JPS6217075A - 窒化アルミニウム焼結体及びその製法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体及びその製法Info
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- JPS6217075A JPS6217075A JP60152172A JP15217285A JPS6217075A JP S6217075 A JPS6217075 A JP S6217075A JP 60152172 A JP60152172 A JP 60152172A JP 15217285 A JP15217285 A JP 15217285A JP S6217075 A JPS6217075 A JP S6217075A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、窒化アルミニウム焼結体及びその製法に関す
る。
る。
半導体素子の絶縁放熱用セラミック基板材料として、ア
ルミナ基板が広く用いられている。しかし、素子の小型
化に伴い、単位面積当りの発熱量は増加の一途をたどっ
ているので、アルミナ基板よりもさらに熱伝導性にすぐ
れた材料の出現が待たれており、その有力な材料として
窒化アルミニウムがある。
ルミナ基板が広く用いられている。しかし、素子の小型
化に伴い、単位面積当りの発熱量は増加の一途をたどっ
ているので、アルミナ基板よりもさらに熱伝導性にすぐ
れた材料の出現が待たれており、その有力な材料として
窒化アルミニウムがある。
従来、窒化アルミニウム焼結体は、その高熱伝導性、耐
食性、高強度などの特性を利用し、高温 ″構造材
料として主に使用されているが、熱伝導率は窒化アルミ
ニウム本来の値よりも小さいものであった。
食性、高強度などの特性を利用し、高温 ″構造材
料として主に使用されているが、熱伝導率は窒化アルミ
ニウム本来の値よりも小さいものであった。
最近になり、窒化アルミニウムの高熱伝導性を利用すべ
き電子部品用基板が指向されている。その雪化アルミニ
ウム焼結体は、本来の高熱伝導性を維持するため、焼結
助剤の使用量をできるだけ少なくすると共に、原料窒化
アルミニウム粉末も、 □金属不純物が少なくて酸
素含有量の小さいものが ゛必要であるとされてい
る。そのような性能を示す □−焼結助剤として、
酸化イツトリウムＹ２Ｏ３や酸化 −セリウムｃ
ｅｏ２などが知られているが、それには次のような欠点
がある。
き電子部品用基板が指向されている。その雪化アルミニ
ウム焼結体は、本来の高熱伝導性を維持するため、焼結
助剤の使用量をできるだけ少なくすると共に、原料窒化
アルミニウム粉末も、 □金属不純物が少なくて酸
素含有量の小さいものが ゛必要であるとされてい
る。そのような性能を示す □−焼結助剤として、
酸化イツトリウムＹ２Ｏ３や酸化 −セリウムｃ
ｅｏ２などが知られているが、それには次のような欠点
がある。
すなわち、ｙ、、ｏ、、は、低添加の領域では緻密化す
るが、高熱伝導性を示す焼結体は得られず、かつ、メタ
ライズき性が悪いという欠点がある。また、高添加の領
域では、緻密化が不十分であり、基材としての用途には
適さず、さらには、高価になるという欠点がある。一方
、ｃｅｏ２は、安価であり、メタライズ性はＹ２Ｏ３よ
りも優れている利点はあるが、Ｙ２Ｏ３と同様に、低添
加では低熱伝導性、高添加では緻密化不十分という欠点
がある。
るが、高熱伝導性を示す焼結体は得られず、かつ、メタ
ライズき性が悪いという欠点がある。また、高添加の領
域では、緻密化が不十分であり、基材としての用途には
適さず、さらには、高価になるという欠点がある。一方
、ｃｅｏ２は、安価であり、メタライズ性はＹ２Ｏ３よ
りも優れている利点はあるが、Ｙ２Ｏ３と同様に、低添
加では低熱伝導性、高添加では緻密化不十分という欠点
がある。
加えて、Ｙ２Ｏ３、Ｃｅ Ｏ２共に、焼結ロット間の熱
伝導率のバラツキが大きく、ロット間で２０〜３０チも
の差が生じることもあった。
伝導率のバラツキが大きく、ロット間で２０〜３０チも
の差が生じることもあった。
本発明者は、これらの欠点を解決し、高熱伝導性の窒化
アルミニウム焼結体を得ることができる焼結助剤につい
て種々検討した結果、セリウム・イットリウム・オキサ
イド類はすぐれた効果を発揮し、かつ、そのセリウム・
イットリウム・オキサイド類からなる焼結助剤は、原料
窒化アルミニウム粉末に含まれる酸素量に応じて変量し
て使用すればその効果が著大になることを見い出し、本
発明を完成した。
アルミニウム焼結体を得ることができる焼結助剤につい
て種々検討した結果、セリウム・イットリウム・オキサ
イド類はすぐれた効果を発揮し、かつ、そのセリウム・
イットリウム・オキサイド類からなる焼結助剤は、原料
窒化アルミニウム粉末に含まれる酸素量に応じて変量し
て使用すればその効果が著大になることを見い出し、本
発明を完成した。
本発明は、以下を要旨とするものである。
（１）焼結助剤として、セリウム・イットリウム・オキ
サイド類を用いてなることを特徴とする窒化アルミニウ
ム焼結体。
サイド類を用いてなることを特徴とする窒化アルミニウ
ム焼結体。
（２） 窒化アルミニウム粉末の酸素重量を測定し、
その４〜１０倍量のセリウム・イットリウム・オキサイ
ド類を添加し冷開成形後％ １．６００〜２．０００℃
の温度で常圧焼結又はホットプレスすることを特徴とす
る窒化アルミニウム焼結体の製法。
その４〜１０倍量のセリウム・イットリウム・オキサイ
ド類を添加し冷開成形後％ １．６００〜２．０００℃
の温度で常圧焼結又はホットプレスすることを特徴とす
る窒化アルミニウム焼結体の製法。
以下、さらに詳しく本発明について説明する。
窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率を低下させている最
も重大な要因は、粒界に存在するアルミナと窒化アルミ
ニウムとの反応によって生成する酸窒化アルミニウムで
あるので、焼結体中にその物質が生成しないようフリー
のアルミナが存在しない条件を選択すれはよい。そのた
めには、焼結助剤は、通常の焼結助剤が持つべき性質の
ほかに、アルミナとよく反応すること及び共晶点でアル
ミナを遊離しない組成を形成することである。
も重大な要因は、粒界に存在するアルミナと窒化アルミ
ニウムとの反応によって生成する酸窒化アルミニウムで
あるので、焼結体中にその物質が生成しないようフリー
のアルミナが存在しない条件を選択すれはよい。そのた
めには、焼結助剤は、通常の焼結助剤が持つべき性質の
ほかに、アルミナとよく反応すること及び共晶点でアル
ミナを遊離しない組成を形成することである。
このような観点にたって、本発明者が見い出した焼結助
剤は、セリウム・イットリウム・オキサイド類である。
剤は、セリウム・イットリウム・オキサイド類である。
ここで、セリウム・イットリウム・オキサイド類とは、
例えば、酸化セリウムと酸化イツトリウム、又は加熱に
よって酸化セリウムと酸化イツトリウムとなる物質を加
熱することによって得られた反応生成物又は固溶体等を
意味し、単なる酸化セリウムと酸化イツトリウムとの機
械的混合物と区別されるものである。それは、Ｘ線回折
によって確認できる。好ましいセリウム・イットリウム
・オキサイド類は、 ＣｅＯ２／ Ｙ２Ｏ３のモル比が
４７１〜ｌ／４の範囲にある化合物又は固溶体である。
例えば、酸化セリウムと酸化イツトリウム、又は加熱に
よって酸化セリウムと酸化イツトリウムとなる物質を加
熱することによって得られた反応生成物又は固溶体等を
意味し、単なる酸化セリウムと酸化イツトリウムとの機
械的混合物と区別されるものである。それは、Ｘ線回折
によって確認できる。好ましいセリウム・イットリウム
・オキサイド類は、 ＣｅＯ２／ Ｙ２Ｏ３のモル比が
４７１〜ｌ／４の範囲にある化合物又は固溶体である。
その理由は、この焼結助剤を用いて得られた焼結体の熱
伝導率は著大で、かつ、そのバラツキが小さくなるから
である。
伝導率は著大で、かつ、そのバラツキが小さくなるから
である。
セリウム・イットリウム・オキサイド類の使用量は、原
料窒化アルミニウム粉末に含まれる酸素重量の４〜１０
倍量とするのが望ましい。その理由は、４倍よりも少量
であると、十分に緻密化した焼結体は得られるが熱伝導
率は満足できない。
料窒化アルミニウム粉末に含まれる酸素重量の４〜１０
倍量とするのが望ましい。その理由は、４倍よりも少量
であると、十分に緻密化した焼結体は得られるが熱伝導
率は満足できない。
また、１０倍量をこえると、緻密性が急激に低下し熱伝
導率も小さくなる。好ましい使用量は５〜８倍である。
導率も小さくなる。好ましい使用量は５〜８倍である。
原料窒化アルミニウム粉末に含まれる＠素意には特に限
定はない。比較的容易に入手し得る散索含有量０．５〜
２重量−程度の窒化アルミニウム粉末は本発明の態様例
である。
定はない。比較的容易に入手し得る散索含有量０．５〜
２重量−程度の窒化アルミニウム粉末は本発明の態様例
である。
焼結法としては、原料窒化アルミニウム粉末とセリウム
・イットリウム・オキサイド類との混合物を冷間成形後
、常圧焼結又はホットプレス焼結をする方法が、通常、
採用される。温度は、１．７００〜２，０００℃好まし
くは１，７５０〜１．９５０℃が適当である。１，７０
０℃未満では、十分に緻密化した焼結体は得られず、ま
た、２．０００℃をこえて焼結する利点はなく、かえっ
て色むらや変色が認められるようになる。
・イットリウム・オキサイド類との混合物を冷間成形後
、常圧焼結又はホットプレス焼結をする方法が、通常、
採用される。温度は、１．７００〜２，０００℃好まし
くは１，７５０〜１．９５０℃が適当である。１，７０
０℃未満では、十分に緻密化した焼結体は得られず、ま
た、２．０００℃をこえて焼結する利点はなく、かえっ
て色むらや変色が認められるようになる。
以下、実施例をあげてさらに具体的に説明する。
実施例１
ＣｅＯ２とＹ２Ｏ３とをモル比で２＝１になる様混合し
、成形後、空気中１４００℃で６時間反応させて、セリ
ウム・イットリウム・オキサイドを合成した。この合成
品はＸ線回折の結果、全てＣｅ２Ｙ２０７であった。次
にこの合成品を粉砕し、体積平均径で６μ（マイクロト
ラックによる。以下の粒径値は全て、マイクロトラック
による値である）程度に粉砕し、焼結助剤図とした。
、成形後、空気中１４００℃で６時間反応させて、セリ
ウム・イットリウム・オキサイドを合成した。この合成
品はＸ線回折の結果、全てＣｅ２Ｙ２０７であった。次
にこの合成品を粉砕し、体積平均径で６μ（マイクロト
ラックによる。以下の粒径値は全て、マイクロトラック
による値である）程度に粉砕し、焼結助剤図とした。
実施例２
Ｃ８０２とＹ２Ｏ３とをモル比で１：１になる様混合し
、成形後、空気中１４００°０３時間反応させて、セリ
ウム・イットリウム・オキサイドを合成した。
、成形後、空気中１４００°０３時間反応させて、セリ
ウム・イットリウム・オキサイドを合成した。
この合成品のＸ線回折パターンから合成品はＣｅ２Ｙ２
０７及び、Ｙ２Ｏ３にｃｅｏ２が固溶した化合物（Ｙ２
Ｏ３のピークがＣｅＯ２のピーク側にシフトしている）
から成っていた。この合成品を３μ程度に粉砕し焼結助
剤（Ｂ）とした。
０７及び、Ｙ２Ｏ３にｃｅｏ２が固溶した化合物（Ｙ２
Ｏ３のピークがＣｅＯ２のピーク側にシフトしている）
から成っていた。この合成品を３μ程度に粉砕し焼結助
剤（Ｂ）とした。
実施例３
電気化学工業社製窒化アルミニウム粉末（酸素含有量０
．８５重量慢、体積平均径５．２μ、比表面積３．５
ｍ”、、＃ ）９５ ｇに焼結助剤図を５ｇ添加し、５
ｏｏｃｃのナイロンポット、Ａｌ２Ｏ３ボールを使用し
て２時間乾式混合した。これに−次結合剤として、３０
％ポリメチルメタクリレート−トルエン溶液を混合物１
０ｇに対し０．８Ｉの割合で加え、簡単な混合を行った
後、２ｓＩ６ｘｉ ａｔの円板にαχ ３００ ｋｇ／ｃｍ”の圧力で金型成形した。得らえた
円板を、５００℃％Ｎ２気流中で２時間加熱し、−次結
合剤の除去を行った。次に、これを黒鉛容器に移し、粗
めのＡｔＮ粉で軽く包埋して、Ｎ２中１８５０℃で２時
間常圧焼結した。得られた焼結体は、相対密度９８．７
％、熱伝導率１２８ ｗ／ｍＫと極めて高い値であった
。なお、熱伝導率は、レーず一フラシュ法（装置は理学
電機社製）により測定した。
．８５重量慢、体積平均径５．２μ、比表面積３．５
ｍ”、、＃ ）９５ ｇに焼結助剤図を５ｇ添加し、５
ｏｏｃｃのナイロンポット、Ａｌ２Ｏ３ボールを使用し
て２時間乾式混合した。これに−次結合剤として、３０
％ポリメチルメタクリレート−トルエン溶液を混合物１
０ｇに対し０．８Ｉの割合で加え、簡単な混合を行った
後、２ｓＩ６ｘｉ ａｔの円板にαχ ３００ ｋｇ／ｃｍ”の圧力で金型成形した。得らえた
円板を、５００℃％Ｎ２気流中で２時間加熱し、−次結
合剤の除去を行った。次に、これを黒鉛容器に移し、粗
めのＡｔＮ粉で軽く包埋して、Ｎ２中１８５０℃で２時
間常圧焼結した。得られた焼結体は、相対密度９８．７
％、熱伝導率１２８ ｗ／ｍＫと極めて高い値であった
。なお、熱伝導率は、レーず一フラシュ法（装置は理学
電機社製）により測定した。
参考例
焼結助剤図のかわりに、Ｙ２Ｏ３又はＣｅＯ２を用いた
以外は実施例６と同様にして焼結体を製造した。
以外は実施例６と同様にして焼結体を製造した。
その結果を第１表に示す。
実施例４〜１８ 比較例１〜５
焼結助剤図又は（Ｂｌを用い、その添加量と焼結温度を
かえた以外は実施例６と同様にして焼結体を製造した。
かえた以外は実施例６と同様にして焼結体を製造した。
その成績を第２表に示す。なお、第２表には、実施例乙
の結果についても併記した。
の結果についても併記した。
以下全白
実施例１９〜２４ 比較例６〜９
原料窒化アルミニウム粉末として、酸素含有量１．４重
量％、平均粒径４．３μのもの（電気化学工業社製粉砕
品）を用いて焼結体を製造した。その結果を第６表に示
す。
量％、平均粒径４．３μのもの（電気化学工業社製粉砕
品）を用いて焼結体を製造した。その結果を第６表に示
す。
以下ニ；τ白
実施例２５〜５０ 比較例１０〜１３
原料窒化アルミニウム粉末として、酸素含有量１．８５
５ｆｉ、平均粒径６．５μのもの（を気化学工業社製粉
砕品）を用いて焼結体を製造した。その結果を第４表に
示す。
５ｆｉ、平均粒径６．５μのもの（を気化学工業社製粉
砕品）を用いて焼結体を製造した。その結果を第４表に
示す。
以下金白
実施例６１
実施例１９〜２４で用いた窒化アルミニウム９．２ｇと
焼結助剤囚０．８ｇとをらいかい機にて混合し、グラフ
オイルでライニングした内径２５グの黒鉛ダイスに充て
んした。これを、１８００℃、１時間、Ｎ２気流中で１
５０に９／ｃｒｒＬ２の圧力でホットプレス焼結した。
焼結助剤囚０．８ｇとをらいかい機にて混合し、グラフ
オイルでライニングした内径２５グの黒鉛ダイスに充て
んした。これを、１８００℃、１時間、Ｎ２気流中で１
５０に９／ｃｒｒＬ２の圧力でホットプレス焼結した。
得られた焼結体の緻密化度は、９９．８チの相対密度で
、熱伝導率は１３９ ｗ／ｍＫであり、ホットプレスで
も高熱伝導率の焼結体が得られることを確認した。
、熱伝導率は１３９ ｗ／ｍＫであり、ホットプレスで
も高熱伝導率の焼結体が得られることを確認した。
実施例３２
実施例６で使用したのと同じ窒化アルミニウム９２ｇ、
焼結助剤ＩＢ） ８ ＆ 、−次結合剤としてポリビニ
ルブチラール６９、可重剤としてジプチルフタレート３
．１分散剤としてトリオレイン１１１及び溶剤としてブ
タノール６０ｇを５００区ノナイロンポットにて８ Ｏ
ｒｐｍの回転数で２４時間混合した。得られたスラリー
をドクタープレーディングによりＰＥＴフィルム上に拡
げ、風乾後、１２０℃で３時間乾燥して厚さ１．２ｆｉ
のグリーンシートを得た。これを２５グの円板状に打ち
抜き、５枚を重ねズ１５０℃で１０分間１０〜／ ｃｍ
χの圧力で積層した。この積層品を、空気中５００℃で
１時間加熱して一次結合剤の除去を行なった後、１８５
０℃１時間Ｎ２中で常圧焼結した。得られた焼結体の密
度は、９９．５％（相対密度）で、熱伝導率は１１９
ｗ／ｍＫであり、通常のげフタ−ブレード成形でも熱伝
導率の高い焼結体が得られることを確認した。
焼結助剤ＩＢ） ８ ＆ 、−次結合剤としてポリビニ
ルブチラール６９、可重剤としてジプチルフタレート３
．１分散剤としてトリオレイン１１１及び溶剤としてブ
タノール６０ｇを５００区ノナイロンポットにて８ Ｏ
ｒｐｍの回転数で２４時間混合した。得られたスラリー
をドクタープレーディングによりＰＥＴフィルム上に拡
げ、風乾後、１２０℃で３時間乾燥して厚さ１．２ｆｉ
のグリーンシートを得た。これを２５グの円板状に打ち
抜き、５枚を重ねズ１５０℃で１０分間１０〜／ ｃｍ
χの圧力で積層した。この積層品を、空気中５００℃で
１時間加熱して一次結合剤の除去を行なった後、１８５
０℃１時間Ｎ２中で常圧焼結した。得られた焼結体の密
度は、９９．５％（相対密度）で、熱伝導率は１１９
ｗ／ｍＫであり、通常のげフタ−ブレード成形でも熱伝
導率の高い焼結体が得られることを確認した。
実施例６３
実施例１〜６０で得られた焼結体に導体ペーストを塗布
し焼き付けした抜上の接着強度を測定したところ、いず
れも１．５ ｋｌ？ ／ ｍｘ２以上の値を示し、極め
てメタライズ性にすぐれていることがわかった。
し焼き付けした抜上の接着強度を測定したところ、いず
れも１．５ ｋｌ？ ／ ｍｘ２以上の値を示し、極め
てメタライズ性にすぐれていることがわかった。
不発明によれば、従来の酸化イツ） ＩＪウムや酸化セ
リウム等を焼結助剤とするものに比べて、熱伝導率が大
で、かつ、バラツキの少ない窒化アルミニウム焼結体を
製造することができる。
リウム等を焼結助剤とするものに比べて、熱伝導率が大
で、かつ、バラツキの少ない窒化アルミニウム焼結体を
製造することができる。
手 続 補 正 書
昭和６１年 ７月４日
特許庁長官 宇 負 道 部 殿
１、事件の表示 昭和６０年特許願第１５２１７２号
２発明の名称 窒化アルミニウム焼結体及び七の裏法
五補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 来基部千代田区有楽町１丁目４番１号名 称
（３２９） ！気化学工業株式会社代表者 篠
原 晃 住 所 束″ｇ都港区西新橋３丁目１５番８号西新橋
中央ビル３０２号 電話（４３７）−３４６７氏 名
弁理士（８９４２） 吉 嶺 桂Ｓ補正命令の
日付（拒絶理由通知の日付） 自発補正＆補正の対象 （１１明細晋の特許請求の範囲の欄及び発明の詳細な説
明の欄 ７、補正の内容 （１） 特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。
２発明の名称 窒化アルミニウム焼結体及び七の裏法
五補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 来基部千代田区有楽町１丁目４番１号名 称
（３２９） ！気化学工業株式会社代表者 篠
原 晃 住 所 束″ｇ都港区西新橋３丁目１５番８号西新橋
中央ビル３０２号 電話（４３７）−３４６７氏 名
弁理士（８９４２） 吉 嶺 桂Ｓ補正命令の
日付（拒絶理由通知の日付） 自発補正＆補正の対象 （１１明細晋の特許請求の範囲の欄及び発明の詳細な説
明の欄 ７、補正の内容 （１） 特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。
（２） 明細書６頁１２行の［生じることもあった。
」の次に次の文全挿入する。
「 また、焼結温度に実用上１７５０℃以上、好筐しく
に１８００℃以上の温度が必要であった。」 （３） 明＃ａ書４頁１６行〜５頁３行の「粒界に存
在する・・・組成を彫工することである。」を次のとお
り補正する。
に１８００℃以上の温度が必要であった。」 （３） 明＃ａ書４頁１６行〜５頁３行の「粒界に存
在する・・・組成を彫工することである。」を次のとお
り補正する。
「 原料である窒化アルミニウム粉末中に含まれている
酸素不純物にある。この酸素不純物の多くは窒化アルミ
ニウム粉末の表面に存在するが、焼結工程において窒化
アルミニウム粒子の内部へ拡散し、これが原因となって
熱伝導率が低１する。焼結助剤は緻密化全促進すると共
に、この不純物酸素とよく反応し、それを遊離しないこ
とが重要である。」（４） 明ａｔ５頁下から３行の
「小さくなるからである。」を次のとおり補正する。
酸素不純物にある。この酸素不純物の多くは窒化アルミ
ニウム粉末の表面に存在するが、焼結工程において窒化
アルミニウム粒子の内部へ拡散し、これが原因となって
熱伝導率が低１する。焼結助剤は緻密化全促進すると共
に、この不純物酸素とよく反応し、それを遊離しないこ
とが重要である。」（４） 明ａｔ５頁下から３行の
「小さくなるからである。」を次のとおり補正する。
「 小さくなジ、また、焼結温度を下げることができる
からである。」 （５）明＃Ｉ曹６頁１０行〜１８行の「焼結法としては
、・・・認められるようになる。」を次のとお９補正す
る。
からである。」 （５）明＃Ｉ曹６頁１０行〜１８行の「焼結法としては
、・・・認められるようになる。」を次のとお９補正す
る。
「 焼結法とじては、原料窒化アルミニウム粉本とセリ
ウム・イットリウム・オキサイド類との混合物を、冷開
成形後常圧焼結するか、又はホットプレス焼結をする方
法が、通常、採用きれる。温度は、１，６００〜２，０
００℃好ましくはｉ、６５０〜１，９５０℃が適当であ
る。１，６ＤＤ℃未満では、十分に緻密化した焼結体は
得られず、また、２，０００℃℃をこえて焼結する利点
はなく、かえって色むらや変色が認められるようになる
。」 （６）明細１１１頁第２表の「焼結温度（％ン」を「焼
結温度（℃）」と補正し、また、比較例３の欄の焼結温
度の欄に「１６００」とめるのを「１５００」と補正す
る。
ウム・イットリウム・オキサイド類との混合物を、冷開
成形後常圧焼結するか、又はホットプレス焼結をする方
法が、通常、採用きれる。温度は、１，６００〜２，０
００℃好ましくはｉ、６５０〜１，９５０℃が適当であ
る。１，６ＤＤ℃未満では、十分に緻密化した焼結体は
得られず、また、２，０００℃℃をこえて焼結する利点
はなく、かえって色むらや変色が認められるようになる
。」 （６）明細１１１頁第２表の「焼結温度（％ン」を「焼
結温度（℃）」と補正し、また、比較例３の欄の焼結温
度の欄に「１６００」とめるのを「１５００」と補正す
る。
（７） 明細書１７頁下から５行の〔発明の効果〕の
前に次の文及び次の第５表を挿入する。
前に次の文及び次の第５表を挿入する。
［実施例５４，３５、比較例１４へ１７焼結助剤と焼結
温度を第５表に示す如くかえた以外は、実施例３２と同
様に実施した。
温度を第５表に示す如くかえた以外は、実施例３２と同
様に実施した。
その結果も第５表に示す。
第５表
啄
（８） 明ａｔ１７頁下から２行〜末行の「伝導率が
大で、・・・ことができる」を次のとおり補正する。
大で、・・・ことができる」を次のとおり補正する。
「 伝導率が大で、バラツキの少ない窒化アルミニウム
焼結体を低い焼結温度で製造することができる。」 ｌ特許請求の範囲 （１） 焼結助剤として、セリウム・イットリウム・
オキサイド類を用いてなること全特徴とする窒化アルミ
ニウム焼結体。
焼結体を低い焼結温度で製造することができる。」 ｌ特許請求の範囲 （１） 焼結助剤として、セリウム・イットリウム・
オキサイド類を用いてなること全特徴とする窒化アルミ
ニウム焼結体。
（２） 窒化アルミニウム粉末の緻累重ｔを測定し、
その４〜１０倍量のセリウム・イットリウム・オキサイ
ド類を添加し１冷間成形後： １，６００〜２，０００
℃の温度で常圧焼結ゴニ互Ａ５．又は該温度でホットプ
レスすることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製
法。
その４〜１０倍量のセリウム・イットリウム・オキサイ
ド類を添加し１冷間成形後： １，６００〜２，０００
℃の温度で常圧焼結ゴニ互Ａ５．又は該温度でホットプ
レスすることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製
法。
Claims (2)
- （１）焼結助剤として、セリウム・イットリウム・オキ
サイド類を用いてなることを特徴とする窒化アルミニウ
ム焼結体。 - （２）窒化アルミニウム粉末の酸素重量を測定し、その
４〜１０倍量のセリウム・イットリウム・オキサイド類
を添加し冷間成形後、１，６００〜２，０００℃の温度
で常圧焼結又はホットプレスすることを特徴とする窒化
アルミニウム焼結体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152172A JPS6217075A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 窒化アルミニウム焼結体及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152172A JPS6217075A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 窒化アルミニウム焼結体及びその製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6217075A true JPS6217075A (ja) | 1987-01-26 |
| JPH0510297B2 JPH0510297B2 (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=15534612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60152172A Granted JPS6217075A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 窒化アルミニウム焼結体及びその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6217075A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182260A (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-27 | 株式会社東芝 | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 |
| JP2020526939A (ja) * | 2017-07-10 | 2020-08-31 | ケーエスエム・コンポーネント・カンパニー・リミテッド | 静電チャック |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127267A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-06 | 株式会社東芝 | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP60152172A patent/JPS6217075A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127267A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-06 | 株式会社東芝 | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63182260A (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-27 | 株式会社東芝 | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 |
| JP2020526939A (ja) * | 2017-07-10 | 2020-08-31 | ケーエスエム・コンポーネント・カンパニー・リミテッド | 静電チャック |
| US11355377B2 (en) | 2017-07-10 | 2022-06-07 | Ksm Component Co., Ltd. | Electrostatic chuck |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0510297B2 (ja) | 1993-02-09 |
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