JPH03103717A

JPH03103717A - オプティカルエンコーダ

Info

Publication number: JPH03103717A
Application number: JP24058589A
Authority: JP
Inventors: Katsumasa Yoshida; 勝正吉田; Takashi Nagase; 喬長瀬
Original assignee: Yaskawa Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 1989-09-19
Filing date: 1989-09-19
Publication date: 1991-04-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、ロボット、工作機械、計測器において、位置
または速度の検出に用いるオブティカル　エンコーダに
関する。

［従来の技術コ第６図は従来のオブティカル　エンコーダの構成例を示
す図、第７図（Ａ）は第６図のオブティ力ル　エンコー
ダの固定スリット板２３のスリットの配置を示し、第７
図（Ｂ）は第６図のオブティ力ル　エンコーダの受光部
２４の構成を示す図である。

第６図のオブティ力ル　エンコーダはロータリー　エン
コーダであって、光源２１、回転ディスク（移動スリッ
ト板）２２、固定スリット板２３、受光部２４によって
構成されている。

回転ディスク２２は、ロボット、工作機械、計測器等の
回転機構と連動し、幅ｐ／２のスリット２５がビッチｐ
で配列されて設けられている。固定スリット板２３は、
第７図（Ａ）に斜線を施して表示され、かつ、点線で囲
まれている４つのスリット群Ｓ．Ｒ．Ｒ．Ｓを備えてい
る。

各々のスリット群のスリット２６によって、回転ディス
ク２２のスリット２５を通り、受光部２４に入射する光
線束の形状が画定される。

各群内のスリット２６の各間隔はｐ、スリット群Ｓとス
リット群Ｒの互いに隣接したスリット間隔（第７図（Ａ
）において、スリット群Ｓの右端のスリットとスリット
群Ｒの左端スリット間隔以下、スリット群Ｓ．Ｈの間隔
と記す）は（５／４）ｐ、スリット群Ｒとスリット群Ｓ
の互いに隣接したスリット間隔（以下、スリット群Ｒ．
　Ｓの間隔と記す）は（７／４）ｐである。

また、回転ディスク２２の回転方向に関する、スリット
群Ｓ．Ｓの間隔は（６／４）ｐである。

受光部２４は、半導体基板と、その上に形戊された受光
素子２７ｓ、２７ｒ、２７ｒ、２７ｓによって構成され
ている。半導体基板と各受光素子２７ｓ、２７ｒ、２７
ｒ、２７ｓはそれぞれフォトダイオードを構成し、第７
図（Ｂ）に示されている電極２８ｓ、２８ｒ、２８ｒ、
２８ｓは、それぞれ、前記フォトダイオードの受光素子
２７ｓ、２７ｒ、２７ｒ、２７ｓ側の電極である。受光
素子２７ｓ、２７ｒ、２７ｒ、２７ｓは、それぞれ固定
スリット板２３のスリット群Ｓ，Ｒ，Ｒ，Ｓに対向する
位置に配置され、各々の受光面積は、対向するスリット
群に含まれるすべてのスリットから入射する光線を同時
に受光できる大きさをもっている。

いま、光源２１から回転ディスク２２に入射する光線は
完全な平行光線であるとして第６図の装置の動作を説明
する。

第８図は第６図の受光部２４の受光素子の、回転ディス
ク２２の回転角度に対する出力特性図である。

回転ディスク２２が時計方向に回転すると幅ｐ／２、ビ
ッチｐの光線束の列が固定スリット板２３を、第７図（
Ａ）の左から右へ移動しながら照射する。それぞれのス
リット群内のスリットは、光線束と同一の幅およびピッ
チをもっているので、同一のスリット群内の各スリット
と交差する光線束の断面積（以下、通過断面積と記す）
は、回転ディスク２２の回転角θに比例して同一の位相
で増減する。したがって、そのスリット群と対向してい
ろ各受光素子の出力は第８図に示されているように、回
転ディスク２２の回転角θに対して三角波特性になる。

前記したように、スリット群Ｓ．Ｒの間隔は（　５／４
）　ｐであるので、スリット群Ｓのスリットの配列に対
してスリット群Ｒのスリットの配列は、第７図（Ａ）の
右方に（１／４）ｐだけずれている。

したがって光線束が第７図（Ａ）の左から右へ移動しな
がら照射する場合には、スリット群Ｒと交差する光線束
の通過断面積は、スリット群Ｓに対する通過断面積より
９０”遅れた位相で変化する。したがって受光素子２７
ｒの出力は、受光素子２７ｓの出力よりも９０″だけ遅
れて変化する。同様に、受光素子２７ｒ、２７ｓの出力
は、受光素子２７ｓの出力に対してそれぞれ９０’進ん
だ位相、ｌ８ｏ゜遅れた位相で変化する。

受光素子２７ｓ．２７ｓの出力は差動検出されて第１相
エンコーダ信号が生成される。また、受光素子２７ｒ，
２３７ｒの出力も差動検出されて第２相のエンコーダ信
号が生成される。第１、第２相エンコーダ信号は、２相
エンコーダ信号を構成し、回転ディスク２２の回転角度
および回転の向きを表示する。

第６図のオブティ力ル　エンコーダは、光源２１、移動
スリット板（回転ディスク）２２、固定スリット２３お
よび受光部２４の４個の主要部品から構成されており、
基本的に固定スリット板を含んだ構成をとっている。こ
のため、この種のエンコーダで高精度の検出信号を得る
ためには、前記各部品のバラツキや相対位置合わせ誤差
を極力押えなければならない上、固定スリット板２３の
光遮断部に対向する受光素子の受光面は、本質的に受光
の機会がなく、受光面積を有効に使用しているとは言え
ないという問題点がある．この問題点を解決するため、
第６図の装置から固定スリット板を除いたオブティ力ル
　エンコーダの要部の構成を第９図に示す。

この受光部３４は、半導体基板３０上に幅（ｐ／４）一
δの基本受光素子が、ピッチｐ／４で回転ディスク２２
の回転方向に配列されている。これらの受光素子の配列
の、３つおきにとった受光素子を１群として、該配列を
４群に分け、それぞれの受光素子群Ａ，Ｂ，Ａ．Ｂとし
ている．一方、回転ディスク２２を通過した、幅ｐ／２
、ビッチｐの光線束の列によって照射される各受光素子
の面積は、回転ディスク２２の回転と共に台形的に変化
する．すなわち、初めは回転ディスク２２の回転角度に
比例して増加し、次に、受光素子の全面積が照射されて
いる期間一定になり、次に回転角度に比例して減少する
。したがって、各受光素子は、回転ディスク２２の回転
角度に対して台形波の出力特性をもつ．この出力は、同
一の受光素子群に属する受光素子については、同じ位相
で変化するけれど、第９図の受光素子群Ａの出力に対し
て受光素子群Ａの出力は１８０゜の位相差で変化する。

同様に受光素子群Ｂの出力に対して受光素子群Ｂの出力
も１８０゜の位相差で変化する。また、受光素子群Ａの
出力に対して受光素子群Ｂの出力は９０”の位相差で変
化する．したがって、それぞれの受光素子群Ａ，Ｂ，Ａ
．Ｂに属する受光素子を同一の電極３８ａ．３８ｂ．３
８ａ，３８ｂに接続し、電極３８ａ．３８ａ上に−出力
された信号な差動検出することにより、斜めに入射した
光線や受光素子間の拡散による漏洩電流に起因するクロ
ストークのうち、同位相のノイズが除去された高精度の
第１相エンコーダ信号を得ることができる。また、電極
３８ｂ．３８ｂ上に出力された信号を差動検出すること
により、高精度の第２相エンコーダ信号を得ることがで
きる。

第９図の受光部を備えたオブテイカル　エンコーダとし
て、公開実用新案公報（Ｕ）、昭６３−８８７０５号に
開示された考案（以下、第１の考案と記す）、公開実用
新案公報（Ｕ）、昭６３−１７４０１９号に開示された
考案（以下、第２の考案と記す）がある。

このうち、第１の考案において、第９図と同じ構造をも
つ複数の受光部が、回転ディスクの回転方向に対して垂
直な方向に、かつ、回転ディスクの移動方向に位置をず
らして（電気角の位相をずらして）配置されている。そ
の結果、これらの受光部は相互に位相がずれた二相エン
コーダ信号を出力する。したがって、この位相のずれを
適当に調整して複数の受光部から出力される二相エンコ
ーダ信号を合成することにより、正弦波に近い二相エン
コーダ信号を生成することができる。

また、第２の考案においては、高い分解能を必要としな
い場合に、第９図の受光部を電気的接続のみを変えて使
用する方法が開示されている。

例えば、第９図の受光部を用いた場合に比較して分解能
が１／２のオブティカル　エンコーダを製作する場合に
は、受光素子の配列を、ＡＡＢＢ，ＡＡ，ＢＢ，ＡＡ，
ＢＢ・・・のように２つづつ並列に接続した上で３つ置
きの並列接続受光素子を１群とする受光素子群ＡＡ，Ｂ
Ｂ，ＡＡ，ＢＢの出力から２相エンコーダ信号を生成す
る。

［発明が解決しようとする課題］前記の第９図に示された従来の受光部、またはこれを用
いている第１，第２の考案においては、固定スリットに
起因する問題点は解決されているけれど、次の課題があ
る。

１）位相が９０゜づつ異なる受光信号を出力する受光素
子が一列に配列されているので、受光素子の幅が狭くな
らざるえない。そのため、受光面積に比較して隣接する
受光素子の対向する長さが長くなり、その結果、隣接す
る受光素子間の漏洩電流によるクロストーク（電気的ク
ロストーク）が受光信号に比較して大きくなる。そのた
め、受光素子の出力に位相のずれを生ずる。また、受光
素子に入射する光線束の平行性または集束性が悪い場合
には、本来、ある受光素子に入射すぺき光線東の一部が
隣接する受光素子に入射（以下、寄生入射と記す）する
ことにより、クロストークが生ずる。この寄生入射によ
るクロストーク（光学的クロストーク）は、受光素子の
幅が狭い場合には、受光信号に比較して相対的に大きく
なり、受光素子の出力に含まれる信号成分が小さくなる
。

これらのクロストークを除くために受光素子間の間隔を
広くすると、光を感受しない面積が広くなり、受光素子
の出力そのものが小さくなる。

２）　前記したように、クロストークに比べ、相対的に
大きな受光信号を生成するためには、受光素子の幅が大
きくなければならないが、幅の広い受光素子で成る受光
素子群Ａ，Ｂ．Ａ．Ｂを一列に配列すると、分解能が低
下するばかりでなく、受光部のサイズが大きくなり、コ
ストも高くなる。このことは、前記第２の考案による受
光部を用いても同様である。

３）４つの受光素子群Ａ．Ｂ．Ａ．Ｂが一列に配列され
ているので電極の配線が交差し、配線工程が複雑になる
。

［問題点を解決するための手段］本発明の第１のオブティ力ル　エンコーダは、一定のス
リット幅をもち、当該スリット幅の２倍のピッチで移動
方向に配列するスリットを有する移動スリット板と、前
記移動スリット板を照射する光源と、前記スリットを通
過した光を受け、移動スリット板の移動に対応するエン
コーダ信号を生成する受光部を備えた才ブティ力ル　エ
ンコーダであって、前記受光部は、少くとも１対の第１、第２の櫛形受光素
子で成る櫛形受光素子対を含み、各櫛形受光素子の櫛歯
に相当する基本受光素子は、前記スリット幅にほぼ等し
い幅をもち、かつ、前記スリットのピッチと同じ基準ピ
ッチで前記移動スリット板の移動方向に平行に配列され
ており、第１、第２の櫛形受光素子は、第１の櫛形受光
素子の相隣る基本受光素子の間に第２の櫛形受光素子の
基本受光素子がはめ込まれて相互に噛合って配置され、
かつ、相互に電気的に絶縁されている。

本発明の第２のオブティ力ル　エンコーダは、第１のオ
ブティカル　エンコーダであって、基本受光素子の配列
の少くとも１箇所において、基本受光素子の間隔が前記
基準ピッチから、ずれている．本発明の第３の才ブティ力ル　エンコーダは、第１また
は第２のオブティカル　エンコーダにおいて各々の櫛形
受光素子に属する基本受光素子が共通に連結している共
通部を覆って該共通部上に不透明パターンが形成されて
いる。

本発明の第４の才ブティ力ル　エンコーダは、第１ない
し第３のいずれかのオブティ力ル　エンコーダにおいて
受光部は、光の入射方向と、前記移動スリット板の移動
方向とによって定義される平面に対してほぼば垂直の方
向に配列された複数の櫛形受光素子対を含み、そのうち
少くとも２個の櫛形受光素子対は、それぞれの対応する
基本受光素子の位置が、相互に前記基準ピッチの１７４
だけ、前記移動方向にずれるように配置されている。

［作用コ本発明の第１のオブティ力ル　エンコーダにおいて、そ
れぞれの基本受光素子の幅は、可動スリット板のスリッ
ト幅にほぼ等しく、基本受光素子の基準ピッチはスリッ
トのピッチに等しいので、隣接する基本受光素子間の間
隔がすべて基準ピッチに等しい場合には、同じ櫛形受光
素子内の各基本受光素子に生成される受光信号は同位相
である。また櫛形受光素子対を構成する第１、第２の櫛
形受光素子は相互に噛み合って配置され、かつ、移動ス
リット板のスリットの幅と光を遮断する部分の幅は等し
い（スリットのピッチはスリット幅の２倍に等しい）の
で、第１、第２の櫛形受光素子に生成される受光信号（
以下、それぞれ第１、第２の受光信号と記す）は相互に
１８０”の位相差をもつ。その結果、第１、第２の櫛形
受光素子の出力な差動検出すると、第１、第２の櫛形受
光素子間に生成される電気的クロストークは当該差動出
力を増減させるだけで、位相を変化させることはない。

したがって、隣接する基本受光素子の間隔を狭くするこ
とができる。

また、基本受光素子の幅はスリット幅にほぼ等しいから
従来の受光素子（第９図の受光素子）の幅に比べて２倍
になる。したがって、光学的クロストークに対するＳＮ
比が向上する．さらに、櫛形受光素子対の相互に噛合う第１、第２の櫛
形受光素子の共通部を電極に接続することにより、接続
が交差することはなく、平面的な接続をすることができ
る．本発明の第２のオブティカル　エンコーダにおいては、
基本受光素子の配列の少くとも１箇所において、基本受
光素子の間隔が基準ピッチからずれている。したがって
．基準ピッチからずれた配列をもつ基本受光素子の出力
は、基準ピッチで配列する基本受光素子の出力ｃ以下、
基準受光信号と記す）に対して位相がずれる．その結果
、櫛形受光素子の出力は、基準受光信号と、それに対し
て位相がずれた受光信号との重畳になる。したがって、
基本受光素子の配列の基準ピッチからのずれを適当にと
ることにより、基準受光信号（三角波）の形状を、正弦
波に近づけることができる。

本発明の第３のオプティカル　エンコーダにおいては、
共通部上に不透明パターンを形成することにより、櫛形
受光素子が出力する受光信号のオフセットを低減するこ
とができる。

本発明の第４のオブティ力ル　エンコーダは、少くとも
２個の櫛形受光素子対を、いずれか一方の櫛形受光素子
対の第１の櫛形受光素子の基本受光素子の位置が、他方
の対応する基本受光素子の位置に対して、基準ピッチの
１／４だけ、移動スリット板の移動方向にずれるように
配置することにより、相互に９０゜だけ位相が異った２
相エンコーダ信号を生成することができる。

［実施例コ次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明のオブティカル　エンコーダの第１の実
施例の構成図、第２図は第１図の櫛形受光素子対５．６
の構或図、第３図は第２図の櫛形受光素子対５の一部分
の拡大図である。

本実施例のオブティカル　エンコーダは光源ｌ、回転デ
ィスク（移動スリット板）２、受光部４で成る才ブティ
カル　ロータリー　エンコーグ？ある．回転ディスク２は、ビッチｐで円周に沿って配列するス
リット７を備えている。スリット幅はｐ／２である．受
光部４は櫛形受光素子対５．６を含み、それぞれの櫛形
受光素子対５．６は、２つの櫛形受光素子５Ｉおよび５
＊，６ｉおよび６■で成っている．それぞれの櫛形受光
素子の櫛歯に相当する基本受光素子はｐ／２にほぼ等し
い幅（ｐ／２）一δをもち、ビッチｐで回転ディスク２
の回転方向（移動方向）に平行に配列されている。

櫛形受光素子５，，５■は、櫛形受光素子５１の相隣る
基本受光素子例えば５　１１＋　５　１２の間に、櫛形
受光素子５２の基本受光素子５■，がはめ込まれて、相
互に噛合って配置され、基本受光素子５１１と５ｚ＋と
の間隔および基本受光素子５■と５、２との間隔はいず
れもδである．櫛形受光素子６，．６２についても同様
である．櫛形受光素子５■．５２または６１．６■の間
は電気的に絶縁されている。δは、基本受光素子の受光
電流に比べてクロストークによる電流が所定値以上にな
らない範？で充分に小さくとられる。各櫛形受光素子５
，５２　．６＋，６２の基本受光素子が共通に接続して
いる部分すなわち共通部５＋ｃ，５■。＋６ＩＣ，６２
Ｃは、それぞれ電極３ａ，３ａ，３ｂ，３ｂに接続され
ている。また、それぞれの共通部上には不透明パターン
８が形成され、受光信号に不必要な、オフセットが生ず
ることを防止する。櫛形受光素子対５，６は、回転ディ
スク２の移動方向と光の入射方向が定義する平面に垂直
な方向（第２図の上下方向）に配置され、かつ、それぞ
れの対応する基本受光素子例えば５１１と６■が相互に
、回転ディスク２の移動方向にｐ／４だけずれるように
配置されている。

次に本実施例の動作を説明する。

第４図は回転ディスク２の回転角度θに対する、櫛形受
光素子５．，５２，６．，６■の出力特性図である。

回転ディスク２が回転すると、スリット７を通過する光
線束の列によって照射される受光部４の部分（以下、明
線と記す）が移動する。このとき、光線束の列のビッチ
ｐ（したがって明線のピッチ）は基本受光素子のピッチ
に等しいので、同一の櫛形受光素子に含まれるすべての
基本受光素子による受光信号の位相は同一である。また
、δを小さくとると、基本受光素子の幅は、ほぼｐ／２
に等しく、一方、光線束が平行光束とすると、受光部４
上の明線の幅も暗線（光線によって照射されない受光部
４の部分）の幅もｐ／２になる．その結果、同一の櫛形
受光素子対の櫛形受光素子が出力する受光信号３ａと３
ａ，３ｂと３ｂの位相は１８０゜異る。したがって、受
光信号３ａと３ａ，３ｂと３ｂを差動増幅すると、ＳＮ
比の高い第１，第２のエンコーダ信号が得られる．また
、櫛形受光素子対５，６の対応する基本受光素子の位置
は、回転ディスク２の移動方向にｐ／４だけずれている
ので、第■．第２のエンコーダ信号の位相は９０″だけ
ずれている。したがって、第１．第２のエンコーダ信号
は、２相エンコーダ信号として、回転ディスク２の回転
角度および回転の向きの検出に用いることができる。

？上の記述は、光線束が平行光束である場合であるが、
実際には、寄生入射による光学的クロストークおよび電
気的クロストークが生じ、第４図の点線で表されている
ように受光信号のピークは低下する。しかし、位相は変
化しない。

本実施例は、櫛形受光素子対が２個の場合の例であるが
、さらに１回転中に１つのパルス（原点信号）や、モー
タの磁極の位置信号（ボール信号）が必要な場合には、
それに対応する櫛形受光素子対が付加される。また、ア
ブソリュート　エンコーグとして使用する場合には、十
数個の櫛形受光素子対が使用される。

第５図（ａ）は本発明のオブティカル　エンコーダの第
２の実施例の櫛形受光素子対９の一部分の拡大図、第５
図（ｂ）は、回転ディスクの回転角度に対する、第５図
（ａ）の櫛形受光素子９１の出力特性図である。

本実施例においては、櫛形受光素子９１．９■の基本受
光素子の配列のうち、基本受光素子９Ｉ■と９■ｇ＋９
＋ｓと９■４および基本受光素子９２１と？２２との間
隔が、ｐ−ｇで、基本受光素子９，２と９１，および基
本受光素子９■２と９■，との間隔がｐ＋εであり、他
の基本受光素子間の間隔は基準ビッチｐに等しい。した
がって、櫛形受光素子対９，の出力は、基準ビッチρで
配列する基本受光素子の出力（第４図（ｂ）の１で示さ
れた波形）に、±（ε／ｐ）ｘ３６０゜だけ、位相が異
った受光信号（第４図（ｂ）の２で示された波形）が重
畳され、第５図（ｂ）の波形３に示されているように、
正弦波に近い丸味を帯びた信号が生成される。この信号
は、アナログ　エンコーダ信号としても使用することが
できろ。その他の構成および作用については、第２図の
櫛形受光素子対と同様である。

［発明の効果］以上説明したように本発明は一対の櫛形受光素子を相互
に噛合せて、それぞれの櫛形受光素子の出力の位相差が
１８０’になるように櫛形受光素子の形状を定めること
により次の効果を有する。

ｌ）基本受光素子への光の寄生入射や基本受光素子間の
漏洩電流によるクロストークによって受光電流の位相が
変化することがないので高精度の計測ができる。また、
基本受光素子間の間隔を狭くすることができるので、半
導体基板の面積が少くてすみ、コストを下げることがで
きる。

２）同一の分解能を実現するために必要な基本受光素子
の幅が従来の２倍になるので漏洩電流に対して受光電流
が大きくなり、製造が容易になる。

３）各櫛形受光素子の基本受光素子の配列の少くとも一
部の基本受光素子間隔を基準ピッチからずらすことによ
り、正弦波に近い受光信号を生成することができ、それ
によって、アナログ出力のエンコーダ信号を生成するこ
とができる．４）各櫛形受光素子の共通部上に不透明パ
ターンを形成することにより、出力信号のオフセットを
低減させることができる。

５）２つの櫛形受光素子対の位置をスリットの移動方向
にずらせることにより、位相が相互に９０’ずれた２相
エンコーダ信号を生成することができる。このとき、各
々の櫛形受光素子の共通部に電極を接続することにより
、交差のない配線が可能になり、その結果、配線工程が
簡単になる。

【図面の簡単な説明】

第■図は本発明のオブティカル　エンコーダの第１の実
施例の構或図、第２図は第１図の櫛形受光素子対５．６
の構成図、第３図は第２図の櫛形受光素子対５の一部分
の拡大図、第４図は回転ディスク２の回転角度に対する
櫛形受光素子５＋，５ｚ．６１．６２の出力特性図、第
５図（ａ）は本発明のオブティカル　エンコーダの第２
の実施例の櫛形受光素子対９の一部分の拡大図、第５図
（ｂ）は、回転ディスクの回転角度に対する、第５図（
ａ）の櫛形受光素子９ｌの出力特性図、第６図は従来の
オブティカル　エンコーダの構成例を示す図、第７図（
Ａ）は第６図のオブティカル　エンコーダの固定スリッ
ト板２３のスリットの配置を示し、第７図（Ｂ）は第６
図のオブティカル　エンコーダの受光部２４の構成を示
す図、第８図は、第６図の受光部２４の受光？子の、回
転ディスク２４の回転角度に対する出力特性図、第９図
は固定スリット板を除いたオブティ力ル　エンコーダの
要部の構成を示す図である。１・・・光源、２・・・回転ディスク（移動スリット板）、３ａ，３ａ
，３ｂ．３ｂ−電極、４・・・受光部、５．６・・・櫛形受光素子対、５１．５■・・・櫛形受光素子、５＋＋，５＋■，５．，，５■１，５■２１　５２３・
・・基本受光素子、５，ｃ，５■０・・・共通部、９１．９■・・・櫛形受光素子、９■・９１２・９　＋１　９　１４．　９ｚ＋．　９２
１　９２３゜”基本受光素子。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一定のスリット幅をもち、当該スリット幅の２倍
のピッチで移動方向に配列するスリットを有する移動ス
リット板と、前記移動スリット板を照射する光源と、前
記スリットを通過した光を受け、移動スリット板の移動
に対応するエンコーダ信号を生成する受光部を備えたオ
プティカルエンコーダにおいて、前記受光部は、少くとも１対の第１、第２の櫛形受光素
子で成る櫛形受光素子対を含み、各櫛形受光素子の櫛歯
に相当する基本受光素子は、前記スリット幅にほぼ等し
い幅をもち、かつ、前記スリットのピッチと同じ基準ピ
ッチで前記移動スリット板の移動方向に平行に配列され
ており、第１、第２の櫛形受光素子は、第１の櫛形受光
素子の相隣る基本受光素子の間に第２の櫛形受光素子の
基本受光素子がはめ込まれて相互に噛合って配置され、
かつ、相互に電気的に絶縁されていることを特徴とする
オプティカルエンコーダ。
（２）前記基本受光素子の配列の少くとも１箇所におい
て、基本受光素子の間隔が前記基準ピッチからずれてい
る、請求項１に記載のオプティカルエンコーダ。
（３）各々の櫛形受光素子に属する基本受光素子が共通
に連結している共通部を覆って該共通部上に不透明パタ
ーンが形成されている、請求項１または２に記載のオプ
ティカルエンコーダ。
（４）前記受光部は、光の入射方向と、前記移動スリッ
ト板の移動方向とによって定義される平面に対してほぼ
ば垂直の方向に配列された複数の櫛形受光素子対を含み
、そのうち少くとも２個の櫛形受光素子対は、それぞれ
の対応する基本受光素子の位置が、相互に前記基準ピッ
チの１／４だけ、前記移動方向にずれるように配置され
ている請求項１ないし３のいずれか１項に記載のオプテ
ィカルエンコーダ。