JPH0131127B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0131127B2
JPH0131127B2 JP60096173A JP9617385A JPH0131127B2 JP H0131127 B2 JPH0131127 B2 JP H0131127B2 JP 60096173 A JP60096173 A JP 60096173A JP 9617385 A JP9617385 A JP 9617385A JP H0131127 B2 JPH0131127 B2 JP H0131127B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
length
gratings
field
angle
graduation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP60096173A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60243515A (ja
Inventor
Mitsuhieru Deiiteru
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of JPS60243515A publication Critical patent/JPS60243515A/ja
Publication of JPH0131127B2 publication Critical patent/JPH0131127B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/366—Particular pulse shapes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Measuring Pulse, Heart Rate, Blood Pressure Or Blood Flow (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は位置測定装置で電気信号を、特に長さ
又は角度測定装置で参照パルスを光電的に発生さ
せるようにした光電的測定装置にして、少なくと
も１つの照明装置と、走査板と、目盛担体上の少
なくとも１つの長さ又は角度目盛フイールドと、
少なくとも１つの光電検出器と、評価回路とを備
えた前記装置に関する。
（産業上の利用分野） この種の装置は例えば測定装置に対して特定さ
れたゼロ点が確定されかつ再現されることができ
るために、位置測定装置、特にインクリメンタル
長さ又は角度測定装置において使用される。
（従来の技術） 西独国特許公開1814785に参照パルスの発生の
ための参照マークが記載されている。
しかし充分正確な参照パルスは、走査間隔が非
常に小さく保持されかつ従つて狭い走査公差を前
提とした場合にのみ得られる。
従来公知の参照マークの光電的走査では単一周
期信号が得られる。安全な評価に必要なプツシユ
プル信号を保持するために参照信号の発生のため
の二つ又は一つの参照符号と一つのフイールド
（例えば鏡）が設けられかつ走査されなければな
らない。
走査の際の参照符号の不均一な汚れ及び間隔の
変化によつて発生した光電信号は安全な評価が最
早得られない程変化する。
1978年に公開されたJ.Willhelm著、「三格子ス
テツプ発信器−位置変化の測定のための光電的ピ
ツクアツプ」（TU ハノーパ）の論文において、
このような路程ピツクアツプの理論と構成が詳し
く説明されている。
これに対して西独国特許公開公報2316248から
位相格子によつて作動される光電ステツプ発信器
が公知であり、それによつて相互に移動可能な両
格子の大きな走査間隔が可能にされており、そし
て間隔変化に対する感度は小さい。しかしこの文
献には例えば参照符号が充分安全に走査されかつ
評価されうることについてのヒントは何も与えら
れていない。
（解決されるべき課題） 本発明は冒頭に述べた形式の装置を走査間隔公
差が増大されることができ、比較的大きい走査間
隔が可能にされ、そし参照符号に基いて参照パル
スが発生されることができるように創造すること
を課題の基礎とする。
（課題解決のための手段） 本発明によればこの課題は少なくとも１つの長
さ又は角度目盛フイールドがフーリエ級数に相応
して相異なる格子定数によつて形成された周期的
目盛を備えた複数の格子から構成されており、そ
して格子から導出された周期的信号は光学的及び
又は電気的に検出されるようにしたことによつて
解決される。
（発明の効果） 本発明による装置の利点は参照符号の走査の際
でも走査間隔の変化に対して比較的鈍感な比較的
大きな走査間隔が可能にされることにある。更に
この装置では個々の参照符号を任意の信号波形が
発生しうるように形成することが可能である。他
の有利な構成は実施態様項から把握される。
（実施例） 図示の実施例に基いて本発明を詳しく説明す
る。その際図面は理解をよくするために著しく簡
単にして示されている。
次に使用される「光」には紫外線及び赤外線並
びに可視光線が含まれる。
第１図においていわゆる三格子反射原理による
長さ測定装置１が示されている。光源Ｌの光線は
コンデンサ２によつて平行にされ、かつ位相格子
Ａ及びＢで回折されかつ反射される。
位相格子Ａ及びＢはその全長は相異なるが、相
互に等しい格子定数を有しかつ各位相格子Ａ及び
Ｂはそれぞれ相異なる格子定数を有する周期的目
盛を備えたフイールドＡ１，Ａ２及びＢ１，Ｂ２
から成つている。
コンデンサ２の焦点面において、光源Ｌの０次
及び高次の回折像が生じ、回折像は相異なる格子
定数及び格子形態（例えば溝巾／格子定数、溝深
さ等）に相応する。この個所では格子理論に相応
して光電検出器Ｄ０〜±Ｄ１(2)が配設されてい
る。
各位相格子Ａ及びＢはそれぞれフーリエ級数に
相応した相異なる格子定数を有する二つのフイー
ルドＡ１，Ａ２及びＢ１，Ｂ２から成る。第２図
において長さ測定装置１が第１図の―線に沿
う平面図として示されている。光源Ｌは、光軸か
らずれて配設されており、それによつて０次の回
折像が光源Ｌには反射されず、むしろ光源Ｌが光
軸からずらされた量と等しい量だけ光軸からずら
されて配列された検出器に生じる。しかし光源Ｌ
は０次よりも次数の高い回折のみが利用されるべ
き場合には光軸上に配置されることになる。
第３図において反射位相格子Ｂが示されてお
り、この格子は第１図の―線に沿う相異なる
格子定数の位相格子フイールドＢ１とＢ２をを示
す。原理的にはこれとは異なる目盛フイールドＢ
１とＢ２の配列が可能である。
第４図は光電検出器Ｄ１(2)〜−Ｄ１(2)の正面図
を示す。第４図は第２図の―線に沿う図であ
る。
第５図には第１図〜第４図による測定装置によ
つて発生する代表的な信号波形が示される。この
信号波はＸ方向における位相格子Ｂの移動の際に
可動位相格子Ｂ上のフイールドと固定位相格子Ａ
上のフイールドとの重なりに依存する光源像の変
調によつて発生する。光電検出器Ｄ０（第１図、
第２図及び第４図）でこの信号が検出される。
第６図において位相格子Ａ，Ｂとして、即ち走
査格子及び測定格子として使用され得る位相格子
Ｃの構成が示されており、この位相格子は唯二つ
のフイールドではなしに８つのフイールドＣ１〜
Ｃ８から成り、その格子定数の比はそれぞれ相異
なり即ち１対２対３対４対５対６対７対８であ
る。
その際フイールドＣ１〜Ｃ８はフーリエ級数に
相応して形成されており、そしてフイールドＣ１
〜Ｃ８の面積はこの選択されたフーリエ級数のフ
ーリエ係数に対応する定数に比例している。
位相格子Ｃの測定方向Ｘへの運動の際光電検出
器Ｄ０に０次の回折について第７図に示されるよ
うな一つの信号波形が得られる。
これと逆位相をもつた信号は各フイールド目盛
の溝巾と格子定数の比が１対２であるという前提
の下に±１次の回折像によつて得られる。個々の
フイールドＣ１〜Ｃ８が測定方向Ｘに平行に向け
られずに第８図に示すようにフイールドC′１〜
C′８が図示の順序で測定方向Ｘに順次配設されて
いる場合に位相格子Ｃの変形が得られる。
この際も既に述べたフーリエ級数の前記係数に
対応する面積比は保持される。
第９図において結局位相格子C″は絞りとして
作用する別の目盛Ｄを備えた第６図よる位相格子
配列の組合せとして示されており、目盛Ｄは個々
の目盛りが参照符号として機能するために図では
相互に幅の異なるものとして構成されて不規則的
に配列されている。第７図による信号波形を更に
変調する。その際図によれば各位相格子フイール
ドC″１〜C″８の部分範囲のみが有効になる。
一方第９図によれば、追加の目盛Ｄは位相格子
C″から光軸の方向にずらされて配設されること
ができ、例えば位相格子C″に対して測定方向Ｘ
に移動可能にれることもできる。それらによつて
参照符号として機能する絞り目盛Ｄのフイールド
と位相格子C″のフイールドとの重なりに依存し
た変調が行われることになる。
第１０図においてこの種のフイールドとして示
されているように周期的な目盛りをもつた、しか
し相異なる格子定数を有する他方の格子CB１〜
CB８は同様に構成された第１格子CA１〜CB８
に対してそれぞれ各格子定数の何分の一か何倍か
だけ測定方向において位相をずらされて配置され
ることができる。
更に光電検出器の位置にそれぞれ相異なる波長
の光源を設け、光源と光電検出器の配置位置を任
意の方法で組合せることも本発明の範囲内にあ
る。簡単な方法で光源の可変制御によつて信号波
形に影響を与えることも可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は反射方法により作用する測定装置、第
２図は第１図による測定装置の―線に沿う平
面図、第３図は第１図の反射位相格子の―線
に沿つてみた部分図、第４図は第２図の―線
に沿うコンデンサの焦点面の正面図、第５図は第
１図による位相格子を備えた代表的な信号波形を
示す図、第６図は位相格子の有利な配列を示す
図、第７図は第６図による位相格子を備えた代表
的な信号波形の図、第８図は位相格子の特別有利
な配列を示す図、第９図は追加的信号変調のため
の位相格子の他の変形を示す図、そして第１０図
は位相のずれた追加の位相格子を備えた第８図に
よる位相格子の配列を示す図である。 図中符号、Ａ〜CA……長さ又は角度目盛フイ
ールド、Ａ１〜CA８……それぞれ格子定数の異
なる格子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 位置測定装置で電気信号を、特に長さ又は角
    度測定装置で参照パルスを光電的に発生させるよ
    うにした光電的測定装置にして、少なくとも１つ
    の照明装置と、走査板と、目盛担体上の少なくと
    も１つの長さ又は角度目盛フイールドと、少なく
    とも１つの光電検出器と、評価回路とを備えた前
    記装置において、 少なくとも１つの長さ又は角度目盛フイールド
    Ａ〜CAはフーリエ級数に相応して相異なる格子
    定数によつて形成された周期的目盛を備えた複数
    の格子Ａ１〜CA８から構成されており、そして
    格子から導出された周期的信号は光学的及び又は
    電気的に検出されることを特徴とする光電的測定
    装置。 ２ 少なくとも１つの長さ又は角度目盛フイール
    ドＡ〜CAに追加的な非周期的目盛フイールドＤ
    が付設されている、 特許請求の範囲第１項記載の装置。 ３ 少なくとも１つの長さ又は角度目盛フイール
    トＡ〜CAが位相格子Ａ１〜CA８として形成され
    ている、 特許請求の範囲第１項又は第２項記載の装置。 ４ 追加的目盛フイールドＤが測定方向ｘに移動
    可能である、 特許請求の範囲第２項又は第３項記載の装置。 ５ 他の長さ又は角度目盛フイールドCBが設け
    られており、この目盛フイールドは周期的な目盛
    をもつた、しかし相異なる格子定数をもつた複数
    の格子CB１〜CB８から成り、これらの格子CB
    １〜CB８が同様に構成された第一格子CA１〜
    CA８に対してそれぞれ各格子定数の何分の一か
    又は何倍かだけ測定方向Ｘにおいて相互に位相が
    ずれている、 特許請求の範囲第１項記載の装置。 ６ 光電検出器と光源が相互に交換可能に又は任
    意の方法で相互に組合せ可能であり、その際相異
    なる光源の波長が相違しうる、 特許請求の範囲第１項から第５項までのうちの
    いずれか一つに記載の装置。
JP60096173A 1984-05-09 1985-05-08 光電的測定装置 Granted JPS60243515A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3417176.2 1984-05-09
DE3417176A DE3417176C2 (de) 1984-05-09 1984-05-09 Photoelektrische Meßeinrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60243515A JPS60243515A (ja) 1985-12-03
JPH0131127B2 true JPH0131127B2 (ja) 1989-06-23

Family

ID=6235363

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60096173A Granted JPS60243515A (ja) 1984-05-09 1985-05-08 光電的測定装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4778273A (ja)
EP (1) EP0163824B1 (ja)
JP (1) JPS60243515A (ja)
AT (1) ATE57257T1 (ja)
DE (2) DE3417176C2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2650654A1 (en) 2012-04-11 2013-10-16 Mitutoyo Corporation Encoder

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3543179A1 (de) * 1985-12-06 1987-06-11 Philips Patentverwaltung Optischer weg-sensor mit einem filter
DE3616144A1 (de) * 1986-05-14 1987-11-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Fotoelektrische messeinrichtung
DE8717558U1 (de) * 1987-02-21 1989-02-23 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung
GB2210525B (en) * 1987-09-30 1991-11-20 Okuma Machinery Works Ltd Optical encoder
GB2246430B (en) * 1988-01-22 1992-05-13 Mitutoyo Corp Optical encoder
US4943716A (en) * 1988-01-22 1990-07-24 Mitutoyo Corporation Diffraction-type optical encoder with improved detection signal insensitivity to optical grating gap variations
DE3801763C1 (ja) * 1988-01-22 1989-06-08 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
US4849624A (en) * 1988-06-24 1989-07-18 The Boeing Company Optical wavelength division multiplexing of digital encoder tracks
US4991125A (en) * 1989-04-19 1991-02-05 Mitutoyo Corporation Displacement detector
JPH0810145B2 (ja) * 1989-07-28 1996-01-31 オ−クマ株式会社 光学式エンコーダ及びその光学スケール
AT395914B (de) * 1991-04-18 1993-04-26 Rsf Elektronik Gmbh Photoelektrische positionsmesseinrichtung
ATE108274T1 (de) * 1991-05-18 1994-07-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Interferentielle positionsmessvorrichtung.
DE4212281A1 (de) * 1991-07-11 1993-10-14 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Interferentielle Positionsmeßvorrichtung
DE4125865C2 (de) * 1991-08-03 1994-01-20 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
EP0576004B2 (en) * 1992-06-24 2004-10-13 Kabushiki Kaisha Topcon Electronic levelling apparatus and levelling staff used with the same
DE59203396D1 (de) * 1992-07-18 1995-09-28 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Vorrichtung.
DE4229575C1 (de) * 1992-09-04 1993-11-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren bei Längen- oder Winkelmeßeinrichtungen
ATE192566T1 (de) * 1994-02-23 2000-05-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmessvorrichtung
DE19511068A1 (de) * 1995-03-25 1996-09-26 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung
DE19652562C2 (de) * 1996-12-17 1999-07-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US6327791B1 (en) 1999-06-09 2001-12-11 The Government Of The United States As Represented By The Secretary Of Commerce Chain code position detector
WO2000077472A1 (en) * 1999-06-16 2000-12-21 Snorkel International, Inc. Chain code position detector
DE19937023A1 (de) 1999-08-05 2001-02-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Reflexions-Maßverkörperung und Verfahren zur Herstellung einer Reflexions-Maßverkörperung
DE19962278A1 (de) 1999-12-23 2001-08-02 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
JP4476682B2 (ja) * 2003-05-16 2010-06-09 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
US8436293B2 (en) * 2009-02-23 2013-05-07 Christopher C. Chang Optical encoder and method for measuring displacement information using multiple optical tracks of diffractive optical regions having different periodicities
DE102014112459B4 (de) * 2014-08-29 2017-02-16 Ic-Haus Gmbh Optischer Positionsencoder
GB201916662D0 (en) 2019-11-15 2020-01-01 Renishaw Plc Encoder apparatus
GB201916641D0 (en) 2019-11-15 2020-01-01 Renishaw Plc Position measurement device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1548707C3 (de) * 1966-07-26 1979-02-15 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Fotoelektrischer Schrittgeber
DE1814785A1 (de) * 1968-12-14 1970-06-25 Johannes Heidenhain Feinmechan Zaehlanordnung
US3816003A (en) * 1973-03-12 1974-06-11 Dynamics Res Corp Sealed linear encoder
DE2316248A1 (de) * 1973-03-31 1974-10-10 Leitz Ernst Gmbh Fotoelektrischer schrittgeber
CH626169A5 (ja) * 1976-11-25 1981-10-30 Leitz Ernst Gmbh
US4340305A (en) * 1977-05-03 1982-07-20 Massachusetts Institute Of Technology Plate aligning
DE3104972C2 (de) * 1981-02-12 1985-06-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung
US4572952A (en) * 1982-07-28 1986-02-25 Adrian March Research Ltd. Position sensor with moire interpolation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2650654A1 (en) 2012-04-11 2013-10-16 Mitutoyo Corporation Encoder

Also Published As

Publication number Publication date
EP0163824A3 (en) 1988-01-13
US4778273A (en) 1988-10-18
EP0163824B1 (de) 1990-10-03
JPS60243515A (ja) 1985-12-03
DE3417176A1 (de) 1985-11-21
ATE57257T1 (de) 1990-10-15
DE3579944D1 (de) 1990-11-08
DE3417176C2 (de) 1986-07-31
EP0163824A2 (de) 1985-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0131127B2 (ja)
JP2501714B2 (ja) 干渉位置測定装置
US7154609B2 (en) Interferential position measuring arrangement
JP2695623B2 (ja) 光学式エンコーダ
US6617572B2 (en) Displacement information detection apparatus
JPH0697171B2 (ja) 変位測定装置
EP0603905A2 (en) Displacement detection apparatus
JPH0132450B2 (ja)
GB2309779A (en) Encoder arrangement for displacement measuring apparatus
KR100581210B1 (ko) 위치 센서 및 광 인코더용 회로
US8742322B2 (en) Encoder and interferometer that generate M-phase signals by multiplying N-phase signals by M coefficient sets, where N is not less than 6 and M is not smaller than 2
JPH06258102A (ja) 測定装置
US20050168757A1 (en) Optical position measuring device
US7112782B2 (en) Optical position measuring system
US5748373A (en) Scale and encoder including differently spaced pattern lines
US5530543A (en) Detector array for use in interferometric metrology systems
JP2562479B2 (ja) 反射式ｘｙエンコーダ
JPH09113213A (ja) 高調波信号成分を濾波する装置
US7161139B2 (en) Position-measuring system and method for operating a position-measuring system
US6094307A (en) Optical grating and encoder
JP5154072B2 (ja) 光電式エンコーダ
JPS61182522A (ja) リニアスケ−ル測定装置
EP0484104A1 (en) Opto-electronic scale reading apparatus
JPH06174424A (ja) 測長または測角装置
JP3550629B2 (ja) 光学式エンコーダ

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees