JP2003065802A - 光学式エンコーダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 他の相のスリットを通過した光の漏れ込みを
防止し小型化を可能とする。 【解決手段】 Ａ，Ｂ，Ｚ相の三列のスリット１ａ，１
ｂ，１ｚを形成したディスク１を挟んで、各相毎に微小
な発光部１１ａ，１１ｂ，１１ｚと受光部１３ａ，１３
ｂ，１３ｚとを対向配置する。各発光部１１ａ，１１
ｂ，１１ｚは時分割で順次繰り返し発光駆動され、且
つ、１個の発光部が点灯している期間にそれに対応する
受光部による受光信号がＳ/Ｈ回路１５でサンプリング
され、それ以外の期間にはホールドされる。したがっ
て、発光部１１ａ，１１ｂ，１１ｚと受光部１３ａ，１
３ｂ，１３ｚとをディスク１に近接させてもクロストー
ク光は生じず、信号のＳ/Ｎ比が向上して確実なパルス
信号を形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、角度位置を検知す
るためのロータリエンコーダ、直線位置を検知するため
のリニアエンコーダなどを含むエンコーダに関し、特に
光学的に直線位置や角度位置を検知するための光学式エ
ンコーダに関する。

【０００２】

【従来の技術】エンコーダとしては、モータなどの回転
体の角度位置の情報を検知するロータリエンコーダや、
直線往復運動を行う運動体の直線位置の情報を検知する
リニアエンコーダなどが知られている。光学式エンコー
ダは、こうした情報の検知を非接触で光学的に行うため
の装置である。

【０００３】図１４、図１５は従来の基本的な光学式ロ
ータリエンコーダの概略構成図であり、図１４は軸２を
中心に矢印の方向に回転するディスク１を径方向に切断
した状態を示す縦断面図、図１５は要部の斜視図であ
る。このロータリエンコーダは、回転角度に対応して出
力されるパルス信号を計数することによって回転角度を
算出する、いわゆるインクリメント型のロータリエンコ
ーダである。

【０００４】円盤状のディスク１には、周方向に一定間
隔で穿孔された第１スリット１ａ、該第１スリット１ａ
と周方向に位相が９０°だけずらしてある第２スリット
１ｂ、及び周方向に１回転中で１箇所のみに穿孔された
第３スリット１ｚが径方向に並べて配置されている。第
１、第２スリット１ａ、１ｂは、ディスク１の回転角に
対応したパルス信号を発生させるため及び回転方向を検
知するために、周期的に変化するＡ相信号、Ｂ相信号を
それぞれ生成するためのものである。これに対し、第３
スリット１ｚは回転角の基準位置を認識するため及び回
転速度を検出するために、Ｚ相信号を生成するためのも
のである。

【０００５】ディスク１を挟んで一方の側（図１４では
上側）には、１個の発光ダイオード４とコリメートレン
ズ５とからなる発光部３が配置され、他方の側（図１４
では下側）には、上記第１乃至第３スリット１ａ，１
ｂ，１ｚの配列に対応して３個の受光素子６ａ，６ｂ，
６ｚからなる受光部６が配置されている。また、ディス
ク１と受光部６との間には、ディスク１の各スリット１
ａ，１ｂ，１ｚを通過した光を上記各受光素子６ａ，６
ｂ，６ｚに向けて導くためのＡ相スリット７ａ、Ｂ相ス
リット７ｂ及びＺ相スリット７ｚが穿孔された固定スリ
ット板７が設けられている。なお、固定スリット板７は
発光部３とディスク１との間に配置することもできる。

【０００６】発光ダイオード４から放射されて拡がる光
はコリメートレンズ５でほぼ平行光に変換され、回転し
ているディスク１に向けて照射される。回転に伴ってデ
ィスク１の各スリット１ａ，１ｂ，１ｚを通過した光は
固定スリット板７の各スリット７ａ，７ｂ，７ｚで光束
が制限されて各受光素子６ａ，６ｂ，６ｚに到達する。
図１６は各相の波形整形後の検出信号を示す波形図、図
１７は信号の状態図である。

【０００７】例えばＡ相に着目すると、ディスク１が回
転するとき発光部３からの光は第１スリット１ａの開口
部とその隣接する開口部間の遮光部とに交互に照射され
るから、受光素子６ａによる検出信号は図１６（ａ）に
示すように、開口部の位置では「Ｈ」、それ以外の位置
では「Ｌ」となる。すなわち、第１スリット１ａに対応
したパルス信号となるから、このパルス信号の数を計数
することにより回転角を知ることができる。また、上述
したように第１スリット１ａと第２スリット１ｂとは周
方向に位相が９０°だけずれているため、Ａ相とＢ相と
は図１６（ａ）、（ｂ）に示すように位相が９０°ずれ
た信号となる。したがって、図１７に示すように、Ａ相
のパルス信号が立ち上がる時点でのＢ相のパルス信号の
極性に応じて、ディスク１の回転が正転又は逆転のいず
れであるのかを識別することができる。

【０００８】なお、上記ロータリエンコーダは図１８の
斜視図に示すように構成することもできる。すなわち、
Ａ相用、Ｂ相用を兼ねるスリット１ａｂをディスク１の
周方向に設けるとともにその内側にＺ相用の第３スリッ
ト１ｚを設け、固定スリット板７には同一のスリット１
ａｂに対し、位相が９０°ずれた位置にそれぞれＡ相ス
リット７ａ及びＢ相スリット７ｂを穿孔し、その内周側
にＺ相スリット７ｚを穿孔する。このような構成でも上
記説明と同様のＡ相信号及びＢ相信号を得ることができ
る。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記構成のロータリエ
ンコーダにおいては、例えばＡ相の受光素子６ａにとっ
ては第１スリット１ａ及びＡ相スリット７ａを通過して
来た光のみが検出対象であって、他のスリットを通過し
て来た光やそのほかの外来光は雑音にすぎない。或るス
リットを通過して来た光が対応する受光素子以外の受光
素子に到達することがないように、発光ダイオード４か
ら放射された光をコリメートレンズ５により平行光化し
ているわけであって、これが完全な平行光である場合に
は他のスリットからの漏れ（クロストーク）光は発生し
ない。しかしながら、コリメートレンズ５の性能の限界
などによって完全な平行光とすることは実質的に不可能
であり、ディスク１の面に対して斜めに入射する光が存
在することは避けられない。

【００１０】コリメートレンズ５とディスク１との距離
や固定スリット板７とディスク１との距離などが或る程
度離れている場合には、こうした斜め入射光はディスク
１及び固定スリット板７のスリットでかなり除去される
ため、クロストーク光は比較的少なくてすむ。しかしな
がら、ロータリエンコーダを小型化しようとする場合に
は、上記離間距離を狭める必要が生じ、これによって、
斜め入射光がスリットを通過し易くなって結果的にクロ
ストーク光が増加する傾向にある。そのため、受光信号
のＳ/Ｎ比が劣化し、信号の弁別が困難になるという問
題があった。

【００１１】本発明はこのような課題に鑑みて成された
ものであり、その主たる目的とするところは、不所望の
クロストーク光の影響を除去することができ、それによ
って従来よりも大幅な小型化を実現することができる光
学式エンコーダを提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段、及び効果】上記課題を解
決するために成された第１発明は、回転運動又は直線運
動を行う運動体の角度位置又は直線位置を光学的に検知
する光学式エンコーダにおいて、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
てそれぞれ前記位置検知用パターンを読み取るべく、１
個の発光部と１個の受光部とを一対として透過光検出位
置又は反射光検出位置のいずれかに配置された複数対の
パターン読み取り手段と、 c)前記複数の発光部を時分割で繰り返し点灯させる発光
駆動手段と、 d)前記時分割で点灯された発光部と対になった受光部か
らの受光信号を当該発光部の点灯期間に合わせて取り出
すことにより、前記複数の所定の固定位置に対応する位
置検知信号を形成する信号取り出し手段と、 e)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
の方向を判別する判別処理手段と、を備えることを特徴
としている。

【００１３】なお、ここでいう「時分割」の点灯とは、
いずれか１個の発光部が必ず点灯していることを意味す
るものではなく、或る１個の発光部が点灯している期間
と他の発光部が点灯している期間との間に、いずれの発
光部も点灯していない期間が存在していてもよい。

【００１４】また、ここでいう発光部は必ずしもそれ自
体が発光するＬＥＤなどでなくともよく、例えば、光フ
ァイバ、或いはプラスチック製成型品や薄膜体等から成
る光導波路などにより、他の位置で発光した光を案内し
て平板体に向けて光を放射するものであってもよい。

【００１５】また、前記所定の位置検知用パターンは単
に１列のパターンであって、その延伸方向に複数のパタ
ーン読み取り手段が配置されていてもよいが、そのほか
に、前記所定の位置検知用パターンは当該パターンの延
伸方向と略直交する方向に並ぶ複数の列から成るものと
することができる。具体的には、例えば、回転の位置基
準を示すパターン、回転速度を示すパターン、回転方向
を示すパターンなどを異なる列とすることができる。

【００１６】この第１発明に係る光学式エンコーダで
は、複数の発光部は発光駆動手段により時分割で順次繰
り返し発光するように制御されるため、通常は２個以上
が同時に点灯することがない。また、信号取り出し手段
は、各受光部に対応する発光部が点灯している期間のみ
その受光面で受けた光に基づく受光信号を出力し、それ
以外の期間つまりその対となる発光部が点灯していない
期間では、たとえその受光面で受けた光により受光信号
が発生したとしてもそれは無効な信号であるとして取り
扱う。すなわち、この場合、対となる発光部は点灯して
いないわけであるから、このときに受光信号が生じてい
たとしてもそれは外光の影響や受光部自体の暗電流に起
因するものであると判断できる。

【００１７】したがって、この第１発明によれば、他の
発光部からの光の漏れつまりクロストーク光が生じる余
地がないため、外光の影響や暗電流を抑えることによっ
て高いＳ/Ｎ比を確保することができる。これにより、
所定の固定位置において位置検知用パターンに対応した
パルス信号を確実に（つまり欠損することなく）生成す
ることができ、運動体の位置や運動方向の誤検知をなく
すことができる。

【００１８】また、パターン延伸方向に近接する他の発
光部又は隣接する他の列の発光部からのクロストーク光
を考慮する必要がなくなるため、従来であれば斜め光が
問題となるような程度まで発光部及び受光部を平板体に
近接させることができる。また、発光部は各受光部に対
応して設けられるため、従来使用されていたコリメート
用のレンズが不要になり、これによっても発光部（発光
素子）を平板体に一層近接させることができる。このよ
うなことから、発光部及び受光部を含むエンコーダ全体
を小型化するのに非常に有利であって、例えば、複数の
発光部や受光部をそれぞれ１チップのＩＣ基板上に搭載
するにも便利である。

【００１９】同じく上記課題を解決するために成された
第２発明は、回転運動又は直線運動を行う運動体の角度
位置又は直線位置を光学的に検知する光学式エンコーダ
において、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
てそれぞれ前記位置検知用パターンを照射する１乃至複
数の発光部からなる発光手段と、 c)該発光手段と前記平板体との間に配置され、前記複数
の所定固定位置に対応してそれぞれ１個の開閉窓が設け
られた遮光手段と、 d)前記開閉窓の１個毎に１個ずつ一対として透過光検出
位置又は反射光検出位置のいずれかに配置された複数の
受光部からなる受光手段と、 e)前記複数の開閉窓を時分割で繰り返し開放して光を通
過させる窓駆動手段と、 f)前記時分割で開放された開閉窓と対になった受光部か
らの受光信号を当該開閉窓の開放期間に合わせて取り出
すことにより、前記複数の所定固定位置に対応する位置
検知信号を形成する信号取り出し手段と、 g)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
の方向を判別する判別処理手段と、を備えることを特徴
としている。

【００２０】この第２発明に係る光学式エンコーダで
は、第１発明の光学式エンコーダにおける順次点灯され
る複数の発光部に代えて、一乃至複数の発光部と、自在
に開閉する開閉窓を備えた遮光手段とを用い、発光部を
連続的に点灯させた場合でも、窓駆動手段により開閉窓
の開閉動作を制御することで第１発明における各発光部
の点滅動作と同様の作用を生じせしめる。なお、遮光手
段としては例えば電子的に高速で開閉を制御できるもの
が好ましいから、例えば液晶シャッタを利用することが
できる。

【００２１】この第２発明に係る光学式エンコーダでも
上述したような第１発明と同様の効果、つまりパターン
延伸方向に近接する他の発光部又は他の列の発光部から
のクロストーク光の影響を受けずにすむという効果を得
ることができるのは勿論である。また、この第２発明で
は、発光部と平板体との間に遮光手段を挿入しなければ
ならないが、上記のような液晶シャッタなどを用いれば
非常に薄型なものとすることができるため、小型化も達
成できる。

【００２２】なお、第１、第２発明に係る光学式エンコ
ーダでは、前記位置検知用パターンから同一情報を読み
取るべく、同一タイミングで点灯する発光部又は同一タ
イミングで開放する開閉窓とそれに対応する受光部とを
複数離した位置に配置し、その複数の受光部による受光
信号を合算して或る１つの所定固定位置に対応する前記
位置検知信号とした構成とすることができる。この構成
では、２個以上の発光部を同時に点灯させることにより
クロストーク光が問題になる場合には、運動体と受光部
との間に適当な光束制限手段を挿入してクロストーク光
を除去すればよい。

【００２３】すなわち、上記構成では、位置検知用パタ
ーンから或る情報を得る際に同時に２箇所以上の位置か
ら得られる受光信号が利用される。したがって、受光信
号のレベルが増加するため信号弁別が容易になる。ま
た、仮にゴミや汚れなどによって一部の位置検知用パタ
ーンが読み取れない場合であっても、他の位置から得ら
れる受光信号を利用して運動体の位置や運動の方向を的
確に判別することができる。

【００２４】第３発明に係る光学式エンコーダは、同じ
く上記課題を解決するために成されたものであって、発
光部と受光部との配置に関しては上記第１発明と類似し
た構成を有するが、複数の発光部の発光波長自体を互い
に相違したものとし、受光部の手前で又は受光部自体で
不要な発光波長の光を排除することにより、クロストー
ク光の影響を除去しようとするものである。

【００２５】すなわち、第３発明に係る光学式エンコー
ダは、回転運動又は直線運動を行う運動体の角度位置又
は直線位置を光学的に検知する光学式エンコーダにおい
て、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
てそれぞれ前記位置検知用パターンを読み取るべく、１
個の発光部と１個の受光部とを一対として透過光検出位
置又は反射光検出位置のいずれかに配置され、且つ、前
記発光部はそれぞれ異なる発光波長を有し、前記受光部
はその手前に対となる発光部の発光波長の光を選択的に
透過させる波長選択フィルタを備える、又は該受光部自
体が対となる発光部の発光波長の光を選択的に受光する
複数のパターン読み取り手段と、 c)前記複数の受光部からの受光信号により前記複数の所
定固定位置に対応する位置検知信号を形成する信号取り
出し手段と、 d)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
の方向を判別する判別処理手段と、を備えることを特徴
としている。

【００２６】この第３発明に係る光学式エンコーダでも
上述したような第１、第２発明と同様の効果、つまりパ
ターン延伸方向に近接する他の発光部又は他の列の発光
部からのクロストーク光の影響を受けずにすむという効
果を得ることができるのは勿論である。また、この第３
発明では、好ましくは殆ど重なることのない互いに異な
る発光波長帯域を有する複数の発光部を用意しなければ
ならず、また同様の選択波長帯域を有する干渉フィルタ
などの波長選択手段、又はそれ自体が同様の受光波長帯
域特性を有するような受光部を用意しなければならない
が、その分だけ、電気的な制御は不要になる。

【００２７】第４発明に係る光学式エンコーダは、同じ
く上記課題を解決するために成されたものであって、発
光部と受光部との配置に関しては上記第１発明と類似し
た構成を有するが、発光部を点滅させるパルス駆動の周
波数を互いに相違したものとし、受光部で受光した後に
不要な周波数成分の信号を排除することによりクロスト
ーク光の影響を除去しようとするものである。

【００２８】すなわち、第４発明に係る光学式エンコー
ダは、回転運動又は直線運動を行う運動体の角度位置又
は直線位置を光学的に検知する光学式エンコーダにおい
て、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
てそれぞれ前記位置検知用パターンを読み取るべく、１
個の発光部と１個の受光部とを一対として透過光検出位
置又は反射光検出位置のいずれかに配置された複数対の
パターン読み取り手段と、 c)前記複数の発光部をそれぞれ異なる周波数でパルス点
灯させる発光駆動手段と、 d)前記複数の受光部毎に設けられ、該受光部と対になっ
た発光部のパルス点灯の周波数近傍の成分のみを抜き出
すことにより、前記複数の所定固定位置に対応する位置
検知信号を形成する信号取り出し手段と、 e)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
の方向を判別する判別処理手段と、を備えることを特徴
としている。

【００２９】この第４発明に係る光学式エンコーダでも
上述したような第１〜第３発明と同様の効果、つまりパ
ターン延伸方向に近接する他の発光部又は他の列の発光
部からのクロストーク光の影響を受けずにすむという効
果を得ることができるのは勿論である。

【００３０】上記第１〜第４発明に係る光学式エンコー
ダは様々な実施態様をとることができる。例えば、一つ
の態様として、前記運動体は回転運動を行うものであっ
て、前記平板体は該運動体と共に回転し、周方向に延伸
する所定の位置検知用パターンが径方向に複数列に形成
されてなるディスクである構成とすることができる。す
なわち、この構成は典型的なロータリエンコーダであ
る。この場合、一対の発光部と受光部とは、径方向又は
径方向にきわめて近接した位置に配置されているものと
することができる。

【００３１】また、他の態様として、前記運動体は直線
運動を行うものであって、前記平板体は該運動体と共に
直線運動し、その運動方向に延伸する所定の位置検知用
パターンが該方向と直交する方向に複数列に形成されて
なるスケールである構成とすることができる。すなわ
ち、この構成は典型的なリニアエンコーダである。

【００３２】また、前記平板体に形成された所定の位置
検知用パターンとは、透過光検出型のエンコーダでは、
光を通過する光通過部と光を遮蔽する遮光部とで形成さ
れたパターンとすることができる。一方、反射光検出型
のエンコーダでは、光を反射する光反射部と光を遮蔽又
は散乱する非反射部とで形成されたパターンとすること
ができる。この場合、パターンは平板体の表面に形成さ
れた凹凸によるパターンでも、或いは反射率の相違する
複数の物質により形成されたパターンなど各種の態様が
考え得る。

【００３３】また、第１〜第４発明はいずれも従来から
知られている各種の光学式エンコーダに適用が可能であ
るから、例えば、前記運動体の相対的な角度位置又は直
線位置を検知するインクリメント型の光学式エンコー
ダ、前記運動体の絶対的な角度位置又は直線位置を検知
するアブソリュート型の光学式エンコーダのいずれとす
ることもできる。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、第１〜第４発明の光学式エ
ンコーダの各種の態様について、具体的な例を挙げてそ
の構成と動作について詳述する。

【００３５】まず、第１発明に係る光学式エンコーダの
一実施例（以下「実施例１」という）であるインクリメ
ント型の光学式ロータリエンコーダについて、図面を参
照しつつ説明する。図１は実施例１による光学式ロータ
リエンコーダの概略構成を示す断面図、図６はディスク
１を中心とする概略斜視図である。なお、既に説明した
図面と同一又は相当する部分には同一符号を付して必要
のない限り説明を省略する。

【００３６】実施例１のロータリエンコーダの構成上の
特徴の一つは、Ａ，Ｂ，Ｚの各相毎に微小サイズの発光
部と微小サイズの受光部とを一対としてそれぞれ備えて
いることにある。すなわち、本例では、ディスク１の径
方向に並んだＡ，Ｂ，Ｚ三相のスリット１ａ，１ｂ，１
ｚを挟んでそれぞれ、第１発光部１１ａと第１受光部１
３ａ、第２発光部１１ｂと第２受光部１３ｂ、第３発光
部１１ｚと第３受光部１３ｚの３つの発光受光対が存在
する。第１〜第３発光部１１ａ，１１ｂ，１１ｚは微小
な発光領域を有しており、これらを近接して配置するた
めに１枚の基板１１上に形成された１チップの集積回路
としている。これら各発光部１１ａ，１１ｂ，１１ｚに
は、それぞれ独立に発光駆動部１２より間欠的に駆動電
流が供給される。勿論、発光部１１ａ，１１ｂ，１１ｚ
は必ずしも１チップの集積回路とする必要はないが、集
積化すれば発光駆動部１２を同一チップ上に形成するこ
とも可能である。

【００３７】一方、第１〜第３受光部１３ａ，１３ｂ，
１３ｚも同様に一枚の基板１３上に形成された受光領域
であり、各受光部１３ａ，１３ｂ，１３ｚで光電変換さ
れることによって発生した受光信号は、それぞれ増幅器
１４で信号増幅された後にサンプルホールド（Ｓ/Ｈ）
回路１５によりサンプルホールドされる。更に、サンプ
ルホールド回路１５の各出力信号は波形整形部１６によ
り二値のパルス信号に整形され、その後、信号処理部１
７においてパルス信号の計数や位相の弁別処理による回
転方向の検知など、従来のエンコーダで行われる信号処
理が実行される。

【００３８】タイミング制御部１８は発光駆動部１２及
びサンプルホールド回路１５を制御する制御信号を与え
るものであって、後述するように発光駆動部１２及びサ
ンプルホールド回路１５を同期させて制御することによ
り、各相間のクロストーク光の影響を解消する。次に、
本実施例のロータリエンコーダの特徴的な動作について
説明する。

【００３９】図２はタイミング制御部１８による発光及
び受光の制御を示すタイミング図である。タイミング制
御部１８は発光駆動部１２に対し図２（ａ）〜（ｃ）に
示すような点滅制御信号を送る。発光駆動部１２によ
り、各発光部１１ａ，１１ｂ，１１ｚはこの点滅制御信
号が「Ｈ」であるときに点灯し「Ｌ」であるときに消灯
するから、各発光部１１ａ，１１ｂ，１１ｚは時分割で
順次繰り返し点灯することになる。つまり、同時に２個
以上の発光部が点灯することはなく、或る１個が点灯状
態であるときに他の２個は必ず消灯状態にある。

【００４０】一方、タイミング制御部１８はサンプルホ
ールド回路１５に対し上記図２（ａ）〜（ｃ）に示すパ
ルス信号をサンプリング信号として送る。各相に対応し
た各サンプルホールド回路１５は、このサンプリング信
号が「Ｈ」である期間には増幅器１４を介して受光部よ
り受けた受光信号をそのまま出力し、「Ｈ」→「Ｌ」に
変化するときにその直前の受光信号の値をサンプリング
して「Ｌ」である期間中その値を保持する（つまりホー
ルドする）。したがって、例えば、Ａ相の第１発光部１
１ａが点灯している期間には、対であるＡ相の第１受光
部１３ａによる受光信号が増幅された値をそのまま出力
し、その第１発光部１１ａが消灯する直前の受光信号の
値をサンプリングして、当該発光部１１ａが消灯してい
る期間にはその値を保持し続ける。

【００４１】ここで、対になった発光部と受光部との間
の空隙を或る１個のスリット開口部が横切る期間中に、
その発光部が一回も点灯しなかったとすると、その開口
部を見逃してしまうことになり周期的なパルス信号を生
成することができなくなる。また、周方向に隣接する２
個の開口部の間の遮光部を横切る際も同様である。した
がって、発光部の点滅の走査周期（図２中に記載の周
期）は、ディスク１の最大回転速度とスリット１ａ〜１
ｃの開口部幅及び遮光部幅（開口部間隔）とを勘案し
て、対になった発光部と受光部の間を開口部及び遮光部
が横切る際にそれぞれ少なくとも一回は発光が行われる
ような周期に定めることが必要である。

【００４２】図３はこのようにして各相で得られるサン
プルホールド回路１５の出力信号の一例を示す波形図で
ある。図中、点線で示しているのがホールド期間、つま
りその相の発光部が消灯している期間である。上述した
ようなタイミング制御部１８による制御によって、３個
の発光部１１ａ〜１１ｃは２個以上が同時に点灯するこ
とがなく、或る１個の発光部が点灯したときにそれに対
応した受光部のみが有効な受光信号を出力する状態とな
る。このため、外部から侵入する外光の影響を除けば、
受光部に対して対でない他の発光部からの光の漏れ込
み、つまりクロストーク光は全く無くなる。したがっ
て、各相で遮光部に対応する信号にはクロストーク光に
よるバイアスは無くなり、外光や受光部の暗電流による
影響が残るのみであって、外光が殆ど遮蔽されるように
構成すれば、遮光部に対応した信号は殆どゼロになる。
したがって、この信号のＳ/Ｎ比は良好であり、波形整
形部１６で二値信号に正確に変換することができ、その
ような変換のための閾値も容易に定めることができる。

【００４３】また本実施例の構成では、発光部と受光部
のサイズはできる限り小さいほうが波形整形後のパルス
信号の形状をより最適化、つまりスリットの開口部の有
無に対応したものとすることができる。この点について
図４、図５を参照して説明する。図４（ａ）及び図５
（ａ）はディスク１が回転するとき一対の第１発光部１
１ａ、第１受光部１３ａとスリット１ａとの位置関係を
模式的に描いた図であって、図４（ａ）は、開口部幅Ｗ
sが発光受光幅Ｗo（厳密には開口部を通過するときの光
束の幅）の約５倍である場合、図５（ａ）は開口部幅Ｗ
sが発光受光幅Ｗoとほぼ同一である場合の例である。な
お、図４（ａ）及び図５（ａ）は周方向に展開して示し
た図であり、ディスク１が軸２を中心に回転すると、第
１発光部１１ａと第１受光部１３ａとはその位置に留ま
り、ディスク１が水平方向へと移動することになる。

【００４４】図４（ｂ）及び図５（ｂ）は、それぞれ図
４（ａ）及び図５（ａ）に対応するサンプルホールド回
路１５の出力信号である。図５（ａ）に示すように発光
受光幅Ｗoが開口部幅Ｗsとほぼ同一であるときには、発
光部１１ａ及び受光部１３ａがスリット１ａから前後に
少しずれただけで光の一部が遮断される。そのため、図
５（ｂ）に示すように、出力信号は立ち上がり、立ち下
がりともに鈍った形状となり、波形整形を行うに際し或
る閾値で「Ｈ」「Ｌ」の判定を行うと二値のパルス信号
のデューティが変動し易い。これに対し、図４（ａ）に
示すように発光受光幅Ｗoが開口部幅Ｗsに比べて充分に
小さいときには、発光部１１ａ及び受光部１３ａが開口
部の縁部を横切る際に光の一部が遮光される期間が短
く、図４（ｂ）に示すように、これによって出力信号の
立ち上がり、立ち下がりともに鋭くなる。したがって、
波形整形を行う際にパルス信号のデューティが変動しに
くく、より安定した形状のパルス信号を生成することが
できる。

【００４５】但し、受光部の面積が小さいと受光量は少
なくなって受光信号のレベルは低下する傾向にあるか
ら、そのような点を勘案して適度な大きさを選択する。
また、本説明の構成では、検知信号を波形整形部により
二値信号つまりデジタル値に変換するため上述したよう
な利点があるが、二値信号でなくアナログ信号のまま処
理する場合、或いは多値信号に変換して処理する場合な
どには中間値を利用してスリット幅以下の分解能を得た
いことがあるから、その場合には発光部、受光部のサイ
ズが小さいと却って不利になることがある。

【００４６】本実施例の具体的な構成の一例としては、
次のようなパラメータとすることができる。 ディスク１の直径 ： ２０ｍｍ パルス数（Ａ相、Ｂ相）： １０００パルス/回転 ディスク１の回転速度 ： ５０００ｒｐｍ このとき、Ａ相、Ｂ相のスリットのピッチは０．０６２
８ｍｍ以下であり、回転に伴って発生するパルス信号は
約８３ｋＨｚとなる。いま、例えばＡ相、Ｂ相のスリッ
トの開口部幅と遮光部幅とが１：１であって、それぞれ
１/１０の間隔で光の通過又は阻止を検出するものとす
ると、三相の走査周波数は８３(ｋＨｚ)×２×１０＝
１．６６ＭＨｚである。また、各発光部１１ａ〜１１
ｃ、受光部１３ａ〜１３ｃの幅（周方向サイズ）：０．
０３１４ｍｍ、長さ（径方向サイズ）：０．１ｍｍと
し、両者の間隔は１ｍｍとすることができる。勿論、こ
れらは単に一例に過ぎず、適宜の数値を採用することが
できる。

【００４７】以上のように実施例１によるロータリエン
コーダによれば、発光部と受光部とをスリットを形成し
たディスクにきわめて近接させた場合でもクロストーク
光が生じず、各相のパルス信号を良好に取り出すことが
できる。

【００４８】なお、上記実施例１では、各受光部１３
ａ，１３ｂ，１３ｚの受光信号をそれぞれサンプルホー
ルドしているが、サンプルホールドすることなく波形整
形して二値信号に変換し、その後段の信号処理部１７に
てそれぞれ必要期間のみの信号を抜き出して所定の信号
処理を行うようにしてもよい。すなわち、サンプルホー
ルド回路１５は本発明に必須の構成要素ではない。

【００４９】また、上記実施例１では、各受光部１３
ａ，１３ｂ，１３ｚの受光信号をそれぞれサンプルホー
ルドして並列に信号を整形しているが、各受光部１３
ａ，１３ｂ，１３ｚの受光信号を時分割シリアル信号と
して取り扱うこともできる。図７はそのような場合の構
成の一例であって、各受光部１３ａ，１３ｂ，１３ｚの
受光信号をタイミング制御部１８による切替制御の下に
アナログスイッチ（マルチプレクサ）１９で順次選択す
ることにより１系統の時分割信号とし、１個の増幅器１
４で信号増幅した後に波形整形部１６へと入力する。波
形整形部１６で二値信号に変換された後に信号処理部１
７でＡ，Ｂ，Ｚ各相の信号に分離されて処理される。こ
のような構成では、増幅器１４を１個にすることができ
るのでコストの低減に有利である。

【００５０】また、上記実施例１はＡ相とＢ相のスリッ
トを周方向に分離した設けた構成に対して第１発明を適
用した例であるが、既に述べた通り、Ａ相とＢ相のスリ
ットは同一のものとして周方向に位相が９０°ずれた位
置でそれぞれＡ相信号とＢ相信号とを生成する構成、つ
まり図１８に示したようなスリット１ａｂをディスク１
に形成した構成に第１発明（更には第２〜第４発明も）
を適用することもできることは容易に想到し得る。

【００５１】更には、図８に示すような構成とすること
もできる。図８はスリット１ａｂの延伸方向に沿った概
略縦断面図である。この構成では、第１発光部１１ａ
１、第１受光部１３ａ１と第２発光部１１ｂ１、第２受
光部１３ｂ１とを設けた位置から所定距離だけ離れた位
置に、第１補助発光部１１ａ２、第１補助受光部１３ａ
２と第２補助発光部１１ｂ２、第２補助受光部１３ｂ２
とを設けている。すなわち、Ａ相信号を得るために、第
１発光部１１ａ１と第１補助発光部１１ａ２とが同一タ
イミングで点灯され、第１受光部１３ａ１と第１補助受
光部１３ａ２の受光信号が加算されて取り出される。同
様にＢ相信号を得るために、Ａ相信号とは異なるタイミ
ングで第２発光部１１ｂ１と第２補助発光部１１ｂ２と
が点灯され、これに対応して第２受光部１３ｂ１と第２
補助受光部１３ｂ２の受光信号が加算されて取り出され
る。なお、２個の発光部が同時に点灯する際に、ディス
ク１を挟んで正面に対向している、対の発光部でない発
光部から到来する光を遮蔽するために、ディスク１と受
光部との間には粗い開口を有する遮光板７が挿入されて
いる。

【００５２】このような構成とする利点は主として２つ
ある。その１つは、受光部による受光信号が合算される
ことによって出力信号のレベルが増加すること、他の１
つは、ゴミや汚れなどによって１箇所のスリットが塞が
ったり或いは透過光量が大きく減少したりした場合であ
っても、その影響を殆ど受けることなくディスク１の位
置検知が行えることである。勿論、ゴミの付着などによ
る影響をできる限り軽減するには、同相の発光部、受光
部の対の位置を周方向にできるだけ離すほうが好まし
い。なお、このような構成は後述する第２発明の実施例
などにも適用が可能である。

【００５３】また、上記実施例において受光部の面積を
小さくする代わりに、ディスクと受光部との間に適宜の
光通過孔を設けた固定スリット板を挿入し、これにより
光域を制限して実質的に受光部の面積を小さくしてもよ
い。これは以下の他の実施例でも同様である。

【００５４】また、上記実施例に示したように本発明で
は、従来のように１個の発光部から発した光を平行光化
して複数の受光部で受けるためのコリメートレンズは不
要であるが、各発光部から放射された光をそれぞれ集光
して受光部へと到達させる（当然、スリットの遮光部で
は遮光される）ために、各発光部毎に集光用のマイクロ
レンズを設けるようにしてもよい。この構成によれば、
受光部への光の到達効率が向上するから、信号のＳ/Ｎ
比を改善することができる。

【００５５】次に、第２発明の一実施例（「実施例２」
という）であるロータリエンコーダについて図９により
説明する。この実施例２のロータリエンコーダにおいて
実施例１と相違する点は、各相の受光部１３ａ，１３
ｂ，１３ｚと対に発光部を設ける代わりに、同じく対に
開閉窓２３ａ，２３ｂ，２３ｚを有する液晶シャッタ２
３と、開閉窓２３ａ，２３ｂ，２３ｚ全体に光を照射す
る大きな発光部２１を配置している点である。

【００５６】発光部２１は発光駆動部２２により常時点
灯するように駆動され、液晶シャッタ２３は上記実施例
１で３個の発光部が順次時分割で点灯されるのと同じタ
イミングで各開閉窓２３ａ，２３ｂ，２３ｚが開放さ
れ、それ以外の期間には閉鎖するように制御される。開
閉窓２３ａ，２３ｂ，２３ｚが開放すると発光部２１か
らの光がその開閉窓２３ａ，２３ｂ，２３ｚを通過して
ディスク１に照射されるから、開閉窓２３ａ，２３ｂ，
２３ｚの位置にそれぞれ微小の発光部が存在して点灯し
ているものと看做すことができる。したがって、ディス
ク１のスリット開口部を通過した後の光の処理は上記実
施例１と同様である。

【００５７】次に、第３発明の一実施例（「実施例３」
という）であるロータリエンコーダについて図１０、図
１１により説明する。この実施例３のロータリエンコー
ダは実施例１と同様にＡ，Ｂ，Ｚ各相の受光部１３ａ，
１３ｂ，１３ｚと対に第１、第２、第３発光部３１ａ，
３１ｂ，３３ｚを設けている。但し、特に実施例３で
は、第１、第２、第３発光部３１ａ，３１ｂ，３３ｚは
図１１に示すように互いに重ならない発光波長帯域を有
しており、発光駆動部３２により常時点灯駆動される。
一方、第１、第２、第３受光部１３ａ，１３ｂ，１３ｚ
はその受光面の手前に第１、第２、第３光学フィルタ３
３ａ，３３ｂ，３３ｚを備えており、それらは対になっ
ている発光部３１ａ，３１ｂ，３３ｚの発光波長帯域の
みを抜き出すような透過特性を有している。

【００５８】すなわち、実施例１のロータリエンコーダ
では各発光部及び受光部が時分割で発光及び受光を行う
ことによってクロストーク光を無くしているのに対し、
この実施例３のロータリエンコーダでは、各発光部の発
光波長をそれぞれ異なるものとし、各発光部に対応した
波長光のみを光学フィルタで抜き出して受光部へと与え
ることによってクロストーク光の影響を無くしている。

【００５９】次に、第４発明の一実施例（「実施例４」
という）であるロータリエンコーダについて図１２、図
１３により説明する。この実施例４のロータリエンコー
ダは実施例１と同様にＡ，Ｂ，Ｚの各相の受光部１３
ａ，１３ｂ，１３ｚと対に第１、第２、第３発光部１１
ａ，１１ｂ，１１ｚを設けているが、実施例１と異な
り、時分割で駆動されるのではなく、それぞれ点滅周波
数帯域が重ならないように常時パルス駆動される。すな
わち、図１３に示すように、各発光部の点滅周波数は周
波数分割されている。なお、このうち、最も低い周波数
ｆaでも実施例１で説明したようにスリットの開口部及
び遮光部を見逃すことがないような周波数に設定される
ことは当然である。

【００６０】一方、第１、第２、第３受光部１３ａ，１
３ｂ，１３ｚに対応して、それぞれ対になっている発光
部３１ａ，３１ｂ，３３ｚの点滅周波数の周波数帯域の
信号を抜き出すような通過特性を有するバンドパスフィ
ルタ（ＢＰＦ）４５が設けられている。更にその後段に
は、点滅駆動による受光信号のオン／オフ（実際には波
形は鈍っているため強弱になる）を平滑化するためのロ
ーパスフィルタ（ＬＰＦ）４６が設けられている。

【００６１】すなわち、実施例１のロータリエンコーダ
では各発光部及び受光部が時分割で発光及び受光を行う
ことによってクロストーク光を無くしているのに対し、
この実施例４のロータリエンコーダでは、各発光部の点
滅周波数をそれぞれ異なるものとし、各発光部に対応し
た受光部による受光信号において対となる発光部の点滅
周波数に対応する信号成分のみをフィルタで抜き出すこ
とによってクロストーク光の影響を無くしている。

【００６２】上記実施例はいずれも第１〜第４発明をイ
ンクリメント型のロータリエンコーダに適用した例であ
るが、アブソリュート型のロータリエンコーダに適用で
きることは明らかである。例えば、８ビットの絶対アド
レスを有する構成では、ディスクの径方向に８列のスリ
ットによるパターンが形成されている。そこで、その各
列に対応して１組ずつ発光素子と受光素子との対を設
け、例えばその発光素子を１個ずつ順次点灯させ、点灯
した発光素子と対である受光素子の受光信号をサンプリ
ングすればよい。但し、アブソリュート型のロータリエ
ンコーダではディスク上で径方向に離れたスリット列が
存在している場合があり、そのようなスリット列にそれ
ぞれ対応する２個の発光素子を同時に点灯させたとして
もクロストーク光が殆ど問題にならないこともある。そ
のような場合には、必ずしも発光素子を１個ずつ順に点
灯させる必要はなく、例えば、互いに離れた位置にある
２個の発光素子を組として２個ずつ順に点灯させるよう
な構成に変形することができる。

【００６３】また、上記第１〜第４実施例の構成はロー
タリエンコーダのみならず、位置検出の対象物が直線状
に往復動するリニアエンコーダにも適用できることは容
易に想到し得る。

【００６４】更に、上記実施例はいずれもスリットを通
過した光を検出する光通過型のエンコーダであるが、デ
ィスクに刻印したパターン或いは反射率を変化させたパ
ターンなどに沿って反射光の有無でパターンを読み取る
光反射型のエンコーダに適用できることも当然である。

【００６５】すなわち、第１〜第４発明の光学式エンコ
ーダは、従来知られているような各種形態のエンコーダ
に容易に適用し、クロストーク光の影響を除去して検知
信号のＳ/Ｎ比を向上させるのにきわめて有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１発明の一実施例（実施例１）による光学
式ロータリエンコーダの構成を示す断面図。

【図２】 実施例１による光学式ロータリエンコーダに
おけるタイミング制御部での発光及び受光の制御タイミ
ング図。

【図３】 実施例１による光学式ロータリエンコーダに
おいて各相で得られるサンプルホールド回路の出力信号
の一例を示す波形図。

【図４】 実施例１による光学式ロータリエンコーダに
おいて、発光部及び受光部のサイズとスリット幅との関
係とサンプルホールド回路の出力信号とを示す図。

【図５】 実施例１による光学式ロータリエンコーダに
おいて、発光部及び受光部のサイズとスリット幅との関
係とサンプルホールド回路の出力信号とを示す図。

【図６】 実施例１による光学式ロータリエンコーダの
ディスクを中心とする概略斜視図。

【図７】 実施例１による光学式ロータリエンコーダの
変形例の構成を示す断面図。

【図８】 実施例１による光学式ロータリエンコーダの
変形例の構成を示す断面図。

【図９】 第２発明の一実施例（実施例２）による光学
式ロータリエンコーダの構成を示す断面図。

【図１０】 第３発明の一実施例（実施例３）による光
学式ロータリエンコーダの構成を示す断面図。

【図１１】 実施例３による光学式ロータリエンコーダ
の動作を説明するための図。

【図１２】 第４発明の一実施例（実施例４）による光
学式ロータリエンコーダの構成を示す断面図。

【図１３】 実施例４による光学式ロータリエンコーダ
の動作を説明するための図。

【図１４】 従来の基本的な光学式ロータリエンコーダ
の概略構成を示す縦断面図。

【図１５】 基本的な光学式ロータリエンコーダの要部
の斜視図。

【図１６】 従来の基本的な光学式ロータリエンコーダ
における各相の波形整形後の検出信号を示す波形図。

【図１７】 従来の基本的な光学式ロータリエンコーダ
における信号の状態図。

【図１８】 他の構成による基本的な光学式ロータリエ
ンコーダの要部の斜視図。 １…ディスク １ａ，１ｂ，１ｚ…スリット ２…軸 １１，１３…基板 １１ａ，１１ｂ，１１ｚ，２１，３１ａ，３１ｂ，３１
ｚ…発光部 １２，２２，３２…発光駆動部 １３ａ，１３ｂ，１３ｚ…受光部 １４…増幅器 １５…サンプルホールド回路 １６…波形整形部 １７…信号処理部 １８…タイミング制御部 １９…アナログスイッチ ２３…液晶シャッタ ２３ａ…開閉窓 ３３ａ，３３ｂ，３３ｚ…光学フィルタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山嵜 康司 奈良県大和郡山市筒井町427−３サニーウ ェル105 (72)発明者 太田 淳 奈良県奈良市中登美ヶ丘４−１−８−506 (72)発明者 香川 景一郎 奈良県生駒市高山町8916−５大学宿舎Ｄ− 406 Ｆターム(参考） 2F103 BA10 BA31 CA02 DA01 DA04 DA12 DA13 EB01 EB08 EB33 ED07 FA12

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転運動又は直線運動を行う運動体の角
   度位置又は直線位置を光学的に検知する光学式エンコー
   ダにおいて、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
   の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
   てそれぞれ前記位置検知用パターンを読み取るべく、１
   個の発光部と１個の受光部とを一対として透過光検出位
   置又は反射光検出位置のいずれかに配置された複数対の
   パターン読み取り手段と、 c)前記複数の発光部を時分割で繰り返し点灯させる発光
   駆動手段と、 d)前記時分割で点灯された発光部と対になった受光部か
   らの受光信号を当該発光部の点灯期間に合わせて取り出
   すことにより、前記複数の所定固定位置に対応する位置
   検知信号を形成する信号取り出し手段と、 e)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
   の方向を判別する判別処理手段と、 を備えることを特徴とする光学式エンコーダ。
2. 【請求項２】 回転運動又は直線運動を行う運動体の角
   度位置又は直線位置を光学的に検知する光学式エンコー
   ダにおいて、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
   の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
   てそれぞれ前記位置検知用パターンを照射する１乃至複
   数の発光部からなる発光手段と、 c)該発光手段と前記平板体との間に配置され、前記複数
   の所定固定位置に対応してそれぞれ１個の開閉窓が設け
   られた遮光手段と、 d)前記開閉窓の１個毎に１個ずつ一対として透過光検出
   位置又は反射光検出位置のいずれかに配置された複数の
   受光部からなる受光手段と、 e)前記複数の開閉窓を時分割で繰り返し開放して光を通
   過させる窓駆動手段と、 f)前記時分割で開放された開閉窓と対になった受光部か
   らの受光信号を当該開閉窓の開放期間に合わせて取り出
   すことにより、前記複数の所定固定位置に対応する位置
   検知信号を形成する信号取り出し手段と、 g)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
   の方向を判別する判別処理手段と、 を備えることを特徴とする光学式エンコーダ。
3. 【請求項３】 前記位置検知用パターンから同一情報を
   読み取るべく、同一タイミングで点灯する発光部又は同
   一タイミングで開放する開閉窓とそれに対応する受光部
   とを複数離した位置に配置し、その複数の受光部による
   受光信号を合算して或る１つの所定固定位置に対応する
   前記位置検知信号としたことを特徴とする請求項１又は
   ２に記載の光学式エンコーダ。
4. 【請求項４】 回転運動又は直線運動を行う運動体の角
   度位置又は直線位置を光学的に検知する光学式エンコー
   ダにおいて、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
   の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
   てそれぞれ前記位置検知用パターンを読み取るべく、１
   個の発光部と１個の受光部とを一対として透過光検出位
   置又は反射光検出位置のいずれかに配置され、且つ、前
   記発光部はそれぞれ異なる発光波長を有し、前記受光部
   はその手前に対となる発光部の発光波長の光を選択的に
   透過させる波長選択フィルタを備える、又は該受光部自
   体が対となる発光部の発光波長の光を選択的に受光する
   複数のパターン読み取り手段と、 c)前記複数の受光部からの受光信号により前記複数の所
   定固定位置に対応する位置検知信号を形成する信号取り
   出し手段と、 d)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
   の方向を判別する判別処理手段と、 を備えることを特徴とする光学式エンコーダ。
5. 【請求項５】 回転運動又は直線運動を行う運動体の角
   度位置又は直線位置を光学的に検知する光学式エンコー
   ダにおいて、 a)前記運動体と共に移動し、該移動方向に延伸して所定
   の位置検知用パターンが形成されてなる平板体と、 b)前記運動体が移動する際に複数の所定固定位置におい
   てそれぞれ前記位置検知用パターンを読み取るべく、１
   個の発光部と１個の受光部とを一対として透過光検出位
   置又は反射光検出位置のいずれかに配置された複数対の
   パターン読み取り手段と、 c)前記複数の発光部をそれぞれ異なる周波数でパルス点
   灯させる発光駆動手段と、 d)前記複数の受光部毎に設けられ、該受光部と対になっ
   た発光部のパルス点灯の周波数近傍の成分のみを抜き出
   すことにより、前記複数の所定固定位置に対応する位置
   検知信号を形成する信号取り出し手段と、 e)前記位置検知信号に基づいて前記運動体の位置や運動
   の方向を判別する判別処理手段と、 を備えることを特徴とする光学式エンコーダ。
6. 【請求項６】 前記所定の位置検知用パターンは、当該
   パターンの延伸方向と略直交する方向に並ぶ複数の列か
   らなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載
   の光学式エンコーダ。
7. 【請求項７】 前記運動体は回転運動を行うものであっ
   て、前記平板体は該運動体と共に回転し、前記所定の位
   置検知用パターンが周方向に延伸して形成されてなるデ
   ィスクであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか
   に記載の光学式エンコーダ。
8. 【請求項８】 前記運動体は直線運動を行うものであっ
   て、前記平板体は該運動体と共に直線運動し、前記所定
   の位置検知用パターンがその直線運動方向に延伸して形
   成されてなるスケールであることを特徴とする請求項１
   〜６のいずれかに記載の光学式エンコーダ。
9. 【請求項９】 前記平板体に形成された所定の位置検知
   用パターンは、光を通過する光通過部と光を遮蔽する遮
   光部とで形成されたパターンであることを特徴とする請
   求項１〜８のいずれかに記載の光学式エンコーダ。
10. 【請求項１０】 前記平板体に形成された所定の位置検
    知用パターンは、光を反射する光反射部と光を遮蔽又は
    散乱する非反射部とで形成されたパターンであることを
    特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の光学式エン
    コーダ。
11. 【請求項１１】 前記運動体の相対的な角度位置又は直
    線位置を検知するインクリメント型の請求項１〜１０の
    いずれかに記載の光学式エンコーダ。
12. 【請求項１２】 前記運動体の絶対的な角度位置又は直
    線位置を検知するアブソリュート型の請求項１〜１０の
    いずれかに記載の光学式エンコーダ。