JPS60147086A - 高純度窒素ガス製造装置 - Google Patents
高純度窒素ガス製造装置Info
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- JPS60147086A JPS60147086A JP59004123A JP412384A JPS60147086A JP S60147086 A JPS60147086 A JP S60147086A JP 59004123 A JP59004123 A JP 59004123A JP 412384 A JP412384 A JP 412384A JP S60147086 A JPS60147086 A JP S60147086A
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- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
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- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/40—Capture or disposal of greenhouse gases of CO2
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高純度窒素ガスの製法およびその装置に関す
るものである。
るものである。
電子工業では極めて多量の窒素ガスが使用されているが
、部品精度維持向上の観点から窒素ガスの純度について
厳しい要望をだしてきている。すなわち、窒素ガスは、
一般に、空気を原料とし、これを圧縮機で圧縮したのち
、吸着筒に入れて炭酸ガスおよび水分を除去し、さらに
熱交換器を通して冷媒と熱交換させて冷却し、ついで精
留塔で深冷液化分離して製品窒素ガスを製造し、これを
前記の熱交換器を通して常温近傍に昇温させるという工
程を経て製造されている。しかしながら、このようにし
て製造される製品窒素ガスには、酸（５） 素が不純分として混在しているため、これをそのまま使
用することは不都合なことが多い。不純酸素の除去方法
としては、■ｐｔ触媒を使用し窒素ガス中に微量の水素
を添加して不純酸素と２００℃程度の温度雰囲気中で反
応させ水として除去する方法および■Ｎｉ触媒を使用し
、窒素ガス中の不純酸素を２００℃程度の温度雰囲気に
おいてＮｉ触媒と接触させＮｉ＋１／２０□−ＮｉＯの
反応を起こさせて除去する方法がある。しかしながら、
これらの方法は、いずれも窒素ガスを高温にして触媒と
接触させなければならないため、その装置を、超低温系
である窒素ガス製造装置中には組み込めない。したがっ
て、窒素ガス製造装置とは別個に精製装置を設置しなけ
ればならず、全体が大形になるという欠点がある。その
うえ、前記■の方法では、水素の添加量の調整に高精度
が要求され、不純酸素量と丁度反応するだけの量の水素
を添加しないと、酸素が残存したり、また添加した水素
が残存して不純分となってしまうため、操作に熟練を要
するという問題がある。また、前（６） 記■の方法では、不純酸素との反応で生じたＮｉＯの再
生（Ｎ ｉ ０−１−Ｈ２−＝Ｎ ｉ ＋Ｈ２０）をす
る必要が生じ、再生用Ｈ２ガス設備が必要となって精製
費の上昇を招いていた。したがって、これらの改善が強
く望まれていた。
、部品精度維持向上の観点から窒素ガスの純度について
厳しい要望をだしてきている。すなわち、窒素ガスは、
一般に、空気を原料とし、これを圧縮機で圧縮したのち
、吸着筒に入れて炭酸ガスおよび水分を除去し、さらに
熱交換器を通して冷媒と熱交換させて冷却し、ついで精
留塔で深冷液化分離して製品窒素ガスを製造し、これを
前記の熱交換器を通して常温近傍に昇温させるという工
程を経て製造されている。しかしながら、このようにし
て製造される製品窒素ガスには、酸（５） 素が不純分として混在しているため、これをそのまま使
用することは不都合なことが多い。不純酸素の除去方法
としては、■ｐｔ触媒を使用し窒素ガス中に微量の水素
を添加して不純酸素と２００℃程度の温度雰囲気中で反
応させ水として除去する方法および■Ｎｉ触媒を使用し
、窒素ガス中の不純酸素を２００℃程度の温度雰囲気に
おいてＮｉ触媒と接触させＮｉ＋１／２０□−ＮｉＯの
反応を起こさせて除去する方法がある。しかしながら、
これらの方法は、いずれも窒素ガスを高温にして触媒と
接触させなければならないため、その装置を、超低温系
である窒素ガス製造装置中には組み込めない。したがっ
て、窒素ガス製造装置とは別個に精製装置を設置しなけ
ればならず、全体が大形になるという欠点がある。その
うえ、前記■の方法では、水素の添加量の調整に高精度
が要求され、不純酸素量と丁度反応するだけの量の水素
を添加しないと、酸素が残存したり、また添加した水素
が残存して不純分となってしまうため、操作に熟練を要
するという問題がある。また、前（６） 記■の方法では、不純酸素との反応で生じたＮｉＯの再
生（Ｎ ｉ ０−１−Ｈ２−＝Ｎ ｉ ＋Ｈ２０）をす
る必要が生じ、再生用Ｈ２ガス設備が必要となって精製
費の上昇を招いていた。したがって、これらの改善が強
く望まれていた。
また、従来の窒素ガスの製造装置は、圧縮機で圧縮され
た圧縮空気を熱交換するための熱交換器の冷媒の冷却用
に、膨張タービンを用い、これを精留塔内に溜る液体空
気（／Ｉｌ：冷液化分離により低沸点の窒素はガスとし
て取り出され、残部が酸素リッチな液体空気となって溜
る）から蒸発したガスの圧力で駆動するようになってい
る。ところが、膨張タービンは回転速度が極めて大（数
万回／分）であり、負荷変動に対する追従運転が困難で
あり、特別に養成した運転員が必要である。また、この
ものは高速回転するため機械構造上高精度が要求され、
かつ高価であり、機構が複雑なため特別に養成した要員
が必要という難点を有している。すなわち、膨張タービ
ンは高速回転部を有するため、上記のような諸問題を生
じるのであり、（７） このような高速回転部を有する膨張タービンの除去に対
しても強い要望があった。
た圧縮空気を熱交換するための熱交換器の冷媒の冷却用
に、膨張タービンを用い、これを精留塔内に溜る液体空
気（／Ｉｌ：冷液化分離により低沸点の窒素はガスとし
て取り出され、残部が酸素リッチな液体空気となって溜
る）から蒸発したガスの圧力で駆動するようになってい
る。ところが、膨張タービンは回転速度が極めて大（数
万回／分）であり、負荷変動に対する追従運転が困難で
あり、特別に養成した運転員が必要である。また、この
ものは高速回転するため機械構造上高精度が要求され、
かつ高価であり、機構が複雑なため特別に養成した要員
が必要という難点を有している。すなわち、膨張タービ
ンは高速回転部を有するため、上記のような諸問題を生
じるのであり、（７） このような高速回転部を有する膨張タービンの除去に対
しても強い要望があった。
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、原料
空気を圧縮したのち吸着筒で炭酸ガスと水とを吸着除去
し、ついで熱交換器で冷媒と熱交換させて冷却したのち
、精留塔で深冷液化分離することにより超低温の製品窒
素ガスを製造し、超低温において酸素および一酸化炭素
を選択吸着する吸着剤でこの超低温の製品窒素ガス中の
残存酸素および一酸化炭素を吸着除去する高純度窒素ガ
スの製法を第１の要旨とし、外部より取り入れた空気を
圧縮する空気圧縮手段と、この空気圧縮手段によって圧
縮された圧縮空気中の炭酸ガスと水とを除去する除去手
段と、液体窒素を貯蔵する液体窒素貯蔵手段と、上記除
去手段を経た圧縮空気を超低温に冷却する熱交換手段と
、熱交換手段により超低温に冷却された圧縮空気を液化
し窒素のみを気体とする精留塔と、この気化窒素を精留
塔から取り出す取出路と、液体窒素貯蔵手段内の液 ７
体窒素を上記熱交換手段の寒冷源にするよう液体（８） 窒素を熱交換手段に導く流路と、熱交換手段の寒冷源と
しての作用を終えて気化した液体窒素および上記精留塔
の取出路から得られる窒素ガスの双方を製品窒素ガスと
して取り出す製品ガス取山路を備え、上記気化窒素取出
路中に、超低温において酸素および一酸化炭素を選択吸
着する吸着剤を内蔵する吸着手段が配設されている高純
度窒素ガス製造装置を第２の要旨とし、液体窒素貯蔵手
段内の液体窒素を上記第２の要旨のように熱交換手段に
送り込むのではなく、直接精留塔に送り込んで圧縮空気
液化用の寒冷源とする高純度窒素ガス製造装置を第３の
要旨とし、液体窒素貯蔵手段の液体窒素から得られた窒
素ガスおよび圧縮空気より得られた窒素ガスの双方を製
品窒素ガスとして取り出す取出路中に吸着手段を設け、
その取出路における吸着手段の手前の部分に凝縮手段を
設け、取出路中を流れる製品窒素ガスの一部を吸着手段
の手前で凝縮させて精留塔に戻すようにした高純度窒素
ガス製造装置を第４の要旨とするものである。
空気を圧縮したのち吸着筒で炭酸ガスと水とを吸着除去
し、ついで熱交換器で冷媒と熱交換させて冷却したのち
、精留塔で深冷液化分離することにより超低温の製品窒
素ガスを製造し、超低温において酸素および一酸化炭素
を選択吸着する吸着剤でこの超低温の製品窒素ガス中の
残存酸素および一酸化炭素を吸着除去する高純度窒素ガ
スの製法を第１の要旨とし、外部より取り入れた空気を
圧縮する空気圧縮手段と、この空気圧縮手段によって圧
縮された圧縮空気中の炭酸ガスと水とを除去する除去手
段と、液体窒素を貯蔵する液体窒素貯蔵手段と、上記除
去手段を経た圧縮空気を超低温に冷却する熱交換手段と
、熱交換手段により超低温に冷却された圧縮空気を液化
し窒素のみを気体とする精留塔と、この気化窒素を精留
塔から取り出す取出路と、液体窒素貯蔵手段内の液 ７
体窒素を上記熱交換手段の寒冷源にするよう液体（８） 窒素を熱交換手段に導く流路と、熱交換手段の寒冷源と
しての作用を終えて気化した液体窒素および上記精留塔
の取出路から得られる窒素ガスの双方を製品窒素ガスと
して取り出す製品ガス取山路を備え、上記気化窒素取出
路中に、超低温において酸素および一酸化炭素を選択吸
着する吸着剤を内蔵する吸着手段が配設されている高純
度窒素ガス製造装置を第２の要旨とし、液体窒素貯蔵手
段内の液体窒素を上記第２の要旨のように熱交換手段に
送り込むのではなく、直接精留塔に送り込んで圧縮空気
液化用の寒冷源とする高純度窒素ガス製造装置を第３の
要旨とし、液体窒素貯蔵手段の液体窒素から得られた窒
素ガスおよび圧縮空気より得られた窒素ガスの双方を製
品窒素ガスとして取り出す取出路中に吸着手段を設け、
その取出路における吸着手段の手前の部分に凝縮手段を
設け、取出路中を流れる製品窒素ガスの一部を吸着手段
の手前で凝縮させて精留塔に戻すようにした高純度窒素
ガス製造装置を第４の要旨とするものである。
（９）
つぎに、本発明を実施例にもとづいて詳しく説明する。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。図において
、■は空気圧ｗＪ機、２はドレン分離器、３はフロン冷
却器、４は２個１組の吸着筒である。吸着筒４ば内部に
モレキュラーシーブが充填されていて空気圧縮器１によ
り圧縮された空気中のＨ２ＯおよびＣＯ□を吸着除去す
る作用をする。
、■は空気圧ｗＪ機、２はドレン分離器、３はフロン冷
却器、４は２個１組の吸着筒である。吸着筒４ば内部に
モレキュラーシーブが充填されていて空気圧縮器１によ
り圧縮された空気中のＨ２ＯおよびＣＯ□を吸着除去す
る作用をする。
５は第１の熱交換器であり、吸着筒４によりＨ２Ｏおよ
びＣＯ２が吸着除去された圧縮空気が送り込まれる。６
は第２の熱交換器であり、第１の熱交換器５を経た圧縮
空気が送り込まれる。７は液体窒素貯槽であり、内部の
液体窒素（高純度品が用いられる）をバイブ８を経て第
２の熱交換器６へ送り込み、第２の熱交換器６中に送り
込まれた圧縮空気と熱交換させ、ついで第１の熱交換器
５内に送り込んでそこでも第１の熱交換器５に送り込ま
れた圧縮空気と熱交換させて気化させるようになってい
る。すなわち、この高純度窒素ガス製造装置は、従来の
膨張タービンに代えて、何ら回（１０） 軸部を有しない液体窒素貯槽７を用いて熱交換器５．６
内に圧縮空気を安定かつ安全に冷却するものであり、こ
れが第１の特徴である。そして、第１の熱交換器５によ
って気化された液体窒素は、パイプ８を経てメインパイ
プ９内に送り込まれるようになっている。
びＣＯ２が吸着除去された圧縮空気が送り込まれる。６
は第２の熱交換器であり、第１の熱交換器５を経た圧縮
空気が送り込まれる。７は液体窒素貯槽であり、内部の
液体窒素（高純度品が用いられる）をバイブ８を経て第
２の熱交換器６へ送り込み、第２の熱交換器６中に送り
込まれた圧縮空気と熱交換させ、ついで第１の熱交換器
５内に送り込んでそこでも第１の熱交換器５に送り込ま
れた圧縮空気と熱交換させて気化させるようになってい
る。すなわち、この高純度窒素ガス製造装置は、従来の
膨張タービンに代えて、何ら回（１０） 軸部を有しない液体窒素貯槽７を用いて熱交換器５．６
内に圧縮空気を安定かつ安全に冷却するものであり、こ
れが第１の特徴である。そして、第１の熱交換器５によ
って気化された液体窒素は、パイプ８を経てメインパイ
プ９内に送り込まれるようになっている。
精留塔１０は、下部から、第１および第２の熱交換器５
，６を経て超低？！ｊＬ＜約−１７０°Ｃ）に冷却され
た圧縮空気を取り込んで圧縮空気中の酸素（沸点−１８
３℃）を液化し、窒素（沸点−１９６℃）のみを上部か
ら排出するようになっている。１０ａは第１の案内パイ
プで、精留塔１０の上部から排出された超低温（−１５
０℃程度）の窒素ガスを第２．第１の熱交換器６．５に
案内する。１１は３人、４Ａもしくは５人の細孔径をも
つ合成ゼオライト３Ａ、４Ａもしくは５Ａ（モレキュラ
ーシーブ３Ａ、４Ａ、５Ａ、ユニオンカーバイト社製）
を充填した酸素吸着筒であり、上記第１の案内パイプ１
０ａの途中に設けられ上記超低温の窒素ガス中の酸素お
よび一酸化炭素のみを選（１１） 択吸着する（第２図参照）。また、上記の合成ゼオライ
ト３Ａ、４Ａ、５Ａに代えて上記ＵＣ社製の合成ゼオラ
イト１３Ｘを用いることも行われる。このように、−１
５０℃程度の温度域において酸素および一酸化炭素のみ
が選択吸着されるため、超低温窒素ガスが高純度のもの
になるのである。この製造装置は、合成ゼオライトの有
する上記の特性を利用して極めて簡易に不純酸素および
一酸化炭素を除去するものであり、これが第２の特徴で
ある。この場合、酸素吸着筒１１内へ導入される超低温
窒素ガス中の不純酸素および一酸化炭素量が精留塔１０
を経ることによりすでに低レベルになっているため、吸
着される酸素および一酸化炭素量は微量である。したが
って、吸着筒も１基のめで足り、ゼオライトの再生も年
１回で十分なのである。不純酸素および一酸化炭素が除
去された超低温窒素ガスは、第２．第１の熱交換器６．
５で熱交換され常温近傍の温度になってメインパイプ９
に送り込まれ、ここで液体窒素貯槽７からの高純度窒素
ガスと合体して高純度製品窒素ガ（１２） スとなる。このように、液体窒素貯槽７の液体窒素は、
熱交換器６，５の冷媒としての作用を終えたのち、廃棄
されるのではなく、圧縮空気を原料とする高純度窒素ガ
スと合体して製品化されるのであり、無駄なく利用され
る。
，６を経て超低？！ｊＬ＜約−１７０°Ｃ）に冷却され
た圧縮空気を取り込んで圧縮空気中の酸素（沸点−１８
３℃）を液化し、窒素（沸点−１９６℃）のみを上部か
ら排出するようになっている。１０ａは第１の案内パイ
プで、精留塔１０の上部から排出された超低温（−１５
０℃程度）の窒素ガスを第２．第１の熱交換器６．５に
案内する。１１は３人、４Ａもしくは５人の細孔径をも
つ合成ゼオライト３Ａ、４Ａもしくは５Ａ（モレキュラ
ーシーブ３Ａ、４Ａ、５Ａ、ユニオンカーバイト社製）
を充填した酸素吸着筒であり、上記第１の案内パイプ１
０ａの途中に設けられ上記超低温の窒素ガス中の酸素お
よび一酸化炭素のみを選（１１） 択吸着する（第２図参照）。また、上記の合成ゼオライ
ト３Ａ、４Ａ、５Ａに代えて上記ＵＣ社製の合成ゼオラ
イト１３Ｘを用いることも行われる。このように、−１
５０℃程度の温度域において酸素および一酸化炭素のみ
が選択吸着されるため、超低温窒素ガスが高純度のもの
になるのである。この製造装置は、合成ゼオライトの有
する上記の特性を利用して極めて簡易に不純酸素および
一酸化炭素を除去するものであり、これが第２の特徴で
ある。この場合、酸素吸着筒１１内へ導入される超低温
窒素ガス中の不純酸素および一酸化炭素量が精留塔１０
を経ることによりすでに低レベルになっているため、吸
着される酸素および一酸化炭素量は微量である。したが
って、吸着筒も１基のめで足り、ゼオライトの再生も年
１回で十分なのである。不純酸素および一酸化炭素が除
去された超低温窒素ガスは、第２．第１の熱交換器６．
５で熱交換され常温近傍の温度になってメインパイプ９
に送り込まれ、ここで液体窒素貯槽７からの高純度窒素
ガスと合体して高純度製品窒素ガ（１２） スとなる。このように、液体窒素貯槽７の液体窒素は、
熱交換器６，５の冷媒としての作用を終えたのち、廃棄
されるのではなく、圧縮空気を原料とする高純度窒素ガ
スと合体して製品化されるのであり、無駄なく利用され
る。
なお、第１図において、１０ｂは精留塔パイプで、精留
塔１０の下部に溜った液体空気（液体窒素もかなり混入
している）を、精留塔１０の上部に設けられたパイプ１
０ Ｃに案内してそのパイプ１０ｃを冷却する作用をす
る。１０ｄはそのパイプ１０Ｃの冷却を終えた液体空気
を第２および第１の熱交換器６，５に送り込む第２の案
内パイプである。第２および第１の熱交換器６．５で熱
交換（熱交換器６．５内の圧縮空気の冷却）を終えた液
体空気は気化して第１の熱交換器５から矢印のように放
出されるようになっている。１２はバックアップ系ライ
ンであり、空気圧縮系ライン１３が故障したときに液体
窒素貯槽７内の液体窒素を蒸発器１４により蒸発させて
メインパイプ９に送り込み、窒素ガスの供給がとだえる
ことのない（１３） ようにするものである。
塔１０の下部に溜った液体空気（液体窒素もかなり混入
している）を、精留塔１０の上部に設けられたパイプ１
０ Ｃに案内してそのパイプ１０ｃを冷却する作用をす
る。１０ｄはそのパイプ１０Ｃの冷却を終えた液体空気
を第２および第１の熱交換器６，５に送り込む第２の案
内パイプである。第２および第１の熱交換器６．５で熱
交換（熱交換器６．５内の圧縮空気の冷却）を終えた液
体空気は気化して第１の熱交換器５から矢印のように放
出されるようになっている。１２はバックアップ系ライ
ンであり、空気圧縮系ライン１３が故障したときに液体
窒素貯槽７内の液体窒素を蒸発器１４により蒸発させて
メインパイプ９に送り込み、窒素ガスの供給がとだえる
ことのない（１３） ようにするものである。
この装置は、つぎのようにして高純度製品窒素ガスを製
造する。すなわち、空気圧縮機１により空気を圧縮し、
ドレン分離器２により圧縮された空気中の水分を除去し
てフロン冷却器３により冷却し、その状態でモレキュラ
ーシーブが充填されている吸着筒４に送り込み、空気中
のＨ２ＯおよびＣＯ□を吸着除去する。ついで、Ｈ２Ｏ
，Ｃ０２が吸着除去された圧縮空気を第１の熱交換器５
および第２の熱交換器６に送り込んで超低温に冷却する
。この場合、液体窒素貯槽７内の液体窒素は、第１およ
び第２の熱交換器５．６の寒冷源として作用し、それ自
身は気化してメインパイプ９内に送り込まれる。そして
、第１および第２の熱交換器５．６で超低温に冷却され
た圧縮空気は、精留塔１０の下部から精留塔１０内に送
まれ窒素と酸素の沸点の差（酸素の沸点−１８３°Ｃ２
窒素の沸点−１９６℃）を利用して空気中の酸素が液化
され窒素が不純酸素含有超低温気体（０□ ：１０ ｐ
ｐｍ以下）として取り出される。この不純酸素（１４） 含有超低温窒素ガスは、酸素吸着筒１１で不純酸素およ
び一酸化炭素を除去され、第２．第１の熱交換器６．５
を経て常温近くまで昇温し、メインパイプ９に送り込ま
れ、液体窒素貯槽７からの高純度窒素ガスと合体して高
純度製品窒素ガスとなる。
造する。すなわち、空気圧縮機１により空気を圧縮し、
ドレン分離器２により圧縮された空気中の水分を除去し
てフロン冷却器３により冷却し、その状態でモレキュラ
ーシーブが充填されている吸着筒４に送り込み、空気中
のＨ２ＯおよびＣＯ□を吸着除去する。ついで、Ｈ２Ｏ
，Ｃ０２が吸着除去された圧縮空気を第１の熱交換器５
および第２の熱交換器６に送り込んで超低温に冷却する
。この場合、液体窒素貯槽７内の液体窒素は、第１およ
び第２の熱交換器５．６の寒冷源として作用し、それ自
身は気化してメインパイプ９内に送り込まれる。そして
、第１および第２の熱交換器５．６で超低温に冷却され
た圧縮空気は、精留塔１０の下部から精留塔１０内に送
まれ窒素と酸素の沸点の差（酸素の沸点−１８３°Ｃ２
窒素の沸点−１９６℃）を利用して空気中の酸素が液化
され窒素が不純酸素含有超低温気体（０□ ：１０ ｐ
ｐｍ以下）として取り出される。この不純酸素（１４） 含有超低温窒素ガスは、酸素吸着筒１１で不純酸素およ
び一酸化炭素を除去され、第２．第１の熱交換器６．５
を経て常温近くまで昇温し、メインパイプ９に送り込ま
れ、液体窒素貯槽７からの高純度窒素ガスと合体して高
純度製品窒素ガスとなる。
第３図は本発明の他の実施例の構成図である。
すなわち、この高純度窒素ガス製造装置は、液体窒素貯
槽７から液体窒素を熱交換器５，６に送るのではなく、
精留塔１０の塔頂の分縮器１５に送り込み、そこで圧縮
空気中の酸素骨等を凝縮させるようになっている。より
詳しく説明すると、精留塔１０は、第１および第２の熱
交換器５．６を経て超低−！（約−１７０℃）に冷却さ
れた圧縮空気を、パイプ１６により精留塔１０の底部の
貯留液体空気（Ｎ２５０〜７０％、０□３０〜５０％）
１７中を通してさらに冷却し、ついで膨張弁１８を経て
内部に噴射させ、分縮器１５およびその下段において酸
素等を液化し、窒素を気体のまま残すようになっている
。この分縮器１５は、多数（１５） のチューブ１９が植設されている仕切板２０によって塔
部２１と区切られていて、仕切板２０上に液体窒素貯槽
７から液体窒素がパイプ２２を経て供給されるようにな
っている。精留塔１０内に噴射された圧縮空気は塔１０
内において冷却され、さらにチューブ１９内において一
層冷却される。
槽７から液体窒素を熱交換器５，６に送るのではなく、
精留塔１０の塔頂の分縮器１５に送り込み、そこで圧縮
空気中の酸素骨等を凝縮させるようになっている。より
詳しく説明すると、精留塔１０は、第１および第２の熱
交換器５．６を経て超低−！（約−１７０℃）に冷却さ
れた圧縮空気を、パイプ１６により精留塔１０の底部の
貯留液体空気（Ｎ２５０〜７０％、０□３０〜５０％）
１７中を通してさらに冷却し、ついで膨張弁１８を経て
内部に噴射させ、分縮器１５およびその下段において酸
素等を液化し、窒素を気体のまま残すようになっている
。この分縮器１５は、多数（１５） のチューブ１９が植設されている仕切板２０によって塔
部２１と区切られていて、仕切板２０上に液体窒素貯槽
７から液体窒素がパイプ２２を経て供給されるようにな
っている。精留塔１０内に噴射された圧縮空気は塔１０
内において冷却され、さらにチューブ１９内において一
層冷却される。
この過程において圧縮空気中の酸素（沸点−１８３℃）
が液化して落下し、窒素（沸点−１９６℃）は気体のま
ま上方に移行する。この場合、精留塔１０内に噴射され
た圧縮空気は、チューブ１９から落下する液体酸素と向
流的に接触するため、酸素の液化分離が一層促進される
。２３は液面計であり、分縮器１５内の液体窒素の液面
に応じてパルプ２４を制御し液体窒素貯槽７からの液体
窒素の供給量を制御する。分縮器１５の上部には、液体
窒素貯槽７から供給された液体窒素の気化により生じた
窒素ガスと、圧縮空気より得られた窒素ガスとが混合状
態で溜まる。２５は分縮器１５の上部に溜まった窒素ガ
スを取り出し酸素吸着筒 ２へ送り込むパイプである。
が液化して落下し、窒素（沸点−１９６℃）は気体のま
ま上方に移行する。この場合、精留塔１０内に噴射され
た圧縮空気は、チューブ１９から落下する液体酸素と向
流的に接触するため、酸素の液化分離が一層促進される
。２３は液面計であり、分縮器１５内の液体窒素の液面
に応じてパルプ２４を制御し液体窒素貯槽７からの液体
窒素の供給量を制御する。分縮器１５の上部には、液体
窒素貯槽７から供給された液体窒素の気化により生じた
窒素ガスと、圧縮空気より得られた窒素ガスとが混合状
態で溜まる。２５は分縮器１５の上部に溜まった窒素ガ
スを取り出し酸素吸着筒 ２へ送り込むパイプである。
２６は保圧弁、２７は（１６）
不純物分析計であり、メインパイプ９から送り出される
製品窒素ガスの純度を分析し、純度の低いときは、弁２
８．２９を作動させて製品窒素ガスを矢印Ａのように外
部に投棄する作用をする。それ以外の部分は第１図の装
置と同じである。
製品窒素ガスの純度を分析し、純度の低いときは、弁２
８．２９を作動させて製品窒素ガスを矢印Ａのように外
部に投棄する作用をする。それ以外の部分は第１図の装
置と同じである。
この高純度ガス製造装置は、第１図の装置と同様の作用
効果を奏するほか、液体窒素貯槽７の液体窒素の気化に
よって生じた窒素ガスも圧縮空気から得られた窒素ガス
と同様に酸素吸着筒１１を通過させるため、液体窒素貯
槽７の液体窒素に不純酸素および一酸化炭素が混入して
いるようなときでも、得られる製品窒素ガスの純度が下
がらないという効果を奏する。
効果を奏するほか、液体窒素貯槽７の液体窒素の気化に
よって生じた窒素ガスも圧縮空気から得られた窒素ガス
と同様に酸素吸着筒１１を通過させるため、液体窒素貯
槽７の液体窒素に不純酸素および一酸化炭素が混入して
いるようなときでも、得られる製品窒素ガスの純度が下
がらないという効果を奏する。
なお、第３図の装置は、精留塔１０の底部に溜まった液
体空気を塔１０の途中において内部に噴射させ、液体窒
素貯槽７の液体窒素を分縮器１５に送り込んでいるが、
第４図に示すように、精留塔１０の底部に溜まった液体
空気を塔頂の分縮器１５ （内部は上部仕切板２０ａと
下部仕切板２０ｂによって密封構造になっており、分縮
器１５の頂（１７） 部空間と精留塔１０とは複数のパイプ１９により連通し
ている）の内部に溜め、液体窒素貯槽７の液体窒素を精
留塔１０の上部に送り込んで、そこから流下させ冷却作
用を発揮させるようにしてもよい。
体空気を塔１０の途中において内部に噴射させ、液体窒
素貯槽７の液体窒素を分縮器１５に送り込んでいるが、
第４図に示すように、精留塔１０の底部に溜まった液体
空気を塔頂の分縮器１５ （内部は上部仕切板２０ａと
下部仕切板２０ｂによって密封構造になっており、分縮
器１５の頂（１７） 部空間と精留塔１０とは複数のパイプ１９により連通し
ている）の内部に溜め、液体窒素貯槽７の液体窒素を精
留塔１０の上部に送り込んで、そこから流下させ冷却作
用を発揮させるようにしてもよい。
また、第５図に示すように、分縮器１５の内部に凝縮器
１５ａを設け、これを塔部２１内の圧縮空気で冷却し、
圧縮空気のうちの液化骨を塔部２１内へ還流し、気化分
は大気中に放出するようにし、かつ分縮器１５の頂部か
ら窒素ガスを取り出すのではなく塔部２１の上部から取
り出すようにしてもよい。分縮器１５の頂部には沸点の
低い■（ｅ（−２６９℃）、Ｈ’ （−２５３℃）が溜
るため、ここから窒素ガスを取り出すとこれらが混入す
ることとなるから、その混入を避けるためには、塔部２
１の上部から窒素ガスを取り出すようにすることが望ま
しいのである。なお、第５図において、１点鎖線は真空
保冷面を示しており、その内部に熱交換器５．６および
精留塔１０が収容され真空パーライト断熱されている。
１５ａを設け、これを塔部２１内の圧縮空気で冷却し、
圧縮空気のうちの液化骨を塔部２１内へ還流し、気化分
は大気中に放出するようにし、かつ分縮器１５の頂部か
ら窒素ガスを取り出すのではなく塔部２１の上部から取
り出すようにしてもよい。分縮器１５の頂部には沸点の
低い■（ｅ（−２６９℃）、Ｈ’ （−２５３℃）が溜
るため、ここから窒素ガスを取り出すとこれらが混入す
ることとなるから、その混入を避けるためには、塔部２
１の上部から窒素ガスを取り出すようにすることが望ま
しいのである。なお、第５図において、１点鎖線は真空
保冷面を示しており、その内部に熱交換器５．６および
精留塔１０が収容され真空パーライト断熱されている。
（１８）
第６図は本発明のさらに他の実施冷の構成図である。
この高純度窒素ガス製造装置は、精留塔１０の上方に凝
縮器３０を設けて連通パイプ３１により分縮器１５の上
部と連通させ、分縮器１５の上部に溜められた窒素ガス
（分縮器１５によって酸素が液化分離され得られた窒素
ガス＋液体窒素貯槽７から供給された液体窒素の気化窒
素ガス）を凝縮器３０内に入れるように構成している。
縮器３０を設けて連通パイプ３１により分縮器１５の上
部と連通させ、分縮器１５の上部に溜められた窒素ガス
（分縮器１５によって酸素が液化分離され得られた窒素
ガス＋液体窒素貯槽７から供給された液体窒素の気化窒
素ガス）を凝縮器３０内に入れるように構成している。
そして、この窒素ガスを、一端３０ａが精留塔１０の底
部と連通し他端３０ｂが第２および第１の熱交換器６．
５を通って空気中に開放されている冷却パイプ３０Ｃで
冷却して（冷媒は精留塔１０底部の貯留液体空気）その
一部を凝縮させ、生成した液体窒素３２を、ヘッド差を
利用して、戻しパイプ３３から分縮器１５内へ戻し、未
凝縮の窒素ガスを酸素吸着筒１１に入れ、ついで、第２
および第１の熱交換器６．５を通してメインパイプ９に
送り込むようにしている。それ以外の部分は第３図の実
施例と同じである。
部と連通し他端３０ｂが第２および第１の熱交換器６．
５を通って空気中に開放されている冷却パイプ３０Ｃで
冷却して（冷媒は精留塔１０底部の貯留液体空気）その
一部を凝縮させ、生成した液体窒素３２を、ヘッド差を
利用して、戻しパイプ３３から分縮器１５内へ戻し、未
凝縮の窒素ガスを酸素吸着筒１１に入れ、ついで、第２
および第１の熱交換器６．５を通してメインパイプ９に
送り込むようにしている。それ以外の部分は第３図の実
施例と同じである。
（１９）
すなわち、この高純度窒素ガス製造装置は、分縮器１５
の−Ｆ部から得られる製品窒素ガスを凝縮器３０に導き
、その一部を凝縮させて分縮器１５内に戻し、液体窒素
貯槽７から供給される液体窒素に合わせるようにするた
め、液体窒素貯槽７からの液体窒素の供給量を低減しう
るようになる。
の−Ｆ部から得られる製品窒素ガスを凝縮器３０に導き
、その一部を凝縮させて分縮器１５内に戻し、液体窒素
貯槽７から供給される液体窒素に合わせるようにするた
め、液体窒素貯槽７からの液体窒素の供給量を低減しう
るようになる。
したがって、前記の実施例の装置に比べて、得られる製
品窒素ガスのコストをより低くしうるという優れた効果
を得ることができるようになる。
品窒素ガスのコストをより低くしうるという優れた効果
を得ることができるようになる。
第７図は本発明の他の実施例の構成図である。
すなわち、この装置は、精留塔１０の塔頂の分縮器１５
の頂部と膨張タービン３４の駆動部とをパイプ３５で連
結し、精留塔１０の下部に溜まる液体空気３６をパイプ
３７により分縮器１５内に送り込め、その液体空気３６
の圧力により膨張タービン３４を駆動し冷媒を矢印Ｂの
糸路で循環させ、熱交換器３８内へ送り込まれる圧縮空
気を冷却して精留塔１０へ送り込むようになっている。
の頂部と膨張タービン３４の駆動部とをパイプ３５で連
結し、精留塔１０の下部に溜まる液体空気３６をパイプ
３７により分縮器１５内に送り込め、その液体空気３６
の圧力により膨張タービン３４を駆動し冷媒を矢印Ｂの
糸路で循環させ、熱交換器３８内へ送り込まれる圧縮空
気を冷却して精留塔１０へ送り込むようになっている。
１．７．＄１７塔１０″′送９込１０“１縮２２％＆；
ｔ：、 。
ｔ：、 。
塔１０内および分縮器１５で冷却され、酸素が液（２０
） 化するとともに窒素の一部も液化して窒素溜め３９に溜
められ、そこから、パイプ４０により液化窒素貯槽７に
取り出されるようになっている。未凝縮の窒素は、パイ
プ４１により精留塔１０から取り出されて酸素吸着筒１
１に送り込まれ、そこで不純酸素および一酸化炭素を吸
着除去され、熱交換器３８を経由してメインパイプ９か
ら高純度製品窒素ガスとして取り出されるようになって
いる。
） 化するとともに窒素の一部も液化して窒素溜め３９に溜
められ、そこから、パイプ４０により液化窒素貯槽７に
取り出されるようになっている。未凝縮の窒素は、パイ
プ４１により精留塔１０から取り出されて酸素吸着筒１
１に送り込まれ、そこで不純酸素および一酸化炭素を吸
着除去され、熱交換器３８を経由してメインパイプ９か
ら高純度製品窒素ガスとして取り出されるようになって
いる。
この装置は、従来のものに比べると全体が小形になって
おり、かつコストも安いという効果を有している。
おり、かつコストも安いという効果を有している。
なお、以上の実施例では、超低温において酸素および一
酸化炭素を選択吸着する吸着剤として合成ゼオライトを
用いているが、吸着剤はこれに限定されるものではない
。
酸化炭素を選択吸着する吸着剤として合成ゼオライトを
用いているが、吸着剤はこれに限定されるものではない
。
以上のように、本発明の第１の要旨に係る製法は、窒素
ガス中の不純酸素を高温度域において水素と反応させて
除去したりするというような触媒型の除去装置を用いず
、超低温において酸素およ（２１） び−酸化炭素を選択吸着する吸着剤に着目し、これを用
いて超低温窒素ガス中の不純酸素および一酸化炭素を除
去するため、高温加熱が必要な従来の触媒型の除去装置
では組み込むことができなかった窒素ガス製造装置（装
置全体が超低温系である）に吸着剤を組み込むことが可
能になる。したがって、従来の酸素除去装置が不要とな
り、系全体の小形化を実現しうるようになるとともにコ
ストの低減も実現しうるようになる。そのうえ、従来の
精製装置では除去することが殆ど不可能である一酸化炭
素の除去もなしうるようになる。また、第２の要旨に係
る高純度窒素ガスの製造装置は、酸素および一酸化炭素
を選択吸着する吸着剤を内蔵する吸着手段が装置自身に
組み込まれているため、全体がコンパクトになっている
とともにコストも安くなっており、かつ従来の膨張ター
ビンに代えて、何ら回転部をもたない液体窒素貯槽を用
い、その液体窒素の冷熱により熱交換手段を冷却するた
め、故障が全く生じない。しかも、膨張タービンは高価
であるのに対して液体窒素貯槽は（２２） 安価であり、また特別な要員も不要になるという効果も
得られるようになる。なお、熱交換手段を冷却し自身は
気化した液体窒素は、圧縮空気より得られる窒素ガスと
合わされ製品窒素ガスとなるため、気化液体窒素が無駄
になることはない。
ガス中の不純酸素を高温度域において水素と反応させて
除去したりするというような触媒型の除去装置を用いず
、超低温において酸素およ（２１） び−酸化炭素を選択吸着する吸着剤に着目し、これを用
いて超低温窒素ガス中の不純酸素および一酸化炭素を除
去するため、高温加熱が必要な従来の触媒型の除去装置
では組み込むことができなかった窒素ガス製造装置（装
置全体が超低温系である）に吸着剤を組み込むことが可
能になる。したがって、従来の酸素除去装置が不要とな
り、系全体の小形化を実現しうるようになるとともにコ
ストの低減も実現しうるようになる。そのうえ、従来の
精製装置では除去することが殆ど不可能である一酸化炭
素の除去もなしうるようになる。また、第２の要旨に係
る高純度窒素ガスの製造装置は、酸素および一酸化炭素
を選択吸着する吸着剤を内蔵する吸着手段が装置自身に
組み込まれているため、全体がコンパクトになっている
とともにコストも安くなっており、かつ従来の膨張ター
ビンに代えて、何ら回転部をもたない液体窒素貯槽を用
い、その液体窒素の冷熱により熱交換手段を冷却するた
め、故障が全く生じない。しかも、膨張タービンは高価
であるのに対して液体窒素貯槽は（２２） 安価であり、また特別な要員も不要になるという効果も
得られるようになる。なお、熱交換手段を冷却し自身は
気化した液体窒素は、圧縮空気より得られる窒素ガスと
合わされ製品窒素ガスとなるため、気化液体窒素が無駄
になることはない。
さらに、第３の要旨に係る高純度窒素ガス製造装置は、
液体窒素貯槽の液体窒素を熱交換手段ではなく直接精留
塔に送り込むようになっているため、精留塔から得られ
る窒素ガスは圧縮空気から得られたものと液体窒素貯槽
の液体窒素から得られたものの混合物となり、これが吸
着手段に送られ脱酸素、脱−酸化炭素化される。したが
って、液体窒素貯槽の液体窒素に酸素および一酸化炭素
が混在していても、それが吸着除去されるようになり、
製品窒素ガスの一層の高純度化が達成されるようになる
。
液体窒素貯槽の液体窒素を熱交換手段ではなく直接精留
塔に送り込むようになっているため、精留塔から得られ
る窒素ガスは圧縮空気から得られたものと液体窒素貯槽
の液体窒素から得られたものの混合物となり、これが吸
着手段に送られ脱酸素、脱−酸化炭素化される。したが
って、液体窒素貯槽の液体窒素に酸素および一酸化炭素
が混在していても、それが吸着除去されるようになり、
製品窒素ガスの一層の高純度化が達成されるようになる
。
また、第４の要旨に係る高純度窒素ガス製造装置は、精
留塔から窒素ガスを取り出す取出路に凝縮手段を設け、
窒素ガスの一部を凝縮させて精留塔に戻すようにするた
め、液体窒素貯槽からの液（２３） 体窒素の供給量を低減しうるようになり、得られる高純
度製品窒素ガスのコストを一層低くしうるようになる。
留塔から窒素ガスを取り出す取出路に凝縮手段を設け、
窒素ガスの一部を凝縮させて精留塔に戻すようにするた
め、液体窒素貯槽からの液（２３） 体窒素の供給量を低減しうるようになり、得られる高純
度製品窒素ガスのコストを一層低くしうるようになる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は合成ゼオ
ライ）４Ａの吸着等圧縮図、第３図は他の実施例の構成
図、第４図および第５図はその変形例の構成図、第６図
はさらに他の実施例の構成図、第７図は他の実施例の構
成図である。 ４・・・吸着筒 ５・・・第１の熱交換器 ６・・・第
２の熱交換器 ７・・・液体窒素貯槽 ９・・・メイン
パイプ１０・・・精留塔 １１・・・酸素吸着筒 〕２
・・・バックアップ系ライン １３・・・空気圧縮系ラ
イン １４・・・蒸発器１５・・・分縮器 ３０・・・
凝縮器 ３１・・・連通パイプ特許出願人 大同酸素株
式会社 代理人 弁理士 西 藤 征 彦 （２４）
ライ）４Ａの吸着等圧縮図、第３図は他の実施例の構成
図、第４図および第５図はその変形例の構成図、第６図
はさらに他の実施例の構成図、第７図は他の実施例の構
成図である。 ４・・・吸着筒 ５・・・第１の熱交換器 ６・・・第
２の熱交換器 ７・・・液体窒素貯槽 ９・・・メイン
パイプ１０・・・精留塔 １１・・・酸素吸着筒 〕２
・・・バックアップ系ライン １３・・・空気圧縮系ラ
イン １４・・・蒸発器１５・・・分縮器 ３０・・・
凝縮器 ３１・・・連通パイプ特許出願人 大同酸素株
式会社 代理人 弁理士 西 藤 征 彦 （２４）
Claims (9)
- （１）原料空気を圧縮したのち吸着筒で炭酸ガスと水と
を吸着除去し、ついで熱交換器で冷媒と熱交換させて冷
却したのち、精留塔で深冷液化分離することにより超低
温の製品窒素ガスを製造し、超低温において酸素および
一酸化炭素を選択吸着する吸着剤でこの超低温の製品窒
素ガス中の残存酸素および一酸化炭素を吸着除去するこ
とを特徴とする高純度窒素ガスの製法。 - （２）超低温において酸素および一酸化炭素を選択吸着
する吸着剤が、細孔径約３人、４人もしくは５人の合成
ゼオライトである特許請求の範囲第１項記載の高純度窒
素ガスの製法。 - （３） 超低温が一１５０℃程度である特許請求の範囲
第１項または第２項記載の高純度窒素ガスの製法。 - （４）外部より取り入れた空気を圧縮する空気圧（１） 相手段と、この空気圧縮手段によって圧縮された圧縮空
気中の炭酸ガスと水とを除去する除去手段と、液体窒素
を貯蔵する液体窒素貯蔵手段と、上記除去手段を経た圧
縮空気を超低温に冷却する熱交換手段と、熱交換手段に
より超低温に冷却された圧縮空気を液化し窒素のみを気
体とする精留塔と、この気化窒素を精留塔から取り出す
取出路と、液体窒素貯蔵手段内の液体窒素を上記熱交換
手段の寒冷源にするよう液体窒素を熱交換手段に導く流
路と、熱交換手段の寒冷源としての作用を終えて気化し
た液体窒素および上記精留塔の砲出路から得られる窒素
ガスの双方を製品窒素ガスとして取り出す製品ガス取出
路を備え、上記気化窒素取出路中に、超低温において酸
素および一酸化炭素を選択吸着する吸着剤を内蔵する吸
着手段が配設されていることを特徴とする高純度窒素ガ
ス製造装置。 - （５） 吸着手段が、細孔径約３人、４人もしくは５人
の合成ゼオライトが充填されている酸素吸着筒である特
許請求の範囲第４項記載の高純度窒素（２） ガス製造装置。 - （６）外部より取り入れた空気を圧縮する空気圧縮手段
と、この空気圧縮手段によって圧縮された圧縮空気中の
炭酸ガスと水とを除去する除去手段と、液体窒素を貯蔵
する液体窒素貯蔵手段と、上記圧縮空気を超低温に冷却
する熱交換手段と、この熱交換手段により超低温に冷却
された圧縮空気の一部を液化して内部に溜め窒素のみを
気体として保持する精留塔と、上記液体窒素貯蔵手段内
の液体窒素を圧縮空気液化用の寒冷源として上記精留塔
内に導く導入路と、寒冷源としての作用を終えて気化し
７た液体窒素および上記精留塔内に保持されている気化
窒素の双方を製品窒素ガスとして上記精留塔より取り出
す取出路を備え、その取出路中に、超低温において酸素
および一酸化炭素を選択吸着する吸着剤を内蔵する吸着
手段が配設されていることを特徴とする高純度窒素ガス
製造装置。 - （７）吸着手段が、細孔径約３人、４人もしくは５人の
合成ゼオライトが充填されている酸素吸着（３） 筒である特許請求の範囲第６項記載の高純度窒素ガス製
造装置。 - （８）外部より取り入れた空気を圧縮する空気圧縮手段
と、この空気圧縮手段によって圧縮された圧縮空気中の
炭酸ガスと水とを除去する除去手段と、液体窒素を貯蔵
する液体窒素貯蔵手段と、上記圧縮空気を超低温に冷却
する熱交換手段と、この熱交換手段により超低温に冷却
された圧縮空気の一部を液化して内部に溜め窒素のみを
気体として保持する精留塔と、上記液体窒素貯蔵手段内
の液体窒素を圧縮空気液化用の寒冷源として上記精留塔
内に導く導入路と、寒冷源としての作用を終えて気化し
た液体窒素および上記精留塔内に保持されている気化窒
素の双方を製品窒素ガスとして上記精留塔より取り出す
取出路を備え、その取出路の精留塔側の部分に、製品窒
素ガスの一部を凝縮させこの凝縮窒素ガスを上記精留塔
に戻す凝縮手段が設けられ、取出路の凝縮手段に続く部
分に超低温において製品窒素ガス中の酸素および一酸化
炭素を選択吸着する吸着剤を内蔵する吸着手段（４） が配設されていることを特徴とする高純度窒素ガス製造
装置。 - （９）吸着手段が、細孔径約３人、４人もしくは５人の
合成ゼオライトが充填されている酸素吸着筒である特許
請求の範囲第８項記載の高純度窒素ガス製造装置。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59004123A JPS60147086A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 高純度窒素ガス製造装置 |
| PCT/JP1984/000089 WO1984003554A1 (en) | 1983-03-08 | 1984-03-07 | Apparatus for producing high-purity nitrogen gas |
| EP88200470A EP0279500B2 (en) | 1983-03-08 | 1984-03-07 | Highly pure nitrogen gas producing apparatus |
| DE3486017T DE3486017T3 (de) | 1983-03-08 | 1984-03-07 | Sehr reiner Stickstoffgaserzeugungsapparat. |
| US06/673,748 US4617040A (en) | 1983-03-08 | 1984-03-07 | Highly pure nitrogen gas producing apparatus |
| DE8484901096T DE3476114D1 (en) | 1983-03-08 | 1984-03-07 | Apparatus for producing high-purity nitrogen gas |
| EP84901096A EP0144430B1 (en) | 1983-03-08 | 1984-03-07 | Apparatus for producing high-purity nitrogen gas |
| KR1019840005094A KR890001767B1 (ko) | 1984-01-11 | 1984-08-23 | 고순도 질소가스 제조장치 |
| KR1019840005092A KR890001768B1 (ko) | 1984-01-11 | 1984-08-23 | 고순도 질소가스의 제법 |
| KR1019840005093A KR850005606A (ko) | 1984-01-11 | 1984-08-23 | 고순도 질소가스 제조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59004123A JPS60147086A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 高純度窒素ガス製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60147086A true JPS60147086A (ja) | 1985-08-02 |
| JPS6158747B2 JPS6158747B2 (ja) | 1986-12-12 |
Family
ID=11576006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59004123A Granted JPS60147086A (ja) | 1983-03-08 | 1984-01-11 | 高純度窒素ガス製造装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60147086A (ja) |
| KR (3) | KR850005606A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61163105A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-23 | Hitachi Ltd | 高純度窒素の製造方法 |
| JPS62158978A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | 大同ほくさん株式会社 | 高純度窒素ガス製造装置 |
| JPS62158977A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | 大同ほくさん株式会社 | 超高純度窒素ガス製造装置 |
| JPS62158976A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | 大同ほくさん株式会社 | 高純度窒素ガス製造装置 |
| JPS62158979A (ja) * | 1985-12-28 | 1987-07-14 | 株式会社リキッドガス | 窒素発生方法 |
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- 1984-08-23 KR KR1019840005093A patent/KR850005606A/ko not_active Application Discontinuation
- 1984-08-23 KR KR1019840005092A patent/KR890001768B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR890001767B1 (ko) | 1989-05-19 |
| JPS6158747B2 (ja) | 1986-12-12 |
| KR850005607A (ko) | 1985-08-28 |
| KR850005606A (ko) | 1985-08-28 |
| KR890001768B1 (ko) | 1989-05-19 |
| KR850005605A (ko) | 1985-08-28 |
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