JPH10202876A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents

インクジェット式記録ヘッド

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JPH10202876A
JPH10202876A JP2439097A JP2439097A JPH10202876A JP H10202876 A JPH10202876 A JP H10202876A JP 2439097 A JP2439097 A JP 2439097A JP 2439097 A JP2439097 A JP 2439097A JP H10202876 A JPH10202876 A JP H10202876A
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JP
Japan
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dummy
recording head
jet recording
ink jet
flexible cable
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JP2439097A
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English (en)
Inventor
Yutaka Furuhata
豊 古畑
Original Assignee
Seiko Epson Corp
セイコーエプソン株式会社
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491Electrical connection

Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録ヘッド本体にフレキシブルケーブルを高
い接合力で接続すること。 【解決手段】 圧電振動子に導通して外部からの駆動信
号を受ける端子部26の両側にダミー電極28〜31を
形成するとともに、フレキシブルケーブル15の、ダミ
ー電極28〜31に対向する領域にダミー電極28〜3
1と接合するダミー端子パターン42、42を形成し、
ダミー電極28〜31とダミー端子パターン42、42
との接合力で外力を受け止める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術の分野】本発明は、ノズル開口に連
通する圧力発生室の一部をたわみ振動する圧電振動子に
より膨張、収縮させて、ノズル開口からインク滴を吐出
させるインクジェット式記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】圧電振動子を駆動源に使用したインクジ
ェット式記録ヘッドには、圧力発生室を構成する弾性板
の表面に板状、または膜状の圧電振動子を作り付けて構
成され、フレキシブルケーブルを介して外部の駆動回路
から駆動信号を圧電振動子に供給することにより、印刷
データに一致させてインク滴を吐出させるものである。
このような信号の供給のために、圧電振動子が表面に形
成されている弾性板の端部に接続用の端子部を形成して
ここにフレキシブルケーブルの導電パターンを位置合わ
せして半田や導電性接着剤により接続することが行われ
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】一方、印字品質の向上
を図るため、ノズル開口の配列ピッチが小さくなると、
これに対応して圧電振動子自体のサイズや、また配列ピ
ッチも小さくなるため、フレキシブルケーブルとの接合
作業が困難になり、また接合面積が小さくなる分、接合
強度が低下したり、さらには接合作業の簡素化を図るた
めに異方性導電接着剤を接合しようとすると、単位面積
当たりの接合強度が低くなり、信頼性が低下するという
問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところはフレキシブルケ
ーブルとの接合作業を簡素化するとともに、接合強度の
向上を図ることができるインクジェット式記録ヘッドを
提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、一方の面をノズル開口を備
えたノズルプレートにより封止され、また他方の面を弾
性板により封止され、前記弾性板に形成された圧電振動
子により容積が膨張、収縮される圧力発生室を備えたイ
ンクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子に
導通して外部からの駆動信号を受ける端子部の両側にダ
ミー電極を形成するとともに、前記圧電振動子に駆動信
号を供給するフレキシブルケーブルの、前記ダミー電極
に対向する領域に前記ダミー電極と接合するダミー端子
パターンを形成するようにした。
【0005】
【作用】フレキシブルケーブルの両側がダミー電極とダ
ミー端子パターンとにより接合されているため、引き剥
がし力をここで受け止め剥がれを防止する。
【0006】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図1は、本発明のイン
クジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであっ
て、図中符号1はシリコン単結晶基板をエッチングして
形成された流路形成基板で、一方の表面を開口面とし、
裏面に図示しないメンブレム部を形成するように複数
列、この実施例では千鳥状となるように位置する2列の
圧力発生室3、4と、これら圧力発生室3、4にインク
を供給するリザーバ5、6と、さらにこれら圧力発生室
3、4とリザーバ5、6とを一定の流体抵抗で連通させ
るインク供給口7、8とを形成して構成されている。こ
の開口面には、圧力発生室3、4の一端側で連通するよ
うにノズル開口10、11が穿設されたノズルプレート
12が固定され、また裏面には図2に示したように膜形
成方法で作り付けられた圧電振動子13、14が設けら
れている。
【0007】流路形成基板1とノズルプレート12とは
液密となるように一体に固定されて、各圧電振動子1
3、14の駆動信号を供給するフレキシブルケーブル1
5を接合して、ホルダ16に収容されて記録ヘッドに纏
められている。
【0008】弾性板2の表面には、白金の蒸着等により
下電極20が形成され、そして全体を覆うように電界の
印加によりたわみ振動可能な物質、例えばPZT系の圧
電材料をスパッタリング法や、ゾルゲル法等により製膜
して圧電材料層21、22を作り付け、圧力発生室3、
4に対応する領域、リード部、接合端子部、及び後述す
るダミーパターンを形成するようにエッチング等により
切り出し、これの最上層に導電層を形成して、圧電振動
子の上電極23、24、端子部25、26、及びダミー
電極28、29、30、31が構成されている。
【0009】このダミー電極は、上電極と同様のプロセ
スにより形成されている関係上、下電極20に対して上
電極と同等の厚みを有するとともに、接合部の位置に並
ぶように、端子部25、26の両側にこれよりも面積が
大きく、かつフレキシブルケーブルが延びる側の外側に
切欠き28a、29a、30a、31aを有する5角形
として形成されている。またダミー電極28〜31は、
表面を粗面化されていて、図3に示したように1つのフ
レキシブルケーブルに対応するダミー電極の少なくとも
1つのものには位置合わせに適した目印パターン32、
33、この実施例では十字が形成されている。
【0010】一方、フレキシブルケーブル15は、図4
に示したように先端部に、これが接続される側の端子
部、例えば端子部26、26、26、‥‥の配列ピッチ
に合わせて駆動信号供給用の導電パターン40、40、
40、‥‥共通電極接続用のパターン41、41、及び
ダミー電極30、31に接続するダミー端子パターン4
2、42を形成して構成されている。
【0011】このように構成された流路形成基板の端子
部25、26に異方性導電接着剤を塗布し、ダミー電極
30に設けられている目印33を用いてフレキシブルケ
ーブル15を位置合わせすると、ダミー電極30、31
にはダミー端子パターン42、42が、また共通電極2
0の接続部20a、20aには共通電極接続用のパター
ン41、41が、さらに端子部26、26、‥‥には導
電パターン41、41、‥‥が対向するから、この状態
でフレキシブルケーブル15の表面から加熱圧着するこ
とにより、異方性導電接着剤Pが軟化して各対向部が導
電関係を持って接合される。
【0012】もとより、フレキシブルケーブル15の両
側がダミー電極30、31とダミー端子パターン42、
42とにより接合され、しかも粗面が形成されているた
め、他所に比較して強い接合力を有するから、フレキシ
ブルケーブル15を引き剥がすような力が作用しても、
この領域で保持することができる。
【0013】またダミー電極30、31のケーブル側の
外側の端部には切欠き部30a,31aが形成されてい
て、引き剥がし力が最初に作用する領域の接合線が、切
欠き部30a、31aを形成していない場合よりも長く
なるから、剥がれが防止される。
【0014】なお、上述の実施例においてはダミー電極
30、31を端子部25、26と並ぶように形成してい
るが、図6(イ)に示したように中央領域側に形成し、
面積を確保するようにしてもよい。この場合にはフレキ
シブルケーブル15は、図6(ロ)に示したようにダミ
ー端子パターン42、42を、端子部40、40、‥
‥、及び41、41との形成領域の間に切欠き15aを
形成して、帯状に延長するようにするとよい。
【0015】なお、上述の実施例においては、圧電振動
子を造膜法により形成する場合に例を採って説明した
が、圧電材料の薄いグリーンシートを圧力発生室の形状
にカットして貼着し、焼成により圧電振動子を形成した
ものに適用しても同様の作用を奏することは明らかであ
る。
【0016】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、一方の面をノズル開口を備えたノズルプレートによ
り封止され、また他方の面を弾性板により封止され、弾
性板に形成された圧電振動子により容積が膨張、収縮さ
れる圧力発生室を備えたインクジェット式記録ヘッドに
おいて、圧電振動子に導通して外部からの駆動信号を受
ける端子部の両側にダミー電極を形成するとともに、圧
電振動子に駆動信号を供給するフレキシブルケーブル
の、ダミー電極に対向する領域にダミー電極と接合する
ダミー端子パターンを形成したので、ダミー電極とダミ
ー端子パターンとの接合力により引き剥がし力を受け止
め剥がれを防止して、フレキシブルケーブルを確実に固
定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組立斜視図である。
【図2】弾性膜の表面に形成する圧電体膜、及び配線部
を形成するのに適した基板の構造を示す図である。
【図3】図(イ)は、ダミー電極の一実施例を示す上面
図であり、また図(ロ)はA−A線における断面図であ
る。
【図4】フレキシブルケーブルの一実施例を流路形成基
板との関係で示す図である。
【図5】接合工程を示す図である。
【図6】図(イ)、(ロ)は、それぞれ本発明の他の実
施例をなす流路形成基板、及びフレキシブルケーブルを
示す図である。
【符号の説明】
1 流路形成基板 2 弾性板 3、4 圧力発生室 5、6 リザーバ 7、8 インク供給口 10、11 ノズル開口 12 ノズルプレート 13、14 圧電振動子 15 フレキシブルケーブル 20 下電極20 21、22圧電材料層 23、24 上電極 25、26 端子部 28〜31 ダミー電極 28a、29a、30a、31a 切欠き部 40 駆動信号供給用の導電パターン 41 共通電極接続用のパターン 42、42 ダミー端子パターン P 異方性導電接着剤

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方の面をノズル開口を備えたノズルプ
    レートにより封止され、また他方の面を弾性板により封
    止され、前記弾性板に形成された圧電振動子により容積
    が膨張、収縮される圧力発生室を備えたインクジェット
    式記録ヘッドにおいて、 前記圧電振動子に導通して外部からの駆動信号を受ける
    端子部の両側にダミー電極を形成するとともに、前記圧
    電振動子に駆動信号を供給するフレキシブルケーブル
    の、前記ダミー電極に対向する領域に前記ダミー電極と
    接合するダミー端子パターンを形成してなるインクジェ
    ット式記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記ダミー電極の表面が粗面化されてい
    る請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記ダミー電極が前記端子部と同一高さ
    となるように形成されている請求項1に記載のインクジ
    ェット式記録ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記ダミー電極の、前記フレキシブルケ
    ーブルの引出し側の外側に切欠き部が形成されている請
    求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記ダミー電極の表面に位置合わせ用の
    目印パターンが形成されている請求項1に記載のインク
    ジェット式記録ヘッド。
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