JPS60258708A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS60258708A JPS60258708A JP11414984A JP11414984A JPS60258708A JP S60258708 A JPS60258708 A JP S60258708A JP 11414984 A JP11414984 A JP 11414984A JP 11414984 A JP11414984 A JP 11414984A JP S60258708 A JPS60258708 A JP S60258708A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- block
- sendust
- magnetic
- gap forming
- gap
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/23—Gap features
- G11B5/232—Manufacture of gap
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本閥明は磁気ヘッドの製造方法に関し１．特に少なくと
も一方のコアハーフを磁性膜形成技術を用いて形成して
なる磁気ヘッドの製造方法に関する。
も一方のコアハーフを磁性膜形成技術を用いて形成して
なる磁気ヘッドの製造方法に関する。
〈従来接衝の説明〉
近年、磁気記録の高密度化に伴って、磁気ヘッドのへラ
ドコア用材料として高透磁率高飽和磁束密度の合金磁性
材料（例えばセンダスト）が用いられる様になってきた
。ところがセンダいので、特に開城での出力が低下する
事によプ薄板化させることが好ましい。そのためコアの
両側を非磁性材料よりなる補強板によ漫挾む構造とする
のが一般的であるが、その為に以下説明する如き問題が
生じていた。
ドコア用材料として高透磁率高飽和磁束密度の合金磁性
材料（例えばセンダスト）が用いられる様になってきた
。ところがセンダいので、特に開城での出力が低下する
事によプ薄板化させることが好ましい。そのためコアの
両側を非磁性材料よりなる補強板によ漫挾む構造とする
のが一般的であるが、その為に以下説明する如き問題が
生じていた。
第１図（イ）〜（す）は従来の一役的な磁気ヘッドの、
製造方法を示す図である。４１図（イ）に於いて１は非
磁性材、例えば５１０２の如きガラス材よりなるブロッ
クで所定の厚さに切出されている。次み上記非磁性ブロ
ック１上にスノくツタ法等の公知の膜形成技術によシ被
着せしめ、更に磁性層２上に低融点ガラス層３を上述と
同様の膜形成技術により形成する。なお磁性層２の形成
をスパッタ法による薄膜と説明したが（所定の厚さの）
センダスト薄板の貼付は等によって行ってもよい。
製造方法を示す図である。４１図（イ）に於いて１は非
磁性材、例えば５１０２の如きガラス材よりなるブロッ
クで所定の厚さに切出されている。次み上記非磁性ブロ
ック１上にスノくツタ法等の公知の膜形成技術によシ被
着せしめ、更に磁性層２上に低融点ガラス層３を上述と
同様の膜形成技術により形成する。なお磁性層２の形成
をスパッタ法による薄膜と説明したが（所定の厚さの）
センダスト薄板の貼付は等によって行ってもよい。
により前述の低融点ガラス層３をとかし接着することに
よシ、うきネートブロック５とする。
よシ、うきネートブロック５とする。
次いで図中一点鎖点６で示す如く一定の方向かつ一定の
巾で切り出す。ここで角度θけ最後的に得られるヘッド
チップのアジマス角に相当する角度となる。このように
して得られた小ブロック７を図中矢印Ａに示す方向より
見て、（にの 該小ブロック７に巻線用のミゾ８Ａ加工を行った様子を
示す図が第１図に）である。
巾で切り出す。ここで角度θけ最後的に得られるヘッド
チップのアジマス角に相当する角度となる。このように
して得られた小ブロック７を図中矢印Ａに示す方向より
見て、（にの 該小ブロック７に巻線用のミゾ８Ａ加工を行った様子を
示す図が第１図に）である。
次いで第１図（ホ）ではコアノ・−７の突き合わせ面９
〜研摩し、更にギャップ部の非磁性スペーサー１０とな
る例えば５ｉ０２等をギヤツブ巾に相当する厚さだけ例
えばスパッタ法等により形成した様子を示して＾る。か
かる工程で得られた小ブロック１１は第１図（へ）に示
す如く非磁性層１とセンダスト層２とが積層され、かつ
巻線用ミゾ加工１２及びギャップスペーサ−１０が付着
した構成になったコアハーフブロックである。
〜研摩し、更にギャップ部の非磁性スペーサー１０とな
る例えば５ｉ０２等をギヤツブ巾に相当する厚さだけ例
えばスパッタ法等により形成した様子を示して＾る。か
かる工程で得られた小ブロック１１は第１図（へ）に示
す如く非磁性層１とセンダスト層２とが積層され、かつ
巻線用ミゾ加工１２及びギャップスペーサ−１０が付着
した構成になったコアハーフブロックである。
該コアハーフブロック１１はｇｌｆＶ（））で示す如き
コアハーフブロック１２を少なくとも一部にギャップ材
１６を介して突合わせて、３１図（イ）に示すヘッドブ
ロック１６を形成する。尚１図中１７は接合面、１８は
巻線用溝を示し、前述のブロック１２ｒｉ図（ハ）で示
したブロック５よし退官切出して形成する事は言うまで
もない。
コアハーフブロック１２を少なくとも一部にギャップ材
１６を介して突合わせて、３１図（イ）に示すヘッドブ
ロック１６を形成する。尚１図中１７は接合面、１８は
巻線用溝を示し、前述のブロック１２ｒｉ図（ハ）で示
したブロック５よし退官切出して形成する事は言うまで
もない。
そして図（イ）において破ｍ１４にそってチップを切シ
出し最後的に図（す）に示すヘッドチップ１５を得る。
出し最後的に図（す）に示すヘッドチップ１５を得る。
尚１６ａはヘッドギャップ、１８ａは巻線溝を示す。か
かる製造工程によ）得られたヘッドチップ１５は以下の
如き欠点を持っている。
かる製造工程によ）得られたヘッドチップ１５は以下の
如き欠点を持っている。
即ち、まずコアハーフ間の突き合わせ時に生じるセンダ
スト磁性ｌ−の中方向のずれによるトラック巾精度（以
下突き合わせ精度という）が惑い点、及びコアハーフ間
の突き合わせ接合に強度的な問題がちシコアノ・−７間
のノ・ガレ（以下接合強度という）が悪くなってしまう
点がある。
スト磁性ｌ−の中方向のずれによるトラック巾精度（以
下突き合わせ精度という）が惑い点、及びコアハーフ間
の突き合わせ接合に強度的な問題がちシコアノ・−７間
のノ・ガレ（以下接合強度という）が悪くなってしまう
点がある。
またアジマス角θとは逆のアジマス角−θを有するヘッ
ドを製造する場合には全く別個に製造せねばならず特性
が不揃いになシがちであった。
ドを製造する場合には全く別個に製造せねばならず特性
が不揃いになシがちであった。
〈発明の目的〉
本発明は上述の如き欠点に鑑みてなされたもので、異な
るアジマス角を有する２種類の磁気ヘッドを精度よく、
かつ特性の不揃いなく量産することのできる磁気ヘッド
の製造方法を提供することを目的とする。
るアジマス角を有する２種類の磁気ヘッドを精度よく、
かつ特性の不揃いなく量産することのできる磁気ヘッド
の製造方法を提供することを目的とする。
〈実施例による説明〉
以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明する。
第２図（イ）〜（す）は本発明の一実施例としての磁２
１度 気ヘッドの製造方法を示す図であって、以Ｆ〜を追って
穀、明する。
１度 気ヘッドの製造方法を示す図であって、以Ｆ〜を追って
穀、明する。
まず第２図（イ）に示す如く、ガラス等の非磁性基板イ
ンゴットを成形して非磁性基板２１を得る。次にセンダ
ストブロック２３を非（胚性基板２１上に装置するので
あるが、この工程については非磁性基板２１の一平面に
対してセンダストをスパッタリングで被着させたのちエ
ツチングしても良いし、低融点（例えば７００む程度）
のガラスを用いてセンダストブロック２３を接着しても
よい。こうして第２図（ロ）に示す如き２ノ一帖板を得
る。
ンゴットを成形して非磁性基板２１を得る。次にセンダ
ストブロック２３を非（胚性基板２１上に装置するので
あるが、この工程については非磁性基板２１の一平面に
対してセンダストをスパッタリングで被着させたのちエ
ツチングしても良いし、低融点（例えば７００む程度）
のガラスを用いてセンダストブロック２３を接着しても
よい。こうして第２図（ロ）に示す如き２ノ一帖板を得
る。
次にこの２層基板を第２図（ロ）に点線で示す如く切断
して小さな２層ブロックを数多く得て、これらを積層す
ることによって第２図クラに示す如き積層ブロックを得
る。尚この積層については低融点（例えば６ｏｏｈ）の
ガラスによる接着によって行われる。２１已はガラス、
２５ａＶｉセンダストである。更にこの積）Ｉｖブロッ
クを第２図に）に示す如き形状に加工するのであるが、
これには例えば持味な形状をした砥石を用いてやればよ
い。尚この加工については然程精密な加■はＵ水されな
い。但しセンダス） １３ａの切削面については平面で
なければならない。このセンダス）１３ａは切削面がギ
ャップ形成面となるからである。
して小さな２層ブロックを数多く得て、これらを積層す
ることによって第２図クラに示す如き積層ブロックを得
る。尚この積層については低融点（例えば６ｏｏｈ）の
ガラスによる接着によって行われる。２１已はガラス、
２５ａＶｉセンダストである。更にこの積）Ｉｖブロッ
クを第２図に）に示す如き形状に加工するのであるが、
これには例えば持味な形状をした砥石を用いてやればよ
い。尚この加工については然程精密な加■はＵ水されな
い。但しセンダス） １３ａの切削面については平面で
なければならない。このセンダス）１３ａは切削面がギ
ャップ形成面となるからである。
次にこの積Ｊ−ブロックに対し第２図（ホ）に１５で示
す如き溝を形成する。そしてこの満１５に対して史に低
融点（例えば４ｏｏｒ）のガラス２７を充填すると共に
、第２図（へ）に示す如く少なくともギャップ形成面と
なる部分に、ギャッグスペーサーとして８１．２２９を
薄く付着させる。
す如き溝を形成する。そしてこの満１５に対して史に低
融点（例えば４ｏｏｒ）のガラス２７を充填すると共に
、第２図（へ）に示す如く少なくともギャップ形成面と
なる部分に、ギャッグスペーサーとして８１．２２９を
薄く付着させる。
ぞして咀に今度はセンダスト３１をスパッタリング等で
この上から被着させる。
この上から被着させる。
ところでここでこのセンダストの被着方間についての説
明をする。センダスト等の軟磁性材をギャップ形成面に
対してスパッタリングする（場合、その結晶の成長方向
によるル１多気抵抗を考イ 慮すると、ギャップ形成面に対しＣ９０’の方向が最も
好ましく、その方向をψとするとＳｉｎψが大きければ
大きい程磁気抵抗が小きくなる。
明をする。センダスト等の軟磁性材をギャップ形成面に
対してスパッタリングする（場合、その結晶の成長方向
によるル１多気抵抗を考イ 慮すると、ギャップ形成面に対しＣ９０’の方向が最も
好ましく、その方向をψとするとＳｉｎψが大きければ
大きい程磁気抵抗が小きくなる。
従ッテキャップ形成面の角度が異なる（アジマス角θ１
．θ２に対応）場合、スパッタリングの方向け（９０°
（１７＋ ＋（／２ ）７２ ｙであることが最も望
ましい。θ１＝６２の時は（９０’−ｆ）ということに
なる。またギャップ形成面とスパッタ方向がなす角がψ
ｎ （ｎ ＝１ ＋ ２ ＋ ３・・−・）で表わせる
場合にはｕ＞１ｎ（ｓｉｎψｎ）を最大にしてやれば良
い。
．θ２に対応）場合、スパッタリングの方向け（９０°
（１７＋ ＋（／２ ）７２ ｙであることが最も望
ましい。θ１＝６２の時は（９０’−ｆ）ということに
なる。またギャップ形成面とスパッタ方向がなす角がψ
ｎ （ｎ ＝１ ＋ ２ ＋ ３・・−・）で表わせる
場合にはｕ＞１ｎ（ｓｉｎψｎ）を最大にしてやれば良
い。
こうしてセンダストをスパッタリングすることにより磁
性材膜が被着されたブロック（第２図（ト）に示す）を
イオンミーリング等のエツチング技術によって第２図（
ト）に示す如く成形し、第２図（イ）に点線で示す如く
切断する。そして低融点ガラス２７を加熱によって取シ
除−て巻線窓を作シ第２図（す）に示す如きヘッドチッ
プを抄数得ることができる。
性材膜が被着されたブロック（第２図（ト）に示す）を
イオンミーリング等のエツチング技術によって第２図（
ト）に示す如く成形し、第２図（イ）に点線で示す如く
切断する。そして低融点ガラス２７を加熱によって取シ
除−て巻線窓を作シ第２図（す）に示す如きヘッドチッ
プを抄数得ることができる。
上述の如き磁気ヘッドの製造方法によれば異なるアジマ
ス角を有する２Ｐｉｉ類の磁気ヘッドを精度よくかつ特
性のバラツキなぐ天童生理できる。尚砥石の形状を変え
てやればアジマス角の異なる何種類のヘッドでも同時に
製造することができる。
ス角を有する２Ｐｉｉ類の磁気ヘッドを精度よくかつ特
性のバラツキなぐ天童生理できる。尚砥石の形状を変え
てやればアジマス角の異なる何種類のヘッドでも同時に
製造することができる。
〈効果の説明〉
以上説明した様に本発明によれば、異なるアジマス角を
有する２種類以上の磁気ヘッドを精度よくかつ特性のバ
ラツキなく量産できるものである。
有する２種類以上の磁気ヘッドを精度よくかつ特性のバ
ラツキなく量産できるものである。
第１図（イ）〜（す）は従来の一般的な磁気ヘッドの製
造方法を示す図、第２図（イ）〜（す）は本発明の一実
施例としての磁気ヘッドの製造方法を示す図である。 ２１ａは第１のコアハーフとしてのセンダストブロック
、２９けギャップスペーサ−，５１Ｆｉ第２のコアハー
フとしての磁性材膜である。 出願人 キャノン株式会社 叫’ｔＺ 図（へ） ｔ：５ｔＬ（１ｔｌ ｚ９
造方法を示す図、第２図（イ）〜（す）は本発明の一実
施例としての磁気ヘッドの製造方法を示す図である。 ２１ａは第１のコアハーフとしてのセンダストブロック
、２９けギャップスペーサ−，５１Ｆｉ第２のコアハー
フとしての磁性材膜である。 出願人 キャノン株式会社 叫’ｔＺ 図（へ） ｔ：５ｔＬ（１ｔｌ ｚ９
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 磁性材よりなる複数のｌＪｌのコアノ・−７を有する中
間形成部品を得る工程と、前記複数の第１のコアハーフ
の夫々にギャップ形成面を形成する工程と、少なくとも
前記各ギャップ形成面にギャップスペーサを被着する工
程と、前記ギャップ形成面の夫々に対し角θｎを有する
方向（但し、ｎ＝１．２ｊ・・・・でＳｉｎθｎの最小
値が最大となる方向）付近より同時に磁性材を被着する
工程と、該被着された磁性材を複数に分割しの て前記複数の第１Ａ３アハーフに夫々が対応す”る複数
の第２のコア・・−フを形成する工程とを含む磁気ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11414984A JPS60258708A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11414984A JPS60258708A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60258708A true JPS60258708A (ja) | 1985-12-20 |
Family
ID=14630370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11414984A Pending JPS60258708A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60258708A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63225909A (ja) * | 1986-02-13 | 1988-09-20 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘツド |
-
1984
- 1984-06-04 JP JP11414984A patent/JPS60258708A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63225909A (ja) * | 1986-02-13 | 1988-09-20 | Sony Corp | 薄膜磁気ヘツド |
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