JPS60125518A - 光学式回転検出装置 - Google Patents

光学式回転検出装置

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JPS60125518A
JPS60125518A JP23303983A JP23303983A JPS60125518A JP S60125518 A JPS60125518 A JP S60125518A JP 23303983 A JP23303983 A JP 23303983A JP 23303983 A JP23303983 A JP 23303983A JP S60125518 A JPS60125518 A JP S60125518A
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JP
Japan
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photoelectric conversion
conversion element
conversion means
voltage
entire circumference
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JP23303983A
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English (en)
Inventor
Yasuhiro Goto
康宏 後藤
Kunikazu Ozawa
小沢 邦一
Hiroki Nakase
中瀬 弘已
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/3473Circular or rotary encoders

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は小型で高精度な光学式回転検出装置に関するも
ので、電子整流子モータ特に直流ブラシレスモーフの回
転検出装置に適するものである。
従来例の構成とその問題点 近年、音響機器やビデオ機器に使用されるモータとして
、高性能で信頼性の高い直流ブラシレスモーフが多く用
いられるようになった。
これらの直流ブラシレスモータでは、回転子として多極
着磁されたロータマグネットを用い、固定子としてステ
ータコイルを用いている。
そして、とれらの直流ブラシレスモーフでは、通常、回
転速度や回転位相等の回転情報を検出するだめの周波数
発電機(以下FGと呼ぶ)と、モータが有効にトルクを
発生するようロータマグネットの回転位置に対応してス
テータコイルへの通電を制御する電子的整流作用を成す
ためのロータ位置検出素子が設けられ、従来これらに磁
気式のものが用いられていた。
従来のロータ位置検出素子およびFGを設えた直流ブラ
シレスモータを第1図ないし第4図に基づき説明する。
第1図は直流ブラシレスモーフの縦断面を示すもので、
1は回転軸、2は回転軸1に取り付けられたベアリング
、3はベアリング2の支持部材、4はロータマグネット
、5はロータヨークで、前記ロータマグネット4はこの
ロータヨーク6に被着さ汎るとともに、ロータヨーク5
は回転軸1と結合してともに回転するよう構成されてい
る。
ロータマグネット4は複数極に着磁された永久磁石が用
いられるもので、第2図に示すように例えばθ極に着磁
されるとともに、これによる磁界が、正弦波状、三角波
状あるいは台形波状等となるよう着磁されている。
まだステータコイルは、ステータコイル基板e上に設け
られるもので、第3図に示すようにロータマグネット4
よシの磁界に対して互いに電気角で1800の整数倍と
なる位置に配置されている導体からなるコイルブロック
C1と02が直列に接続されて第1のステータコイルを
形成し、また、同様にロータマグネット4よりの磁界に
対して互いに電気角で180°の整数倍となる位置に配
されている導体からなるコイルブロックC3と04 が
直列に接続されて第2のステータコイルを形成している
そして、これら第1および第2のステータコイルはロー
タマグネット4に対向するよう配されるとともに互いに
電気角で90°の奇数倍だけ異なる位置に配されている
。又、コイルブロック01゜c2.c3.c4 はそれ
ぞれ電気角で1800の幅を有している。
電気角とは、第2図に示す様にロータマグネ・ント4の
NliとS極の着磁された1周期分の角度を360°と
したもので、第2図に示したよりな6@着磁したロータ
マグネ・ント4の全周の角度(機械360°×(6極/
2)=1080’ また、ステータコイル基板6には、第1及び第2のステ
ータコイルとロータマグネット4との位置関係を検出し
、モータが有効なトルりを発生できる位置で電流を流す
よう、ステータコイルへの通電を制御する電子整流子作
用を成すだめのロータ位置検出素子として2個のホール
素子7,8が設けられ、このホール素子7,8によシロ
ータマグネット40発生する磁界に感応した電圧を得て
回転位置の検出を行っている。
そして、ステータコイル基板6の下部には、第1図、第
4図に示す様に、軸方向にH極、S極の着磁が行なわれ
だ永久磁石9、内周に歯型を切ったステータギヤ10、
このステータギヤ1oの内側に設けられ前記回転軸1に
結合されるとともにその外周部に歯型を切ったロータギ
ヤ11、前記永久磁石9の外側に巻かれたFGコイ1v
12によシ描成される全周対向型磁気FGが取シ付けら
れている。
・強磁性体で作られその歯型の数k(kは正の整数)も
等しく且つ歯型が互いに向き合うよう構成され、永久磁
石9とともに磁気回路を構成し、ロータギヤ11が回転
してこの歯型の山とステータギヤ10の歯型の山が向き
合ったとき磁気抵抗が小さくなって永久磁石9から発生
する磁束が流れやすくなり、逆に歯型の山と谷が向い合
ったときg&磁気抵抗大きくなって磁束が流れにくくな
υ流れる磁束の量が交互に変わシ、FG巻線12の両端
にその磁束変化量の微分値に比例した電圧を有する交流
電圧が誘起される。このFG巻線12の両端に誘起され
る交流電圧の周波数−’FGは回転軸1の回転周波数の
に倍(kは歯型の数)となシ、この周波数fFGによシ
回転速度の検出を行っている。
まずFGにめられる性能として、 ■検出精度が加工や組み立ての影響を受け難い事。
■低速回転時でも高い検出周波数が得られる事。
■高い出力電圧が得られるとともに外来雑音や誘導に対
して強い事。
@FG自身が雑音を発生して他の回路に悪影響を与えな
い事。
■FG自身が回転むらや振動を発生しない事。
■簡単な構造で小型化が図れる事。
等があげられる。
さて、前記第1図および第4図の様なFGの場合、全周
対向型であるため、検出精度が加工や組み立ての影響を
受け難く精度の良い検出が行える反面、機械加工の難し
さおよび磁気抵抗の変化が小さくなる事から歯型のピッ
チを小さくすることが出来ず、小型で高い検出周波数の
ものが作れない。又、この種の磁気式FGの場合、FG
コイルに誘起する電圧は、FGコイルと鎖交する磁束の
変化を時間で微分したものに比例するだめ、低速回転時
において高い出力電圧が得られず、同時にFGコイルに
はロータマグネットの漏れ磁束やステータコイルへ流す
電流からの誘導雑音等の雑音が重畳し易く、検出信号の
S/N比が劣化して検出精度が悪化する。そして、この
磁気FGの場合発生する磁束の一部がモータの外部に漏
洩し、この漏洩磁束がFGのロータギヤの回+Itil
<によって生ずる磁気抵抗の変化の影響を受けて変動し
、例えばiiJ搬型VTHの様に音声信号の再生ヘッド
がキャプスタンモータの近くにアシ、キャプスタンモー
タにこれら磁9(式のFGが用いられた場合、そのみ1
洩磁束の変動が再生ヘッドに影響して再生信号のS/N
比の劣化を生じ、好ましよらぬ結果を招く。更に、第1
図および第4図に示した機力全周対向型磁気式FGの場
合、相対する歯型の磁気的な吸引力によってモータ回転
時に振動を生じ、回転が不安定になシ回転むらが生じる
等の欠点があげられる。
次にロータ位置検出素子であるが、前記第3図に示した
従来例のホール素子をステータコイル基板上に配した磁
気的なものでは、通常ホール素子を基板上に目視によっ
てハンダ付けして取シ付けており、又、ホール素子自身
がプラスチックモールドされ、モールドしたパッケージ
に対する内部のホール素子の位置精度が保障されておら
ず、その取り付は精度を良くすることができなかった。
このため、位置検出精度も悪く電子的整流を行う際、ス
テータコイルに通電するタイミングがずれて、回転むら
の原因となシ好ましくない結果を招いていた。
四に、直流ブラシレスモーフの場合、その駆動方式によ
りステータコイμへの電流の流し方が異なり、例えば、
正弦波状、矩形波状等、様々な波形のものが提案されて
いるが、通常ステータコイルへ流す電流の波形は、ロー
タ位置検出素子の検出波形によって定まシロータ位置検
出素子がこれらの波形を任意に発生可能なものであれば
容易に実現できる。しかしながら、第3図に示しだホー
ル素子によるものでは、その発生電圧がロータマグネッ
トの発生する磁界によって定まり、任意の形状の波形が
得難くステータコイルに流す電流を自由に変えることが
できない等の欠点を有していた。
又、ロータ位置検出素子としてホール素子等の磁気セン
サーを用いたものにおいて、ロータマグネットの発生す
る波形と無関係な波形を得たい場合は、第1図、第2図
に示したロータマグネット4とは別にロータ位置検出専
用のマグネットを設ける等の方法が取られているが、こ
の方法では、任意の検出波形を得ることは出来てもモー
タの形状が大きくなる等の欠点を有していた。
そして、第3図に示しだ様な磁気式のものではステータ
コイルと同一基板上にホール素子を配せねばならず、第
3図の2相−4コイルの様々構成が簡単なものではあま
シ問題とならないが、もつと相数とコイル数が多く構造
が複雑なもので、且つ小型化の必要なものでは、ホール
素子がステータコイルの配置上邪魔になる等の欠点を有
していた。
以上記した様に、従来の磁気式のFGやロータ位置検出
素子は多くの欠点を有していた。
発明の目的 本発明は斯かる従来例の欠点に鑑み、小型で高出力、且
つ検出周波数が高くてSlN比の良好なFGおよび検出
精度が高く、自由な検出波形を得ることが出来、且つス
テータの配置上邪魔にならないロータ回転位置検出素子
を含む電子整流子モータ用の光学的回転検出装置を提供
するものである。
発明の構成 本発明は、平面光源と異なる半径方向に設けられた第1
および第2のヌーリットを有する回転板と、前記回転情
報の検出を行うFCとしての第1の光電変換素子および
ロータ位置検出を行う第2の光電変換素子を同一基板上
に形成した光電変換手段とを備え、かつ前記第2の光電
変換素子は互いに電気角で180°の奇数倍の位相差を
有する位置に2つの素子を配して1対とし、これを2対
以上配して構成した光学式回転検出装置であシ、前記対
をなす2つの光電変換素子の出力信号の差信号によシミ
予察流子モータの整流作用を制御するようなものである
実施例の説明 本発明の光学的回転検出装置に基づいて構成される直流
ブラシレスモータに適用した一実施例を第5図〜第15
図に基づいて説明する。
第5図は、本発明による光学的回転検出装置を適用シた
直流ブラシレスモータの一実施例の縦断面を示すもので
、第1図同様、1は回転軸、2はベアリング、3はベア
リング2の支持部組、4はロータマグネット、5はロー
フヨーク、6はステータコイル基板である。ロータマグ
ネット4は、第2図と同様に永久磁石を6極着磁したも
のが用いられている。又、ステータコイ)V基板6も第
3図同様にコイルブロックC,,C2、C5・C4が取
り付けられ、コイルブロックC4と02を直列接続した
第1のステータコイルおよびコイルブロックC5と04
を直列接続した第2のステータコイルが形成されるが、
第3図に示したものと異なる点はホール素子が取り付け
られていないことである。
この様に2系列のステータコイルを形成したものを、コ
イル相数が2相であるといい、その駆動方式を2相駆動
力式という。一般に、m系列のステータコイルを形成し
たものを、コイル相数がm相でその駆動方式をm相駆動
方式という。
第5図において、ここまでの構成は、ホール素子がステ
ータコイル基板に取り付けられていない点を除けば第1
図と同じである。
さて、第6図において、ヌテータコイル基板6の下部に
は、本発明の一実施例による光学式回転検出装置が取り
付けられている。
この光学式回転検出装置は、13の平面光源、14の回
転板、15の平面光源13はステータコイル基板6に固
定され平面状光電変換素子15は支持部組16によシ固
定されており、回転板14は回転軸1に結合され共に回
転する。
回転板14には光学的手段により全周対向型FGを実現
するだめの第6図の外周部にハツチングで示した輪状部
に放射状に配列された第1のスリット群17と光学的手
段によりロータ位置検出を行うだめのその内側にハツチ
ングで示しだ第2のヌリソト181L 、 18b 、
 180が設けられ、第1の7911〜群17は第8図
(第8図は第6図の一部を拡大したもの)に示す様に半
径r6から14の半径方向の範囲に小さなスリフ)17
1Lが全周に渡シn個P、のスリットピッチで等間隔に
設けられている。そして、第2のスリブ)181L、1
8b。
IBcは半径r1からr2の半径方向の範囲でロータマ
グネソI・4がS極に着磁されている電気角180°の
部分に設けられ、その数は着磁されたS極の数、つまり
着磁極数の%、第6図の場合は6極着磁であるから3個
の第2のスリット18a。
18b 、 18Cが設けられている。尚、第6図およ
び第8図において光はスリブ)17a、18a。
18b 、 18Cの部分を透過するものとする。回転
板14は例えば、ガラス円板に金属の薄膜を蒸着しこれ
をフォトエツチングする。あるいはステンレスの薄い円
板にフォトエツチングによりスリットを設けて実現でき
る。
平面状光電変換素子16は、例えば後述するアモルファ
スシリコン光電変換素子等で構成され光学的手段によシ
全周対向型FGを実現するだめの第7図の外周部にハツ
チングで示した第1の光電変換素子19と、光学的手段
によりロータ位置検出を行うためその内側に第2の光電
変換素子20゜21.22.23が設けられこれらの光
電変換素子には照射光量に比例した光起電流が発生する
第1の光電変換素子19は第9図(第9図は第7図の一
部を拡大したもの)に示す様に半径r5からr4の半径
方向の範囲に電極A 19a’に接続された光電変換素
子小片1191Lが全周に渡り等間隔でn個配置され、
これと交互して電4iB19b’に接続されだ光電変換
素子小片B19bが全周に渡り等間隔でn個配置されて
いる。第9図に示す光電変換素子小片A19&および光
電変換素子小片B19bのピッチP2は、第8図に示す
回転板14の第1のスリット17&のスリットピッチp
1と等しく、又、光電変換素子小片A19aと光電変換
素子小片B19bは電気的に分離されており、各々独立
して、照射光量に比例した光起電流を電f7’1lk1
9B、tと電極B 19b’から取シ出すことができる
第5図において、平面光源13は、例えば全周にLED
のチップを均等に配置した光源等で構成され、同図下部
に向いスリットの形成されている半径r、からr4の範
囲の全周に光を照射している。
このため、平面光源13かも出た光131Lは回転板1
4にて遮蔽される一方、回転板14の第1のスリブ)1
71Lを通じて第1の光電変換素子19に投射され、そ
して、回転板14が回転軸1とともに回転する為、第1
0図(a)、 (b)に示した様に。
第1の光電変換素子19の一方を形成する光電変換素子
小片B19bに照射され他方を形成する光電変換素子小
片A19aに照射されない同図(2L)の場合と、光電
変換素子小片A19aに照射され光電変換素子小片B1
9bに照射されない同図(b)の状態が回転板14の第
1のスリブl−17Lの1ピッチP1回転する毎に交互
に発生する。
したがって、回転板14が回転すると光電変換素子小片
ム19aと光電変換素子小片B19bには逆相の光が照
射され、これを第12図に示す様な演算増幅器ム4.ム
2および抵抗R,,R2で構成される光起電流−電圧変
換回路24.25に通し、第11図に示す様な光電変換
素子小片ムラ92L小nη酊光乱Iff lル加+14
脣匡VL卑脣赤廂賽ヱti−片B19bの照射光量に比
例した電圧vbを得る。
尚、第12図に示す光起電流−電圧変換回路では光電変
換素子に光が照射され光起電流が発生すると、これに比
例した負電圧を発生する。電圧Va。
vbは互いに逆相の電圧で直流値がVaoおよびVbo
、信号成分の電圧がVap−p オヨびvbp−pとな
る。
この電圧V&とvbを、演算増幅器ムロ、抵抗Rs。
Ra 、 Rs/、 Ra’ (RsHRa = Rs
’ 、 R4’)で構成される利得Ko (Kn = 
”4 )の差動増幅回路26に加え両者の差を取ること
により、第11図に示す様な直流値Woo が相殺され
、Woo = Ko (Vao−Vbo)となり減少し
、一方、信号成分の電圧Vop−pはTop−p = 
Ko (Tap−p + vbp−p )となシ増大す
る出力信号vOを得る。
この出力信号vOは速度検出信号又は位相検出信号等の
回転情報検出信号として使用され、前記電圧Va 、 
Wbに重畳した同相雑音が両者の差をとることによシ相
殺されて減少し且つ信号は増大するため、S/N比の高
い信号を得ることができる。
尚、第7図において、コイルブロックc1〜c4が破線
で示しであるが、これらのコイルブロック01.02 
、Cg 、04は、平面状光電変換素子15上に設けら
れるものではなく、ステータコイル基板θ上に設けられ
るもので、同図に破線で描き示したのは、第2の光電変
換素子20,21,22゜23との位置関係を示すため
である。
そして、第2の光電変換素子2oは第9図に示す様に、
電1c20c/と電4iC20c’に接続された光電変
換素子小片G20cがら成シ、照射光量に比例した光起
電流を電#MC20c′から取り出すことができる。
このため、平面光源13がら照射される光は、回転板1
4の第2のスリブl−18L、18bもしくは180が
第2の光電変換素子2oの上に位置した時、第2+71
1スIJツト18L 、 1 ab 、 180を通じ
て第2の光電変換素子2oに投射され、前記第2のスリ
ット1sa 、 1sbもしくは18Cが第2の光電変
換素子2oの上に位置しない時、光は第2の光電変換素
子2oに照射されず、前記回転板1401回転中におい
て、これら第2の光電変換素子2oへ光が照射される状
態と照射されない状態が3回くシ返される。
又、他の第2の光電変換素子21ば20に対し電気角で
90°の奇数倍(第7図において第2の光電変換素子2
1は2oに対し電気角で270’ )の位置に有り、第
2の光電変換素子22は2oに対し電気角で186の奇
数倍(第7図において第2の光電変換素子22は20に
対し電気角でs4d’)の位置に有シ、第2の光電変換
素子23は21に対し電気角で186の奇数倍(第7図
において第2の光電変換素子23は21に対し電気角で
54C)’)の位置に有り、それぞれ互いに電気角で2
7dづつ離れた位置に有る。この結果、回転板14の回
転時、これら第2の光電変換素子21,22゜23に照
射される光は第2の光電変換素子20に照射される光に
対し、それぞれ901’、1801’。
2700位相のずれたものとなる。
このため、第13図に示す様に第2の光電変換素子20
,21.22,23を演算増幅器A4゜ム5.ムロ、ム
7および抵抗11s、R6,F17.Raで構成される
前記第12図同様の光起電流−電圧変換回路に通し、第
14図のVpl(第2の光電変換素子20の光起電流を
電圧に変換したもの)、vp2(第2の光電変換素子2
1の光起電流を電圧に変換したもの) * vp 5(
第2の光電変換素子22の光起電流を電圧に変換したも
の)、vp4(第2の光電変換素子23の光起電流を電
圧に変換したもの)に示す様な互いにeo’の位相差を
有するロータ位置検出信号を得ている。
さて、前記第7図において、(31a、Cab、C2a
02b 、 C3a、 Cgb、 C41L、 C4b
 はそれぞれ導体から成るコイルブロックC+、C2,
Ox、(4中の半径方向に位置する導体を示すものであ
り、モータのトルク発生に寄与するのはこの半径方向に
位置する導体Cta、 Cab、 02SL、 Cab
、Cga、 Osb。
(4a、 C4b に流れる電流である。前記第2の光
電変換素子20.21は電気角でそれぞれ96の奇数倍
ずれた位置に有り、光電変換素子22.23は20.2
1に対しそれぞれ電気角で180′の奇数倍ずれた位置
に有る。そして、この第2の光電変換素子20,21.
22.23はそれぞれ導体Ca、02i、04a、C1
a から電気角で45°遅れた位置に有シ(時計方向の
回転を進みの方向とする)前記従来例のホール素子同様
モータが有効にトルりを発生するようステータコイルと
ロータマクネットノ位置関係を検出してコイルブロック
(+。
02 、 C5,04(7)半径方向K 位fll’t
 ル4 体C1a 。
Ctb、 C2t、 Czb、 Osa、 C;sb 
、 C4a 、 C4b 、!:交わるロータマグネッ
ト4の磁束が最大の点でコイルブロックC1,02,C
5,04への通電ヲ行う電子整流作用を行うために設け
られるもので、前記第1のステータコイルを形成するコ
イルグロ・ンクC+ 、 C2の半径方向に位置する導
体e1a 。
Cab 、 C21L 、 02bと鎖交する磁束をφ
1、前記第2のステータコイルを形成するコイルブロッ
ク” * C’ (D半径方向に位置f 68体OSa
 、 Osb 。
C4a 、 C4bと鎖交する磁束をφ2とし、第6図
および第7図に示すロータマグネット4のステータコイ
ルに対する位置関係をdとし、ロータマグネット40回
転角θR(θRは電気角で時計方向の角度)に対する前
記鎖交磁束φ1 、φ2を示すと、第14図のφ1.φ
2 の様な回転角θRに対応し960位相差を有する交
番磁界になる。
つまり、第1のステータコイルにおいては、θB==Q
°で導体e1a、 C1b 、 02a、 C2bがロ
ータマグネット4のS極とN極の境界付近にありφ1は
零となシ、0Rの増加とともにφ1も増加しθR= 9
0’で導体C11L、 C1b 、 C21L 、 C
2bがロータマグネット4の847mお上bN極の磁(
jの中心付近に位置しφ1は最大となシ、θn = 1
 soでは再び上記導体G1h 、 (lj+b 、 
On 、 C2bがロータマグネット4のS極とN極の
境界付近に位置し零となシ、360°〉θR>180°
では導体C+a 。
0+b、 C2a 、 C2bと交わる磁束がo’<θ
R〈360°とは逆向きになシ、これを負の方向とすれ
ば、θR=270’でθB=9C)’とは逆衝性ながら
導体C+a 、 C1b 、 G25L、 C2bがロ
ータマグネット4のS極とN極の磁極付近に位置してφ
1は負の最大値となシ、例えばロータマグネット4が正
弦波状に着磁されたものでは、第14図のφ1に示す様
に0R=C;〜5eciを1周期とする正弦波状の変化
を示す。
同様に、第2のステータコイルにおいても、これらを構
成するコイ/Lブロック03 、 Oaが第1のステー
タコイルに対し電気角で96ずれた位置に配置されてい
るため、φ2もφ1に対し96ずれだ第14図φ2に示
す様な波形となる。
さて、第2の光電変換素子20,21,22゜23であ
るが、これらは第13図に示す様な演算増幅器人4〜A
7および抵抗R5〜R8で構成される光起電流−電圧変
換回路に接続され、それぞれの出力電圧としてVp+ 
、 Vp2 、 Vps 、 Vp4を得る。
第2の光電変換素子20.21はステータコイルに対し
、前記の様な電気角で46°ずれた位置に設けてあり、
その出力電圧Vp+ 、 Vp2は第14図のVp+ 
、 VP2に示す様にφ1.φ2に対しそれぞれ45°
位相のずれた波形となる。又、第20光電変換素子22
.23は前記の様にそれぞれ20゜21に対して電気角
で1800の奇数倍ずれた位置に設けであるため、第1
4図のVp5.Vp4に示す如くその出力電圧Vp5.
 Vp4は前記Vp+ 。
vp2に対しそれぞれ逆相の波形となる。
このvp1〜Vl)4を第13図に示す差動!(4Jの
波形整形回路Aa 、ム9に加える。波形整形回路A8
゜A9は入力端子として←)記号で示す正相入力と←)
記号で示す逆相入力を有し、両入力の差電圧に対応した
波形整形信号を発生する。つまり、波形整形回路の正相
入力に印加される電圧が逆相入力に印加される電圧より
高いとき、波形整形回路の出力は′1′の状態となシ、
逆に正相入力に印加される電圧が逆相入力に印加される
電圧よシ低いとき、波形整形回路の出力は10′の状態
となる。
第13図の場合、波形整形回路Aの正相入力にvpl、
逆相入力にVpsを加え、波形整形回路A9の正相入力
にVp2.逆相入力にVp4を加えているため、第14
図に示す様に波形整形回路A8の出力電圧v1は、Vp
+がVpgよシ高いときゞ1′の獣態となり、vplが
Vps よシ低いとき′″0′の状態となる。一方、波
形整形回路ム9の出力電圧v2は、Ml)2がVp4 
より高いとき′″1′の状態となシ、vp2がVp4 
よシ低いとき′hO′の状態となる。このV+、V2を
論理回路に通し、この論理回路の出力信号により第1の
ステータコイルへ通電する電流工1 および第2のステ
ータコイルへ通電する電流工2を制御し、第14図に示
す様にφ1が正の最大値となるθR=46°〜136°
の区間(V+が′1′でv2が50′ の区間)におい
て11を正方向に流し、φ2が正の最大値となる17R
=135°〜225c′17)90°区間(V + カ
’ 1 ′でv2が 11′の区間)において工2 を
正方向に流し、φ1 が負の最大値となるθR=225
°〜315°の900区間(vlが′o′でv2が51
′の区間)において工1を逆方向に流し、φ2 が負の
最大値となるθR=315°(又は−46°)〜45°
の90’区間(L+がゞ0′でv2が′o′の区間)に
おいて工2 を逆方向に流し、通電にょる駆動方式は2
相全波駆動と呼ばれている。
また、第13図、第14図において、波形整形信号V+
、V2を得るため、それぞれ第2の光電変換素子20.
22の出力信号であるVp+とVpsの差信号と第2の
光電変換素子21.23の出力信号であるVp2とVl
)4の差信号を波形整形する差動構成としているが、こ
れは、例えば第15図の様に光電変換素子20.21を
演算増幅器A4.A5 と抵抗Rs、Rbで構成される
第13図と同様の光起電流−電圧変換回路に接続し、得
られる出力電圧Vp1. Vp2をそれぞれ波形整形回
路Aa 、 A9の正相入力に加え、一方波形整形回路
人8.A9の逆相入力に一定電圧vsHを加えてVpl
、Vp2を78Mの電圧レベルで波形整形し、その出力
電圧としてV+’ 、 V2’を得るような差動構成で
ない場合、 Vp+Vp2の電圧レベルにバラツキがあ
る場合、もしくは、湿度、経時的にVPl、Vp2の電
圧レベルが変化した場合にこれを波形整形した出力電圧
v1′。
バラツキや変化によりv8Hに満たない場合波形整形信
号V1’ 、V2’ が得られず電子的整流が成されな
い等の欠点があるためで、第13図、第14図に示した
様な差動構成にすると、第2の光電変換素子20,21
.22.23は同一基板上に形成されだ光電変換素子で
互いの感変差も小さく、Vp+ 、 Vp2 、 Vp
5. Vp4の電圧レベルも互いにほぼ等しい1直とな
るため、直流電圧成分が相殺され直流的なオフセット電
圧も減少し波形整形した出力電圧V+、V2の位相のず
れも小さく、前記した様な電子的整流作用が成されない
等の欠点が無くなるためである。
又、差動構成とすることにより、ロータ位置検出用の第
2の光電変換素子あるいはこれらの検出回路に重畳した
同相雑音が相殺され、且つ差動構成により、逆相信号の
差をめているだめ、信号成分は倍増してS/N比の良好
な検出信号が得られ検出精度も向上する。
さて、情事面状の光電変換素子は半導体光電変換素子で
実現でき、これらの光電変換素子には光の照射により抵
抗値の変化する光導電効果を利用したものと光の照射に
より起電力を発生し光起電流を得ることのできる光起電
効果を利用したものに分けられる。
本発明の如き光学的回転検知装置においては、一般に消
費電力が小さく且つ小型のものが望ましく、このだめ光
源も発光ダイオードの如き微弱光の光源が用いられる。
よって、光導電効果によるものの様に微弱光照射時に得
られる電流に対する暗電流の割合の大きなものより、光
起電効果により光電変換素子が発生する光起電流を前記
第12図もしくけ第13図に示した様な光起電流−電圧
変換回路に加え電圧出力として取シ出す方が望ましい。
この光起電流−電圧変換回路を用いれば、光電変換素子
の両端の電圧は略零ボ/L/1・となるだめ、短絡状態
に近い状態となシ、暗電流の発生が抑えられ微弱光でも
安定した検出信号が得られる。
さて、光起電効果を有する情事面状の光電変換素子を実
現する手段として、シリコンフォトダイオードと呼ばれ
る単結晶シリコン光電変換素子、あるいはセレン光電変
換素子、アモルファスシリコン光電変換素子(以下、a
−8i光電変換素子と称す。)等様々な光電変換素子が
考えられるが本発明に用いる光電変換素子に要求される
性質として、 ■大面積の光電変換素子が安価に提供できること。
■微細加工が可能で、同一基板上に多数の独立した素子
を形成でき、又、これらの素子の結合および分離が容易
に行えること。
■高感度である事。
■応答性が速いこと。
■使用温度範囲が広いこと。
■素子のバラツキが小さいこと。
等が埜げられる。
まず、前記単結晶シリコン光電変換素子であるが、これ
は上記■〜■の条件はほぼ満し得るが、大面積化した場
合高価になる。
又、セレン光電変換素子やその低硫化カドミ’%、Od
 5 )光電変換素子等は、大面積で低価格を実現し得
るが、反面フォトエツチング等による微細加工が難しく
、第9図に示した光電変換素子小片19aおよび19b
は例えば幅100/1771以下で分離帯の幅は1oI
t1rL程度とすると、これらの光電変換素子では実現
が餌ましい。そして、セレン光電変換素子等は、後述す
るa −Si光電変換素子に比べ感度が低く、応答性も
悪く、素子間のバラツキも大きいだめ本発明に用いる光
電変換素子としては特殊な場合を除き適切でない。
一方、a −8i 光電変換素子は、大面稍の情事面の
光電変換素子を安価に提供でき、後述する透明電極のフ
ォトエツチング等による除去により、独立した光電変換
素子を同一基板上に多数形成する微細加工が可能なため
第9図の様な光電変換素子を提供し得る。
又、感度も高く、光源が発光ダイオードで構成される様
な微弱光であっても充分な出力信号を得ることが出来、
応答性も数10 K Hz程度まで応答し得るだめ、本
発明の要求する応答性を充分溝し曹るものである。
更に、使用温度範囲も広く、−60℃以下80℃以上の
広い範囲で上記した感度および応答性の変化が小さく必
要な性能を維持できる。
そして、同一基板上に形成されるものはいうまでもなく
、異なる基板上に形成されたものについても素子間のバ
ラツキは小さくなl) 、 j、tk産性においても優
れている。
以上の説明から明らかなように本発明による光学式回転
検出装置に適用する平面状光電変換素子としては、a−
8i光電変換素子が最適である。
さて、a−3i光電変換素子について一例を挙げて簡単
な説明を行う。
第16図は、本発明に適用し得るa−8i光電変換素子
の一例を示したもので、同図(a)は例えば第9図に示
す第1の光電変換素子19を形成する部分の破断拡大図
である。
又、同図中)は上記第1の光電変換素子19の平面図(
第16図(a)の矢印A方向よシ見た図)、同第16図
(a)においてヌテンレ′ス基板等で作られ基板を兼ね
る不透明な下側電極27上にPiN接合を有するアモル
ファヌシリコン薄膜28(以下、a−8i膜と称す。)
が形成され、このa−5i膜上に斜線で示したインジウ
ム・ティン・オキサイド29(以下ITOと称す。)と
呼ばれる透明電極を付着している。
との&−8i膜28は第16図(b) 、 (c)に示
す様に、下側電極27とITO29の間にPiN接合を
形成するが、ITO29の付着した部分のみが光電変換
特性を有し洗電変換素子として働く。
付着してない部分は光電変換素子としての作用を成さな
いばかシか、a −Si膜28の有する抵抗率が大であ
シ且つ膜の厚さが数1000八と薄く、ITOの付着し
ていない分離帯部の幅を数μm〜数10μm程度とした
場合、膜の厚さよシ充分長いため、横方向に対し大きな
抵抗値を有し電気的な絶縁体として働き、第16図(&
) 、 (b)、 <c、)の如くITO29を分離し
た島状に付着させた場合、下側電極27を共通電極とし
た独立しだ光電変換素子小片19&および光電変換素子
小片19bを形成できる。
ITO29を分離した島状に付着させる方法として例え
ばa−3i薄膜28の全面にITO29を塗布した後、
分離帯−を形成しだい部分の不必要なITO29をフォ
トエツチングにより除去することによシ実現可能であり
、これら分離して形成したITO29の付着部分が独立
した光電変換素子として働くばかシでなく、第16図(
2L) 、 (b)あるいは第9図に示す様に、これら
をアルミニウム等で作られる電1A19a’および電極
B19b’に結合することも可能であり、第9図に示し
た様な微細加工を必要とする光電変換素子も容易に実現
できる。
尚、第16図(a) 、 (b) 、 <0)に示した
様な光電変換素子では第16図(d)の等価回路に示す
様に下側電極27がカソードの共通電極となり、電極A
I9&’および電[B19b’が互いに分離されたアノ
ードとなる。
i山常6700人近傍にピーク波長感度を有するため使
用する光源も5700人近傍の光源を用いる方が好まし
い。6700人近傍の発光波長を有する光源としては、
例えばオレンジ色の発光ダイオード(発光波長路630
0人)又は緑色発光の発光ダイオード(発光波長路56
60人)等の可視光の発光ダイオードによシ実現できる
さて、以上本発明による光学的回転検出装置の一実施例
について述べだが、本発明は光学的手段によシ全周もし
くは略全周に渡って面対向型のF(rを形成し、これと
異なる半径方向の位1i!4 K、 葡子的整流作用を
ならしめるだめのロータ回転位置検出手段を形成したも
のであり、第5図に示した様な直流ブラシレスモーフに
限らず、FGとロータ位置検出手段の必要なものであれ
ば、モータの種類、駆動方式等に関係なく適用可能であ
る。
又、ロータ位置検出手段についてであるが、前記第7図
ではロータ位置検出を行う第2の光電変これらの光電変
換素子の出力が各々90’の位相差を有する第14図の
Vp+ 、 Vp2 、 Vp3 、 Vpaの様な電
圧となる位置であれば、第7図の様な配置ではなく、例
えば電気角で各々eo44すれだ配置にしても良い。そ
して、第7図に示す様に第2の光電変換素子20,21
.22.23として各々1個の光電変換素子で構成され
た例について示したが例えば第17図に示す様に第2の
光電変換素子として全周に渡り互いに電気角で90’の
泣+11差を有する位置に配置しだ光電変換素子30,
31゜32 、33 、34 、36 、36 、37
 、38 。
39.40.41を設け、これらを4個置きに電極で接
続する。すなわち、30.34.38を電極で接続し7
.31,35.39を電極で接続し、32.36.40
を電極で接続し、33,3了。
41を電極で接続し4個の光電変換素子群を形成し、こ
れら4個の光電変換素子群を第13図に示す様な光起電
流−電圧変換回路に接続しても、各々の光電変換素子群
の出力電圧として第14図にか 綿vp ” + vp2* vp3e vp ’ (D
 様すM、イK 90’〕位相差を有する信号が得られ
る。このだめ、これらの4個の光電変換素子群を第2の
光電変換素子として用いても良い。
また、本実施例では第1のステータコイルへ通電する電
流工1 および第2のステータコイルへ通電する電流工
2の各々の波形を矩形状にした例について述べたが、本
発明の場合、回転板の第2のスリットの形状もしくは第
2の光電変換素子の形状あるいは両者とも形状を変える
ことによシ任意の検出波形を得ることが可能であシ、例
えばステータコイ)しの構成が2相の直流ブラシレスモ
ーフにおいてロータマグネットを正弦波状に着磁し、第
1のステータコイルに正弦波(Sin波)状の電流を流
し、これと電気角でso’の奇数倍離れた位置にある第
2のステータコイルに90’位相のずれた余弦波(Ga
5波)状の電流を流しモータの発生するトルクリップル
を抑制する駆動方式も提案されているが、本発明は任意
の形状のロータ位置検出波形を得やすいため、これらの
駆動方式にもL臘用可能であり、効果を発揮する。
又、ロー゛夕位置検出として前記実施例ではロー。
クマグネソトを6極着磁し、コイル相数を2相として2
相全波駆動する例について説明したが、本発明はこれら
と異なる着磁極数のロータマグネットを有し、コイルの
相数が異なるモータにおいても適用可能であシ、この場
合、着磁極数あるいはコイル相数によシ第2の光電変換
素子の数、あるいは配置する際の位相差が前記実施例と
は異なってくる。
そして、前記実施例においては、第1の光電変換素子を
全周に渡って設ける例を示したが、全周一に渡って設け
ずとも略全周に渡って設ければ、全周と同様の検出精度
を得ることが出来、且つ、第1の光電変換素子を形成し
ていない部分から電極の配線等が取シ出せて実装上有利
となる。又は、第1の光電変換素子を形成していない部
分に別の目的で用いる第3の光電変換素子(例えば前記
第1の光電変換素子19に対し90°の位相差を有し回
転方向の判別に用いるもの)を形成しても良い。
弧又、本発明の光電変換素子としてa−8i光電変換素
子が最適であるが、セレン光電変換素子や単結晶シリコ
ン光電変換素子等の他の光電変換素子でも本発明の光電
変換素子として適用可能である。
そして、本発明の実施例において、第9図に示した第1
の光電変換素子を形成する光電変換素子小片A19aお
よび光電変換素子小片B19bのピッチp2と第8図に
示す回転板14の第1のスリット17aのスリットピッ
チP1が等しく、且つスリットピッチP2中に2個の光
電変換素子小片A19aおよび光電変換素子小片B19
bを設けた例について説明しているが、本発明は、この
他前記スリットピッチP1中に2組以上の光電変換素子
小片を設けた構成の第1の光電変換素子を用いても良い
例えば、回転方向の判別を行うべり90部位相差の2種
類の信号を精度良く得たい場合、前記回転板14のスリ
ットピッチP1の幅に4個の光電変いて、1番目の光電
変換素子小片を基準の6にし、2番目の光電変換素子小
片が90’、3番目の光電変換素子小片が186′、4
番目の光電変換素子小片が2700(4番目の光電変換
素子小片は2番目の光電変換素子小片に対し180°)
ずれた位置に配置した第1の光電変換素子を用い、これ
らの光電変換素子小片の光起電流を、前記第12図に示
した様な光起電流−電圧変換回路で電圧に変換し、1番
目の光電変換素子小片の光起電流に対応した電圧e1.
2番目の光電変換素子小片の光起電流に対応した電圧e
2.3番目の光電変換素子小片の光起電流に対応した電
圧e3および4番目の光電変換素子小片の光起電流に対
応した電圧e4を得、この電圧e1.e2.e3.e4
の差信号である電圧es = el−ehおよび電圧e
6=e2−e4 を得ると、e5とe6の関係は前記ピ
ッチP1を360゜とした角変において90’の位相差
で且つ直流成分および同相雑音の相殺されだS/N比の
高い信号が得られる。
5黴廖、本発明の第1の光電変換素子としては、前記2
組以上の光電変換素子小片を用いるもののみならず、前
記回転板の第1スリツトのスリットピッチP1中に1個
の密度で全周もしくは略全周に渡り光電変換素子小片を
形成し、これらを電制で接続した第1の光電変換素子を
用い、との光電変換素子小片の発生する光起電流を前記
第12図に示した様な光起電流−電圧変換回路で電圧に
変換し、前記第11図のVaに示す様な電圧を得、この
電圧によシ回転情報の検出を行っても良い。
更に、本発明においては、前記第1の光電変換素子およ
び第2の光電変換素子の他に、電子整流子モータの1回
転に1周期の電圧変を示す絶対位相検出用の信号を得る
ため、平面状光電変換素子において第3の光電変換素子
を設けるとともに回転板上に第3のスリットを設けても
良い。
尚、前記実施例において、10部およびロータ位置部に
おいて、各々2相の互いに位相が反転した信号を差動増
幅器もしくは差動型の波形整形回路に加えて検出信号を
得ているが、出力電圧の差i&りだい2個の光電変換素
子間において、逆並列接続と呼ばれる一方のカソードに
他方のアノードを接続し、一方のアノードに他方のカソ
ードを接続する接続方法を取れば、回路的に差動構成を
取らなくても光電変換素子の出力電流として、逆並列接
続した2個の光電変換素子の各々が発生する光起電流の
差が出力されるため、これを前記の光起電流−電圧変換
回路に接続すれば、その出力電圧として、前記2個の光
電変換素子の発生する光起電流の差に対応した電圧が得
られ、差動回路が不用となシ回路構成を簡単にすること
も可能である。
発明の効果 以上のような本発明によれば、下記のような効果が得ら
れる。
■ 同一の平面状光電変換手段上に回転情報の検出を行
うFG用の光電変換素子およびロータ回転位置検出用の
光電変換素子が形成できるため小型な回転検出装置が提
供できる。
■ 回転情報の検出を行うFGが全周もしくは略;ン周
に渡って形成されるため全周に渡−て積分された信号が
得られ、機械的精度不良が全周で平均化されるため、F
Gの検出精度が加工や組み立ての影響を受け難い一光学
的回転検出装置が提供できる。
■ 回転情報の検出を行うFGが光源、回転板上の第1
のスリットおよび平面状光電変換素子上の第1の光電変
換素子にょ多構成され、又、これらのピッチを小さくす
ることが可能であシ、低速回転時でも高い検出周波数を
得ることができる。
■ 回転情報の検出を行うF(1,を光学的手段にょ多
構成するため、FGの出力信号が回転速度によシ変化せ
ず低速回転時においても高い出力電圧を得ることが出来
、又、光学式のためモータの発生する磁気的な雑音の影
響が小さく検出信号のS/N比の良好なものが提供でき
る。
■ ロータの回転位置を検出する手段が差動構成となる
だめ、ロータ位置検出用の光電変換素子もしくはその検
出回路に重畳した同相雑音は磁気され、信号成分は倍増
されるため信号のS/N比が良好となる。又、ロータ位
置検出手段が差動構成のためロータ位置検出信号の直流
成分が相殺され直流的なオフセット成分が減少し、前記
S/N比の向上とあいまって高い検出精度が得られる。
■ 検出を光学的手段により行っているため、外部に雑
音を発生させることもなく、又、回転むらや振動を発生
しない。
■ 電子整流作用を成すだめのロータ位置検出が光源、
回転板上の第2のスリットおよび平面状光電変換素子上
の第2の光電変換素子により構成されており、第2のス
リットのスリット形状もしくは第2の光電変換素子の形
状あるいは両者の形状を変えることにより任意の検出波
形がp)られる。又、同時に、平面状光電変換素子がフ
ォトエツチング等によシ形成されるため機械的位置精度
を上げることができるため、ロータ位置検出の精度が向
上し、高精度な電子整流作用をならしめることができる
。そして、ロータタコイル基板上に無いだめ、複雑なコ
イル配置で且つ、小型化の必要なモータにおいて、ロー
タ位置検出素子がヌテータコイル配置」二の邪魔になら
ない。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の回転検出手段を付けたモータの縦断面図
、第2図は同モータのロータマグネットの平面図、第3
図は同モータのステークコイル基板およびヌテータコイ
ルの平面図、第4図は同モータの要部断面斜視図、第5
図は本発明による光学的回転検出装置の一実施例を適用
しだモータの縦断面図、第6図は同モータの回転板の平
面図、第7図は同モータの平面状光電変換手段の平面図
、第8図は同モー・夕の回転板の部分拡大図、第9図は
同モータの平面状光電変換素子の部分拡大図、第10図
(a) 、 (b)はそれぞれ同モータの第1の光電変
換手段の動作説明図、第11図(a) 、 (b) 、
 (C)は同モータの第1の光電変換手段の動作を示す
波形図、変換素子の検出回路の回路図、第14図は同モ
ータの第2の光電変換手段の動作を示す波形図、第15
は同モータの第2の光電変換手段の他の実施例、第16
図(a) 、 (b) 、 (c) 、 (d)はそれ
ぞれ本発明の平面状光電変換素子の一実施例を示す斜視
図、平面図、側面図および等価回路、第17図は本発明
の光電変換手段の他の実施例である。 1・・・・・・回転軸、13・・・・・・光源、14・
・・・・・回転板、15・・・・・・平面状光電変換手
段、17・山・・第1のスリソl−118・・・・・・
第2のスリット、19・川・・第1の光電変換手段、2
o・・印・第2の光電変換手段。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが1名第5
図 第8図 第9図 Vor−P#Ko(vl/+rtVbrr)第 121
ン1 2.5 第13図 第14図 m:逆方向通電 第15図 m16図 第17図 手続補正書(古代′) l事件の表示 昭和58年特許願第233039 号 2発明の名称 光学式回転検出装置 3補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 任 所 大阪府門真市大字門真1006番地名 称 (
582)松下電器産業株式会社代表者 山 下 俊 彦 4代理人 〒571 住 所 大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産
業株式会社内 6 補正命令の日付 7、補正の内容 明細書第46頁2行目〜4行目の「第15は同モータの
・・・・・・・・・・・・実施例、」を「第16図は同
モータの第2の光電変換手段の他の実施例の要部ブロッ
ク図、」と訂正します。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)電子整流子モータの回転軸に取り付けられ、全周
    に渡シスリット数n1(nl は正の整数)の第1のス
    リットを有するとともに、前記第1のスリットと異なる
    半径方向の位置にスリット数n2(n2は正の整数)の
    第2のスリットを有する回転板と、前記回転板の面上の
    対向する一端に前記回転板の全スリットに光が照射する
    様に配した光源と、前記回転板の対向する他の端に配し
    た平面状光電変換手段とを備え、前記平面状光電変換手
    段が、同一部材上の全周もしくは略全周に渡シ設けられ
    た第1の光電変換手段と、前記第1の光電変換手段と異
    なる半径方向の位置に設けられた第2の光電変換手段と
    から成シ、前記第1の光電変換手段からの出力信号によ
    シ前記電子整流子モータの回転情報の検出を行うととも
    に前記第2の光蕾亦愉キE1斗711AIff蕾勿右1
    チ4Q八ハ六粒泣小/’r相差を有する位置に配置され
    た2つの光電変換素子よシなる光電変換素子対を少なく
    とも2対以上有し、前記対をなす2つの光電変換素子の
    出力信号の差信号により、前記電子整流子モータの整流
    作用を制御する様に構成したことを特徴とする光学式回
    転検出装置。
  2. (2)第1の光電変換手段が、全周もしくは略全周に渡
    り半径方向に分離された複数の光電変換小片とこれらを
    電気的に結合する電極から成る2組の光電変換手段によ
    如構成され、回転板が回転することによシ、前記2組の
    光電変換手段からそれぞれ逆位相の2組の信号を得、こ
    の2組の差をとった差信号によシミ子整流子モータの回
    転情報の検出を行うことを特徴とする特許請求の範囲第
    (1)項記載の光学式回転検出装置。
  3. (3)平面状光学変換手段を構成する素子として、Pi
    N接合を形成するアモルファスシリコン薄膜の一方の面
    に無透明電極、他の面に透明電極を形成したサンドイッ
    チ構造で、かつ透明電極上に光源からの光が照射する様
    に構成したアモルファスシリコン光電変換素子を使用し
    たことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項または第
    (2)項記載の光学式回転検出装置。
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