JPS598354Y2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPS598354Y2 JPS598354Y2 JP1979025325U JP2532579U JPS598354Y2 JP S598354 Y2 JPS598354 Y2 JP S598354Y2 JP 1979025325 U JP1979025325 U JP 1979025325U JP 2532579 U JP2532579 U JP 2532579U JP S598354 Y2 JPS598354 Y2 JP S598354Y2
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- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
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- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本案は樹脂モールド形の半導体装置の改良に関するもの
である。
である。
一般に、この種の半導体装置は例えば第1図〜第3図に
示すように、金属部材よりなる放熱板Aにリード片b1
〜b7よりなるリードBを、リード片b1,b7が放熱
板Aの突出部Cによってがしめ固定され、かつリード片
b2〜b6が放熱板Aの上面に離隔位置するように配設
すると共に、放熱板Aのほぼ中央部に固定された半導体
素子Dの電極とリード片b2〜b6とを金属細管Eにて
接続?、然る後、半導体素子Dを含む主要部分を樹脂材
Fにてモールド被覆して構或されている。
示すように、金属部材よりなる放熱板Aにリード片b1
〜b7よりなるリードBを、リード片b1,b7が放熱
板Aの突出部Cによってがしめ固定され、かつリード片
b2〜b6が放熱板Aの上面に離隔位置するように配設
すると共に、放熱板Aのほぼ中央部に固定された半導体
素子Dの電極とリード片b2〜b6とを金属細管Eにて
接続?、然る後、半導体素子Dを含む主要部分を樹脂材
Fにてモールド被覆して構或されている。
ところで、放熱板Aにおける主要部分の樹脂材Fによる
モールド被覆は例えば第4図に示すように、放熱板Aに
おける半導体素子Dの非固定側が上部金型G1の上部内
壁面に密着されるようにリードBを上部金型G及び下部
金型G2にて挾持し、この状態で、上部金型Gエ,下部
金型G2によって構或されるキャビテイに樹脂材Fを注
入することによって行われている。
モールド被覆は例えば第4図に示すように、放熱板Aに
おける半導体素子Dの非固定側が上部金型G1の上部内
壁面に密着されるようにリードBを上部金型G及び下部
金型G2にて挾持し、この状態で、上部金型Gエ,下部
金型G2によって構或されるキャビテイに樹脂材Fを注
入することによって行われている。
しかし乍ら、リードBは放熱板A,半導体素子Dの主要
部分を樹脂材Fにてモールド被覆する際に、上部金型G
1,下部金型G2によって広い面積に亙って扶持される
のであるが、リードBの肉厚がバラツキ易いこともあっ
て、常にリードBを上部金型G1,下部金型G2に対し
て密着した状態に維持することは困難である。
部分を樹脂材Fにてモールド被覆する際に、上部金型G
1,下部金型G2によって広い面積に亙って扶持される
のであるが、リードBの肉厚がバラツキ易いこともあっ
て、常にリードBを上部金型G1,下部金型G2に対し
て密着した状態に維持することは困難である。
例えば、リードBの肉厚が小さい方に変動すると、リー
ドBと上部金型Gl,下部金型G2との間には微小な隙
間が形或される。
ドBと上部金型Gl,下部金型G2との間には微小な隙
間が形或される。
特に、樹脂材がエポキシ樹脂のように流動性に優れたも
のにあってはその隙間が0.02mmもあれば、かかる
隙間よりリードBに沿って流出して第5図に示すように
バリHが形或される。
のにあってはその隙間が0.02mmもあれば、かかる
隙間よりリードBに沿って流出して第5図に示すように
バリHが形或される。
このバリHは外観を損ない商品性を低下させるのみなら
ず、リードBに半田処理する際にも大きな障害となるも
のである。
ず、リードBに半田処理する際にも大きな障害となるも
のである。
従って、従来においてはブラツシ法,サンドブラスト法
などを用いて除去されているのであるが、パリ除去の際
に、リードBと樹脂材Fとの接触境界部分に剥離やクラ
ツクが生じたりして耐湿性が損なわれ易いという欠点が
ある。
などを用いて除去されているのであるが、パリ除去の際
に、リードBと樹脂材Fとの接触境界部分に剥離やクラ
ツクが生じたりして耐湿性が損なわれ易いという欠点が
ある。
また、特開昭52−42372号公報には樹脂モールド
に際し、上下金型で挾持され加圧されるリードフレーム
の所定位置に軟質金属片をあらかじめ配置しこれを加圧
圧潰して金型の密着性を良好にしてパリの発生を防止す
ることが開示されているが、この方法ではリードフレー
ムに軟質金属片を?着する必要があり、軟質金属片の取
付位置がずれると、金型キャビテイと軟質金属片までの
空間に新たなパリが形或されることになり、軟質金属片
の取付位置の精度を要し、作業性も悪い欠点があった。
に際し、上下金型で挾持され加圧されるリードフレーム
の所定位置に軟質金属片をあらかじめ配置しこれを加圧
圧潰して金型の密着性を良好にしてパリの発生を防止す
ることが開示されているが、この方法ではリードフレー
ムに軟質金属片を?着する必要があり、軟質金属片の取
付位置がずれると、金型キャビテイと軟質金属片までの
空間に新たなパリが形或されることになり、軟質金属片
の取付位置の精度を要し、作業性も悪い欠点があった。
本案はこのような点に鑑み、簡単な構或にて外装樹脂材
より露呈するリード部分への樹脂材によるパリの発生を
抑制しうる半導体装置を提供するもので、以下実施例に
ついて説明する。
より露呈するリード部分への樹脂材によるパリの発生を
抑制しうる半導体装置を提供するもので、以下実施例に
ついて説明する。
第6図〜第7図において、1は熱伝導性良好なる金属部
材にて構或された放熱板であって、それの上面1aにお
ける両端部には突出部が形或されている。
材にて構或された放熱板であって、それの上面1aにお
ける両端部には突出部が形或されている。
2は複数のリード片2〜2にて構戊されたリードであっ
て、リード片2,27は放熱板1の上面1aにおける両
端部に突出部によってかしめ固定されており、リード片
22〜26は放熱板1の上面1aに離隔位置するように
配設されている。
て、リード片2,27は放熱板1の上面1aにおける両
端部に突出部によってかしめ固定されており、リード片
22〜26は放熱板1の上面1aに離隔位置するように
配設されている。
そして、このリード2におけるリード片2〜2。
は中間部乃至遊端側の部分2、b〜27bが他の部分2
a〜2aに比し薄く設定されている。
a〜2aに比し薄く設定されている。
3は放熱板1の上面1aにおける中央部分に半田部材を
用いて固定された半導体素子である。
用いて固定された半導体素子である。
4は半導体素子3の電極とリード2におけるリード片2
〜26の端部2a〜26aとに接続された金属細線であ
る。
〜26の端部2a〜26aとに接続された金属細線であ
る。
5は放熱板1,半導体素子3を含む主要部分にモールド
被覆された樹脂材であって、リード2におけるリード片
2〜27の他方の端部2b〜27bに近い一方の端部2
、a〜27aが樹脂材5より若干露呈するようにモール
ド被覆されている。
被覆された樹脂材であって、リード2におけるリード片
2〜27の他方の端部2b〜27bに近い一方の端部2
、a〜27aが樹脂材5より若干露呈するようにモール
ド被覆されている。
次に半導体素子を含む主要部分の樹脂材によるモールド
被覆方法について第8図〜第9図を参照して説明する。
被覆方法について第8図〜第9図を参照して説明する。
尚、図において、6は上部金型であって、それの下面に
は凹部7が形或されている。
は凹部7が形或されている。
8は上部金型6に対設された下部金型であって、それの
上面には凹部9が形成されている。
上面には凹部9が形成されている。
まず、第8図に示すように、放熱板1における半導体素
子3の非固定側が上部金型6の上部内壁面6aに当接さ
れるように、リード2におけるリード片2〜2の他方の
端部2b〜27bに近い一方の端部2a〜27aを局部
的に上部金型6及び下部金型8によって挾持して半導体
装置構或体をキャビテイに収納配置する。
子3の非固定側が上部金型6の上部内壁面6aに当接さ
れるように、リード2におけるリード片2〜2の他方の
端部2b〜27bに近い一方の端部2a〜27aを局部
的に上部金型6及び下部金型8によって挾持して半導体
装置構或体をキャビテイに収納配置する。
次に第9図に示すように、キャビテイ内にゲート(図示
せず)より溶融状態の樹脂材5′を注入する。
せず)より溶融状態の樹脂材5′を注入する。
すると、キャビテイ内は下方より上方に?けて順次樹脂
材5′にて充実される。
材5′にて充実される。
そして、キャビテイが樹脂材5′によって完全に充実さ
れると、樹脂材5′はり一ド2における端部2a〜27
aの上部金型6,下部金型8による挾持部分より外部に
流出しようとするが、密着性がよいために殆んど流出し
ない。
れると、樹脂材5′はり一ド2における端部2a〜27
aの上部金型6,下部金型8による挾持部分より外部に
流出しようとするが、密着性がよいために殆んど流出し
ない。
仮に流出しても、他方の端部2b〜27bと上部金型6
,下部金型8との間に大きな隙間が存在する関係で、同
部分には付着し難い。
,下部金型8との間に大きな隙間が存在する関係で、同
部分には付着し難い。
そして、樹脂材5′の硬化後、上部金型6及び下部金型
8からノックアウトピン(図示せず)を用いて取り出す
ことによって第6図〜第7図に示す半導体装置が得られ
る。
8からノックアウトピン(図示せず)を用いて取り出す
ことによって第6図〜第7図に示す半導体装置が得られ
る。
このようにリード片2〜2は或形時に、その中間乃至遊
端部2b〜27bが金型6,8から離隔し、肉厚の部分
2、a〜27aが上部金型6及び下部金型8にて局部的
に挾持される関係で、単位面積当りの締め付け荷重を充
分に大きくでき、リード片2、〜27に肉厚のバラツキ
が多少あってもリード片2〜2。
端部2b〜27bが金型6,8から離隔し、肉厚の部分
2、a〜27aが上部金型6及び下部金型8にて局部的
に挾持される関係で、単位面積当りの締め付け荷重を充
分に大きくでき、リード片2、〜27に肉厚のバラツキ
が多少あってもリード片2〜2。
と上部金型6及び下部金型8との密着性を著しく改善で
きる。
きる。
従って、樹脂材5としてエポキシ樹脂のように流動性に
優れたものを用いても、リード片2〜27へのパリの発
生を効果的に抑制できる。
優れたものを用いても、リード片2〜27へのパリの発
生を効果的に抑制できる。
特に、リード片2、〜27における肉厚の大きい一方の
端部2a〜27aの樹脂材5より露呈する部分は極めて
小面積となるように設定されているので、仮にこの部分
にパリが発生しても肉厚の小さい他方の端部2b〜27
bには発生しないこともあって、リード片2、〜27の
半田処理に際し何ら支障とはならない。
端部2a〜27aの樹脂材5より露呈する部分は極めて
小面積となるように設定されているので、仮にこの部分
にパリが発生しても肉厚の小さい他方の端部2b〜27
bには発生しないこともあって、リード片2、〜27の
半田処理に際し何ら支障とはならない。
その上、リード2を直角に屈曲する際に、リード片2、
〜27は肉厚の異なる端部2a〜27aと2tb〜2b
との境界部分より屈曲される関係で、一方の端部2a〜
27aと樹脂材5との接触部分には外力が作用しない。
〜27は肉厚の異なる端部2a〜27aと2tb〜2b
との境界部分より屈曲される関係で、一方の端部2a〜
27aと樹脂材5との接触部分には外力が作用しない。
これがために同接触部分における樹脂クラツクに起因す
る耐湿性の低下を防止できる。
る耐湿性の低下を防止できる。
またリードの中間部乃至遊端部を他の部分に比し薄くす
ることは部分圧延により容易にできる。
ることは部分圧延により容易にできる。
尚、本案は何ら上記実施例にのみ制約されることなく、
例えば放熱板の形状,リードの導出方向,本数などは適
宜に変更できるし、又、モールド或形時に上部金型,下
部金型をリードにおける段差側面に当てることもできる
。
例えば放熱板の形状,リードの導出方向,本数などは適
宜に変更できるし、又、モールド或形時に上部金型,下
部金型をリードにおける段差側面に当てることもできる
。
以上のように本考案によれば、リードの加工精度に余り
影響されることなく、所望部分のパリの発生を効果的に
抑制でき、商品性の高い半導体装置を得ることができる
。
影響されることなく、所望部分のパリの発生を効果的に
抑制でき、商品性の高い半導体装置を得ることができる
。
第1図は従来例の要部破断乎面図、第2図は第1図のI
一I断面図、第3図は第1図のII − II断面図、
第4図は樹脂材によるモールド戒形方法を説明するため
の側断面図、第5図は第1図の下面?、第6図は本案の
一実施例を示す要部破断平面図、第7図は第6図のII
I− III断面図、第8図〜第9図はモールド戊形方
法を説明するための側断面図である。 図中、1は放熱板、2はリード、2〜27はリード片、
2a〜27aは一方の端部(厚肉部)、2b〜27bは
他方の端部(薄肉部)、3は半導体素子、4は金属細線
、5は樹脂材である。
一I断面図、第3図は第1図のII − II断面図、
第4図は樹脂材によるモールド戒形方法を説明するため
の側断面図、第5図は第1図の下面?、第6図は本案の
一実施例を示す要部破断平面図、第7図は第6図のII
I− III断面図、第8図〜第9図はモールド戊形方
法を説明するための側断面図である。 図中、1は放熱板、2はリード、2〜27はリード片、
2a〜27aは一方の端部(厚肉部)、2b〜27bは
他方の端部(薄肉部)、3は半導体素子、4は金属細線
、5は樹脂材である。
Claims (1)
- 放熱板と、放熱板の表面に固定した半導体素子と、一方
の端部が半導体素子の近くに位置するように配設したリ
ードと、半導体素子の電極とリードとに接続した金属細
線と、半導体素子を含む主要部分をモールド被覆した樹
脂材とを具備し、上記樹脂材より露呈するリードの中間
部乃至遊端部を他の部分に比し薄くしたことを特徴とす
る半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1979025325U JPS598354Y2 (ja) | 1979-02-27 | 1979-02-27 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1979025325U JPS598354Y2 (ja) | 1979-02-27 | 1979-02-27 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS55124849U JPS55124849U (ja) | 1980-09-04 |
JPS598354Y2 true JPS598354Y2 (ja) | 1984-03-15 |
Family
ID=28865480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1979025325U Expired JPS598354Y2 (ja) | 1979-02-27 | 1979-02-27 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS598354Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-02-27 JP JP1979025325U patent/JPS598354Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS55124849U (ja) | 1980-09-04 |
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