JPS60186429A - 光フアイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用母材の製造方法Info
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- JPS60186429A JPS60186429A JP59039559A JP3955984A JPS60186429A JP S60186429 A JPS60186429 A JP S60186429A JP 59039559 A JP59039559 A JP 59039559A JP 3955984 A JP3955984 A JP 3955984A JP S60186429 A JPS60186429 A JP S60186429A
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- Japan
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- soot
- distance
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- optical fiber
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/10—Non-chemical treatment
- C03B37/12—Non-chemical treatment of fibres or filaments during winding up
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
- C03B2203/10—Internal structure or shape details
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
-
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/62—Distance
-
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はOVD法による光フアイバ用母材の製造方法の
改良に関するものである。
改良に関するものである。
技術の背景
従来OVD法、すなわちガラス原料煤外付は法による光
フアイバ用母材の製造方法は、#11図の概要説明図に
示すように、出発部材10片方または両方の端部を支持
し、この出発部材1の長手軸方向に垂直な方向から煤堆
積用のバーナ2でガラス微粒子を堆積させ、出発部材1
を軸回転させながら出発部材1またはバーナ2を出発部
材1の軸方向に往復移動させることによシ所要長の軸対
称媒体5を得る方法である。この場合、バーナ2と出発
母材1との距離が一定で、かつバーナ2からのガラス原
料および燃料の噴出量が一定であることが必要である。
フアイバ用母材の製造方法は、#11図の概要説明図に
示すように、出発部材10片方または両方の端部を支持
し、この出発部材1の長手軸方向に垂直な方向から煤堆
積用のバーナ2でガラス微粒子を堆積させ、出発部材1
を軸回転させながら出発部材1またはバーナ2を出発部
材1の軸方向に往復移動させることによシ所要長の軸対
称媒体5を得る方法である。この場合、バーナ2と出発
母材1との距離が一定で、かつバーナ2からのガラス原
料および燃料の噴出量が一定であることが必要である。
従来技術と問題点
従来の光フアイバ用母材の製造方法では、媒体の径方向
のカサ密度の変動が生起し、煤割れおよび焼結時に添加
剤、たとえば弗素をドープする場合の径方向ドープ量の
変動が発生する。すなわちバーナと煤堆積領域の距離が
常に固定的に一定で、か“クガラス原料および燃料の噴
出量が一定のため、媒体成長の過程で煤堆積領域の温度
が媒体とバーナとが近接していくこと、および媒体自身
の熱容量、冷却効率等が変化することによシ変動し、こ
れに対応してカサ密度の径方向の変動が起シ、煤割れ、
焼結時の、たとえば弗素外どの添加剤ドーグに際し径方
向のドープ量の変動または気泡の発生が生ずるという欠
点がらりた。
のカサ密度の変動が生起し、煤割れおよび焼結時に添加
剤、たとえば弗素をドープする場合の径方向ドープ量の
変動が発生する。すなわちバーナと煤堆積領域の距離が
常に固定的に一定で、か“クガラス原料および燃料の噴
出量が一定のため、媒体成長の過程で煤堆積領域の温度
が媒体とバーナとが近接していくこと、および媒体自身
の熱容量、冷却効率等が変化することによシ変動し、こ
れに対応してカサ密度の径方向の変動が起シ、煤割れ、
焼結時の、たとえば弗素外どの添加剤ドーグに際し径方
向のドープ量の変動または気泡の発生が生ずるという欠
点がらりた。
発明の目的
本発明は従来の欠点を解消するため、所要のカサ密度分
布の媒体を形成し、煤割れや焼結時の添加剤ドープ量の
変動の生じない安定かつ高品質の光フアイバ用母材の製
造方法を提供することを目的とする。
布の媒体を形成し、煤割れや焼結時の添加剤ドープ量の
変動の生じない安定かつ高品質の光フアイバ用母材の製
造方法を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は上に述べた目的を達成するため、OVD法によ
るガラス原料媒体を形成して出発母材上に堆積させ、こ
れを加熱して透明化する光フアイバ用母材の製造方法の
工程に、煤堆積領域とバーナとの距離と、煤堆積領域の
温度とを測定しながら距離と温度を調節することにょシ
所要のカサ密度を得るよう制御する工程を含むことを特
徴とする光フアイバ用母材の製造方法である。以下図に
ついて詳細に説明する。
るガラス原料媒体を形成して出発母材上に堆積させ、こ
れを加熱して透明化する光フアイバ用母材の製造方法の
工程に、煤堆積領域とバーナとの距離と、煤堆積領域の
温度とを測定しながら距離と温度を調節することにょシ
所要のカサ密度を得るよう制御する工程を含むことを特
徴とする光フアイバ用母材の製造方法である。以下図に
ついて詳細に説明する。
発明の実施例
第2図は本発明の製造方法を説明する要部概要図である
。回転する出発母材のガラス棒4に、ガラス棒4の長手
軸方向に対し画直な方向から煤堆積用のバーナ5によシ
、反応してガラスになる原料と燃料ガスを噴出させ媒体
6を形成させる。バーナ5は、ガラス棒4の軸に垂直な
方向に媒体6とバーナ5との距離が一定となるよう移動
するバーナ台7に固定する。ガラス棒4をガラス棒支持
具81 、82を備えた移動機構8、たとえばガラス旋
盤などを用いて軸方向に往復させるか、またはヘリウム
ネオン・レーザ10および受光器11を/(−す台7に
固定する腕部91 、92を備えたバーナ台7奢固定す
るバーナ台移動機#I9で同じようにガラス棒4の軸方
向に往復させながら所要長の媒体6を形成させる。媒体
6とバーナ5との距離は、たとえば図示の例では、ヘリ
ウム−ネオン・レーず10と受光器11を用いて、受光
器11で検知するレーザ光の量が一定になるようにレー
ザ光制御装置12によシパーナ台7を駆動して調節する
。またバーナ5から噴出する燃料は、煤堆積領域の温度
を表面温度1t13で測定し、所要のカサ密度を与える
温度となるよう燃料制御装置14vcよ多燃料の流量を
制御する。
。回転する出発母材のガラス棒4に、ガラス棒4の長手
軸方向に対し画直な方向から煤堆積用のバーナ5によシ
、反応してガラスになる原料と燃料ガスを噴出させ媒体
6を形成させる。バーナ5は、ガラス棒4の軸に垂直な
方向に媒体6とバーナ5との距離が一定となるよう移動
するバーナ台7に固定する。ガラス棒4をガラス棒支持
具81 、82を備えた移動機構8、たとえばガラス旋
盤などを用いて軸方向に往復させるか、またはヘリウム
ネオン・レーザ10および受光器11を/(−す台7に
固定する腕部91 、92を備えたバーナ台7奢固定す
るバーナ台移動機#I9で同じようにガラス棒4の軸方
向に往復させながら所要長の媒体6を形成させる。媒体
6とバーナ5との距離は、たとえば図示の例では、ヘリ
ウム−ネオン・レーず10と受光器11を用いて、受光
器11で検知するレーザ光の量が一定になるようにレー
ザ光制御装置12によシパーナ台7を駆動して調節する
。またバーナ5から噴出する燃料は、煤堆積領域の温度
を表面温度1t13で測定し、所要のカサ密度を与える
温度となるよう燃料制御装置14vcよ多燃料の流量を
制御する。
次に煤堆積領とバーナ5との距離を煤付は工程中一定に
保持する具体的実施例について第2図によシ・詳説する
。バーナ5の中心軸の媒体6の表面への延長上において
、所要のカサ密度に対してあらかじめ選定される一定距
離の点を通ヤ、かつ媒体6の長手方向の軸およびバーナ
5の中心軸に垂直な方向に媒体6tlC対して一方の端
部から、たとエバネオン−ヘリウム・レーザ10からレ
ーザ光を出射し、媒体6の他方の端部に設けた受光器1
1によシレーザ光を受光し、媒体6が成長するに伴いレ
ープ光が遮ぎられ、受光器11のレーザ光の受光量が、
レーザ10からの出射出力の所定量、例えば1/2とな
るまでレーザ光制御装置12によシ測定し、受光器11
のレーザ光受光量が出射出力の1/2となると、レーザ
光制御装置12の制御によpバーナ台7を駆動してバー
ナ軸方向のバーナ位tを調節し、煤堆積領域とバーナ5
との距Sを煤付は工程中一定に保持する。
保持する具体的実施例について第2図によシ・詳説する
。バーナ5の中心軸の媒体6の表面への延長上において
、所要のカサ密度に対してあらかじめ選定される一定距
離の点を通ヤ、かつ媒体6の長手方向の軸およびバーナ
5の中心軸に垂直な方向に媒体6tlC対して一方の端
部から、たとエバネオン−ヘリウム・レーザ10からレ
ーザ光を出射し、媒体6の他方の端部に設けた受光器1
1によシレーザ光を受光し、媒体6が成長するに伴いレ
ープ光が遮ぎられ、受光器11のレーザ光の受光量が、
レーザ10からの出射出力の所定量、例えば1/2とな
るまでレーザ光制御装置12によシ測定し、受光器11
のレーザ光受光量が出射出力の1/2となると、レーザ
光制御装置12の制御によpバーナ台7を駆動してバー
ナ軸方向のバーナ位tを調節し、煤堆積領域とバーナ5
との距Sを煤付は工程中一定に保持する。
また、バーナ5からガラス原料を一定量に制御する具体
的実施例を説明する。第2図において、たとえば遠赤外
輻射温度針のような表面温度針16によシ煤堆積領域の
温度を測定しながら、この温度がカサ密度に対応する温
度に維持するよう燃料制御装置14を、詳細は図示しな
いフィードバック制御系によシ駆動して燃料ガスの流量
を調節することによシパーナ5から噴出するガラス原料
を一定量に制御する。
的実施例を説明する。第2図において、たとえば遠赤外
輻射温度針のような表面温度針16によシ煤堆積領域の
温度を測定しながら、この温度がカサ密度に対応する温
度に維持するよう燃料制御装置14を、詳細は図示しな
いフィードバック制御系によシ駆動して燃料ガスの流量
を調節することによシパーナ5から噴出するガラス原料
を一定量に制御する。
第3図Gおよびbにそれぞれ従来のバーナと媒体の軸と
の距111[ニ一定にした場合と、本発明によp得た光
フアイバ用母材の媒体半径に対するカサ密度分布(g/
C♂)を測定した結果を示す。第6図αは従来の方法に
よるもので、バーナと媒体の軸との距離を一定にし、ガ
ラス原料ガス、燃料ガスとしての酸素ガスおよび水素ガ
スの流量をそれぞれ0.8111分、9.51t/分、
95μ/分としたときの例で媒体の径約80情憧で割れ
が発生した。このとき媒体のカサ密度の径方向の分布が
径方向に変動していることが測定結果から判明した。一
方路3図すの本発明による例では、バーナと煤堆積領域
の距離を一定に保持しながらバーナ台を駆動し、ガラス
原料ガス、酸素ガスをそれぞれ0.BIl、/分、95
i/分の流量でカサ密度が0.3f/、−となるように
煤堆積温度金500°Cに保つよう水素ガスの流量全調
節したところ、水素ガス流量は8.2 It、/分から
27L/分の間で推移し、カサ密度分布は媒体の径方向
にほぼ均一にo、3y/6−程度で変動のなし媒体が得
られた。
の距111[ニ一定にした場合と、本発明によp得た光
フアイバ用母材の媒体半径に対するカサ密度分布(g/
C♂)を測定した結果を示す。第6図αは従来の方法に
よるもので、バーナと媒体の軸との距離を一定にし、ガ
ラス原料ガス、燃料ガスとしての酸素ガスおよび水素ガ
スの流量をそれぞれ0.8111分、9.51t/分、
95μ/分としたときの例で媒体の径約80情憧で割れ
が発生した。このとき媒体のカサ密度の径方向の分布が
径方向に変動していることが測定結果から判明した。一
方路3図すの本発明による例では、バーナと煤堆積領域
の距離を一定に保持しながらバーナ台を駆動し、ガラス
原料ガス、酸素ガスをそれぞれ0.BIl、/分、95
i/分の流量でカサ密度が0.3f/、−となるように
煤堆積温度金500°Cに保つよう水素ガスの流量全調
節したところ、水素ガス流量は8.2 It、/分から
27L/分の間で推移し、カサ密度分布は媒体の径方向
にほぼ均一にo、3y/6−程度で変動のなし媒体が得
られた。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば煤堆積領域とバーナ
との距離を一定に保持し、かつ煤堆積領域の温度を所要
のカサ密度を得るより燃料流量を調節することにより、
所要のカサ密度が媒体径方向に均一な分布を有する媒体
を形成することがでも、煤割れおよび焼結時の弗素など
のドープする添加剤のドープ量を調整することができ、
安定にして高品質の光フアイバ用母材を製造することが
でき、効果大である。
との距離を一定に保持し、かつ煤堆積領域の温度を所要
のカサ密度を得るより燃料流量を調節することにより、
所要のカサ密度が媒体径方向に均一な分布を有する媒体
を形成することがでも、煤割れおよび焼結時の弗素など
のドープする添加剤のドープ量を調整することができ、
安定にして高品質の光フアイバ用母材を製造することが
でき、効果大である。
第1図は従来のOVD法の概要を説明する図、第2図は
本発明を説明する要部概要図、第6図αおよび&はそれ
ぞれ従来および本発明によシ得られた媒体の半径方向に
対するカサ密度分布の測定結果である。 1・・・出発母材、2,5・・・バーナ、6,6・・・
媒体、4・・・ガラス棒、7・・・バーナ台、8・・・
ガラス棒移動機構、81.82・・・ガラス棒支持具、
9・・・バーナ台移動機構、91.92・・・腕部、1
0・°・レーザ、11°°°受光器、12・・・レーザ
光制御装置、15・・・表面温度針、14・・・燃料制
御装置 特許出願人 住友電気工業株式会社 代理人 弁理士玉蟲久五部 3図 媒体半径(mm) 媒体半径(mm)
本発明を説明する要部概要図、第6図αおよび&はそれ
ぞれ従来および本発明によシ得られた媒体の半径方向に
対するカサ密度分布の測定結果である。 1・・・出発母材、2,5・・・バーナ、6,6・・・
媒体、4・・・ガラス棒、7・・・バーナ台、8・・・
ガラス棒移動機構、81.82・・・ガラス棒支持具、
9・・・バーナ台移動機構、91.92・・・腕部、1
0・°・レーザ、11°°°受光器、12・・・レーザ
光制御装置、15・・・表面温度針、14・・・燃料制
御装置 特許出願人 住友電気工業株式会社 代理人 弁理士玉蟲久五部 3図 媒体半径(mm) 媒体半径(mm)
Claims (3)
- (1)バーナから、反応してガラスを形成する気体を噴
出させガラス原料煤を形成し、該ガラス原料煤を出発母
材上に堆積してスートロッドを成長させる工程と、該ス
ートロッドを加熱して透明化する工程とを含む光フアイ
バ用母材の製造方法において、前記ガラス原料煤の堆積
しつつある部分の温度およびバーナとの距離を測定し、
該温度および距離を制御することを特徴とする光フアイ
バ用母材の製造方法。 - (2)前記ガラス原料煤の堆積しつつある部分の温度の
制御を前記バーナから送出する燃料流量の調節によシ行
うことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光フア
イバ用母材の製造方法。 - (3)前記ガラス原料煤の堆積しつつある部分とバーナ
との距離の制御を、該バーナの中心軸の該ガラス原料煤
の堆積した媒体表面への延長上において、所要のカサ密
度に対して選ばれる一定距離の点を通p1かつ該媒体の
軸およびバーナの中心軸に画直な方向に該媒体に対し一
方の側からレーザ光を出射し、他方の側で受光し、該バ
ーナt−Xバーナの軸方向に移動して該受光レーザ光量
を該出射レーザ光の所定量に保持することによp行うこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光フアイバ
用母材の製造方法。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59039559A JPS60186429A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
KR1019850001047A KR870001759B1 (ko) | 1984-03-01 | 1985-02-19 | 광파이버용 모재의 제조방법 |
CA000475336A CA1258408A (en) | 1984-03-01 | 1985-02-27 | Method for producing glass preform for optical fiber |
DK089785A DK164223C (da) | 1984-03-01 | 1985-02-27 | Fremgangsmaade til fremstilling af et glasraaemne til optiske fibre. |
AU39252/85A AU571940B2 (en) | 1984-03-01 | 1985-02-28 | Producing optical fibre preforms |
DE8585102352T DE3583156D1 (de) | 1984-03-01 | 1985-03-01 | Verfahren zur herstellung einer glasvorform fuer optische faser. |
EP85102352A EP0153762B1 (en) | 1984-03-01 | 1985-03-01 | Method for producing glass preform for optical fiber |
CN 85101869 CN1015539B (zh) | 1984-03-01 | 1985-04-01 | 光导纤维玻璃预制件的制造方法 |
US06/928,644 US4731103A (en) | 1984-03-01 | 1986-11-05 | Method for producing glass preform for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59039559A JPS60186429A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60186429A true JPS60186429A (ja) | 1985-09-21 |
JPH0413299B2 JPH0413299B2 (ja) | 1992-03-09 |
Family
ID=12556425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59039559A Granted JPS60186429A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4731103A (ja) |
EP (1) | EP0153762B1 (ja) |
JP (1) | JPS60186429A (ja) |
KR (1) | KR870001759B1 (ja) |
AU (1) | AU571940B2 (ja) |
CA (1) | CA1258408A (ja) |
DE (1) | DE3583156D1 (ja) |
DK (1) | DK164223C (ja) |
Cited By (7)
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---|---|---|---|---|
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JPH02204340A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバー母材の製造方法 |
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KR100348970B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2002-12-26 | 주식회사 머큐리 | 광섬유모재증착장치 |
JP2009227567A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-10-08 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法 |
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JP2022141209A (ja) * | 2021-03-15 | 2022-09-29 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法及び光ファイバ母材の製造システム |
Families Citing this family (22)
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JP3521681B2 (ja) * | 1996-08-13 | 2004-04-19 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
KR100314493B1 (ko) * | 1998-12-31 | 2001-12-28 | 김진찬 | 광섬유 모재 가열장치 |
DE60019029T2 (de) * | 1999-07-02 | 2006-02-16 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Verfahren und Vorrichtung zum herstellen einer Vorform aus Glas für optische Fasern mittels des Aussenabscheidungsverfahrens |
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