JP2013024757A - 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 - Google Patents
目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013024757A JP2013024757A JP2011160609A JP2011160609A JP2013024757A JP 2013024757 A JP2013024757 A JP 2013024757A JP 2011160609 A JP2011160609 A JP 2011160609A JP 2011160609 A JP2011160609 A JP 2011160609A JP 2013024757 A JP2013024757 A JP 2013024757A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- detectors
- scale error
- fourier component
- error
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 28
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 3
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 241000669069 Chrysomphalus aonidum Species 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】目盛誤差算出装置4は、回転軸22に支持された目盛盤2、及び目盛盤2に配設された4つの検出器3とを備えた目盛誤差校正装置1に用いられる。この目盛誤差算出装置4は、4つの検出器3で検出された各検出値に所定の係数をそれぞれ掛けて線形和を演算する検出値合成手段41と、検出値合成手段41にて演算された線形和のフーリエ成分に基づいて、目盛誤差のフーリエ成分を同定するフーリエ成分同定手段42とを備える。
【選択図】図1
Description
ロータリーエンコーダは、基本構成として、例えば外周部分に数百から数十万本の径方向の目盛線からなる目盛パターンが刻まれた円形の目盛盤と、この目盛盤に配設されて目盛盤の回転に伴って通り過ぎる目盛線を計数する検出器とを備える。
このようなロータリーエンコーダでは、目盛盤を測定対象の回転部分に連動するように設置し、測定対象の回転に伴って検出器で通過した目盛数を計数することで、測定対象の回転角(目盛盤の回転角)を検出する。
したがって、上記のような目盛線に基づいて検出された検出器の検出値には、誤差(以下、目盛誤差と記載)が含まれたものとなる。
そして、従来では、目盛誤差を校正する方法として等分割平均法が用いられている(例えば、非特許文献1参照)。
従来の目盛誤差校正装置100では、図4に示すように、同一の回転軸220上に配置された校正用の目盛盤200Aと、参照用の目盛盤200Bとが用いられる。
ここで、校正用の目盛盤200Aの外周には、当該目盛盤200Aの目盛パターン210に対向して、第1の検出器300Aが1つ配設されている。
また、参照用の目盛盤200Bの外周には、当該目盛盤200Bの目盛パターン210に対向して、目盛盤200Bの円周方向に沿って等角度間隔で第2の検出器300Bが複数(図4の例では6つ)配設されている。
そして、目盛誤差校正装置100を構成する演算装置(図示略)は、第1の検出器300Aの検出値と、各第2の検出器300Bの検出値との差をそれぞれ算出し、当該算出した各差の平均値を目盛誤差として算出し、当該目盛誤差を用いて第1の検出器300Aの検出値を校正する。
したがって、高次成分まで成分の抜けがない精度の高い目盛誤差を算出するためには等角度間隔に配設する検出器(第2の検出器300B)の数を多くせざるを得ない。
しかしながら、目盛盤のサイズの制約により、配設可能な検出器の数は限られるため、実用において高次成分を同定することは難しいものである。
したがって、検出器の数を最小限にとどめながら、高次成分まで成分の抜けがない精度の高い目盛誤差を算出できる。
ところで、検出器の検出値は、目盛盤の回転角に対して、目盛誤差の他、回転時の目盛盤の振れによる誤差(以下、運動誤差と記載)が含まれたものである。すなわち、検出値合成手段にて演算された線形和は、目盛盤の回転角に関する項、目盛誤差に関する項、運動誤差に関する項で構成されることとなる。
本発明では、係数が上述したように設定されているので、線形和から目盛盤の回転角及び運動誤差に関する項を排除でき、当該線形和のフーリエ成分と目盛誤差のフーリエ成分とを比較することで、目盛誤差のフーリエ成分を同定できる。
本発明では、目盛誤差校正装置は、上述した目盛誤差算出装置を備えるので、上述した目盛誤差算出装置と同様の作用及び効果を享受できる。
また、算出した精度の高い目盛誤差を用いれば、目盛盤の回転角を、目盛誤差のない角度として良好に算出できる。
しかしながら、校正用の目盛盤200Aについては、第1の検出器300Aが1つのみ配設されているので、第1の検出器300Aの検出値には、目盛誤差の他、校正用の目盛盤200Aの回転時の振れ(運動誤差)が含まれることとなる。
したがって、目盛誤差を用いて第1の検出器300Aの検出値を校正しても、運動誤差が残ることとなり、校正用の目盛盤200Aの回転角を良好に算出できない。
したがって、目盛盤の回転機構にそれほど高い精度が要求されず、目盛誤差校正装置を製造するにあたって、コストを低減できる。
本発明の目盛誤差算出方法は、上述した目盛誤差校正装置で用いられる方法であるので、上述した目盛誤差校正装置と同様の作用及び効果を享受できる。
〔目盛誤差校正装置の構成〕
図1は、本実施形態における目盛誤差校正装置1の構成を示す模式図である。
目盛誤差校正装置1は、ロータリーエンコーダで構成され、図1に示すように、目盛盤2と、検出器3と、演算装置4等を備える。
目盛盤2は、外周に沿って目盛パターン21が形成された円盤状に形成され、回転軸22により回転可能に軸支されている。
目盛パターン21は、具体的な図示は省略したが、目盛盤2の径方向に沿って延びる微細な目盛線で構成されている。
本実施形態では、検出器3は、図1に示すように、目盛盤2の外周に沿って4つ配設されている。そして、4つの検出器3の出力は、4系統の内挿分割器5及びカウンタ6を経て演算装置4に接続されている。
なお、カウンタ6には、外部からラッチ信号及び初期化信号6Aが入力され、それぞれ現在カウント数の読取処理及びカウンタのゼロリセット処理が行われる。
この演算装置4は、指定されたプログラムに基づく処理を実行するコンピュータシステムにより構成され、図示しない入力装置からの外部操作を受けるとともに、出力装置に対して信号出力または映像出力を行うことができる。
すなわち、演算装置4は、本発明の目盛誤差算出装置としても機能するものであり、図1に示すように、検出値合成手段41と、フーリエ成分同定手段42とを備える。
検出値合成手段41は、各検出器3にて検出された各検出値に所定の係数をそれぞれ掛けて線形和を演算する。
フーリエ成分同定手段42は、検出値合成手段41にて演算された線形和のフーリエ成分に基づいて、目盛誤差のフーリエ成分を同定する。
次に、演算装置4による目盛誤差算出方法について説明する。
図2は、目盛誤差算出方法を説明するフローチャートである。
図3は、目盛誤差算出方法を説明するための図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図3に示すように、4つの検出器3を、第1〜第4検出器3A〜3Dとする。また、回転軸22に直交する平面内において、互いに直交する2つの軸をX軸及びY軸とする。
そして、第1検出器3Aは、図3に示すように、X軸上に配設されているものとする。また、第2〜第4検出器3B〜3Dは、第1検出器3Aの配設位置から目盛盤2の外周に沿って不等ピッチ(不等角度間隔)となるように配設されている。
また、第1〜第4検出器3A〜3Dの配設位置として、X軸からの角度をそれぞれα1〜α4とする。なお、第1検出器3Aの配設位置(角度:α1)は、上述したようにX軸上に配設されていることから、「0」である。
ここで、第1〜第4検出器3の各検出値m1(θ)〜m4(θ)は、以下の式(1)のように表すことができる。
また、目盛誤差ω(φ)は、以下の式(2)で表されるものとする。
具体的に、係数a1〜a4は、以下の式(4)を満たすように設定されている。
なお、以下の式(4)から、係数a1〜a4は、一意には定まらないので、全てが「0」にならないように、例えば、係数a1=−1等とする。
具体的に、演算装置4は、式(5)で表される線形和mT(θ)をフーリエ級数展開し、以下の式(6)を得る。
具体的に、式(4)の第2式を展開すると以下の式(9)が成り立つことから、k=±1のとき、式(8)の分母が「0」となり、すなわち、1次のフーリエ成分C1を同定することができないものとなる。
具体的に、第1〜第4検出器3A〜3DをK等分角上に配設した場合、第1〜第4検出器3A〜3Dの配設位置α1〜α4は、以下の式(10)で表すことができる。
なお、第1検出器3Aの配設位置α1は、上述したように、「0」である。
本実施形態では、演算装置4は、検出値合成手段41及びフーリエ成分同定手段42を備える。すなわち、演算装置4は、4つの検出器3A〜3Dの各検出値m1(θ)〜m4(θ)に所定の係数a1〜a4をそれぞれ掛けて演算した線形和mT(θ)のフーリエ成分Gkと目盛誤差ω(φ)のフーリエ成分Ckとを比較して、目盛誤差ω(φ)のフーリエ成分Ckを同定できる。
したがって、検出器3の数を最小限にとどめながら、高次成分まで成分の抜けがない精度の高い目盛誤差ω(φ)を算出できる。
また、目盛盤2に対して4つの検出器3A〜3Dが配設されているので、4つの検出器3A〜3Dの各検出値m1(θ)〜m4(θ)を用いれば、目盛盤2の回転角θを、運動誤差c(θ)のない角度としても良好に算出できる。
このため、目盛盤2の回転機構にそれほど高い精度が要求されず、目盛誤差校正装置1を製造するにあたって、コストを低減できる。
前記実施形態では、検出器3の数を4つとしていたが、検出器3の数は、4つに限定されず、5つ以上であっても構わない。
このように検出器3の数を5つ以上として、前記実施形態で説明した検出器3の数が4つの場合と同様の解析を行えば、データの冗長性を増して目盛盤2の回転角θをより高精度に算出できる。また、検出器3の数を5つ以上とすることで、Kの値の大きいK等分角上に各検出器3が配設されることになれば、不定となるフーリエ成分もより高次にずらすことができる。
前記実施形態では、ディスク型のロータリーエンコーダに本発明を適用したが、これに限らず、ドラム型のロータリーエンコーダに本発明を適用しても構わない。
2・・・目盛盤
3・・・検出器
4・・・演算装置(目盛誤差検出装置)
41・・・検出値合成手段
42・・・フーリエ成分同定手段
ST1・・・検出値合成ステップ
ST2・・・フーリエ成分同定ステップ
Claims (4)
- 回転軸に支持された目盛盤、及び前記目盛盤に配設された少なくとも4つの検出器とを備えた目盛誤差校正装置に用いられる目盛誤差算出装置であって、
前記少なくとも4つの検出器で検出された各検出値に所定の係数をそれぞれ掛けて線形和を演算する検出値合成手段と、
前記線形和のフーリエ成分に基づいて、目盛誤差のフーリエ成分を同定するフーリエ成分同定手段とを備える
ことを特徴とする目盛誤差算出装置。 - 請求項1に記載の目盛誤差算出装置において、
前記係数は、
前記線形和に含まれる回転角及び運動誤差が排除されるように設定されている
ことを特徴とする目盛誤差算出装置。 - 回転軸に支持された目盛盤、及び前記目盛盤に配設された少なくとも4つの検出器とを備えた目盛誤差校正装置であって、
請求項1または請求項2に記載の目盛誤差算出装置を備える
ことを特徴とする目盛誤差校正装置。 - 回転軸に支持された目盛盤、及び前記目盛盤に配設された少なくとも4つの検出器とを備えた目盛誤差校正装置に用いられる目盛誤差算出方法であって、
前記少なくとも4つの検出器で検出された各検出値に所定の係数をそれぞれ掛けて線形和を演算する検出値合成ステップと、
前記線形和のフーリエ成分に基づいて、目盛誤差のフーリエ成分を同定するフーリエ成分同定ステップとを備える
ことを特徴とする目盛誤差算出方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011160609A JP5798824B2 (ja) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 |
EP12175348.7A EP2549241B1 (en) | 2011-07-22 | 2012-07-06 | Index error estimating apparatus, index error calibrating apparatus, and index error estimatng method |
US13/552,913 US9335186B2 (en) | 2011-07-22 | 2012-07-19 | Index error estimating apparatus, index error calibrating apparatus, and index error estimating method |
CN201210387462.4A CN102954815B (zh) | 2011-07-22 | 2012-07-23 | 分度误差估计装置、分度误差校准装置和分度误差估计方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011160609A JP5798824B2 (ja) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013024757A true JP2013024757A (ja) | 2013-02-04 |
JP5798824B2 JP5798824B2 (ja) | 2015-10-21 |
Family
ID=46754248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011160609A Active JP5798824B2 (ja) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9335186B2 (ja) |
EP (1) | EP2549241B1 (ja) |
JP (1) | JP5798824B2 (ja) |
CN (1) | CN102954815B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016024000A1 (de) * | 2014-08-14 | 2016-02-18 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zum ermitteln eines orthogonalitätsfehlers zwischen zwei sensorsignalen |
JP6747151B2 (ja) | 2016-08-03 | 2020-08-26 | 株式会社ミツトヨ | 追尾式レーザ干渉計による位置決め機械の検査方法及び装置 |
CN106705894B (zh) * | 2017-01-25 | 2019-03-26 | 天津大学 | 双圆光栅角位移检测系统的误差标定与补偿方法 |
CN108572068A (zh) * | 2018-06-26 | 2018-09-25 | 广东广航科技有限公司 | 一种分度机构疲劳试验工装及疲劳试验方法 |
JP7189707B2 (ja) | 2018-09-05 | 2022-12-14 | 株式会社ミツトヨ | 測定点決定方法、プログラム、および測定点決定装置 |
WO2022116017A1 (zh) * | 2020-12-01 | 2022-06-09 | 深圳市速腾聚创科技有限公司 | 光栅盘、z相信号的识别方法、光电编码器和激光雷达 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06313719A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-11-08 | Topcon Corp | ロータリエンコーダ |
JPH06317431A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | エンコーダの校正方法 |
JP2004219333A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エンコーダ出力信号補正装置 |
JP2008076391A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 角度測定システム、およびこの角度測定システムを製造するための方法 |
JP2008539407A (ja) * | 2005-04-26 | 2008-11-13 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 回転エンコーダ |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6449915A (en) * | 1987-08-20 | 1989-02-27 | Fanuc Ltd | Shaft run-out insensitive type optical rotary encoder |
US5889534A (en) * | 1996-09-10 | 1999-03-30 | Colorspan Corporation | Calibration and registration method for manufacturing a drum-based printing system |
US6145368A (en) * | 1998-06-03 | 2000-11-14 | Micron Electronics, Inc. | Method for calibrating rotary encoder with multiple calibration points |
US6304825B1 (en) * | 1999-01-19 | 2001-10-16 | Xerox Corporation | Rotary encoder error compensation system and method for photoreceptor surface motion sensing and control |
US6830399B2 (en) * | 2003-03-14 | 2004-12-14 | Lexmark International, Inc. | Methods and systems for compensation of media indexing errors in a printing device |
GB0601174D0 (en) * | 2006-01-20 | 2006-03-01 | Renishaw Plc | Multiple readhead apparatus |
US7414547B2 (en) * | 2006-12-22 | 2008-08-19 | 3M Innovative Properties Company | Method and system for calibrating a rotary encoder and making a high resolution rotary encoder |
TWI393867B (zh) * | 2007-04-20 | 2013-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | 磁性式旋轉角檢測器 |
US7840372B2 (en) * | 2007-07-06 | 2010-11-23 | The University Of British Columbia | Self-calibration method and apparatus for on-axis rotary encoders |
CN101271007B (zh) * | 2008-05-07 | 2010-06-30 | 北京航空航天大学 | 一种基于速率转台的旋转变压器测角误差的标定补偿方法 |
JP4984268B2 (ja) * | 2009-11-09 | 2012-07-25 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 軸ぶれ計測方法及び軸ぶれ計測機能を具備した自己校正機能付き角度検出器 |
-
2011
- 2011-07-22 JP JP2011160609A patent/JP5798824B2/ja active Active
-
2012
- 2012-07-06 EP EP12175348.7A patent/EP2549241B1/en active Active
- 2012-07-19 US US13/552,913 patent/US9335186B2/en active Active
- 2012-07-23 CN CN201210387462.4A patent/CN102954815B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06313719A (ja) * | 1993-04-19 | 1994-11-08 | Topcon Corp | ロータリエンコーダ |
JPH06317431A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | エンコーダの校正方法 |
JP2004219333A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エンコーダ出力信号補正装置 |
JP2008539407A (ja) * | 2005-04-26 | 2008-11-13 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 回転エンコーダ |
JP2008076391A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 角度測定システム、およびこの角度測定システムを製造するための方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
JPN6015007772; 玉真 昭男 Teruo Tamama,杉浦 正大 Masahiro Sugiura,益田 正 Tadashi Masuda: '"ロータリエンコーダ用誤差測定回路の高度化 Enhancement of an Angular Position Error Measurement Cir' 電子情報通信学会技術研究報告 Vol.105, No.441, 20051123, p.15-20, 社団法人電子情報通信学会 * |
JPN6015007773; 益田 正 Tadashi MASUDA,梶谷 誠 Makoto KAJITANI: '"角度検出器の精密自動校正システムの開発 Automatic Calibration System for Angular Encoders"' 精密工学会誌 Vo.52, No.10, 198610, p.1732-1738, 社団法人精密工学会 * |
JPN6015007774; 益田 正 Tadashi MASUDA: '"特異な量"角度"とその標準 The Peculiar Quantity "Angle" and the Standards"' 精密工学会誌 Vol.71, No.5, 20050505, p.562-567, 社団法人精密工学会 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102954815B (zh) | 2016-12-21 |
EP2549241B1 (en) | 2015-01-07 |
US20130019652A1 (en) | 2013-01-24 |
CN102954815A (zh) | 2013-03-06 |
US9335186B2 (en) | 2016-05-10 |
EP2549241A1 (en) | 2013-01-23 |
JP5798824B2 (ja) | 2015-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5798824B2 (ja) | 目盛誤差算出装置、目盛誤差校正装置、及び目盛誤差算出方法 | |
JP5695410B2 (ja) | 角度検出装置およびその偏心量推定方法 | |
JP4824415B2 (ja) | ロータリエンコーダ | |
JP4938265B2 (ja) | 回転角を正確に測定する方法及び装置 | |
JPH07174586A (ja) | 増分位置検出器の可動周期目盛盤の絶対位置測定方法及びその装置 | |
US10281299B2 (en) | Angle sensor, a bearing unit, electrical motor, a control system and error-check system | |
JP4984269B2 (ja) | 複合自己校正機能付き角度検出器 | |
US5301434A (en) | Rotation angle measuring apparatus | |
JP2012118064A (ja) | インクリメンタル位置測定機構の位置信号を監視するための監視ユニットおよび方法 | |
JP2014077752A (ja) | 変位検出装置 | |
Portman et al. | Phase-statistical method and device for high precise and high-efficiency angular measurements | |
JP5085440B2 (ja) | ロータリエンコーダ及びロータリエンコーダの角度補正方法 | |
JP2019219296A (ja) | 初期設定方法及び初期設定装置 | |
TWI714072B (zh) | 角度檢測器 | |
CN114636387B (zh) | 一种圆光栅编码器双读数头非对称安装偏心误差补偿方法 | |
KR20230116785A (ko) | 다중 그룹 버니어 인코딩 디스크, 광전 인코더 및 광원 위치 해산 방법 | |
JP6845517B2 (ja) | エンコーダ | |
JP5137907B2 (ja) | エンコーダ | |
US20210164807A1 (en) | Determination of an item of position information relating to a position of a magnetic field transducer relative to a position sensor | |
CN112461274B (zh) | 一种圆光栅编码器信号生成方法 | |
JP4528083B2 (ja) | タイヤユニフォーミティの測定方法およびそれに用いられるタイヤユニフォーミティ測定装置 | |
JP2632534B2 (ja) | ロータリエンコーダ | |
JP2023043487A (ja) | 角度検出器および位置測定装置 | |
CN113188491A (zh) | 一种基于位移传感器的旋转台转轴误差测量与校正方法 | |
JPH06229751A (ja) | 回転軸の回転振れ量の測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5798824 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |