部電極とを圧電材料を介してサンドイッチ状に積層し、
共通内部電極を固定端側の後端面に、また個別内部電極
を自由端側の先端面に露出させた１枚の圧電振動板を、
両端にダミーの圧電振動子を、また中央部に駆動用圧電
振動子を、非振動領域が連続するように歯割して構成さ
れている。駆動用圧電振動子の個別内部電極とは先端面
から各駆動用圧電振動子の非振動領域に延びるセグメン
ト電極を、共通内部電極とは後端面からダミーの圧電振
動子の非振動領域に延びるコモン電極を形成し、セグメ
ント電極とコモン電極にフレキシブケーブルが接続され
ている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】このため、圧電振動板
にはセグメント電極となる先端面から表面に延びる第１
の導電層と、後端面から表面に延び、かつ第１の導電層
とは分離した第２の導電層の形成を必要として、導電層
形成に手間が掛かるという問題がある。本発明はこのよ
うな問題に鑑みてなされたものであって、その目的とす
るところは、先端面と表面との２面だけに形成された共
通の導電層によりセグメント電極、及びコモン電極を形
成することができる圧電振動子ユニットの製造方法を提
案することである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、駆動用圧電振動子の形成領
域では非振動領域と振動領域との境界で分断されて先端
面と後端面とに露出し、またダミーの圧電振動子を形成
する領域では前記先端面から前記後端面まで連続し、か
つ前記先端面と前記後端面とに露出する第１の導電層
と、前記駆動用圧電振動子の形成領域では後端面にのみ
露出し、また前記ダミーの圧電振動子を形成する領域で
は前記先端面から前記後端面まで連続し、かつ前記先端
面と前記後端面とに露出する第２の導電層とを圧電材料
層を介して形成して圧電材料板を形成する工程と、前記
圧電材料板の前記先端面から一方の表面の前記非振動領
域まで導電層を形成する工程と、前記圧電材料板の前記
非振動領域を固定基板に固定して、前記先端面から前記
導電層を相互に分離できる領域までスリットを形成して
ダミーの圧電振動子と駆動用圧電振動子とに歯割する工
程と、を備える。 【０００６】 【作用】共通内部電極に接続するコモン電極と、個別内
部電極に接続するセグメント電極とを、先端面から非振
動領域まで延びる導電層をスリットにより分割すること
により形成でき、後端面から表面に延びる導電層の形成
が不要となる。 【０００７】 【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明のイン
クジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであっ
て、流路ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで穿
設したノズルプレート３と、ノズル開口２に連通する圧
力発生室４、これにインク供給口５を介してインクを供
給するリザーバ６を備えた流路形成基板７と、圧電振動
子ユニット８の縦振動モードの各圧電振動子９の先端に
当接して圧力発生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板
１０とを一体に積層して構成されている。 【０００８】圧電振動子ユニット８は、外部からの駆動
信号を伝達するフレキシブルケーブル１１に接続された
上でヘッドホルダ１２の収容室１３に収容、固定され、
また流路ユニット１は、ホルダー１２の開口面１４に固
定されて記録ヘッドが構成されている。 【０００９】圧電振動子ユニット８は、図３に示したよ
うにインク滴を吐出させる駆動用の圧電振動子９を圧力
発生室４の配列ピッチに一致させて固定基板１５に固定
するとともに、圧電振動子９の列設方向の両端に位置し
て若干幅広に構成されたダミーの圧電振動子１６を固定
基板１５に固定して構成されている。 【００１０】駆動用圧電振動子９は、駆動用の圧電振動
子９の共通内部電極１７と、個別内部電極１８とを圧電
材料１９を介してサンドイッチ状に積層し、共通内部電
極１７を固定端側の後端面に、また個別内部電極１８を
自由端側の先端面に露出させて構成されている。 【００１１】内部電極１８と同一の面をなすように圧電
材料１９の層１９ａを挟んで他の内部電極１７、１８と
は独立するダミーの電極２０が幅方向に連続するように
形成されている。ダミーの電極２０は、圧電振動板を形
成する際の焼成条件を一定にして、反り等が発生するの
を防止する目的で形成される。 【００１２】一方、第２図に示したようにダミーの圧電
振動子１６は、駆動用圧電振動子９と同一面に圧電材料
１９を挟んで先端から後端まで延び、両端で露出する電
極２１が形成されている。 【００１３】駆動用圧電振動子９の個別内部電極１８
は、その先端面を固定領域、つまり非振動領域まで延び
たセグメント電極２２に接続されて、固定領域まで導電
的に引き出されている。 【００１４】一方、ダミーの圧電振動子１６の電極２１
は、駆動用圧電振動子９と同様に固定領域まで延びたコ
モン電極２３に接続されて固定領域まで導電的に引き出
されている。 【００１５】このような圧電振動子ユニットは、定盤の
表面に圧電振動板のサイズの一致した圧電材料のグリー
ンシート３０を載置し（図４（I））、これの表面に分
離帯１９ａとなる領域３１以外の領域に銀−パラジウム
を主成分とする導電材料層３２を塗布等により形成する
（図４（II））。 【００１６】導電材料３２の表面に前述のグリーンシー
ト３０を載置し（図４（III））、駆動用圧電振動子を
形成すべき領域の、圧電振動子の先端側を導電層非形成
領域３３とするように導電材料層３４を塗布する（図５
（I））。導電材料層３４の先端側の内側の境界線３４
ａ、３４ｂは、分離帯１９ａとなる領域３１の内側の境
界線３１ａ、３１ｂに一致している。 【００１７】以下、圧電材料のグリーンシート３０を介
装しながら、導電材料層３２と導電材料層３４を交互に
所定の層数形成し、乾燥後に焼成して１枚の圧電材料板
を構成する。 【００１８】圧電材料板の露出側の表面、及び先端面と
に外部電極となる導線層３５をスパッタリング等の造膜
法により形成して、非振動領域を固定基板１５に固定す
る。 【００１９】この状態で、前述の分離帯となる領域３１
の端部３１ａに一致する位置を歯割線とするようにダミ
ーの振動子１６を形成し、ついで駆動用圧電振動子９の
幅に一致してワイヤーソウやダイシングソウ等の切断具
３６で先端から導電層３５を相互に分離できる領域まで
スリット３７を形成する。 【００２０】このスリット３７は、その底部３７ａが図
３（イ）に示したように表面側が後端側に、また裏面側
が先端側に位置するように斜面となるように形成され
る。 【００２１】図６は、前述のフレキシブルケーブル１１
の一実施例を示すものであって、両側にはコモン電極２
３に接続する導電パターン２６を、また中央領域にセグ
メント電極２２に接続する導電パターン２７を、ダミー
の圧電振動子１６、駆動用の圧電振動子９の配列ピッチ
に一致するようにベース材に、直線上に位置するように
形成して構成されている。なお、図中符号２８は、駆動
用半導体集積回路を示す。 【００２２】このフレキシブルケーブル１１は、その導
電パターン２６、２７の先端部を圧電振動子ユニット８
のダミーの圧電振動子１６、及び圧電振動子９の固定基
板１５との固定領域で、かつスリット３７よりも先端側
に位置決めして半田付け、導電性接着剤、異方性導電接
着フィルムにより導電関係を形成させて固定される。 【００２３】この実施例において、外部駆動回路からフ
レキシブルケーブル１１を介して駆動信号を供給する
と、圧電振動子９は、コモン電極２３、ダミーの圧電振
動子１６の電極２１を介して共通内部電極１７と、セグ
メント電極２２を介して個別内部電極１８とに駆動信号
を受けて軸方向に伸縮して、流路ユニット１の特定の圧
力発生室４を収縮、膨張させ、ノズル開口２からインク
滴を吐出させる。 【００２４】このように圧電振動子９、１６の同一帯域
でフレキシブケーブル１１が接合されるため、従来の圧
電振動子では先端側で、またダミーの圧電振動子では後
端側にというように接合領域を軸方向にずらせる場合に
比較して、非振動領域の幅ｗを可及的に小さくして材料
コストの引き下げと製造歩留まりを向上することができ
る。 【００２５】なお、上述の実施例においては、先端面と
表面にのみ導電層を形成して、セグメント電極２２、及
びコモン電極２３を形成しているが、図７に示したよう
に後端面全体に導電層４０を形成すると、内部電極１
７、２０が導電層４０、電極２１を介してもコモン電極
２３と導電関係を形成するから電気抵抗を引き下げるこ
とができる。 【００２６】また、図８に示したように後端面にだけで
はなくダミーの圧電振動子１６の側面に導電層４１を形
成したり、図９に示したように後端面全体に形成された
導電層４０とダミーの圧電振動子の側面に形成された導
電層４１とを連続するように形成して導通させると、コ
モン電極と共通内部電極１８との接続抵抗を引き下げる
とともに、フレキシブケーブル１１の導電パターン２６
を導電層４１によりダミーの圧電振動子１６の側面でも
接続可能となり、フレキシブルケーブル１１と圧電振動
子ユニット８との接合の自由度を高めることができる。
また、導電層４１を圧電振動子９、１６の裏面、つまり
固定基板側に回り込むように形成し、少なくとも表面が
導電性を有する固定基板１５と導電関係を持たせて固定
すると、電気抵抗を一層引き下げることができる。 【００２７】さらには、セグメント電極２２、及びコモ
ン電極２３を先端面からさらに図７に示したように圧電
振動子９、及びダミーの圧電振動子１６の裏面側に回り
込む領域２３ａを形成すると、圧電振動子ユニット８を
流路ユニット１に組み付け際における圧電振動子９、１
６の先端面の欠け等の破損を防止することができる。 【００２８】図１０は、同上圧電振動子ユニットに適し
たインクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すもので
あって、弾性板１０を導電性材料、例えばステンレス鋼
板により形成し、かつダミーの圧電振動子１６の先端に
当接するアイランド部１０’だけを導電性材料、例えば
ステンレス鋼により構成すると、コモン電極２３がアイ
ランド部１０’、弾性板１０と導電関係を形成するか
ら、弾性板１０を外部駆動回路に接続することにより、
駆動用圧電振動子９の個別内部電極１８にはセグメント
電極２２、フレキシブケーブル１１を介して、また共通
内部電極１７には弾性板１０、アイランド部１０’を介
して駆動信号を供給することができる。この場合にも前
述のごとく、コモン電極２３をフレキシブケーブル１１
に接続して駆動信号を供給すると、伝送路の電気抵抗を
引き下げることができる。 【００２９】 【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、共
通内部電極に接続するコモン電極と、個別内部電極に接
続するセグメント電極とを、先端面から非振動領域まで
延びる導電層をスリットにより分割することにより形成
できて、後端面から表面に延びる導電層の形成が不要と
なり、外部接続用電極形成用の導電層の形成工程を簡素
化し、圧電振動子ユニットを容易に製造することができ
る。
に内部電極が積層形成された圧電振動子ユニット、より
詳細には内部電極の構造、及びインクジェット式記録ヘ
ッドに関する。 【０００２】 【従来の技術】縦振動モードの圧電振動子を使用したイ
ンクジェット式記録ヘッドは、特開平4-1052号公報に見
られるように、複数のノズルを穿設したノズルプレート
の背面に狭い間隙をおいて弾性板を配設し、さらに弾性
板の背面に流路形成基板の各圧力発生室に対応するよう
分割した圧電定数ｄ31の圧電振動子を当接させて構成
し、リサーバからのインクをインク供給口を経由させて
圧力発生室に導いた上で、ここのインクを記録信号に応
じて駆動させた圧電振動子により加圧してインク滴とし
てノズル開口から吐出させるようにしたものである。 【０００３】このような圧電振動子は、例えば特開平7-
195688号公報に見られるように共通内部電極と、個別内
部電極とを圧電材料を介してサンドイッチ状に積層し、
共通内部電極を固定端側の後端面に、また個別内部電極
を自由端側の先端面に露出させた１枚の圧電振動板を、
両端にダミーの圧電振動子を、また中央部に駆動用圧電
振動子を、非振動領域が連続するように歯割して構成さ
れている。駆動用圧電振動子の個別内部電極とは先端面
から各駆動用圧電振動子の非振動領域に延びるセグメン
ト電極を、共通内部電極とは後端面からダミーの圧電振
動子の非振動領域に延びるコモン電極を形成し、セグメ
ント電極とコモン電極にフレキシブケーブルが接続され
ている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】このため、圧電振動板
にはセグメント電極となる先端面から表面に延びる第１
の導電層と、後端面から表面に延び、かつ第１の導電層
とは分離した第２の導電層の形成を必要として、導電層
形成に手間が掛かるという問題がある。本発明はこのよ
うな問題に鑑みてなされたものであって、その目的とす
るところは、先端面と表面との２面だけに形成された共
通の導電層によりセグメント電極、及びコモン電極を形
成することができる圧電振動子ユニットの製造方法を提
案することである。 【０００５】 【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、駆動用圧電振動子の形成領
域では非振動領域と振動領域との境界で分断されて先端
面と後端面とに露出し、またダミーの圧電振動子を形成
する領域では前記先端面から前記後端面まで連続し、か
つ前記先端面と前記後端面とに露出する第１の導電層
と、前記駆動用圧電振動子の形成領域では後端面にのみ
露出し、また前記ダミーの圧電振動子を形成する領域で
は前記先端面から前記後端面まで連続し、かつ前記先端
面と前記後端面とに露出する第２の導電層とを圧電材料
層を介して形成して圧電材料板を形成する工程と、前記
圧電材料板の前記先端面から一方の表面の前記非振動領
域まで導電層を形成する工程と、前記圧電材料板の前記
非振動領域を固定基板に固定して、前記先端面から前記
導電層を相互に分離できる領域までスリットを形成して
ダミーの圧電振動子と駆動用圧電振動子とに歯割する工
程と、を備える。 【０００６】 【作用】共通内部電極に接続するコモン電極と、個別内
部電極に接続するセグメント電極とを、先端面から非振
動領域まで延びる導電層をスリットにより分割すること
により形成でき、後端面から表面に延びる導電層の形成
が不要となる。 【０００７】 【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明のイン
クジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであっ
て、流路ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで穿
設したノズルプレート３と、ノズル開口２に連通する圧
力発生室４、これにインク供給口５を介してインクを供
給するリザーバ６を備えた流路形成基板７と、圧電振動
子ユニット８の縦振動モードの各圧電振動子９の先端に
当接して圧力発生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板
１０とを一体に積層して構成されている。 【０００８】圧電振動子ユニット８は、外部からの駆動
信号を伝達するフレキシブルケーブル１１に接続された
上でヘッドホルダ１２の収容室１３に収容、固定され、
また流路ユニット１は、ホルダー１２の開口面１４に固
定されて記録ヘッドが構成されている。 【０００９】圧電振動子ユニット８は、図３に示したよ
うにインク滴を吐出させる駆動用の圧電振動子９を圧力
発生室４の配列ピッチに一致させて固定基板１５に固定
するとともに、圧電振動子９の列設方向の両端に位置し
て若干幅広に構成されたダミーの圧電振動子１６を固定
基板１５に固定して構成されている。 【００１０】駆動用圧電振動子９は、駆動用の圧電振動
子９の共通内部電極１７と、個別内部電極１８とを圧電
材料１９を介してサンドイッチ状に積層し、共通内部電
極１７を固定端側の後端面に、また個別内部電極１８を
自由端側の先端面に露出させて構成されている。 【００１１】内部電極１８と同一の面をなすように圧電
材料１９の層１９ａを挟んで他の内部電極１７、１８と
は独立するダミーの電極２０が幅方向に連続するように
形成されている。ダミーの電極２０は、圧電振動板を形
成する際の焼成条件を一定にして、反り等が発生するの
を防止する目的で形成される。 【００１２】一方、第２図に示したようにダミーの圧電
振動子１６は、駆動用圧電振動子９と同一面に圧電材料
１９を挟んで先端から後端まで延び、両端で露出する電
極２１が形成されている。 【００１３】駆動用圧電振動子９の個別内部電極１８
は、その先端面を固定領域、つまり非振動領域まで延び
たセグメント電極２２に接続されて、固定領域まで導電
的に引き出されている。 【００１４】一方、ダミーの圧電振動子１６の電極２１
は、駆動用圧電振動子９と同様に固定領域まで延びたコ
モン電極２３に接続されて固定領域まで導電的に引き出
されている。 【００１５】このような圧電振動子ユニットは、定盤の
表面に圧電振動板のサイズの一致した圧電材料のグリー
ンシート３０を載置し（図４（I））、これの表面に分
離帯１９ａとなる領域３１以外の領域に銀−パラジウム
を主成分とする導電材料層３２を塗布等により形成する
（図４（II））。 【００１６】導電材料３２の表面に前述のグリーンシー
ト３０を載置し（図４（III））、駆動用圧電振動子を
形成すべき領域の、圧電振動子の先端側を導電層非形成
領域３３とするように導電材料層３４を塗布する（図５
（I））。導電材料層３４の先端側の内側の境界線３４
ａ、３４ｂは、分離帯１９ａとなる領域３１の内側の境
界線３１ａ、３１ｂに一致している。 【００１７】以下、圧電材料のグリーンシート３０を介
装しながら、導電材料層３２と導電材料層３４を交互に
所定の層数形成し、乾燥後に焼成して１枚の圧電材料板
を構成する。 【００１８】圧電材料板の露出側の表面、及び先端面と
に外部電極となる導線層３５をスパッタリング等の造膜
法により形成して、非振動領域を固定基板１５に固定す
る。 【００１９】この状態で、前述の分離帯となる領域３１
の端部３１ａに一致する位置を歯割線とするようにダミ
ーの振動子１６を形成し、ついで駆動用圧電振動子９の
幅に一致してワイヤーソウやダイシングソウ等の切断具
３６で先端から導電層３５を相互に分離できる領域まで
スリット３７を形成する。 【００２０】このスリット３７は、その底部３７ａが図
３（イ）に示したように表面側が後端側に、また裏面側
が先端側に位置するように斜面となるように形成され
る。 【００２１】図６は、前述のフレキシブルケーブル１１
の一実施例を示すものであって、両側にはコモン電極２
３に接続する導電パターン２６を、また中央領域にセグ
メント電極２２に接続する導電パターン２７を、ダミー
の圧電振動子１６、駆動用の圧電振動子９の配列ピッチ
に一致するようにベース材に、直線上に位置するように
形成して構成されている。なお、図中符号２８は、駆動
用半導体集積回路を示す。 【００２２】このフレキシブルケーブル１１は、その導
電パターン２６、２７の先端部を圧電振動子ユニット８
のダミーの圧電振動子１６、及び圧電振動子９の固定基
板１５との固定領域で、かつスリット３７よりも先端側
に位置決めして半田付け、導電性接着剤、異方性導電接
着フィルムにより導電関係を形成させて固定される。 【００２３】この実施例において、外部駆動回路からフ
レキシブルケーブル１１を介して駆動信号を供給する
と、圧電振動子９は、コモン電極２３、ダミーの圧電振
動子１６の電極２１を介して共通内部電極１７と、セグ
メント電極２２を介して個別内部電極１８とに駆動信号
を受けて軸方向に伸縮して、流路ユニット１の特定の圧
力発生室４を収縮、膨張させ、ノズル開口２からインク
滴を吐出させる。 【００２４】このように圧電振動子９、１６の同一帯域
でフレキシブケーブル１１が接合されるため、従来の圧
電振動子では先端側で、またダミーの圧電振動子では後
端側にというように接合領域を軸方向にずらせる場合に
比較して、非振動領域の幅ｗを可及的に小さくして材料
コストの引き下げと製造歩留まりを向上することができ
る。 【００２５】なお、上述の実施例においては、先端面と
表面にのみ導電層を形成して、セグメント電極２２、及
びコモン電極２３を形成しているが、図７に示したよう
に後端面全体に導電層４０を形成すると、内部電極１
７、２０が導電層４０、電極２１を介してもコモン電極
２３と導電関係を形成するから電気抵抗を引き下げるこ
とができる。 【００２６】また、図８に示したように後端面にだけで
はなくダミーの圧電振動子１６の側面に導電層４１を形
成したり、図９に示したように後端面全体に形成された
導電層４０とダミーの圧電振動子の側面に形成された導
電層４１とを連続するように形成して導通させると、コ
モン電極と共通内部電極１８との接続抵抗を引き下げる
とともに、フレキシブケーブル１１の導電パターン２６
を導電層４１によりダミーの圧電振動子１６の側面でも
接続可能となり、フレキシブルケーブル１１と圧電振動
子ユニット８との接合の自由度を高めることができる。
また、導電層４１を圧電振動子９、１６の裏面、つまり
固定基板側に回り込むように形成し、少なくとも表面が
導電性を有する固定基板１５と導電関係を持たせて固定
すると、電気抵抗を一層引き下げることができる。 【００２７】さらには、セグメント電極２２、及びコモ
ン電極２３を先端面からさらに図７に示したように圧電
振動子９、及びダミーの圧電振動子１６の裏面側に回り
込む領域２３ａを形成すると、圧電振動子ユニット８を
流路ユニット１に組み付け際における圧電振動子９、１
６の先端面の欠け等の破損を防止することができる。 【００２８】図１０は、同上圧電振動子ユニットに適し
たインクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すもので
あって、弾性板１０を導電性材料、例えばステンレス鋼
板により形成し、かつダミーの圧電振動子１６の先端に
当接するアイランド部１０’だけを導電性材料、例えば
ステンレス鋼により構成すると、コモン電極２３がアイ
ランド部１０’、弾性板１０と導電関係を形成するか
ら、弾性板１０を外部駆動回路に接続することにより、
駆動用圧電振動子９の個別内部電極１８にはセグメント
電極２２、フレキシブケーブル１１を介して、また共通
内部電極１７には弾性板１０、アイランド部１０’を介
して駆動信号を供給することができる。この場合にも前
述のごとく、コモン電極２３をフレキシブケーブル１１
に接続して駆動信号を供給すると、伝送路の電気抵抗を
引き下げることができる。 【００２９】 【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、共
通内部電極に接続するコモン電極と、個別内部電極に接
続するセグメント電極とを、先端面から非振動領域まで
延びる導電層をスリットにより分割することにより形成
できて、後端面から表面に延びる導電層の形成が不要と
なり、外部接続用電極形成用の導電層の形成工程を簡素
化し、圧電振動子ユニットを容易に製造することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を、駆動用圧電振動子の領域での断面構造でもって示
す図である。 【図２】同上記録ヘッドのダミーの圧電振動子の一実施
例を示す図である。 【図３】図（イ）、（ロ）は、同上記録ヘッドの圧電振
動子ユニット一実施例、及びダミーの圧電振動子の１つ
を除去した状態で示す図である。 【図４】図（I）乃至（III）は、それぞれ同上圧電振動
子の製造方法の前半の工程を示す図である。 【図５】図（I）、（II）は、それぞれ同上圧電振動子
の製造方法の後半の工程を示す図である。 【図６】同上記録ヘッドに使用するフレキシブケーブル
の一実施例を示す図である。 【図７】本発明の圧電振動子ユニットの他の実施例を示
す図である。 【図８】本発明の圧電振動子ユニットの他の実施例を示
す図である。 【図９】本発明の圧電振動子ユニットの他の実施例を示
す図である。 【図１０】本発明のインクジェット式記録ヘッドの他の
実施例を、ダミーの圧電振動子の近傍の断面構造で示す
図である。 【符号の説明】 １ 流路ユニット ２ ノズル開口 ４ 圧力発生室 ５ インク供給口 ６ リザーバ ８ 圧電振動子ユニット ９ 圧電振動子 １１ フレキシブルケーブル １６ ダミーの圧電振動子 １７ 共通内部電極 １８ 個別内部電極 １９ 圧電材料 ２１ 電極 ２２ セグメント電極 ２３ コモン電極 ３７ スリット ３７ａ スリットの底面
例を、駆動用圧電振動子の領域での断面構造でもって示
す図である。 【図２】同上記録ヘッドのダミーの圧電振動子の一実施
例を示す図である。 【図３】図（イ）、（ロ）は、同上記録ヘッドの圧電振
動子ユニット一実施例、及びダミーの圧電振動子の１つ
を除去した状態で示す図である。 【図４】図（I）乃至（III）は、それぞれ同上圧電振動
子の製造方法の前半の工程を示す図である。 【図５】図（I）、（II）は、それぞれ同上圧電振動子
の製造方法の後半の工程を示す図である。 【図６】同上記録ヘッドに使用するフレキシブケーブル
の一実施例を示す図である。 【図７】本発明の圧電振動子ユニットの他の実施例を示
す図である。 【図８】本発明の圧電振動子ユニットの他の実施例を示
す図である。 【図９】本発明の圧電振動子ユニットの他の実施例を示
す図である。 【図１０】本発明のインクジェット式記録ヘッドの他の
実施例を、ダミーの圧電振動子の近傍の断面構造で示す
図である。 【符号の説明】 １ 流路ユニット ２ ノズル開口 ４ 圧力発生室 ５ インク供給口 ６ リザーバ ８ 圧電振動子ユニット ９ 圧電振動子 １１ フレキシブルケーブル １６ ダミーの圧電振動子 １７ 共通内部電極 １８ 個別内部電極 １９ 圧電材料 ２１ 電極 ２２ セグメント電極 ２３ コモン電極 ３７ スリット ３７ａ スリットの底面
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 駆動用圧電振動子の形成領域では非振動
領域と振動領域との境界で分断されて先端面と後端面と
に露出し、またダミーの圧電振動子を形成する領域では
前記先端面から前記後端面まで連続し、かつ前記先端面
と前記後端面とに露出する第１の導電層と、前記駆動用
圧電振動子の形成領域では後端面にのみ露出し、また前
記ダミーの圧電振動子を形成する領域では前記先端面か
ら前記後端面まで連続し、かつ前記先端面と前記後端面
とに露出する第２の導電層とを圧電材料層を介して形成
して圧電材料板を形成する工程と、 前記圧電材料板の前記先端面から一方の表面の前記非振
動領域まで導電層を形成する工程と、 前記圧電材料板の前記非振動領域を固定基板に固定し
て、前記先端面から前記導電層を相互に分離できる領域
までスリットを形成してダミーの圧電振動子と駆動用圧
電振動子とに歯割する工程と、 からなる圧電振動子ユニットの製造方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26312098A JP3468279B2 (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 圧電振動子ユニットの製造方法 |
| US09/397,113 US6417600B2 (en) | 1998-09-17 | 1999-09-16 | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| AT99117988T ATE255014T1 (de) | 1998-09-17 | 1999-09-17 | Piezoelektrischer vibratoreinheit, dessen herstellungsverfahren und einen, diese vibratoreinheit enthaltenden tintenstrahlaufzeichnungskopf |
| DE69913079T DE69913079T2 (de) | 1998-09-17 | 1999-09-17 | Piezoelektrischer Vibratoreinheit, dessen Herstellungsverfahren und einen, diese Vibratoreinheit enthaltenden Tintenstrahlaufzeichnungskopf |
| EP99117988A EP0993952B1 (en) | 1998-09-17 | 1999-09-17 | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
| US10/134,612 US6862782B2 (en) | 1998-09-17 | 2002-04-30 | Method of manufacturing a piezoelectric vibrator unit |
| US10/134,728 US6624552B2 (en) | 1998-09-17 | 2002-04-30 | Piezoelectric vibrator unit, method for manufacturing the same, and ink jet recording head comprising the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26312098A JP3468279B2 (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 圧電振動子ユニットの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003103619A Division JP3734036B2 (ja) | 2003-04-08 | 2003-04-08 | 圧電振動子ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000094678A JP2000094678A (ja) | 2000-04-04 |
| JP3468279B2 true JP3468279B2 (ja) | 2003-11-17 |
Family
ID=17385112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26312098A Expired - Fee Related JP3468279B2 (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 圧電振動子ユニットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3468279B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2013051236A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Seiko Epson Corp | 圧電素子ユニット、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
| JP2013055085A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、圧電素子の製造方法および圧電素子 |
| JP5821536B2 (ja) * | 2011-11-02 | 2015-11-24 | Tdk株式会社 | 積層型圧電素子 |
-
1998
- 1998-09-17 JP JP26312098A patent/JP3468279B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000094678A (ja) | 2000-04-04 |
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