JPH06313719A - ロータリエンコーダ - Google Patents
ロータリエンコーダInfo
- Publication number
- JPH06313719A JPH06313719A JP9109093A JP9109093A JPH06313719A JP H06313719 A JPH06313719 A JP H06313719A JP 9109093 A JP9109093 A JP 9109093A JP 9109093 A JP9109093 A JP 9109093A JP H06313719 A JPH06313719 A JP H06313719A
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- JP
- Japan
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- light emitting
- rotor
- light receiving
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】２周期以上の誤差成分をも取り除くことによ
り、高精度のエンコーダを提供することを目的とする。 【構成】検出用のコードパターンと、そのコードパター
ンを読み取るための発光素子及び受光素子とを有するロ
ータリエンコーダにおいて、発光素子１６、コードパタ
ーン１４ａ〜１４ｈ及び受光素子２０〜２７からなる受
発光ユニットを少くとも複数組円周上に配置し、かつそ
れぞれのユニットは円周上をユニット数で分割された略
等間隔となる位置に配設されることを特徴とするロータ
リエンコーダ。
り、高精度のエンコーダを提供することを目的とする。 【構成】検出用のコードパターンと、そのコードパター
ンを読み取るための発光素子及び受光素子とを有するロ
ータリエンコーダにおいて、発光素子１６、コードパタ
ーン１４ａ〜１４ｈ及び受光素子２０〜２７からなる受
発光ユニットを少くとも複数組円周上に配置し、かつそ
れぞれのユニットは円周上をユニット数で分割された略
等間隔となる位置に配設されることを特徴とするロータ
リエンコーダ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、機械の回転位置及び速
度等を検出するために用いるインクリメンタル式のエン
コーダに関する。
度等を検出するために用いるインクリメンタル式のエン
コーダに関する。
【０００２】
【従来技術】一般に、エンコーダはアブソリュート式と
インクリメンタル式に分類される。アブソリュート式は
信頼性が高い反面、構造が複雑で高価である。そこで、
構造が簡単で安価なインクリメンタル式のエンコーダが
広く利用されている。従来の光学式インクリメンタルロ
ータリエンコーダの構成を図６（ａ）（ｂ）に示す。ロ
ータ１は回転軸２に取り付けられており、その表面上を
等間隔のピッチで放射状に明暗パターン１ａが刻まれて
いる。このロータ１と平行にごくわずかの隙間をおい
て、ロータ１と等しいピッチの明暗パターン３ａが刻ま
れたステータ３が配設されている。ロータ１とステータ
３とをはさむようにして、一方側に発光ダイオード（Ｌ
ＥＤ）等を用いた発光素子（光源）４と、発光素子４か
らの光束を平行光束にするコリメータレンズ５が、他方
側に受光素子６が、それぞれ配設されている。
インクリメンタル式に分類される。アブソリュート式は
信頼性が高い反面、構造が複雑で高価である。そこで、
構造が簡単で安価なインクリメンタル式のエンコーダが
広く利用されている。従来の光学式インクリメンタルロ
ータリエンコーダの構成を図６（ａ）（ｂ）に示す。ロ
ータ１は回転軸２に取り付けられており、その表面上を
等間隔のピッチで放射状に明暗パターン１ａが刻まれて
いる。このロータ１と平行にごくわずかの隙間をおい
て、ロータ１と等しいピッチの明暗パターン３ａが刻ま
れたステータ３が配設されている。ロータ１とステータ
３とをはさむようにして、一方側に発光ダイオード（Ｌ
ＥＤ）等を用いた発光素子（光源）４と、発光素子４か
らの光束を平行光束にするコリメータレンズ５が、他方
側に受光素子６が、それぞれ配設されている。
【０００３】このエンコーダによれば、ロータ１が１ピ
ッチ回転するごとに生ずる周期的な明暗変化を受光素子
６によって電気信号に変え、正弦波信号として取り出
す。次に、取り出した信号を波形整形回路によって矩形
波信号７に整形する（図７）。そして、ロータ２の回転
角に対応した矩形波信号７を計数することにより回転角
を決定する。また、このようなエンコーダではロータ１
の回転軸２に対する偏心誤差成分（図８（ａ））を消去
するため、ステータ３に明暗パターンと同一のパターン
３ｂを１８０°対向位置に刻み、さらにそれぞれに前述
と同様な構成の発光素子４，コリメータレンズ５，受光
素子６が配設される。そして、これら２組の電気信号
（図８（ｂ））の和をとることにより偏心誤差成分を消
去している（図８（ｃ））。
ッチ回転するごとに生ずる周期的な明暗変化を受光素子
６によって電気信号に変え、正弦波信号として取り出
す。次に、取り出した信号を波形整形回路によって矩形
波信号７に整形する（図７）。そして、ロータ２の回転
角に対応した矩形波信号７を計数することにより回転角
を決定する。また、このようなエンコーダではロータ１
の回転軸２に対する偏心誤差成分（図８（ａ））を消去
するため、ステータ３に明暗パターンと同一のパターン
３ｂを１８０°対向位置に刻み、さらにそれぞれに前述
と同様な構成の発光素子４，コリメータレンズ５，受光
素子６が配設される。そして、これら２組の電気信号
（図８（ｂ））の和をとることにより偏心誤差成分を消
去している（図８（ｃ））。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した偏心誤差成分
はロータ１回転につき１周期の正弦波形（図７（ａ））
を示し、全体の誤差量の大部分を占める。しかし、高精
度のエンコーダを実現するにはスケール誤差や分度盤の
面振れなどにより発生する２周期以上の誤差成分を無視
できなくなってくる。そこで、本発明は上記の問題点に
鑑み、２周期以上の誤差成分をも取り除くことにより、
高精度のエンコーダを提供することを目的とする。
はロータ１回転につき１周期の正弦波形（図７（ａ））
を示し、全体の誤差量の大部分を占める。しかし、高精
度のエンコーダを実現するにはスケール誤差や分度盤の
面振れなどにより発生する２周期以上の誤差成分を無視
できなくなってくる。そこで、本発明は上記の問題点に
鑑み、２周期以上の誤差成分をも取り除くことにより、
高精度のエンコーダを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のロータリエンコ
ーダは、上記課題を解決するために、検出用のコードパ
ターンと、そのコードパターンを読み取るための発光素
子及び受光素子とを有し、発光素子、コードパターン及
び受光素子からなる受発光ユニットを少くとも複数組円
周上に配置し、かつそれぞれのユニットは円周上をユニ
ット数で分割された略等間隔となる位置に配設される。
ーダは、上記課題を解決するために、検出用のコードパ
ターンと、そのコードパターンを読み取るための発光素
子及び受光素子とを有し、発光素子、コードパターン及
び受光素子からなる受発光ユニットを少くとも複数組円
周上に配置し、かつそれぞれのユニットは円周上をユニ
ット数で分割された略等間隔となる位置に配設される。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、本発明に係る光学式インクリメンタル
ロータリエンコーダの断面図を示している。エンコーダ
の回転軸１１は軸受１２に嵌合しており、軸方向に作用
するスラスト荷重は、回転軸１１と軸受１２との間に配
設されたボールベアリング１３で受けている。回転軸１
１のフランジ部にはステータ１４が取付けられており、
また、軸受１２のフランジ部にはロータ１５が取付けら
れている。ステータ１４とロータ１５の隙間は両者が接
触しない程度に小さくしてある。発光素子１６，その発
光素子１６からの光束を平行光にするコリメータレンズ
１７はホルダ１８の内部に取付けられている。ホルダ１
８の先端部は回転軸１１のフランジ先端部に懸架されて
いる。各受光素子２０はプリント基板１９を介して回転
軸１１上に取付けられている。
明する。図１は、本発明に係る光学式インクリメンタル
ロータリエンコーダの断面図を示している。エンコーダ
の回転軸１１は軸受１２に嵌合しており、軸方向に作用
するスラスト荷重は、回転軸１１と軸受１２との間に配
設されたボールベアリング１３で受けている。回転軸１
１のフランジ部にはステータ１４が取付けられており、
また、軸受１２のフランジ部にはロータ１５が取付けら
れている。ステータ１４とロータ１５の隙間は両者が接
触しない程度に小さくしてある。発光素子１６，その発
光素子１６からの光束を平行光にするコリメータレンズ
１７はホルダ１８の内部に取付けられている。ホルダ１
８の先端部は回転軸１１のフランジ先端部に懸架されて
いる。各受光素子２０はプリント基板１９を介して回転
軸１１上に取付けられている。
【０００７】図２は、本発明に係るロータリエンコーダ
の受発光ユニットの配置を概略的に示す斜視図である。
ステータ１４には４５°間隔で等分に８個の明暗パター
ン１４ａ〜１４ｈが刻まれている。それぞれの明暗パタ
ーンに対応して、発光素子１６、コリメータレンズ１
７、受光素子２０〜２７からなる受発光ユニットが８個
同心状に配置されている。したがって、互いに対向に位
置する２組の受発光ユニットを１対として、これが４５
°間隔で４対設けられていることになる。なお、ステー
タ１４に明暗パターンが等間隔に配置されているのは、
ロータ１５の回転に対する周期的な誤差成分を取り除く
のに最も効果が得られるからである。なお、受光素子２
０は、互いに９０°の位相差を有した正弦波信号を得ら
れるように、２つの部分２０ａ，２０ｂから構成されて
いる（図５参照）。受光素子２１〜２７についても同様
な構成となっている。
の受発光ユニットの配置を概略的に示す斜視図である。
ステータ１４には４５°間隔で等分に８個の明暗パター
ン１４ａ〜１４ｈが刻まれている。それぞれの明暗パタ
ーンに対応して、発光素子１６、コリメータレンズ１
７、受光素子２０〜２７からなる受発光ユニットが８個
同心状に配置されている。したがって、互いに対向に位
置する２組の受発光ユニットを１対として、これが４５
°間隔で４対設けられていることになる。なお、ステー
タ１４に明暗パターンが等間隔に配置されているのは、
ロータ１５の回転に対する周期的な誤差成分を取り除く
のに最も効果が得られるからである。なお、受光素子２
０は、互いに９０°の位相差を有した正弦波信号を得ら
れるように、２つの部分２０ａ，２０ｂから構成されて
いる（図５参照）。受光素子２１〜２７についても同様
な構成となっている。
【０００８】図３は本発明に係る信号処理系のブロック
図を示している。受光素子２０ａ、２０ｂより得られる
互いに９０°の位相差を有した正弦波信号及び余弦波信
号は、増幅された後、矩形波変換回路３０、３１で、矩
形波に変換される。さらにパルス変換回路５０、５１で
パルスに変換された後、カウンタ３６にて計数される。
また各々の矩形波は方向弁別回路３４で回転方向を判定
し回転方向によりカウンタ３６の増減のコントロールを
行っている。受光素子２０ａ、２０ｂと対向位置にある
受光素子２１ａ、２１ｂより得られる信号も全く同様に
処理されカウンタ３７にて計数される。さらに受光素子
２０ａ、２０ｂにより得られる正弦波信号及び余弦波信
号は、内挿回路４０にてパルス内を細分化される。この
内挿回路は各々の受光素子２１〜２７より得られる信号
に対しても同様に内挿回路４１〜４７で精測定が行なわ
れる。
図を示している。受光素子２０ａ、２０ｂより得られる
互いに９０°の位相差を有した正弦波信号及び余弦波信
号は、増幅された後、矩形波変換回路３０、３１で、矩
形波に変換される。さらにパルス変換回路５０、５１で
パルスに変換された後、カウンタ３６にて計数される。
また各々の矩形波は方向弁別回路３４で回転方向を判定
し回転方向によりカウンタ３６の増減のコントロールを
行っている。受光素子２０ａ、２０ｂと対向位置にある
受光素子２１ａ、２１ｂより得られる信号も全く同様に
処理されカウンタ３７にて計数される。さらに受光素子
２０ａ、２０ｂにより得られる正弦波信号及び余弦波信
号は、内挿回路４０にてパルス内を細分化される。この
内挿回路は各々の受光素子２１〜２７より得られる信号
に対しても同様に内挿回路４１〜４７で精測定が行なわ
れる。
【０００９】図４は本発明による内挿方法の一例を説明
するための正弦波信号（余弦波信号）の波形図である。
受光素子２０ａ、２０ｂより得られた正弦波信号Ａ及び
余弦波信号Ｂより、正弦波Ａに対しそれぞれ４５°、１
３５°、１８０°の位相差の波形Ｃ、Ｄ、Ｅを作る。さ
らに正弦波Ａを８つの部分に分割し、各部分で、直線近
似と見なせる中心付近の波形を用いて中心からの距離の
比により内挿を行っている。図４の例においては、θの
位置にいる場合、８分割中の第３番目の位置にあり、正
弦波波形のＢとＤを用い、ａ：ｂの比により内挿を行っ
ている図３の内挿回路４０〜４７で得られた内挿値は、
マルチプレクサ４８を通して、マイクロコンピュータ３
８に読み込まれ、平均化処理により精測定値とされカウ
ンタ３６、３７より得られた値とともに処理され、角度
変換された後表示器３９に表示される。
するための正弦波信号（余弦波信号）の波形図である。
受光素子２０ａ、２０ｂより得られた正弦波信号Ａ及び
余弦波信号Ｂより、正弦波Ａに対しそれぞれ４５°、１
３５°、１８０°の位相差の波形Ｃ、Ｄ、Ｅを作る。さ
らに正弦波Ａを８つの部分に分割し、各部分で、直線近
似と見なせる中心付近の波形を用いて中心からの距離の
比により内挿を行っている。図４の例においては、θの
位置にいる場合、８分割中の第３番目の位置にあり、正
弦波波形のＢとＤを用い、ａ：ｂの比により内挿を行っ
ている図３の内挿回路４０〜４７で得られた内挿値は、
マルチプレクサ４８を通して、マイクロコンピュータ３
８に読み込まれ、平均化処理により精測定値とされカウ
ンタ３６、３７より得られた値とともに処理され、角度
変換された後表示器３９に表示される。
【００１０】さらにマイクロコンピュータ３８は精測定
のための発光素子の点滅をコントロールしている。図４
で説明したように、精測定は波形の比により行なわれる
ので、常に検知する必要がなく、パルス点灯による測定
またはエンコーダの回転が止った時のみパルス点灯によ
り測定することになる。本実施例において、精測定は内
挿値を求めた後マルチプレクサ４８を通してマイクロコ
ンピュータ３８に読み込まれているが、精測定のための
各信号をマルチプレクサを通して、１つの内挿回路に取
り込みそれぞれの内挿値を求めることもできる。また各
々の正弦波及び余弦波どうしを合成した後、内挿回路で
内挿値を求めることもできる。この場合、波形の合成が
平均化と同等であり、さらに信号合成により、得られる
信号が大きくなるという利点もある。
のための発光素子の点滅をコントロールしている。図４
で説明したように、精測定は波形の比により行なわれる
ので、常に検知する必要がなく、パルス点灯による測定
またはエンコーダの回転が止った時のみパルス点灯によ
り測定することになる。本実施例において、精測定は内
挿値を求めた後マルチプレクサ４８を通してマイクロコ
ンピュータ３８に読み込まれているが、精測定のための
各信号をマルチプレクサを通して、１つの内挿回路に取
り込みそれぞれの内挿値を求めることもできる。また各
々の正弦波及び余弦波どうしを合成した後、内挿回路で
内挿値を求めることもできる。この場合、波形の合成が
平均化と同等であり、さらに信号合成により、得られる
信号が大きくなるという利点もある。
【００１１】さらにここでは、８組の受発光素子の例で
説明したが、ロータリエンコーダにおける誤差成分の主
要因は、偏心、スケール誤差分度盤の面振れ等、２周期
成分以下の要因が多く、これらを取り除くためには、４
組の受発光素子で、十分対応できる。
説明したが、ロータリエンコーダにおける誤差成分の主
要因は、偏心、スケール誤差分度盤の面振れ等、２周期
成分以下の要因が多く、これらを取り除くためには、４
組の受発光素子で、十分対応できる。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、次のような優れた効果
を発揮する。 （１）従来技術により取り除かれていた回転軸に対する
ロータの偏心誤差に加え、スケール誤差やロータの面振
れなどによる誤差が取り除かれるため、測角精度を向上
させ、高精度のエンコーダを得ることができる。 （２）従来、測量作業においてセオドライトなどを用い
る場合、鉛直軸のスケール誤差などを取り除くために２
対回以上の観察を行っているが、本発明を用いれば、こ
の対回観測が不要になる。例えば、前述の実施例で示し
た８組の受発光素子をロータに等分配置した場合、測量
作業の４対回観測に相当し、作業の省力化が図れる。
を発揮する。 （１）従来技術により取り除かれていた回転軸に対する
ロータの偏心誤差に加え、スケール誤差やロータの面振
れなどによる誤差が取り除かれるため、測角精度を向上
させ、高精度のエンコーダを得ることができる。 （２）従来、測量作業においてセオドライトなどを用い
る場合、鉛直軸のスケール誤差などを取り除くために２
対回以上の観察を行っているが、本発明を用いれば、こ
の対回観測が不要になる。例えば、前述の実施例で示し
た８組の受発光素子をロータに等分配置した場合、測量
作業の４対回観測に相当し、作業の省力化が図れる。
【図１】本発明の光学式インクリメンタルロータリエン
コーダの構成を示す断面図である。
コーダの構成を示す断面図である。
【図２】本発明の光学式インクリメンタルロータリエン
コーダの構成を示す斜視図である。
コーダの構成を示す斜視図である。
【図３】信号処理系のブロック図である。
【図４】内挿方法の一例を示す説明図である。
【図５】受光素子の内部の構成を概略的に示す斜視図で
ある。
ある。
【図６】（ａ）は従来の光学式インクリメンタルロータ
リエンコーダの構成を示す斜視図、（ｂ）は説明図であ
る。
リエンコーダの構成を示す斜視図、（ｂ）は説明図であ
る。
【図７】受光素子によって取り出された正弦波信号を波
形整形回路によって整形した矩形波信号を示す。
形整形回路によって整形した矩形波信号を示す。
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）は偏心誤差成分の消去を説
明するための波形図である。
明するための波形図である。
１１…回転軸 １２…軸受 １３…ボールベアリング １４…ステータ １４ａ〜１４ｈ…明暗パターン １５…ロータ １６…発光素子 １７…コリメータレンズ １８…ホルダ １９…プリント基板 ２０〜２７…受光素子 ４０…内挿回路
Claims (2)
- 【請求項１】 検出用のコードパターンと、そのコード
パターンを読み取るための発光素子及び受光素子とを有
するロータリエンコーダにおいて、 発光素子、コードパターン及び受光素子からなる受発光
ユニットを少くとも複数組円周上に配置し、かつそれぞ
れのユニットは円周上をユニット数で分割された略等間
隔となる位置に配設されることを特徴とするロータリエ
ンコーダ。 - 【請求項２】 前記受発光ユニットのうち１対の対向位
置に配置された２つの受発光ユニットは主測定すなわち
粗測定に用いられ、残りの受発光ユニットは精測定に用
いられ、精測定においてはパルス点灯による測定あるい
はパルス点灯による測定でかつロータリエンコーダの回
転が止まった時のみ測定を行うことを特徴とした請求項
１に記載のロータリエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09109093A JP3195117B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | ロータリエンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09109093A JP3195117B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | ロータリエンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06313719A true JPH06313719A (ja) | 1994-11-08 |
| JP3195117B2 JP3195117B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=14016831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09109093A Expired - Lifetime JP3195117B2 (ja) | 1993-04-19 | 1993-04-19 | ロータリエンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3195117B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007120970A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Seiko Epson Corp | 位置計測装置及び位置計測方法 |
| WO2007111261A1 (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-04 | Pioneer Corporation | 電子ビーム記録装置及びビーム調整方法 |
| JPWO2005095898A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2008-02-21 | 三菱電機株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
| JP2008197035A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Canon Inc | 回転角度検出装置 |
| JP2009204495A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Canon Inc | 位置検出装置及びそれを利用した装置 |
| JP2010501857A (ja) * | 2006-08-21 | 2010-01-21 | ジーエスアイ・グループ・コーポレーション | 共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ |
| JP2011058941A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Ricoh Co Ltd | 回転速度検出用パルス発生装置、回転体モジュール、回転速度制御装置及び画像形成装置 |
| CN102128636A (zh) * | 2010-12-22 | 2011-07-20 | 王四明 | 垂直度盘偏心校正方法 |
| JP2013024757A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Mitsutoyo Corp | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 |
| CN104718433A (zh) * | 2012-10-26 | 2015-06-17 | 西铁城千叶精密株式会社 | 位置转换器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4005096B2 (ja) | 2005-11-29 | 2007-11-07 | ファナック株式会社 | エンコーダの信号処理回路 |
-
1993
- 1993-04-19 JP JP09109093A patent/JP3195117B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4531750B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2010-08-25 | 三菱電機株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
| JPWO2005095898A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2008-02-21 | 三菱電機株式会社 | 光学式ロータリーエンコーダ |
| JP2007120970A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Seiko Epson Corp | 位置計測装置及び位置計測方法 |
| WO2007111261A1 (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-04 | Pioneer Corporation | 電子ビーム記録装置及びビーム調整方法 |
| JPWO2007111261A1 (ja) * | 2006-03-27 | 2009-08-13 | パイオニア株式会社 | 電子ビーム記録装置及びビーム調整方法 |
| JP4918593B2 (ja) * | 2006-08-21 | 2012-04-18 | ジーエスアイ・グループ・コーポレーション | 共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ |
| JP2010501857A (ja) * | 2006-08-21 | 2010-01-21 | ジーエスアイ・グループ・コーポレーション | 共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ |
| JP2008197035A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Canon Inc | 回転角度検出装置 |
| JP2009204495A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Canon Inc | 位置検出装置及びそれを利用した装置 |
| JP2011058941A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Ricoh Co Ltd | 回転速度検出用パルス発生装置、回転体モジュール、回転速度制御装置及び画像形成装置 |
| CN102128636A (zh) * | 2010-12-22 | 2011-07-20 | 王四明 | 垂直度盘偏心校正方法 |
| JP2013024757A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Mitsutoyo Corp | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 |
| CN104718433A (zh) * | 2012-10-26 | 2015-06-17 | 西铁城千叶精密株式会社 | 位置转换器 |
| EP2835617A4 (en) * | 2012-10-26 | 2016-01-06 | Citizen Chiba Prec Co Ltd | POSITION TRANSDUCER |
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