JPS6093469A - 現像装置 - Google Patents
現像装置Info
- Publication number
- JPS6093469A JPS6093469A JP58200763A JP20076383A JPS6093469A JP S6093469 A JPS6093469 A JP S6093469A JP 58200763 A JP58200763 A JP 58200763A JP 20076383 A JP20076383 A JP 20076383A JP S6093469 A JPS6093469 A JP S6093469A
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- JP
- Japan
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- developer
- layer
- developing roller
- developer carrier
- carrier
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
- G03G15/06—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing
- G03G15/08—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer
- G03G15/0806—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer on a donor element, e.g. belt, roller
- G03G15/0812—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern for developing using a solid developer, e.g. powder developer on a donor element, e.g. belt, roller characterised by the developer regulating means, e.g. structure of doctor blade
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、’ＪＩ−像剤を傷創に担持して搬送する現像
剤相持体の表面に傷創塗布用の・ｊｒｉ性体を圧接して
現像剤層を形成し、この現像剤層を像担持体に対向ζせ
て像担持体の電荷パターンの現像を行う現像装置に関す
るものである。
剤相持体の表面に傷創塗布用の・ｊｒｉ性体を圧接して
現像剤層を形成し、この現像剤層を像担持体に対向ζせ
て像担持体の電荷パターンの現像を行う現像装置に関す
るものである。
−成分現像剤を使用する従来の一般的な現像装置は、Ｊ
Ａ像傷創持体に現（象剤層を形成するだめに、ウレタン
ゴムやステンレスなどから成る弾性体ブレードを現像剤
担持体の表面にＬ圧接する構成となっておシ、例えば非
磁性現像剤を使用するときには弾性体ブレードと現像剤
担持体との間で現像剤が摩擦帯電されることとなる。
Ａ像傷創持体に現（象剤層を形成するだめに、ウレタン
ゴムやステンレスなどから成る弾性体ブレードを現像剤
担持体の表面にＬ圧接する構成となっておシ、例えば非
磁性現像剤を使用するときには弾性体ブレードと現像剤
担持体との間で現像剤が摩擦帯電されることとなる。
そし□て、ここで車装なことは、現像剤がいかに均一に
所望の電位に帯電されるかであり、そのためには弾性体
ブレードと現像剤担持体との接触幅をいかに大きくとる
かが大切である。
所望の電位に帯電されるかであり、そのためには弾性体
ブレードと現像剤担持体との接触幅をいかに大きくとる
かが大切である。
しかしながら従来装置にあっては、弾性体ブレードと現
像剤担持体との接触幅を期待どうりの大きさにすること
が非常に困難であり、例えば弾性体ブレードを腹当て状
態（回当て状態）にて現像剤担持体に強く圧接すればそ
の接触幅をある程度大きくすることができるが、この場
合には弾性体ブレードと現＋１剤担持体との圧接力が必
要以上に大きくなりすぎるととメなる。
像剤担持体との接触幅を期待どうりの大きさにすること
が非常に困難であり、例えば弾性体ブレードを腹当て状
態（回当て状態）にて現像剤担持体に強く圧接すればそ
の接触幅をある程度大きくすることができるが、この場
合には弾性体ブレードと現＋１剤担持体との圧接力が必
要以上に大きくなりすぎるととメなる。
また特に現像剤担持体が円筒形状を程している場合にそ
の径を小さくすると、弾性体ブレードと現像剤担持体と
の接触幅を大きくすることがなおさら困難となる。
の径を小さくすると、弾性体ブレードと現像剤担持体と
の接触幅を大きくすることがなおさら困難となる。
本発明は上記事情に基づいてなされたものであり、小径
の円筒状現像剤担持体であっても、弾性体プレー１゛と
の接触幅を所定圧の状態で大きくすることができ、ひい
ては現像剤を所望の電位に帯電させて良好な現像を行な
うことが可、能な現像装置を提供することを目的とする
。
の円筒状現像剤担持体であっても、弾性体プレー１゛と
の接触幅を所定圧の状態で大きくすることができ、ひい
ては現像剤を所望の電位に帯電させて良好な現像を行な
うことが可、能な現像装置を提供することを目的とする
。
本発明は弾性体グレードを固定層と遊動層とから構成し
、遊動層をとの遊動層を現像剤担持体にさせることによ
り、上記目的を達成するものである。。
、遊動層をとの遊動層を現像剤担持体にさせることによ
り、上記目的を達成するものである。。
以下図面を参照しながら本発明の現像装置について説明
する。
する。
先ず本発明の現像装置を適用した画像形成装置例えば複
写機について説明する。第１図は該複写機の概略断１ｍ
図である。図においてｌで示すものは複写機筐体であり
、そのほぼ中央部には表面に静電潜像が形成される静電
潜像担持体例えばセレンなどからなるドラム状の感光体
２が回転可能に配置され、その周側部には、往復水平移
する原稿台３に載置された原稿を光学的に走査して感光
体表面に原稿の像を結ｉ、！せるためのラング４及び収
束性光伝送体５と、原稿の像を結像させる前に感光体２
の表面を除電するための除電ラング６及び除電後に感光
体２０表面を均一に帯電させる帯電器７と、感光体２０
表面に形成された静電潜像に現像剤を選択的に飛翔き亡
てその静電潜像を現像する杢活明に係る現１家装置８と
が設けられていて、感光体表面には顕像が形成されるよ
うになっている。そして前記複写機筐体１の一側部（図
において右側部）には給紙部１０が設けられていて、例
えば側部より着脱自在な給紙カセット１１と、この給紙
カセット１１に収納されている用紙Ｐの最上層のものに
転接してこれを先方へ送出する給紙ローラ１２と、手差
し給紙用手差し給紙ガイド１３と、この手差給紙カイト
１３から挿入された用紙を先方へ値送する搬送ローラ１
４とによって構成されている０そしてこの給紙部１０か
ら給紙された用紙はレジストローラ１５によって搬送タ
イミングがとられて前記感光体ｌに摺接するごとくに搬
送されるようになっている。搬送されてくる用紙の近傍
であって感光体２０周側部には、転写前チャージャ９と
、顕像を構成する現像剤を用紙に転写する転写チャージ
ャ１６と、転写後に用紙を感光体２から剥離する剥離チ
ャージャ１７とが設けられている。
写機について説明する。第１図は該複写機の概略断１ｍ
図である。図においてｌで示すものは複写機筐体であり
、そのほぼ中央部には表面に静電潜像が形成される静電
潜像担持体例えばセレンなどからなるドラム状の感光体
２が回転可能に配置され、その周側部には、往復水平移
する原稿台３に載置された原稿を光学的に走査して感光
体表面に原稿の像を結ｉ、！せるためのラング４及び収
束性光伝送体５と、原稿の像を結像させる前に感光体２
の表面を除電するための除電ラング６及び除電後に感光
体２０表面を均一に帯電させる帯電器７と、感光体２０
表面に形成された静電潜像に現像剤を選択的に飛翔き亡
てその静電潜像を現像する杢活明に係る現１家装置８と
が設けられていて、感光体表面には顕像が形成されるよ
うになっている。そして前記複写機筐体１の一側部（図
において右側部）には給紙部１０が設けられていて、例
えば側部より着脱自在な給紙カセット１１と、この給紙
カセット１１に収納されている用紙Ｐの最上層のものに
転接してこれを先方へ送出する給紙ローラ１２と、手差
し給紙用手差し給紙ガイド１３と、この手差給紙カイト
１３から挿入された用紙を先方へ値送する搬送ローラ１
４とによって構成されている０そしてこの給紙部１０か
ら給紙された用紙はレジストローラ１５によって搬送タ
イミングがとられて前記感光体ｌに摺接するごとくに搬
送されるようになっている。搬送されてくる用紙の近傍
であって感光体２０周側部には、転写前チャージャ９と
、顕像を構成する現像剤を用紙に転写する転写チャージ
ャ１６と、転写後に用紙を感光体２から剥離する剥離チ
ャージャ１７とが設けられている。
ざらに現像剤の転写を受けた用紙は搬送ベルト１９で搬
送されて定着装置２ｏに案内され、この定着装置２０を
構成しているヒートローラ対の圧力と熱とに−よって現
像剤の定着が行われた後排紙ロー２対２２でトレー２３
に排紙される。
送されて定着装置２ｏに案内され、この定着装置２０を
構成しているヒートローラ対の圧力と熱とに−よって現
像剤の定着が行われた後排紙ロー２対２２でトレー２３
に排紙される。
次に前記現像装置８の詳細を説明する。第２図は現像装
置１ｔ８の概略斜視図、第３図は同現、】壁装置８の概
略断面図である０各図に示す現像装置８は非磁性現像剤
を使用するものであり、離間配置されたバックフレーム
３０ Ａ ドア ｏ ン） ｘチー３０８及びその両側
部に取着されたサイドクレーム３ｏｃ、３０Ｄがら現像
装置用筐体３４が形成されている。またこの現像装置用
筐体３４の上端開口部３４ＡにはｊＡ渾剤を補給するた
めの開閉自在な蓋体４ｏが設けられ、下端開口部３４Ｂ
近傍には現像剤を表面に担持して搬送する現像剤担持体
、例えばアルミニウム又はステンレスなどから成る現像
ローラ３５が回・妖可能に前記両サイドフレーム３０
Ｃ９３０１）に枢支されている。さらに上記フロントス
テー３０Ｂには現像ローラ３５表面に現像層を形成する
だめの弾性体ブレード３６が設けられている。こ−の弾
性体ブレード３６は例えばシリコンブタジェンゴム（硬
度４０度〜４５度）、ウレタンゴム、ステンレス、燐青
銅から成る２枚の弾性板の一端同志を電気的に導通状態
に接層、したものであ抄（接着幅５ｍｍ以Ｆ）、一方の
弾性板３６Ｃ（遊動ｊｅｔ ）の接層部近傍が現像ロー
ラ３５に対し所定圧でその長手方向に沼って圧−接され
るように、他の弾性板３６ｂ（固定Ｎ４）の他端をグレ
ードホルダ３７及びポルト３７ａを弁して、上記フロン
トステー３０Ｉ３に取着したものである。
置１ｔ８の概略斜視図、第３図は同現、】壁装置８の概
略断面図である０各図に示す現像装置８は非磁性現像剤
を使用するものであり、離間配置されたバックフレーム
３０ Ａ ドア ｏ ン） ｘチー３０８及びその両側
部に取着されたサイドクレーム３ｏｃ、３０Ｄがら現像
装置用筐体３４が形成されている。またこの現像装置用
筐体３４の上端開口部３４ＡにはｊＡ渾剤を補給するた
めの開閉自在な蓋体４ｏが設けられ、下端開口部３４Ｂ
近傍には現像剤を表面に担持して搬送する現像剤担持体
、例えばアルミニウム又はステンレスなどから成る現像
ローラ３５が回・妖可能に前記両サイドフレーム３０
Ｃ９３０１）に枢支されている。さらに上記フロントス
テー３０Ｂには現像ローラ３５表面に現像層を形成する
だめの弾性体ブレード３６が設けられている。こ−の弾
性体ブレード３６は例えばシリコンブタジェンゴム（硬
度４０度〜４５度）、ウレタンゴム、ステンレス、燐青
銅から成る２枚の弾性板の一端同志を電気的に導通状態
に接層、したものであ抄（接着幅５ｍｍ以Ｆ）、一方の
弾性板３６Ｃ（遊動ｊｅｔ ）の接層部近傍が現像ロー
ラ３５に対し所定圧でその長手方向に沼って圧−接され
るように、他の弾性板３６ｂ（固定Ｎ４）の他端をグレ
ードホルダ３７及びポルト３７ａを弁して、上記フロン
トステー３０Ｉ３に取着したものである。
また、上記現像ロー２３５はその表面に現像剤層が形成
された状態において感光体２とは非−接触状態になる位
、ｌ１ｉＫ配置される。この非接触配置関係は、現像剤
の粒径、現像ローラ３５に形成される現像剤ノーのノテ
厚などによって決まるものである。しかし後述する現像
ローラ３５と感光体２とのギャップにおける現像剤のｑ
ｋ＋羽を確実に行って良質な顕像を得るためにはギャッ
プをできるだけ狭くする必要がある。しかもそのため罠
は形成される現像剤層は博ノ―であることが望ましく、
かつ使用に供される現像剤粒径の範囲も解像度との関係
で決まってくるので、実用上の両者間のギャップ寸法は
ｌ’ｆぼ１０μｍ〜３００μｍ程度である。なおギャッ
プ寸法を保持するために、現像ローラ３５の軸にはギャ
ップ規制ローラ４１が一体回転可能に取付けられていて
、このギャップ規制ロー２４１が感光体２両側部の周面
又は感光体２の軸に取付けられている図示しない受けロ
ーラに当接して感光体２と現像ローラ３５との心間距離
が一定に保持されるようになっている。なお図中８２Ｆ
ｉパツクフレーム３０Ａにその一端が固定され、自由端
側か回当て状態に感光体２に接触される現像剤回収ブレ
ードである。
された状態において感光体２とは非−接触状態になる位
、ｌ１ｉＫ配置される。この非接触配置関係は、現像剤
の粒径、現像ローラ３５に形成される現像剤ノーのノテ
厚などによって決まるものである。しかし後述する現像
ローラ３５と感光体２とのギャップにおける現像剤のｑ
ｋ＋羽を確実に行って良質な顕像を得るためにはギャッ
プをできるだけ狭くする必要がある。しかもそのため罠
は形成される現像剤層は博ノ―であることが望ましく、
かつ使用に供される現像剤粒径の範囲も解像度との関係
で決まってくるので、実用上の両者間のギャップ寸法は
ｌ’ｆぼ１０μｍ〜３００μｍ程度である。なおギャッ
プ寸法を保持するために、現像ローラ３５の軸にはギャ
ップ規制ローラ４１が一体回転可能に取付けられていて
、このギャップ規制ロー２４１が感光体２両側部の周面
又は感光体２の軸に取付けられている図示しない受けロ
ーラに当接して感光体２と現像ローラ３５との心間距離
が一定に保持されるようになっている。なお図中８２Ｆ
ｉパツクフレーム３０Ａにその一端が固定され、自由端
側か回当て状態に感光体２に接触される現像剤回収ブレ
ードである。
次に上記：Ａ施列装置の作用及び効果について説明する
。
。
現像装置８内に現像剤Ｔが充填されており現１１！ロー
ラ３５が−Ａ４図示矢印Ｗｓ方向に回転されると、現像
剤ＴＩ／ｉ現像ローラ３５による回転力と現像剤の自重
あるいは相互の摩擦力などによって矢印Ｗ１方向に搬送
されて、弾性体ブレード３６と現像ローラ３５との圧接
下に進入する。一方、弾性体ブノード３６は上述した如
く構成されていることから、すなわち弾性ブレード３６
の遊動層３６ｃ接着部近傍部分が現像ローラ３５に［圧
接されることから、十分大きな接触幅を有して接触して
いる。従って弾性体ブレード３６と現像ローラ３５との
圧接下に進入した現像剤は、その圧接下を通過するまで
に所望の電位に均一に摩擦帯電されるとともに、現像ロ
ーラ３５表面に均一な薄Ｉ／−１′層状態で付着される
。そしてこの現謙剤の薄層は現像ローラ３５の回転とと
もにさらに搬送されて感光体２に対向する。鳩、１象剤
はここで静電気的な力を受けることとなり、感光体２と
の間の吸引力に打ち勝ったものから順に上記ギャップ中
を飛翔するとともに感光体２０Ｓ像市位に応じて感光体
２に付着し静電潜像を面像化する（現像する）０またこ
の際飛翅せずに現像ローラ３５に残留した現像剤は、現
像ローラ３５によりさらに搬送され、最後に現像剤回収
ブレードにより現像ローラ３５から現像装置８内に戻さ
れることとなる。
ラ３５が−Ａ４図示矢印Ｗｓ方向に回転されると、現像
剤ＴＩ／ｉ現像ローラ３５による回転力と現像剤の自重
あるいは相互の摩擦力などによって矢印Ｗ１方向に搬送
されて、弾性体ブレード３６と現像ローラ３５との圧接
下に進入する。一方、弾性体ブノード３６は上述した如
く構成されていることから、すなわち弾性ブレード３６
の遊動層３６ｃ接着部近傍部分が現像ローラ３５に［圧
接されることから、十分大きな接触幅を有して接触して
いる。従って弾性体ブレード３６と現像ローラ３５との
圧接下に進入した現像剤は、その圧接下を通過するまで
に所望の電位に均一に摩擦帯電されるとともに、現像ロ
ーラ３５表面に均一な薄Ｉ／−１′層状態で付着される
。そしてこの現謙剤の薄層は現像ローラ３５の回転とと
もにさらに搬送されて感光体２に対向する。鳩、１象剤
はここで静電気的な力を受けることとなり、感光体２と
の間の吸引力に打ち勝ったものから順に上記ギャップ中
を飛翔するとともに感光体２０Ｓ像市位に応じて感光体
２に付着し静電潜像を面像化する（現像する）０またこ
の際飛翅せずに現像ローラ３５に残留した現像剤は、現
像ローラ３５によりさらに搬送され、最後に現像剤回収
ブレードにより現像ローラ３５から現像装置８内に戻さ
れることとなる。
すなわち本実施例の要旨とするところは弾性グレードと
して２枚の単性＆３６ｂ、３６ｃから成る固定層と遊動
層を有しており、かつこの弾性ブレード３６の遊動＋ｍ
を現像ローラ３５に圧接したことであり、このようにす
ると圧接力に比して弾性ブレード３６と現像ローラ３５
との接触幅を大きくすることが容易となる。このため現
１象剤は現像ローラ３５と感光体２との圧接下に長時間
おかれることとなり、所望の電位に均一に帯電でき、か
つより薄い層として現像ローラ３５に伺着させることが
できる。故に現像剤が現像ローラ３５と感光体２とのギ
ャップを容易に飛翔することができ、ひいては鮮明な画
像形成を行なうことが可能となる。また、現懺ローラの
径を小さくしても、上記接触幅を大きくすることが容易
であることから、現像装置８目球の小型をも可能となる
。
して２枚の単性＆３６ｂ、３６ｃから成る固定層と遊動
層を有しており、かつこの弾性ブレード３６の遊動＋ｍ
を現像ローラ３５に圧接したことであり、このようにす
ると圧接力に比して弾性ブレード３６と現像ローラ３５
との接触幅を大きくすることが容易となる。このため現
１象剤は現像ローラ３５と感光体２との圧接下に長時間
おかれることとなり、所望の電位に均一に帯電でき、か
つより薄い層として現像ローラ３５に伺着させることが
できる。故に現像剤が現像ローラ３５と感光体２とのギ
ャップを容易に飛翔することができ、ひいては鮮明な画
像形成を行なうことが可能となる。また、現懺ローラの
径を小さくしても、上記接触幅を大きくすることが容易
であることから、現像装置８目球の小型をも可能となる
。
また、不発明は本実施例に限られるものではない）第４
図は弾性板３６ｂあるいは３６ｃと同様の弾性板を折り
曲げて成る弾性ブレード３６を、現像装置８に取着した
ものであるｏりお図中３６ａは弾性ブレード３６の遊動
層を現像ローラ側に押圧する押圧部材である。このよう
にしても弾性ブノード３６の折り曲げ部近傍の部分を現
像ローラ３５に圧接することにより、第２図に示した実
施例と同様に容易に接触幅を大きくすることができる。
図は弾性板３６ｂあるいは３６ｃと同様の弾性板を折り
曲げて成る弾性ブレード３６を、現像装置８に取着した
ものであるｏりお図中３６ａは弾性ブレード３６の遊動
層を現像ローラ側に押圧する押圧部材である。このよう
にしても弾性ブノード３６の折り曲げ部近傍の部分を現
像ローラ３５に圧接することにより、第２図に示した実
施例と同様に容易に接触幅を大きくすることができる。
なお以上の説明において弾性体ブレードの固定層とは不
動部に固定される側の弾性板であり、弾性体ブレード遊
動層とは自由端を含む側の弾性板である。
動部に固定される側の弾性板であり、弾性体ブレード遊
動層とは自由端を含む側の弾性板である。
以上説明したように本発明によれば小径の円筒状現像剤
担持体であっても、弾性体ブレードとの接触幅を所定厚
の状態で大きくすることができ、ひいては現像剤を所望
の電位に帯電させて良好な現像を行なうことが可能な現
像装置道を提供することができる。
担持体であっても、弾性体ブレードとの接触幅を所定厚
の状態で大きくすることができ、ひいては現像剤を所望
の電位に帯電させて良好な現像を行なうことが可能な現
像装置道を提供することができる。
断面図、第４図は本発明の第２の実施例を示すｗ、断面
図である。 ２・・感光体（ｆ象担持体）、８・・・現像装置、３５
・・現像ローラ（現像剤担持体）、３６・・弾性体ブレ
ード、３６ｂ・・・固定層、３６ｃ・・遊動層Ｏ
図である。 ２・・感光体（ｆ象担持体）、８・・・現像装置、３５
・・現像ローラ（現像剤担持体）、３６・・弾性体ブレ
ード、３６ｂ・・・固定層、３６ｃ・・遊動層Ｏ
Claims (3)
- （１）現像剤を表面に担持して搬送する現像剤相持体と
、この現像剤相持体に圧接して設けられ、籾、傷創の薄
層を前記現像剤担持体に、Ｉ形成する弾性体ブレードを
ゼし、この弾性体ブレードにより現像剤担持体に形成さ
れる現像剤薄層を像担持体に対向させて像担持体の像を
現像する現像装置にひいて、前記弾性グレードが固定層
およびこの同定層に連なる遊＄７−からなり、この遊動
層が上記現像剤担持体に対して圧接されることを特徴と
する現像装置。 - （２）弾性体ブレードは２枚の弾性板の一端同志を接層
してなり、その接着部近傍で一方の弾性板を舅、傷創担
持体に圧接し他方の弾性板の他端を固定したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の現像装置。 - （３）弾性体ブレードは一枚の弾性板を折り曲げてなり
、その折り曲げ部近傍の部分を現像剤担持体に圧接し、
一端を固したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の現像装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58200763A JPS6093469A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 現像装置 |
| DE19843439280 DE3439280A1 (de) | 1983-10-28 | 1984-10-26 | Entwicklungsvorrichtung |
| US06/665,344 US4566402A (en) | 1983-10-28 | 1984-10-26 | Developing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58200763A JPS6093469A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093469A true JPS6093469A (ja) | 1985-05-25 |
Family
ID=16429761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58200763A Pending JPS6093469A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 現像装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4566402A (ja) |
| JP (1) | JPS6093469A (ja) |
| DE (1) | DE3439280A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62170989A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-28 | Ricoh Co Ltd | カラ−現像装置 |
| JPS63191355U (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-09 | ||
| JPS643857U (ja) * | 1987-06-18 | 1989-01-11 | ||
| JPH01198778A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-08-10 | Canon Inc | 現像装置 |
| JPH07325482A (ja) * | 1994-05-31 | 1995-12-12 | Nec Corp | 現像装置 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62278578A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-03 | Toshiba Corp | 現像装置 |
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