JPH0132450B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0132450B2
JPH0132450B2 JP60095695A JP9569585A JPH0132450B2 JP H0132450 B2 JPH0132450 B2 JP H0132450B2 JP 60095695 A JP60095695 A JP 60095695A JP 9569585 A JP9569585 A JP 9569585A JP H0132450 B2 JPH0132450 B2 JP H0132450B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grating
phase
gratings
graduation
field
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP60095695A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60243514A (ja
Inventor
Mitsuhieru Deiizeru
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPS60243514A publication Critical patent/JPS60243514A/ja
Publication of JPH0132450B2 publication Critical patent/JPH0132450B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/366—Particular pulse shapes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の分野） 本発明は位置測定装置において電気的信号を、
特に長さ又は角度測定装置において参照符号に基
づいて参照パルスを光電的に発生させるための装
置にして、少なくとも１つの照明装置と、走査板
と、目盛担持体上に目盛符号を備えた少なくとも
１つの長さ又は角度目盛フイールドと、少なくと
も１つの光電的検出器と、評価回路とを備えた前
記装置にに関する。
（従来の技術） 西独国特許明細書1814786号には参照パルスの
発生のための参照符号の構成が記載されている。
しかし充分に正確な参照パルスを発生させるた
めには走査間隔が非常に小さい許容公差しか有さ
ない。
従来公知の参照符号の光電的走査間隔ではプツ
シユプル信号は使用されなかつた。安全な評価の
ために必要なプツシユプル信号又は擬似プツシユ
プル信号を得るためには、２つの参照符号又は１
つの参照符号を有する目盛フイールドと基準信号
を発生させるための目盛フイールド（例えば鏡）
が設けられかつ走査されねばならない。参照パル
スの不均一な汚染及び間隔の変化によつて走査の
際に発生した光電的信号は安全な評価が得られな
くなる程に変化し得る。
更に公知の参照パルスはその目盛フイールド内
に、参照パルスを相互に相異ならしめるためのコ
ード化可能性を有さない。
西独国特許公開公報2316248号から４，４５，
４８，４９と協同する光電的位置マーキングシス
テムが公知であり、その場合相互に移動可能な両
格子のより大きな間隔が可能にされ、そして間隔
変化に対する感度は小さい。しかしこの文献には
いかにして例えば参照パルスが充分安全に走査さ
れかつ評価されることができるかについてのいか
なるヒントも示されていない。
（発明の課題） 本発明は冒頭に記載した形式の装置を走査間隔
の許容公差が増大されることができ、その際走査
板と測定格子としての反射形位相格子との間の比
較的大きな走査間隔が可能にされ、かつ参照符号
に基づいて参照パルスが発生しかつそれによつて
符号化されることができるように形成することを
課題とする。
（課題を解決するための手段） 本発明の課題は少なくとも個々の目盛フイール
ドが位相格子として形成されており、その位相格
子の格子じまの方向又は格子方向及び格子じまの
方向は測定方向に対して0゜とは異なる方向をなし
ており、そして位相格子によつて回折された光の
検出のために検出器が設けられており、その配列
は波長、位相格子の格子方向及び格子パラメータ
に依存していることによつて解決される。
（発明の効果） 本発明によれば、参照パルスの走査のために位
相格子が利用されかつこれによる回折光を検出す
るための検出器が位相格子の格子パラメータに依
存して配列されていることにより走査格子と測定
格子の間の相応した間隔変化に対して比較的敏感
ではなく、比較的大きな走査間隔が可能にされる
ことにある（例えば走査間隔1000μm±500μm）。
更にこの本発明による装置では個々の参照パルス
を符号化することが可能であり、従つて個々の参
照パルスは相違してかつ評価されることができ
る。有利な実施形態は特許請求の範囲第２項以下
から把握される。
（実施例） 図示の実施例により本発明を詳しく説明する。
第１図において反射により作動する測定装置１
が示されている。光源Ｌの光はコンデンサ２によ
つて走査板３上に入射する。第２図は明らかなよ
うに走査板３は透明な範囲の１つの群から成る目
盛フイールド３′を有する。目盛フイールド３′の
まわりの周囲フイールド３″は光吸収性である。
目盛フイールド３′はインクリメンタルスケール
としても形成されることもできる。そのような形
態は従来の（反射形又は透過形振幅格子）スケー
ルで質的に高い信号を発生させるためにいわゆる
単一フイールド−プツシユプル走査が実施される
べきである場合に特に意味がある。
走査板３を透過した光は反射形位相格子に入射
し、そこで反射しかつ回折される。反射形位相格
子４で回折した光は走査板３及びコンデンサ２を
通つて進み、光電的検出器５′，−５′；５″，−
５″上に配設されているプレート５上に入射する。
第３図から反射形位相格子４が走査板３の目盛
フイールド３′と同一の、参照符号としての目盛
フイールド４′を有する。目盛フイールド４′は
10μmの格子定数を有する位相格子として形成さ
れている。同様に周囲フイールド４″は位相格子
として作られているが、4μmの格子定数を有す
る。目盛フイールド４′と周囲フイールド４″の位
相格子の相異なる格子定数は相異なる回折を生じ
させ、即ち光検出器５′−５′；５″，−５″を備え
たプレート５上に相異なる回折像を生じさせるこ
とになる。位相格子の格子溝及び格子段は第３図
からも明らかなように測定方向Ｘの方を向いてい
る。しかし参照符号としての格子じまの方向は測
定方向Ｘに対して0°とは異なる角度、例えば図示
の実施例では90゜をなしている。
第１図によれば測定方向Ｘは図平面に対して垂
直に向いている。
光は走査板３と位相格子４の目盛フイールド
３′と４′の重なり状態に相応して正負の回折次数
の方向に反射されかつコンデンサ２によつて集光
される。コンデンサ２の焦点面には光源Ｌに対し
て対称的に第１次の回折像が生ずる。コンデンサ
２の焦点面にはプレート５が配設されている一平
面に焦点を結ぶ。
第５図の場合は第１図による場合とは異なり目
盛フイールド４５′にのみ位相格子４５が付設さ
れ、周囲フイールド４５″には付設されていない
か或いはその逆の場合、光電的検出器は省略され
得る、そのわけは大きな次数の回折像は生じない
からである。これらの手段は当業者の任意であ
る。
光電的検出器５′−５′；５″，−５″は対に又は
相互に逆並列に接続され、その結果第６図による
回路が得られる。光検出器によつて生じた電気的
信号の評価は第６図に示すように点R1とR2の摺
動によつて示される。
本発明による参照符号プツシユプル信号の代表
的な振動波形は第７図に示されている。第６図に
よる回路の点R1とR2に生じるこの信号の安全に
評価される、そのわけは充分なSN比が生じるか
らであり、走査間隔の変更及び汚染の生じた際に
信号がゼロライン（振幅線）に対して対称的に変
わるからである。
既に述べた参照符号の符号化の可能性は位相格
子を相違して形成することにある。
第３図による位相格子４′と４″の形態から既に
所属の回折像が所属の光検出器±５′と±５″上の
種々の個所に生ずることが明らかである。図示の
ように位相格子４′と４″が平行に整直されている
場合に信号を供給する光電的検出器±５′と±
５″によつて、どの位相格子４′又は４″に各光電
的検出器±５′又は±５″を負荷する回折像が属す
るかが明確に決定されることができる。
第３図に示す位相格子の変形は目盛フイールド
４′と周囲フイールド４″に使用される相異なる格
子定数を備えた矩形位相格子である。
第８図中、エシエレツト位相格子の変形の横断
面が示されており、その際目盛フイールド４８′
及び周囲フイールド４８″は相異なる格子定数及
び又は方向を有する。照明の回折像は変形に相応
してずれ、そして個々の回折像に属する光検出器
は相応した位置を占める。それによつて個々の参
照符号は符号化されかつ検出器の相応する１つに
よつて発生した信号を感知することによつて他の
参照符号から区別されることができる。
更に第９図によれば矩形位相格子と、目盛フイ
ールド及び周囲フイールドに使用される等しい又
は相異なる格子数のエシユレツト位相格子との組
合せが可能であり、その際位相格子の方向も異な
らしめられる。
第８図及び第９図に実施例を示した発明によれ
ば、位相格子の格子方向及び格子じまの方向が共
に測定方向に対し0゜とは異なる角度、例えば図に
おいては90゜をなしている。
位相格子の形態は当業者に使用条件によつて選
択されかつ組合わされる。その際特別の意味は位
相格子相互の格子方向にある、そのわけは位相格
子の相異なる格子方向と所属の光電的検出器±
５′と±５″の相応した位置とによつて個々の参照
符号の符号化が特別に簡単になるからである。
各回折像に属する光電的検出器±５′と±５″の
位置付けは格子原理の公式から得られ、この公式
は1978年に公開されたJ.ウイルヘルム氏の論文
「位置変化の測定のための三格子ステツプ発信器
−光電的測定装置−収容部」（TUハノーバ）に
記載されている。この文献の12頁に回折公式 Sinα＝Ｋ・λ／ｄ が記載されており、ここではＫは次数、λは波
長、そしてｄは格子定数である。
【図面の簡単な説明】
第１図は反射方法による測定装置、第２図は第
１図の―線に沿う位相格子の部分図、第３図
は第１図の―線に沿う位相格子の部分図、第
４図は第１図の―線に沿う光電的検出器を備
えたプレートの正面図、第５図は透過光の原理に
よる測定器を示す図、第６図は光電的検出器の回
路図、第７図は参照符号としてのプツシユプル信
号の代表的な信号波形を示す図、第８図は相異な
る格子定数を有するエシユレツト位相格子の横断
面図そして第９図はエシユレツト位相格子と矩形
位相格子との組合せたものの横断面を示す図であ
る。 図中符号 ４，４５，４８，４９…位相格子、
４′，４５′，４８′，４９′…目盛符号、５′，−
５′；５″，−５″，５５′，−５５′，５５″，−５
５″…光電的検出器、λ…波長。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 位置測定装置において電気的信号を、特に長
    さ又は角度測定装置において参照符号に基づいて
    参照パルスを光電的に発生させるための装置にし
    て、少なくとも１つの照明装置と、走査板と、目
    盛担持体上に目盛符号を備えた少なくとも１つの
    長さ又は角度目盛フイールドと、少なくとも１つ
    の光電的検出器と、評価回路とを備えた前記装置
    において、 少なくとも個々の目盛フイールド４′，４５′が
    位相格子４，４５として形成されておりかつその
    位相格子の格子じまの方向は測定方向に対して0゜
    とは異なる角度をなしており、そして位相格子
    ４，４５によつて回折された光の検出のために検
    出器５′，−５′，５″，−５″，５５′，−５５′，
    ５
    ５″，−５５″が設けられており、その配列は波長、
    位相格子４，４５の格子方向及び格子パラメータ
    に依存していることを特徴とする光電的測定装
    置。 ２ 参照符号目盛フイールド４′に加えて、周囲
    フイールド４″が参照符号目盛フイールド４′とは
    異なる格子パラメータを備えた位相格子として形
    成されている、特許請求の範囲第１項記載の装
    置。 ３ 位相格子４′，４″が相異なる格子定数しかし
    同一格子方向を有する矩形格子として形成されて
    いる、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の装
    置。 ４ 位相格子４，４５の格子方向が相異なる、特
    許請求の範囲第１項から第３項までのうちのいず
    れか一つに記載の装置。 ５ 位相格子４，４５が反射及び透過格子として
    形成されている、特許請求の範囲第１項から第４
    項までのうちのいずれか一つに記載の装置。 ６ 位置測定装置において電気的信号を、特に長
    さ又は角度測定装置において参照符号に基づいて
    参照パルスを光電的に発生させるための装置にし
    て、少なくとも１つの照明装置と、走査板と、目
    盛担持体上に目盛符号を備えた少なくとも１つの
    長さ又は角度目盛フイールドと、少なくとも１つ
    の光電的検出器と、評価回路とを備えた前記装置
    において、 少なくとも個々の目盛フイールド４８′，４
    ９′が位相格子４８，４９として形成されており
    かつその位相格子の格子方向及び格子じまの方向
    は測定方向に対して0゜とは異なる角度をなしてお
    り、そして位相格子４８，４９によつて回折され
    た光の検出のために検出器５′，−５′，５″，−
    ５″，５５′，−５５′，５５″，−５５″が設けられ
    ており、その配列は波長、位相格子４８，４９の
    格子方向及び格子パラメータに依存していること
    を特徴とする光電的測定装置。 ７ 参照符号目盛フイールド４′に加えて、周囲
    フイールド４″が参照符号目盛フイールド４′とは
    異なる格子パラメータを備えた位相格子として形
    成されている、特許請求の範囲第６項記載の装
    置。 ８ 位相格子４′，４″が相異なる格子定数しかし
    同一格子方向を有する矩形格子ととして形成され
    ている、特許請求の範囲第６項又は第７項記載の
    装置。 ９ 位相格子は相異なる格子定数しかし格子方向
    が同一のエシエル位相格子として形成されている
    特許請求の範囲第６項又は第７項記載の装置。 １０ 位相格子が矩形の位相格子４９″とエシエ
    ル位相格子４９′とから組み合わされている、特
    許請求の範囲第６項から第９項までのうちのいず
    れか一つに記載の装置。 １１ 位相格子４８，４９の格子方向が相異な
    る、特許請求の範囲第６項から第１０項までのう
    ちのいずれか一つに記載の装置。 １２ 位相格子４８，４９が反射及び透過格子と
    して形成されている特許請求の範囲第６項から第
    １１項までのうちのいずれか一つに記載の装置。
JP60095695A 1984-05-08 1985-05-07 光電的測定装置 Granted JPS60243514A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3416864A DE3416864C2 (de) 1984-05-08 1984-05-08 Photoelektrische Meßeinrichtung
DE3416864.8 1984-05-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60243514A JPS60243514A (ja) 1985-12-03
JPH0132450B2 true JPH0132450B2 (ja) 1989-06-30

Family

ID=6235167

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60095695A Granted JPS60243514A (ja) 1984-05-08 1985-05-07 光電的測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4677293A (ja)
EP (1) EP0160811B1 (ja)
JP (1) JPS60243514A (ja)
AT (1) ATE64006T1 (ja)
DE (2) DE3416864C2 (ja)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3541199C1 (de) * 1985-11-21 1987-06-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung
DE3700777C2 (de) * 1986-01-14 1994-05-05 Canon Kk Vorrichtung zur Erfassung der Position eines Objektes
GB8615197D0 (en) * 1986-06-21 1986-07-23 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
GB8616240D0 (en) * 1986-07-03 1986-08-13 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
DE3632084A1 (de) * 1986-09-20 1988-04-07 Telefunken Electronic Gmbh Optischer encoder
JPH0212017A (ja) * 1988-06-30 1990-01-17 Okuma Mach Works Ltd 平均化回折モアレ位置検出器
US4985624A (en) * 1988-05-11 1991-01-15 Simmonds Precision Products, Inc. Optical grating sensor and method of monitoring with a multi-period grating
US4874941A (en) * 1988-05-11 1989-10-17 Simmonds Precision Products, Inc. Optical displacement sensor with a multi-period grating
DE3834676A1 (de) * 1988-10-12 1990-04-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Photoelektrische positionsmesseinrichtung
US5012090A (en) * 1989-02-09 1991-04-30 Simmonds Precision Products, Inc. Optical grating sensor and method of monitoring having a multi-period grating
DE3939504A1 (de) * 1989-11-30 1991-06-06 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische positionsmesseinrichtung
DE59103694D1 (de) * 1991-02-11 1995-01-12 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Photoelektrische Positionsmesseinrichtung.
ATE108274T1 (de) * 1991-05-18 1994-07-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Interferentielle positionsmessvorrichtung.
DE4212281A1 (de) * 1991-07-11 1993-10-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Interferentielle Positionsmeßvorrichtung
US5519492A (en) * 1992-06-27 1996-05-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optical arrangement for detecting the intensity modulation of partial ray beams
DE59203396D1 (de) * 1992-07-18 1995-09-28 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Vorrichtung.
ATE192566T1 (de) * 1994-02-23 2000-05-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmessvorrichtung
DE19511068A1 (de) * 1995-03-25 1996-09-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung
DE19521295C2 (de) * 1995-06-10 2000-07-13 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung
DE19525874A1 (de) * 1995-07-15 1997-01-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßvorrichtung
DE19937023A1 (de) 1999-08-05 2001-02-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Reflexions-Maßverkörperung und Verfahren zur Herstellung einer Reflexions-Maßverkörperung
DE10132521A1 (de) * 2001-07-09 2003-01-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung
US7002137B2 (en) * 2001-08-30 2006-02-21 Gsi Lumonics Corporation Reference point talbot encoder
AU2003208299A1 (en) * 2002-02-14 2003-09-04 Forskningscenter Riso Optical displacement sensor
US20090025986A1 (en) * 2005-04-19 2009-01-29 Multivac Sepp Haggenmüller Gmbh & Co. Kg Packaging Machine
GB0509727D0 (en) * 2005-05-13 2005-06-22 Renishaw Plc Method and apparatus for scale manufacture
WO2007048611A1 (de) * 2005-10-28 2007-05-03 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Codierungselement für einen positionsgeber
DE102007035345A1 (de) * 2006-11-20 2008-05-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
US8537377B2 (en) 2011-04-27 2013-09-17 Raytheon Company Absolute position encoder
CN103697817A (zh) * 2012-09-27 2014-04-02 中国航空工业第六一八研究所 一种基于复合光栅的新型光位移传感器及其位移补偿方法
DE102017201257A1 (de) * 2017-01-26 2018-07-26 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5174659A (ja) * 1974-12-24 1976-06-28 Nippon Electric Co
JPS5719241B2 (ja) * 1977-07-09 1982-04-21

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB971504A (en) * 1960-02-05 1964-09-30 Emi Ltd Improvements relating to displacement measuring apparatus employing diffraction gratings
DE1548707C3 (de) * 1966-07-26 1979-02-15 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Fotoelektrischer Schrittgeber
DE1814785A1 (de) * 1968-12-14 1970-06-25 Johannes Heidenhain Feinmechan Zaehlanordnung
DE2207132A1 (de) * 1972-02-16 1973-08-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Anordnung zum messen der relativlage zweier zueinander beweglicher teile
JPS4926553U (ja) * 1972-06-05 1974-03-07
US3812352A (en) * 1972-08-28 1974-05-21 Itek Corp Encoder readout system
DE2316248A1 (de) * 1973-03-31 1974-10-10 Leitz Ernst Gmbh Fotoelektrischer schrittgeber
DE2405341A1 (de) * 1974-02-05 1975-08-07 Leitz Ernst Gmbh Anordnung zur lichtmodulation
US4078173A (en) * 1976-06-24 1978-03-07 Pertec Computer Corporation Light amplitude control system for position and motion transducers
US4332473A (en) * 1979-01-31 1982-06-01 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Apparatus for detecting a mutual positional relationship of two sample members
DE3007311C2 (de) * 1980-02-27 1985-11-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Digitales lichtelektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem
JPS6113784Y2 (ja) * 1980-07-07 1986-04-28
DE3229846C2 (de) * 1982-08-11 1984-05-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längen- oder Winkelmeßeinrichtung

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5174659A (ja) * 1974-12-24 1976-06-28 Nippon Electric Co
JPS5719241B2 (ja) * 1977-07-09 1982-04-21

Also Published As

Publication number Publication date
US4677293A (en) 1987-06-30
DE3416864C2 (de) 1986-04-10
EP0160811B1 (de) 1991-05-29
ATE64006T1 (de) 1991-06-15
EP0160811A2 (de) 1985-11-13
EP0160811A3 (en) 1987-09-16
DE3582950D1 (de) 1991-07-04
DE3416864A1 (de) 1985-11-21
JPS60243514A (ja) 1985-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0132450B2 (ja)
US7154609B2 (en) Interferential position measuring arrangement
JPH0131127B2 (ja)
JPH09196705A (ja) 変位測定装置
JPH07286861A (ja) 光学変換器および方法
JP3170902B2 (ja) 信号処理方法及びそれを用いたエンコーダ
JPH0658779A (ja) 測定装置
US20050168757A1 (en) Optical position measuring device
US5748373A (en) Scale and encoder including differently spaced pattern lines
US7161139B2 (en) Position-measuring system and method for operating a position-measuring system
JP3198789B2 (ja) 光学式エンコーダ
JP3738742B2 (ja) 光学式絶対値エンコーダ及び移動装置
JP2000321097A (ja) 光学式エンコーダ
JP2610624B2 (ja) 光学式変位検出器
JPH0733134Y2 (ja) 光学式変位検出装置
JPH0444211B2 (ja)
JPH01417A (ja) 光学式エンコーダ
JP2021179417A (ja) 光学式エンコーダ及び制御装置
JP2549514B2 (ja) 光電式エンコ−ダの基準点信号発生機構
JPH0747694Y2 (ja) 光電型エンコーダ
JPH0760100B2 (ja) 光学式エンコーダ
JPH02304313A (ja) 光学式変位計
JPH0399220A (ja) エンコーダ
JPH07218291A (ja) 位置検出装置
JPH01217211A (ja) 平均化回折モアレ位置検出器

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees