JPS59226868A - 光学式回転検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は／ＪＱ型で高精度な光学式の回転検出装置に関
するものである。

従来例の構成とその問題点 従来モータ等の回転体の回転速度検出機構として、磁気
式の回転検出装置が提案されてきた。レコードプレーヤ
ー用ホノモータあるいはテープレコーダ用キャプスタン
モータ等においては高精度な速度制御が必要なため、回
転検出装置として用いられる周波数発電機（以下、Ｆｒ
ｅｑｕｅｎｃｙ　Ｇｅｎｅｒａｔｏｒの略でＦＧと称す
）において具備すべき条件としては、 ■　検出精度が加工や組み立ての影響を受は難い事。

■　低速回転時でも高い検出周波数が得られる事。

■　高い出力電圧が得られるとともに外来雑音や誘導に
対して強い事。

■　ＦＧ自身が雑音を発生して他の回路に悪影響を与え
ない事。

■　ＦＧ自身が回転むらや振動を発生しない事。

■　簡単な構造で小型化が図れる事０ 等が挙げられる。

さて、第１図に従来の全周積分型磁気式ＦＧを示す。第
１図のＦＧの構成を簡単に説明すると、内周を歯型に切
った固定子１とこの固定子１の内側に外周を歯型に切っ
た回転子２を設け、固定子１の歯１ａと回転子２の歯２
ａは同数で互いに向きあうよう構成され、さらに固定子
１から回転子２に至るヨーク（第１図では固定子１と一
体化されている）の途中に磁石の断片３が置かれ、さら
にヨークの一部に巻線４が巻かれている。これら固定子
１と回転子２は鉄などの軟磁性体材料で構成されており
、回転子２が回転する場合を考えると固定子１の歯１ａ
と回転子２の歯２ａが向き合った時はこの磁気回路の磁
気抵抗が小さくなり、磁石から出る磁束が流れやすくな
る。また歯と谷が向き合った時は逆に磁気抵抗が大きく
なり、磁束が流れにくくなる。その結果流れる磁束の量
が交互に変わり、巻線４の両端に交流電圧が得られここ
で第１図に示したＦＧの場合、全周対向型であるため、
検出精度が加工や組み立ての影響を受は難く、精度の良
い検出が行なえる反面、機械加工の難しさおよび磁気抵
抗の変化が小さくなる事から歯型のピッチを小さくする
ことが出来ず、小型で高い検出周波数のものが作れない
。又、この種の磁気ＦＧの場合、ＦＧ巻線に誘起する電
圧は、ＦＧ巻線と鎖交する磁束の変化を時間で微分した
ものに比例するため、低速回転時において高い出力電圧
が得らｎないＣ，−！たこの磁気式ＦＧをモータに組み
込んだ場合、ＦＧ巻線にはロータマグネットの漏れ磁束
やステータコイルへ流す電流からの誘導雑音等の雑音が
重畳し易く、検出信号のＳ／Ｎ比が劣化して検出精度が
悪化する。そして第１図に示した様な全周対向型磁気式
ＦＧの場合、相対する歯型の磁気的な吸引力によってモ
ータ回転時に振動を生じ、回転が不安定になり回転むら
が生じる等の欠点があげられる。

発明の目的 本発明は斯かる欠点を解消し、小型で高出力・高Ｓ／Ｎ
が得られる全周積分型光学式回転検出μ置を提供するこ
とを目的とする０ 発明の構成 本発明は、複数の円環部を有し、かつこの各ド環部にス
リットを有する回転板を回転軸に取りセけ、前記回転板
の一方の面に対向する位置に前に１回転板の全スリット
に光が照射するよう光源を西ｌするとともに、前記回転
板の他方の面に対向す２位置に平面状光電変換手段を配
し、前記回転板Ｃ各日環に対応する前記平面状光電変換
手段上の４円環部には、それぞれ１つ以上の光電変換素
子毛有し、かつ前記平面状光電変換手段上の光電変換素
子のうち少なくとも１つは略全周に渡って配でれた光電
変換素子小片を導電性の配線部材で結４してな９、捷だ
前記各光電変換素子から発生さ才る光起電流を取ジ出す
ための電極はすべて前記円面状光電変換手段上の前記円
環部の最外周よｙ＜外側あるいは最内周よりも内側の１
部に集中し１構成、した光学式回転検出装置である。

実施例の説明 本発明の第１の実施例を第２図〜第８図に基ついて説明
する。第２図において、５は平面光源、６は回転軸、７
は第１の円環部に全周に渡りピノ］　　　チＰ１　で配
されたｍ個（ｍＶ：Ｌ正の整数）のスリン１　　　ドア
ａを有する回転板で回転軸６に取り付けられている。８
は平面状光電変換手段である。

第３図に回転板７０部分拡大図を示す。スリット７ａは
半径ｒ１　の円と半径ｒ２の円で囲まれた）　　　第１
の円環部にスリットピッチＰ１　で全周に渡っ１　　　
て設けられている。

第４図に平面状光電変換手段８の部分拡大図を与　　　
示す。平面状光電変換手段８上の半径ｒ１　の円と号 し　　　換素子小片９ａを導電性の配線部材９ｂで結合
してなる第１の光電変換素子９を形成し、かつ第１、　
　　の光電変換素子小片９ａとＰ１／２のピッチで分離
されＰｌ　のピッチで略全周に渡って設けら扛た第２の
光電変換素子小片１０ａを導電性の配線部材１０ｂで結
合して成る第２の光電変換素子１０を形成している。第
１の光電変換素子小片９８は照射光量に比例した光起電
流を発生し、この光起電流は導電性の配線部材９ｂによ
って全周に渡って積分され電極１１より取り出すことが
できる。同様に第２の光電変換素子小片１０ａは照射光
量に比例した光起電流を発生し、この光起電流は導電性
の配線部材１０ｂによって全周に渡って積分され電極１
２より取り出すことができる。電極１１゜１２は回転板
７０回転半径ｒ３より外に隣接して設けられている。

さて、平面光源５から発せられる光５ａｉ、回転板７の
すべてのスリン）７ａを通過して平面状光電変換手段８
に照射される一方、回転板７によって遮蔽される。

回転板７が回転すると、第６図（ａ）　、　（ｂ）に示
すように、第１の光電変換素子小片９ａには光５ａが照
射されず、第２の光電変換素子小片１０　ａに光５ａが
照射される同図（ａ）の状態と、第１の光電変換素子小
片９ａに光５ａが照射され、第２の光電変換素子小片１
０ａＫは光５ａが照射されない同図（ｂ）の状態が、回
転板７がＰ１／２ピッチ回転する毎に交互に発生する。

したがって、回転板７が回転すると第１の光電変換素子
小片９ａと第２０光電変換素子小片１０ａには交互に光
が照射され、よって第１の光電変換素子小片９ａと第２
０光電変換素子小片１０ａには互いに逆相の光起電流が
発生し、この光起電流を第６図の１３．１４に示す演算
増幅器Ａ１・Ａ２および抵抗Ｒ１・Ｒ２で構成される光
起電流−電圧変換回路に通し、第７図に示す様な第１の
光電変換素子小片９ａの照射光量に比例した電圧Ｖａと
第２の光電変換素子小片１０ａの照射光量に比例した電
圧ｖｂを得る。電圧Ｖａとｖｂは互いに逆相の電圧で直
流値がｖａｏおよび■ｂＱ、信号成分の電圧がｖａＰ−
Ｐおよび■ｂＰ−Ｐとなる。

この電圧ｖａとｖｂを演算増幅器Ａ３、抵抗Ｒ３，Ｒ４
，Ｒ３’　、Ｒ４’　（Ｒ３：Ｆｔ４＝Ｆｔ３’：Ｆｔ
４′）で構成される利得に０（Ｋｏ−Ｒ４／Ｒ３）の差
動増幅回路１５に加え両者の差を取ることにより、第７
図に示すような直流値■。０が相殺され、 ■ｏＯ＝に０（ｖａＯ−■ｂｏ） となり減少し、一方、信号成分の電圧■。Ｐ−Ｐは”ｏ
Ｐ−Ｐ”ＫＯ（ｖａＰ−Ｐ＋■ｂＰ−Ｐ）となり増大す
る出力信号Ｖ。を得る。

この出力信号ｖ０は速度検出信号又は位相検出信号等の
回転情報検出信号として使用され、前記電圧Ｖ、、Ｖｂ
に重畳した同相雑音が両者の差をとることにより相殺さ
れて減少し、且つ信号は増大するため、Ｓ／Ｎ比の高い
信号を得ることができる０ 第８図に本発明の第１の実施例による光学式回転検出装
置の側面図を示す。平面状光電変換手段８で発生する光
起電流は、第６図に示した回路によって回転検出信号ｖ
０に変換されるが、この光起電流はリード線１６によっ
て第６図に示した回路に入力される。リード線１６は電
極１１上に銀ペースト１７等によって取り付けられるが
、電極１１が回転板７０回回転径内にあれば、リード線
１６が回転板７に接触するという問題があるが、本発明
の第１の実施例によるとそういう問題は解決される。ま
た電極１１が回転板７の回転半径外であるため、平面光
源５と平面状光電変換手段８の間隔をせまくする事がで
き、平面状光電変換手段８に照射される光のコントラス
トが良くなり、高精度な回転検出信号が得られる。

本発明の第２の実施例を第９図〜第１１図に基づいて説
明する。本発明の第２の実施例は第９図に示した光学式
回転検出装置を第１０図に示すような電子整流子モータ
の回転検出装置に組み込んだ例である。第９図において
、１８は回転軸６に取り付けられた回転板で、この回転
板１８の第１の円環部には本発明の第１の実施例におけ
るスリット了ａと同様にスリントビ２チＰ１で全周に渡
って設けられたＦＧ信号用スリット１９を有し、回転板
１８の第２の円環部にはモータが有効にトルクを発生す
るようステータコイルとロータマグネットの位置関係を
検出するためのロータ回転位置検出信号用のスリット２
０　ａ　、　２０　ｂ　、　２０ｃを有し、回転板１８
の第３の円環部には回転板１８が１回転する間に１周期
の信号（以下、ＰＧ倍信号称す）を発生するためのＰＧ
信号用スリット２１を有している。２２は平面状光電変
換手段で、この平面状光電変換手段２２上で回転板１８
上の第１の円環に対応する第４の円環部には、本発明の
第１の実施例と同様、Ｐｌ　のピッチで略全周に渡って
設けられた第３の光電変換素子小片を導電性の配線部材
で結合してなる第３の光電変換素子２３、及び第１の光
電変換素子小片とＰ１／２のピッチで分離されＰｌ　の
ピンチで略全周に渡って設けられた第４０光電変換素子
２４を有する。

捷た平面状光電変換手段２２上で前記回転板１８上の第
２の円環に対応する第５の円環部には、ロータ回転位置
検出用の第５の光電変換素子２５ａ及び第６の光電変換
素子２５ｂを有する。甘た平面状光電変換手段２２上で
前記回転板１８上の第３の円環に対応する第６の円環部
には、ＰＧ倍信号の第７０光電変換素子２６ａ及び第８
の光電変換素子２６ｂを有する。

そして前記第３の光電変換素子２３、第４０光電変換素
子２４、第５の光電変換素子２５ａ、第６の光電変換素
子２５ｂ、第７０光電変換素子２６＆第８の光電変換素
子２６ｂｉｄそれぞれ照射光量に比例した光起電流を発
生し、それらの光起電流はそれぞれ電極２７＆、２７ｂ
、２アｃ、２７ｄ、２７ｅ、２了ｆから取や出される。

第１０図は第９図に示した本発明の第２の実施例の回転
検出装置に適用した電子整流子モータの縦断面図を示す
。６に回転軸、２８はベアリング、２９はベアリング２
８の支持部材、３０はロータマグネット、３１はロータ
ヨーク、３２はステータコイル基板である。ステータコ
イル基板３２の下部には、第９図に示した本発明の第２
の実施例による光学式回転検出装置が取り付けられてい
る。

第９図と同様にこの光学式回転検出装置は、平面光源５
、回転板１８、平面光電変換手段２２により構成される
。そして平面光源５はステータコイル基板３２に固定さ
れ、平面状光電変換手段２２は支持部材３３により固定
されており、回転板１８は回転軸６に結合され、共に回
転する０３４ＣユＦＧ信号、ロータ回転位置検出信号及
びＰＧ信号検出回路とモータ駆動回路を組み込んだ回路
基板で、支持部材３３に固定されている。回路基板３４
と平面状光電変換手段２２の間には例えば導電性コ゛ム
等でできたフレキシブルな接続部材３５を入れ、第３の
光電変換素子２３、第４の光電変換素子２４、第５の光
電変換素子２５ａ、第６の光電変換素子２６ｂ１第７の
光電変換素子２６ａ、第８の光電変換素子２６ｂから出
力される光起電流は、接続部材３５によって回路基板３
４に入力される。

第１１図は電極２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、２７ｄ、２７
ｅ。

２７ｆと接続部材３５の接続の状態を示す斜視図で、接
続部材３５は導電部３６ｂと絶縁部３５ａが交互に重な
りあって成ム各導電部３ｓｂが電極２７ａ、２７ｂ、２
ＴＣ，２７ｄ、２７ｅ、２７ｆ　と接触することにより
光起電流が回路基板３４に流れる。

本発明の第２の実施例のように、平面状光電変換手段が
多数の光電変換素子を有し、よって光電変換素子が発生
する光起電流を取り出すための電極が多数存在する場合
、それらの電極を回転板の回転半径外の１箇所にまとめ
て形成する事により、小型化が図れるのと同時に、回路
基板等への接続をリード線によらなくてより簡便な方法
を用いる事が可能となり、工数、コストの面で効果があ
る〇捷た以上説明した第１の実施例及び第２の実施例は
すべての電極を、平面状光電変換素子上の回転板の回転
半径よりも外に、一箇所に捷とめて形成しているが、第
１２図に示すように、電極３６ａ。

３６ｂ、３６Ｃ，３６ｄが、回転板３８の最内周の円環
部に形成されたスリット３９に対応した平面状光電変換
手段３７上の光電変換素子４０ａ、４０ｂよりも内側に
一箇所にまとめて形成された場合も、同様の効果を得る
ことができる。

さて、光起電効果を有する薄形平面状の光電変換手段と
して、フォトダイオードと呼ばれる単結晶シリコス光電
変換素子、あるいはセレン光電変換素子、アモルファス
シリコン光電変換素子（以下、ａ　−Ｓ　ｉ光電変換素
子と略す）等様々な光電変換素子が考えられるが、本発
明に用いる光電変換素子に要求される性質として、 ■　大面積の光電変換素子が安価に提供できる事。

■　微細加工が可能で、同一基板上に複数の独立した素
子を形成でき、又、これらの素子の結合および分離が容
易に行える事○ ■　高感度である事。

■　応答性が速い事。

■　素子のバラツキが小さい事。

等が挙げられる。

まず、前記単結晶シリコン光電変換素子であるが、これ
は上記■〜■の条件はほぼ満たし得るが大面積化した場
合高価になる０ 又、前記セレン光電変換素子やその他ＣｄＳ光電変換素
子等は、大面積でも低価格を実現し得るが、反面フォト
エツチング等による微細加工を行ない離く、第４図に示
した第１の光電変換素子小片９ａ及び第２の光電変換素
子小片１０ａは例えば幅１００μｍ程度で分離帯の幅の
狭い部分で１０〜数１０μｍ程度とすると、これらの光
電変換素子では実現が難しい。又、セレン光電変換素子
等は、後述するａ−３ｉ光電変換素子に比べ、感度も低
く応答性も届程度悪く、かつ素子間のバラツキも非常に
大きいので、本発明の光電変換素子としては特殊な場合
を除き適切でない。

一方、ａ−３ｉ光電変換素子は、大面積の薄形平面状光
電変換手段を安価に提供でき、後述する透明導電膜をフ
ォトエツチング等によって除去することにより、独立し
た光電変換素子小片を同一基板上に多数形成する微細加
工が可能なため、本発明における平面状光電変換手段を
提供し得る。

又、感度も高く、光源が発光ダイオードで構成されるよ
うな微弱光であっても充分な出力信号を得る事が可能で
あり、応答性も数１０ｋｔｌ＋程度寸で応答し得るため
、本発明の要求する応答性を充分７ｆＡたし得るものは
いうまでもなく、異なる基板上に形成されたものについ
ても素子間のバラツキは小さくなり、量産性においても
優れている。

以上の説明から明らかなように、本発明の光学式回転検
出装置に適用する平面状光電変換手段としてはａ　−Ｓ
　ｉ光電変換素子が最適である。

ここでａ　−Ｓ　ｉ光電変換素子の構造及び動作を第４
図及び第１３図（ａ）　、　（ｂ）　、　（Ｃ）に基づ
いて説明する。第１３図（ａ）は第４図に示した平面状
光電変換手段８の構造を示す斜視図で、同図中）は同図
（ａ）中の線分ｏ−ｏ’で破断した縦断面図を示す。ま
た同図（Ｃ）ｌｄ平平面九九電変換手段８等価回路図を
示す。

第１２図（ａ）において４１はステンレス基板等で作ら
れ、基板を兼ねた電極で、基板上にＰｉＮ接合を有する
ａ−８ｉ膜４２が形成され、このａ−８ｉ膜４２上にイ
ンジウム、チン、オキサイド（以下ＩＴＯと略す）と呼
ばれる透明電極４３を形成している。前記ａ−３ｔ膜４
２ｉｊ第１２図（ｂ）に示すようにステンレス基板４１
とＩＴＯ４３の間に２層４２ａ、ｉ層４２ｂＸＮ層４２
ｃを形成するが、ＩＴＯ４３の付着した部分のみが光電
変換特性を有し光電変換素子として働く。付着していな
い部分は光電変換素子としての作用を成さないばかりか
、ａ−３ｉ膜４２の有する抵抗率が犬でありかつ膜の厚
さが数１０００人と薄く、ＩＴＯの付着していない部分
の幅を数μｍ〜数１０μｍ以上とした場合、膜の厚さよ
りも充分長いため横方向は大きな抵抗値を有することに
なり、電気的な絶縁体として働く。よって第１３図（、
）に示すようにＩＴＯ４３を分離して付着することによ
り、ステンレス基板４１を共通電極とする光電変換素子
小片９ａ及び１０ａを形成する事ができる。捷だその等
価回路は第１３図（ｃ）に示したようになる。

ＩＴＯを分離してａ−３ｉ膜４２を付着する方法として
、例えばａ−３ｔ膜４２の略全面にＩＴＯを塗布した後
、分離帯を形成したい部分の不必要なＩＴＯを７オトエ
ソチングにより除去することによって実現可能である。

また一定のピッチで配された光電変換素子小片を電気的
に結合する方法として、第１３図（−）に示すように、
第１の光電変換素子小片９ａの片端をアルミニウムある
いは二　・ケル等の導電性の配線部材９ｂで結合し、同
様に第２の光電変換素子小片１０　ａ　（０片端をアル
ミニウムあるいハニノヶル等の導電性の配線部材１０ｂ
で結合して実処する事が可能である。

あるいは第１４図に示すように、光電変換素子小片を電
気的に結合するようにＩＴＯをフォトエツチングせずに
残すことによって、一定のピッチで配された光電変換素
子小片を電気的に結合して成る光電変換素子４４．４５
を実現できる。

しかし、第１３図に示したようにＩＴＯによって光電変
換素子小片を結合した場合、第１３図（ａ）中の導電性
の配線部材９ｂ、１０ｂに対応する本来回転検出信号に
関係しないＩＴＯ部分に光が洩れ込むと、本来の回転検
出信号に不要な信号が付加され、コントラストが悪くな
る。よってこの欠点を解決するために、第１５図に示す
ように第１３図（−）に示した平面状光電変換手段の導
電性の配線部材９ｂ、１０ｂに対応する回転検出信号に
関係しないＩＴＯ部分にアルミニウムあるいはニッケル
等の不透明材料４６．４７を蒸着する事によって、ＩＴ
Ｏ部分に光が照射しないようにでき、第１３図（ａ）に
示した平面状光電変換手段８と同様、コントラストの良
い回転検出信号を得ることができる。

以上説明したａ　−Ｓ　ｉ光電変換素子は通常５７００
人近傍にピーク感度波長を有するため、平面光源も５７
００八近傍の発光波長を有する光源を用いるのが好まし
い。５７００人近傍の発光波長を有する光源としては、
例えばオレンジ色の発光ダイオード（発光波長：略６３
００八）、又は緑色の発光ダイオード（発光波長：略６
６５０人）等の可視光の発光ダイオードにより実現でき
る。

発明の効果 本発明では光学的に回転検出を行なっているため、従来
の磁気式ＦＧと比較した場合、形状が小さくできる上、
高出力が得られる。またモータの回転検出装置として使
用する場合においても、モータ自身の発生する磁束を誘
導する等の欠点も解消されＳ／Ｎ比の高い回転検出信号
が得られる。

また全周積分型の検出であるため、回転板を回転軸に取
り付けた際の偏心、傾き、あるいは回転板のスリットの
幅むら等の機械的精度不良が全周に渡って積分されるた
め、直接回転検出精度に関係せず、高精度な回転速度検
出を行なう事が可能である。

また、本発明による光学式回転検出装置から出力される
回転検出信号を取り出すための電極を回転板の回転半径
の外に一箇所にまとめる事により、例えば電極からリー
ド線等により回転検出信号を取り出す場合、リード線が
回転板に接触する問題はなくなり、その上光源と平面状
光電変換手段の間隔をせまくすることができ、平面状光
電変換手段に照射される光のコントラストが良くなり、
より精度のよい回転検出信号が得られる。また電極を一
箇所に１とめであるので、例えば第１１図に示した接続
部材３６を使う事により、リード線を使って配線する手
間が省け、工数削減が図れるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の全周積分型磁気式ＦＧの破断斜視図、第
２図は本発明の第１の実施例の光学式回転検出装置の概
略構成図、第３図は第２図中の回転板の部分拡大図、第
４図は第２図中の平面状光電変換手段の部分拡大図、第
６図（ａ）　、　（ｂ）は本発明の第１の実施例の光学
式回転検出装置の動作説明図、第６図は本発明の第１の
実施例の光学式回転検出装置に適用される回転速度検出
回路の回路図、第７図は本発明の第１の実施例の光学式
回転検出装置の出力波形図、第８図は本発明の第１の実
施例の光学式回転検出装置の側面図、第９図は本発明の
第２の実施例の光学式回転検出装置の概略構成図、第１
０図は本発明の第２の実施例の光学式回転検出装置を適
用した電子整流子モータの縦断面図、第１１図は第１０
図中の光学式回転検出装置の部分拡大図、第１２図は、
電極を内側に設けた本発明の他の実施例を示す概略構成
図、第１３図（ａ）　、　（ｂ）はａ　−Ｓ　ｉ光電変
換素子の構造を示す斜視図及び縦断面図、第１３図（ｃ
）は平面状光電変換手段の等価回路図、第１４図、第１
５図は第１３図（−）に示した平面状光電変換手段とは
別の構造を有する平面状光電変換手段の構造を示す斜視
図である。 ５・・・−・平面光源、６・・・・回転軸、７・・・・
回転板、７ａ・・・・スリット、８・　・平面状光電変
換手段、９　　第１の光電変換素子、１０　・・第２０
光電変換素子、１１．１２・・・・・電極、１８・・・
回転板、１９、、、−、　Ｆ　Ｇ用スリット、２０ａ　
、　２０ｂ　、　２０Ｇ　−＝ロータ回転位置検出用ス
リット、２１・・・・・・ＰＧ用ススリット２２・・・
・平面状光電変換手段、２７ａ。 ２７ｂ、２７Ｃ，２７ｄ、２７ｅ、２７ｆ　・・＝電極
、３６ａ。 ３６ｂ　、　３６Ｃ、３６ｄ・・電極。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第５
図 （幻　　　　　　　　（′ｂ） ９η　　　　　　　　　　　１０ａ。 第６図 第７図 第８図 稟９図 第１０図 第１１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の円環部を竹しかつ前記各円環部にスリットを有す
   る回転板を回転軸に取り付け、前記回転板の一方の面に
   対向する位置に前記回転板の全スリットに光が照射する
   よう光源を配するとともに前記回転板の他方の面に対向
   する位置に平面状光電変換手段を配し、前記回転板の各
   円環に対応する前記平面状光電変換手段上の各円環部に
   は、それぞれ１つ以上の光電変換素子を有し、かつ前記
   平面状光電変換手段」二の光電変換素子のうち少なくと
   も１つは略全周に渡って配された光電変換素子小片を導
   電性の配線部材で結合してなり、捷だ前記各光電変換素
   子の電極はすべて前記平面状光電変換手段」二の前記円
   環部の最外周よりも外側あるいは最内周よりも内側の１
   部に集中して設けられている事を特徴とする光学式回転
   検出装置。