JPS6051650B2 - 光電型エンコ−ダの零点検出装置 - Google Patents
光電型エンコ−ダの零点検出装置Info
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- JPS6051650B2 JPS6051650B2 JP12202581A JP12202581A JPS6051650B2 JP S6051650 B2 JPS6051650 B2 JP S6051650B2 JP 12202581 A JP12202581 A JP 12202581A JP 12202581 A JP12202581 A JP 12202581A JP S6051650 B2 JPS6051650 B2 JP S6051650B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光電型エンコーダの零点検出装置、特に物理
量変化と共に相対移動するスケール対に設けられた零点
検出用光学格子から得られる零点基フ準信号によつてス
ケールの零点位置を正確に検出する零点検出装置の改良
に関するものである。
量変化と共に相対移動するスケール対に設けられた零点
検出用光学格子から得られる零点基フ準信号によつてス
ケールの零点位置を正確に検出する零点検出装置の改良
に関するものである。
測長器、座標測定機或いは工作機械の位置決め等にお
いて長さ或いは物理量変化を正確な電気信号として検出
するために光電型エンコーダが好適であり、直線型或い
は回転型のエンコーダとして種々の分野において実用化
されている。前記光電型エンコーダにおいて、電気的な
検出信号は通常の場合カウンタに供給されるカウントパ
ルス信号として処理されるが、エンコーダの零点位置た
とえば絶対測定における零点或いは長尺スケール内の複
数の基準位置を示すために零点検出装置が設けられてい
る。
いて長さ或いは物理量変化を正確な電気信号として検出
するために光電型エンコーダが好適であり、直線型或い
は回転型のエンコーダとして種々の分野において実用化
されている。前記光電型エンコーダにおいて、電気的な
検出信号は通常の場合カウンタに供給されるカウントパ
ルス信号として処理されるが、エンコーダの零点位置た
とえば絶対測定における零点或いは長尺スケール内の複
数の基準位置を示すために零点検出装置が設けられてい
る。
第１図には一般的な光電型エンコーダの要部が示され、
主スケール１０及びインデックススケール１２により直
線型エンコーダが形成されている。
主スケール１０及びインデックススケール１２により直
線型エンコーダが形成されている。
前記両スケール１０，１２はその表面に遮光部と光透過
部とが交互に整列配置された光学格子を有し、主スケー
ル１０にその全長に渡つて設けられた２個の光学格子１
０ａとインデックススケール１２に設れられた２個の光
学格子１２ａ，１２ｂによつて２組の光学格子対が形成
され、両光学格子対から後述する２個の検出信号が得ら
れる。前記インデックススケール１２に設けられた両光
学格子１２ａ，１２ｂはそれぞれ異なる位相たとえば９
００の位相差で整列配置されており、このことによつて
、両スケール１０，１２の相対移動から位相の異なる２
種類の検出信号を得ることが可能となる。すなわち、主
スケール１０の一方側には発光ダイオード等から成る発
光器１４が設けられ、また発光器１４と対向する他方側
には両スケール１０，１２を介して２個の受光器１６，
１８が設けられ、両受光器１６，１８はそれぞれ前記光
学格子１２ａ，１２ｂと対向する位置に配．置されてい
る。従つて、実施例において、主スケール１０またはイ
ンデックススケール１２を長さ或いは物理量変化に対応
して移動すれば、光学格子対を透過する光透過量が変化
し、両受光器１６，１８からは周期的な光量変化を電気
的な検出こ信号として得ることが可能となる。通常の場
合、前記検出信号は９０が位相の異なるサイン波信号及
びコサイン波信号として検出され、これらが図示してい
ない後段の処理回路によつてカウントパルス信号に変換
され、長さ或いは物理量変化をデジクタル値として表示
し或いは他の制御信号として用いることができる。前記
スケール、図における主スケール１０の零点位置を検出
するために、主スケール１０及びインデックススケール
１２にはそれぞれ零点検出用光学格子１０ｃ及び１２ｃ
が設けられ、これらの光学格子１０ｃ，１２ｃはそれぞ
れ前記各光学格子１０ａ，１２ａ，１２ｂと同様の整列
配置された遮光部及び光透過部から形成され或いは零点
検出用光学格子として特殊なランダムパターンから形成
される。
部とが交互に整列配置された光学格子を有し、主スケー
ル１０にその全長に渡つて設けられた２個の光学格子１
０ａとインデックススケール１２に設れられた２個の光
学格子１２ａ，１２ｂによつて２組の光学格子対が形成
され、両光学格子対から後述する２個の検出信号が得ら
れる。前記インデックススケール１２に設けられた両光
学格子１２ａ，１２ｂはそれぞれ異なる位相たとえば９
００の位相差で整列配置されており、このことによつて
、両スケール１０，１２の相対移動から位相の異なる２
種類の検出信号を得ることが可能となる。すなわち、主
スケール１０の一方側には発光ダイオード等から成る発
光器１４が設けられ、また発光器１４と対向する他方側
には両スケール１０，１２を介して２個の受光器１６，
１８が設けられ、両受光器１６，１８はそれぞれ前記光
学格子１２ａ，１２ｂと対向する位置に配．置されてい
る。従つて、実施例において、主スケール１０またはイ
ンデックススケール１２を長さ或いは物理量変化に対応
して移動すれば、光学格子対を透過する光透過量が変化
し、両受光器１６，１８からは周期的な光量変化を電気
的な検出こ信号として得ることが可能となる。通常の場
合、前記検出信号は９０が位相の異なるサイン波信号及
びコサイン波信号として検出され、これらが図示してい
ない後段の処理回路によつてカウントパルス信号に変換
され、長さ或いは物理量変化をデジクタル値として表示
し或いは他の制御信号として用いることができる。前記
スケール、図における主スケール１０の零点位置を検出
するために、主スケール１０及びインデックススケール
１２にはそれぞれ零点検出用光学格子１０ｃ及び１２ｃ
が設けられ、これらの光学格子１０ｃ，１２ｃはそれぞ
れ前記各光学格子１０ａ，１２ａ，１２ｂと同様の整列
配置された遮光部及び光透過部から形成され或いは零点
検出用光学格子として特殊なランダムパターンから形成
される。
そして、インデックススケール１２の零点検出用光学格
子１２ｃと対向して、零点検出用受光器２０が設けられ
、主スケール１０の零フ点がインデックススケール１２
と対向した時に、受光器２０からは零点基準信号を出力
することができ、これによつてカウント値をリセットし
て絶対測定を行ない或いは他の任意の比較信号としてこ
の零点基準信号を用いることができる。前記スケールの
零点位置はスケール全長中の単一位置でも或いは複数の
任意に選択された位置でもよく、これらの１個或いは複
数の零点基準信号を必要に応じて任意に使用可能である
。
子１２ｃと対向して、零点検出用受光器２０が設けられ
、主スケール１０の零フ点がインデックススケール１２
と対向した時に、受光器２０からは零点基準信号を出力
することができ、これによつてカウント値をリセットし
て絶対測定を行ない或いは他の任意の比較信号としてこ
の零点基準信号を用いることができる。前記スケールの
零点位置はスケール全長中の単一位置でも或いは複数の
任意に選択された位置でもよく、これらの１個或いは複
数の零点基準信号を必要に応じて任意に使用可能である
。
前述した一般の光電型エンコーダによれば、以”上の説
明から、零点基準信号を得ることができるが、従来装置
においては、この零点基準信号は以下のごとく処理され
ていた。
明から、零点基準信号を得ることができるが、従来装置
においては、この零点基準信号は以下のごとく処理され
ていた。
第２図には従来の零点検出回路が示され、零点検出用受
光器２０から検出された第３図に示される零点基準信号
１００は比較器２２によつて基準電圧１０２と比較され
その比較出力１０４が微分回路或いはワンショット回路
等から成るパルス化回路２４によつてその前縁と同期し
た零点検出信号１０６に変換され、これが後段の処理回
路に供給される。
光器２０から検出された第３図に示される零点基準信号
１００は比較器２２によつて基準電圧１０２と比較され
その比較出力１０４が微分回路或いはワンショット回路
等から成るパルス化回路２４によつてその前縁と同期し
た零点検出信号１０６に変換され、これが後段の処理回
路に供給される。
前述した従来装置によれば、簡単な回路構成で容易に零
点検出信号１０６を得ることができるという利点を有す
るが、比較出力１０４には無視できないパルス幅が在す
るため、主スケール１０の移動方向によつて、零点検出
信号１０６に方向性誤差が生じるという問題があつた。
点検出信号１０６を得ることができるという利点を有す
るが、比較出力１０４には無視できないパルス幅が在す
るため、主スケール１０の移動方向によつて、零点検出
信号１０６に方向性誤差が生じるという問題があつた。
すなわち、主スケール１００をインデックススケール１
２に対して第１図の矢印Ａ方向に移動した時には、前述
した零点検出信号１０６が得られるが、これを逆方向Ｂ
に移動した場合には、第３図に示される零点検出信号１
０６″が生じ、比較出力１０４のパルス幅だけずれた信
号となる。そして、この方向性誤差は受光器１６，１８
から得られるカウントパルス信号のパルス間隔以内であ
れば、いずれの方向に対してもカウント誤差を生じるこ
とはないがが、エンコーダ及び処理回路の応答速度を考
慮すると、この方向性誤差の許容範囲は著しく小さくな
り、従来装置においては、零点基準信号１００或いは比
較出力１０４のパルス幅を著しく小さく設定しなければ
ならず、このために、零点検出用光学格子１０ｃ，１２
ｃの加工に際して極めて厳密な高精度を必要とし、また
基準電圧１０２を零点基準信号１００の頂部近傍に設定
するために発光量の低下時或いはノイズ発生時に零点検
出不能或いは誤信号の混入等が生じるという問題があつ
た。
２に対して第１図の矢印Ａ方向に移動した時には、前述
した零点検出信号１０６が得られるが、これを逆方向Ｂ
に移動した場合には、第３図に示される零点検出信号１
０６″が生じ、比較出力１０４のパルス幅だけずれた信
号となる。そして、この方向性誤差は受光器１６，１８
から得られるカウントパルス信号のパルス間隔以内であ
れば、いずれの方向に対してもカウント誤差を生じるこ
とはないがが、エンコーダ及び処理回路の応答速度を考
慮すると、この方向性誤差の許容範囲は著しく小さくな
り、従来装置においては、零点基準信号１００或いは比
較出力１０４のパルス幅を著しく小さく設定しなければ
ならず、このために、零点検出用光学格子１０ｃ，１２
ｃの加工に際して極めて厳密な高精度を必要とし、また
基準電圧１０２を零点基準信号１００の頂部近傍に設定
するために発光量の低下時或いはノイズ発生時に零点検
出不能或いは誤信号の混入等が生じるという問題があつ
た。
本発明は上記従来の課題に鑑みなされたものであり、そ
の目的は、方向性誤差などのない正確な零点検出信号を
得ることのできる改良された零点検出装置を提供するこ
とにある。
の目的は、方向性誤差などのない正確な零点検出信号を
得ることのできる改良された零点検出装置を提供するこ
とにある。
上記目的を達成するために、本発明は、整列配置された
光学格子を有する主スケールと、互に異なる位相で整列
配置された２個の光学格子を有するインデックススケー
ルと、を含み、前記両スケールを相対移動させて両光学
格子対を透過または反射する光の明暗から位相の異なる
２種類の信号を検出する光電型エンコーダにおいて、所
望の零点位置にて極性の異なる２種類の零点基準信号を
同一のタイミングで得る零点検出手段を設け、前記両零
点基準信号の交叉時に零点検出信号を出力することを特
徴とする。
光学格子を有する主スケールと、互に異なる位相で整列
配置された２個の光学格子を有するインデックススケー
ルと、を含み、前記両スケールを相対移動させて両光学
格子対を透過または反射する光の明暗から位相の異なる
２種類の信号を検出する光電型エンコーダにおいて、所
望の零点位置にて極性の異なる２種類の零点基準信号を
同一のタイミングで得る零点検出手段を設け、前記両零
点基準信号の交叉時に零点検出信号を出力することを特
徴とする。
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を示す。
第４図には本発明の第１実施例が示され、第１図の従来
装置と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
装置と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
本発明において特徴的なことは、所望の零点位置におい
て極性の異なる２種類の零点基準信号が検出されること
であり、このために、第４図の実施例においては、主ス
ケール１０に主スケール１０の移動方向に沿つて並列配
置された２列の零点検出用光学格子１０ｃ，１０ｄが設
けられ、これらの光学格子１０ｃ，１０ｄは図のハンチ
ングを施した遮光部とそれ以外の光透過部とから成り両
光学格子１０ｃ，１０ｄは互いにその遮光部及び光透過
部が逆転して設けられている。前記主スケールの零点検
出用光学格子１０ｃ，１０ｄと対向する位置に、インデ
ックススケール１２には零点検出用光学格子１２ｃが設
けられ、前記主スケール１０側の光学格子１０ｃ及び１
０ｄと該光学格子１２ｃとの協働によつて発光器１４か
らの透過光の明暗が零点位置において変化することが理
解される。
て極性の異なる２種類の零点基準信号が検出されること
であり、このために、第４図の実施例においては、主ス
ケール１０に主スケール１０の移動方向に沿つて並列配
置された２列の零点検出用光学格子１０ｃ，１０ｄが設
けられ、これらの光学格子１０ｃ，１０ｄは図のハンチ
ングを施した遮光部とそれ以外の光透過部とから成り両
光学格子１０ｃ，１０ｄは互いにその遮光部及び光透過
部が逆転して設けられている。前記主スケールの零点検
出用光学格子１０ｃ，１０ｄと対向する位置に、インデ
ックススケール１２には零点検出用光学格子１２ｃが設
けられ、前記主スケール１０側の光学格子１０ｃ及び１
０ｄと該光学格子１２ｃとの協働によつて発光器１４か
らの透過光の明暗が零点位置において変化することが理
解される。
そして、インデックススケール１２の零点検出用光学格
子１２ｃの側方には、前記主スケール１０側の光学格子
１０ｃ，１０ｄとそれぞれ対向する位置に零点検出用受
光器２０，２２が配置されており、前記光の明暗を該受
光器２０，２２によつて電気的な検出信号として出力す
ることができる。前記零点検出用受光器２０，２２の出
力はそれぞれ極性の異なる零点基準信号２００，２０２
を形成し、その零点基準信号が第５図の処理回路によつ
て処理され、またその波形が第６図に示されている。
子１２ｃの側方には、前記主スケール１０側の光学格子
１０ｃ，１０ｄとそれぞれ対向する位置に零点検出用受
光器２０，２２が配置されており、前記光の明暗を該受
光器２０，２２によつて電気的な検出信号として出力す
ることができる。前記零点検出用受光器２０，２２の出
力はそれぞれ極性の異なる零点基準信号２００，２０２
を形成し、その零点基準信号が第５図の処理回路によつ
て処理され、またその波形が第６図に示されている。
第６図から明らかなように、両零点基準信号２００，２
０２は零点検出用光学格子１０ｃ，１０ｄ（７）遮光部
と光透過部との境界部において反転する波形となり、実
施例においては、主スケール１０の移動方向に沿つて複
数の零点位置が設定されている状態が示され、各零点位
置毎に、零点基準信号２００，２０２は互いに逆極性に
反転することとなる。従つて、本発明においては、前記
零点基準信号２００，２０２を第５図て示されるように
、比較器２４で互いに比較し、その比較出力２０４をパ
ルス化回路２６によつてパルス化することにより、零点
検出信号２０６を極めて容易に得ることが可能となる。
０２は零点検出用光学格子１０ｃ，１０ｄ（７）遮光部
と光透過部との境界部において反転する波形となり、実
施例においては、主スケール１０の移動方向に沿つて複
数の零点位置が設定されている状態が示され、各零点位
置毎に、零点基準信号２００，２０２は互いに逆極性に
反転することとなる。従つて、本発明においては、前記
零点基準信号２００，２０２を第５図て示されるように
、比較器２４で互いに比較し、その比較出力２０４をパ
ルス化回路２６によつてパルス化することにより、零点
検出信号２０６を極めて容易に得ることが可能となる。
第７図には本発明の第２実施例が示され、第１実施例と
同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
第２実施例において特徴的なことは、主スケール１０に
設けられた零点検出用光学格子が１列で・あり、この１
列の零点検出用光学格子１２ｃから２種類の互いに極性
が反対の零点基準信号を得るために、インデックススケ
ール１２には主スケール１０の移動方向に所定の間隔を
保つて配置された２個の零点検出用光学格子１２ｃ，１
２ｄを有）することてあり、零点検出用受光器２０，２
２は該光学格子１２ｃ，１２ｄと対向した位置に配置さ
れている。
設けられた零点検出用光学格子が１列で・あり、この１
列の零点検出用光学格子１２ｃから２種類の互いに極性
が反対の零点基準信号を得るために、インデックススケ
ール１２には主スケール１０の移動方向に所定の間隔を
保つて配置された２個の零点検出用光学格子１２ｃ，１
２ｄを有）することてあり、零点検出用受光器２０，２
２は該光学格子１２ｃ，１２ｄと対向した位置に配置さ
れている。
そして、本実施例では、主スケール１０の零点検出用光
学格子１２ｃはその遮光部及び光透過部が互いに等間隔
で配列され、またインデックススケール１２に設けられ
た受光器２０，２２もその間隙が前記遮光部と光透過部
との間隙に等しく設定されている。
学格子１２ｃはその遮光部及び光透過部が互いに等間隔
で配列され、またインデックススケール１２に設けられ
た受光器２０，２２もその間隙が前記遮光部と光透過部
との間隙に等しく設定されている。
従つて、一方の受光器２０が遮光部から光透過部への境
界と対向して増加持性の零点基準信号を出力する時、他
方の受光器２０には光透過部から遮光部への境界と対向
し、減少特性の零点基準信号を出力する。
界と対向して増加持性の零点基準信号を出力する時、他
方の受光器２０には光透過部から遮光部への境界と対向
し、減少特性の零点基準信号を出力する。
従つて、第５図及び６図で説明したと同様に、極性の異
なる両零点基準信号を比較すれば、両特性の交叉時に、
正確な零点検出信号を得ることが可能である。第８図に
は本発明の第３実施例が示され、第１及び第２実施例と
同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
なる両零点基準信号を比較すれば、両特性の交叉時に、
正確な零点検出信号を得ることが可能である。第８図に
は本発明の第３実施例が示され、第１及び第２実施例と
同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
第３実施例において特徴的なことは、主スケール１０に
設けられた零点検出用光学格子１２ｃが１列であり、さ
らに、零点検出用光学格子と対向する位置に設けられた
零点検出用受光器２０が１個であることである。
設けられた零点検出用光学格子１２ｃが１列であり、さ
らに、零点検出用光学格子と対向する位置に設けられた
零点検出用受光器２０が１個であることである。
そして、１列の零点検出用光学格子１２ｃと１個の零点
検出用受光器２０とから、零点検出信号を検出するため
に第９図に示される零点検出回路が用いられる。第９図
において、零点検出用受光器２０の零点基準信号２００
を反転する反転回路２８が設けら−れ、零点基準信号２
００と反転回路２８からの極性の異なる反転零点基準信
号２０『とから、零点検出信号２０６が検出される。
検出用受光器２０とから、零点検出信号を検出するため
に第９図に示される零点検出回路が用いられる。第９図
において、零点検出用受光器２０の零点基準信号２００
を反転する反転回路２８が設けら−れ、零点基準信号２
００と反転回路２８からの極性の異なる反転零点基準信
号２０『とから、零点検出信号２０６が検出される。
すなわち、第９図、第１０図の波形図において、比較器
２４により零点基準信号２００と反転零点基準信号２０
．０″とを比較すれば、両特性の交叉時に、正確な零点
検出信号２０６を得ることができる。以上のように、本
発明によれば、エンコーダの機械的なギャップ変化や光
量変化に影響をうけることのない且つノイズに強い零点
検出信号を容易に得ることが可能となり、また零点検出
用光学格子はそのパターンが極めて簡単であるため、加
工が容易であるという利点を有する。
２４により零点基準信号２００と反転零点基準信号２０
．０″とを比較すれば、両特性の交叉時に、正確な零点
検出信号２０６を得ることができる。以上のように、本
発明によれば、エンコーダの機械的なギャップ変化や光
量変化に影響をうけることのない且つノイズに強い零点
検出信号を容易に得ることが可能となり、また零点検出
用光学格子はそのパターンが極めて簡単であるため、加
工が容易であるという利点を有する。
また、本発明によれば、スケールの移動方向誤差がなく
、特・に、実施例のように、複数の零点位置を必要とす
る場合に極めて有効である。
、特・に、実施例のように、複数の零点位置を必要とす
る場合に極めて有効である。
第１図は一般的な光電型エンコーダの概略構成を示す要
部斜視図、第２図は第１図の零点検出回路図、第３図は
第２図の要部波形図、第４図は本発明に係る零点検出装
置が組み込まれた光電型エンコーダの好適な実施例を示
す要部斜視図、第５図は第４図における光電検出回路図
、第６図は第５図の要部波形図、第７図は本発明の第２
実施例を示す要部斜視図、第８図は本発明の第３実施例
を示す要部斜視図、第９図は第８図における零点検出回
路図、第１０図は第９図の波形図である。 １０・・・・・・主スケール、１２・・・・・・インデ
ックススケール、１０ａ，１２ａ，１２ｂ・・・・・・
光学格子、１０ｃ，１０ｄ，１２ｃ・・・・・・零点検
出用光学格子、１４・・・・・発光器、１６，１８・・
・・・受光器、２０，２２・・・・・・零点検出用受光
器、２４・・・・比較器、２６・・・・・・パルス化回
路、２８・・・・・・反転回路、２００，２０２・・・
・・・零点基準信号、２０『・・反転零点基準信号、２
０６・・・・・・零点検出信号。
部斜視図、第２図は第１図の零点検出回路図、第３図は
第２図の要部波形図、第４図は本発明に係る零点検出装
置が組み込まれた光電型エンコーダの好適な実施例を示
す要部斜視図、第５図は第４図における光電検出回路図
、第６図は第５図の要部波形図、第７図は本発明の第２
実施例を示す要部斜視図、第８図は本発明の第３実施例
を示す要部斜視図、第９図は第８図における零点検出回
路図、第１０図は第９図の波形図である。 １０・・・・・・主スケール、１２・・・・・・インデ
ックススケール、１０ａ，１２ａ，１２ｂ・・・・・・
光学格子、１０ｃ，１０ｄ，１２ｃ・・・・・・零点検
出用光学格子、１４・・・・・発光器、１６，１８・・
・・・受光器、２０，２２・・・・・・零点検出用受光
器、２４・・・・比較器、２６・・・・・・パルス化回
路、２８・・・・・・反転回路、２００，２０２・・・
・・・零点基準信号、２０『・・反転零点基準信号、２
０６・・・・・・零点検出信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 整列配置された光学格子を有する主スケールと、互
に異なる位相で整列配置された２個の光学格子を有する
インデックススケールと、を含み、前記両スケールを相
対移動させて両光学格子対を透過または反射する光の明
暗から位相の異なる２種類の信号を検出する光電型エン
コーダにおいて、所望の零点位置にて極性の異なる２種
類の零点基準信号を同一のタイミングで得る零点検出手
段を設け、前記零点基準信号の交叉時に零点検出信号を
出力することを特徴とする光電型エンコーダの零点検出
装置。 ２ 特許請求の範囲１記載の装置において、主スケール
にはその移動方向に沿つて並列配置された少なくとも２
列の零点検出用光学格子が設けられ、両零点検出用光学
格子から互いに逆極性の零点基準信号を検出することを
特徴とする光電型エンコーダの零点検出装置。 ３ 特許請求の範囲１記載の装置において、主スケール
にはその移動方向沿つて一列の零点検出用光学格子が設
けられ、該零点検出用光学格子は複数の所望零点位置に
対応して遮光部及び光透過部が等間隔で整列配置され、
また前記零点検出用光学格子の遮光及び光透過間隔と同
一の間隔でインデックススケールには２個の零点検出用
受光器が設けられ、前記両受光器から逆極性の零点基準
信号を検出することを特徴とする光電型エンコーダの零
点検出装置。 ４ 特許請求の範囲１記載の装置において、主スケール
にはその移動方向に沿つて一列の零点検出用光学格子が
設けられ、該零点検出用光学格子は複数の所望零点位置
に対応して遮光部及び光透過部が等間隔で整列配置され
、また前記零点検出用光学格子と対向する位置に１個の
零点検出用受光器が設けられ、該零点検出用受光器の零
点基準信号とその反転零点基準信号との交叉時に零点検
出信号を検出することを特徴とする光電型エンコーダの
零点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12202581A JPS6051650B2 (ja) | 1981-08-04 | 1981-08-04 | 光電型エンコ−ダの零点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12202581A JPS6051650B2 (ja) | 1981-08-04 | 1981-08-04 | 光電型エンコ−ダの零点検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5822914A JPS5822914A (ja) | 1983-02-10 |
| JPS6051650B2 true JPS6051650B2 (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=14825720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12202581A Expired JPS6051650B2 (ja) | 1981-08-04 | 1981-08-04 | 光電型エンコ−ダの零点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6051650B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61192066A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-26 | Copal Co Ltd | 磁気デイスク駆動装置 |
| JPS61174058U (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-29 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4522517A (en) * | 1983-11-10 | 1985-06-11 | Wade Kenneth B | Encoder system for dot matrix line printer |
| JPH0623931B2 (ja) * | 1983-12-07 | 1994-03-30 | キヤノン株式会社 | 走査位置制御装置 |
| DE3427411A1 (de) * | 1984-07-25 | 1986-02-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messeinrichtung |
| JPH0421072Y2 (ja) * | 1985-03-19 | 1992-05-14 | ||
| JPS61288105A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-18 | Makita Denki Seisakusho:Kk | 電動身長計 |
| JP2547076B2 (ja) * | 1988-08-03 | 1996-10-23 | 和雄 馬場 | 超音波探触子 |
| JP6359340B2 (ja) * | 2014-05-27 | 2018-07-18 | 株式会社ミツトヨ | スケール及び光学式エンコーダ |
-
1981
- 1981-08-04 JP JP12202581A patent/JPS6051650B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61192066A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-26 | Copal Co Ltd | 磁気デイスク駆動装置 |
| JPS61174058U (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-29 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5822914A (ja) | 1983-02-10 |
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