JPS59113648A - 樹脂モ−ルド型半導体装置 - Google Patents
樹脂モ−ルド型半導体装置Info
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- JPS59113648A JPS59113648A JP57224483A JP22448382A JPS59113648A JP S59113648 A JPS59113648 A JP S59113648A JP 57224483 A JP57224483 A JP 57224483A JP 22448382 A JP22448382 A JP 22448382A JP S59113648 A JPS59113648 A JP S59113648A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は樹脂モールド型半導体装置、特に、1対の電極
部月間に少なくとも1枚の半導体ペレットを鑞付挾持し
たサブアセンブリにエポキシ樹脂M脂を巻付は成形硬化
して封止層とした半導体装置に関するものである。
部月間に少なくとも1枚の半導体ペレットを鑞付挾持し
たサブアセンブリにエポキシ樹脂M脂を巻付は成形硬化
して封止層とした半導体装置に関するものである。
エポキシ樹脂は熱硬化型の樹脂で、常温で液状又は粉体
状であシ、熱を加えると高温状態で硬化する。ところが
、熱硬化時にエポキシ樹脂は一旦ゲル化し液状となる。
状であシ、熱を加えると高温状態で硬化する。ところが
、熱硬化時にエポキシ樹脂は一旦ゲル化し液状となる。
従って、エポキシ樹脂でモールドを行う場合は成形のた
めに型を用いるのが一般である。
めに型を用いるのが一般である。
第1図は型を用いて作られたアキシャルリード型ダイオ
ードを示している。
ードを示している。
同図において、pn接合Jを有するシリコンペレット1
はその両生表面に半田付を良好にするためのニッケル鍍
金層2が設けられており、半田3によシ1対の銅へラダ
ーリード4間に挾持されている。ヘングーリード4の表
面には銀鍍金層5が設けられている。このような構成の
サブアセンブリに対して、シリコンペレット1のpn接
合Jの表面安定化のため、一般に用いられるシリコーン
樹脂等の表面安定化材6をシリコンペレット1の側周に
設けてから、エポキシ樹脂で封止層7が設けられる。
はその両生表面に半田付を良好にするためのニッケル鍍
金層2が設けられており、半田3によシ1対の銅へラダ
ーリード4間に挾持されている。ヘングーリード4の表
面には銀鍍金層5が設けられている。このような構成の
サブアセンブリに対して、シリコンペレット1のpn接
合Jの表面安定化のため、一般に用いられるシリコーン
樹脂等の表面安定化材6をシリコンペレット1の側周に
設けてから、エポキシ樹脂で封止層7が設けられる。
エポキシ樹脂のモールド法としては、キャスティング法
、ボッティング法、トランス77法等があるが、いずれ
の方法でも前述のように成形のための型を用いている。
、ボッティング法、トランス77法等があるが、いずれ
の方法でも前述のように成形のための型を用いている。
従って、サブアセンブリの型へのセット、エポキシ樹脂
の注型、モー化ド後の離型等に工数がかかる欠点があっ
た。特にセットと離型は連続作業が不可能で大量生産に
おいては大きな問題となっている。また、エポキシ樹脂
中に離型剤を含有させた場合には、離型が容易となる反
面、ヘッダーリード4との接着性が低下し、ヘッダーリ
ード4と封止層7との間に間隙gができてしまう。この
間隙gを通して水分が侵入してシリコンペレット1にま
で到達し、ダイオードとしての逆方向特性を劣下させ信
頼性低下の原因となっている。
の注型、モー化ド後の離型等に工数がかかる欠点があっ
た。特にセットと離型は連続作業が不可能で大量生産に
おいては大きな問題となっている。また、エポキシ樹脂
中に離型剤を含有させた場合には、離型が容易となる反
面、ヘッダーリード4との接着性が低下し、ヘッダーリ
ード4と封止層7との間に間隙gができてしまう。この
間隙gを通して水分が侵入してシリコンペレット1にま
で到達し、ダイオードとしての逆方向特性を劣下させ信
頼性低下の原因となっている。
型を用いないでエポキシ樹脂でモールドする方法として
、コンデンサに適用されている粉体モールド法や特開昭
55−1174号公報に示されたエポキシワニスを巻き
焼付ける方法があるが、前者では成形が非常に困難であ
シ、また、後者では有効なエポキシワニスが存在しなか
ったことから、ゲル化した時にサブアセンブリから滴下
して巻付量が減少するため充分厚く成形することは困難
で、前述したように、半導体分野では型を用いたモール
ド方法しか利用されていないのが実状である。
、コンデンサに適用されている粉体モールド法や特開昭
55−1174号公報に示されたエポキシワニスを巻き
焼付ける方法があるが、前者では成形が非常に困難であ
シ、また、後者では有効なエポキシワニスが存在しなか
ったことから、ゲル化した時にサブアセンブリから滴下
して巻付量が減少するため充分厚く成形することは困難
で、前述したように、半導体分野では型を用いたモール
ド方法しか利用されていないのが実状である。
従って本発明の目的はエポキシ樹脂によるモールドが容
易で、連続作業が可能であシ、大量生産に適し、かつ、
品質およびイら軸性の高い樹脂モールド型半導体装置を
提供するにある。
易で、連続作業が可能であシ、大量生産に適し、かつ、
品質およびイら軸性の高い樹脂モールド型半導体装置を
提供するにある。
本発明の特徴とするところは、速硬化性および揺変性を
有するエポキシ樹脂を用いてサブアセンブリに巻付け、
硬化成形して封止層となしたことにある。
有するエポキシ樹脂を用いてサブアセンブリに巻付け、
硬化成形して封止層となしたことにある。
以下本発明半導体装置を第2図に示した一実施例に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第2図において第1図に示したものと同一物、相当物に
は第1図と同一符号を付けである。
は第1図と同一符号を付けである。
11は本発明になる封止層でサブアセンブリに表面安定
化材6を設けてから巻付け、硬化成形して得たものであ
る。
化材6を設けてから巻付け、硬化成形して得たものであ
る。
具体的には分子内にエポキシ基を有するエポキシ樹脂と
該エポキシ樹脂100モルに対し3〜15モルの有機二
塩基酸ジヒドラジドおよび上記エポキシ樹脂100モル
に対し2〜7モルの下式で表わされるイばダゾール化合
物を含有する一液性エボキシ樹脂が用いられる。
該エポキシ樹脂100モルに対し3〜15モルの有機二
塩基酸ジヒドラジドおよび上記エポキシ樹脂100モル
に対し2〜7モルの下式で表わされるイばダゾール化合
物を含有する一液性エボキシ樹脂が用いられる。
■
几2
但しR1はメチル基、水素又はヒドロキシメチル基
几2はアルキル基
上記配合のエポキシ樹脂は速硬化性と揺変性を有するも
のである。この特性が如何なる意味を持つかについて、
製造工程を含めて説明する。
のである。この特性が如何なる意味を持つかについて、
製造工程を含めて説明する。
先ず、表面安定化材6の設けられたサブアセンブリが両
電頂4をほぼ水平とするよう保持され回転されていると
ころへ所定量のエポキシ樹脂を滴下する。回転によジェ
ポキシ樹脂は図示する形に巻付く。即ち、電極4や表面
安定化材6と接する部分では回転により摩擦力を受けて
抽質し、粘度が下ってヘッダーリード4や表面安定化材
6によくぬれる。一方サブアセンブリから離れた部分で
は摩擦力が低下し遠心力のみとなるからほとんど抽質せ
ず、従って図示の形を維持する。そこで、次にサブアセ
ンブリを回転させつつエポキシ樹脂の表面部分のみを例
えば加熱して硬化させる。この時、加熱により表面部分
のエポキシ樹脂は一旦ゲル化し粘度が極度に下る。しか
し内部のエポキシ樹脂はゲル化しないので表面部分のエ
ポキシ樹脂よシ粘度は高い。従って、図示の形はほぼ維
持されている。そして、速硬化性によシ表面部分のみが
例えば1分根度で硬化する。硬化した表面部によって内
部のエポキシ樹脂はとじこめられた形となる。従って、
この時点ではもはやサブアセンブリに回転を与えなくて
も、エポキシ樹脂はサブアセンブリから落下することは
なく、巻付けたままの形を維持できる。最後に内部のエ
ポキシ樹脂を例えば加熱によシ硬化させると図示の封止
層i1を有する樹脂モールド型ダイオードが得られる。
電頂4をほぼ水平とするよう保持され回転されていると
ころへ所定量のエポキシ樹脂を滴下する。回転によジェ
ポキシ樹脂は図示する形に巻付く。即ち、電極4や表面
安定化材6と接する部分では回転により摩擦力を受けて
抽質し、粘度が下ってヘッダーリード4や表面安定化材
6によくぬれる。一方サブアセンブリから離れた部分で
は摩擦力が低下し遠心力のみとなるからほとんど抽質せ
ず、従って図示の形を維持する。そこで、次にサブアセ
ンブリを回転させつつエポキシ樹脂の表面部分のみを例
えば加熱して硬化させる。この時、加熱により表面部分
のエポキシ樹脂は一旦ゲル化し粘度が極度に下る。しか
し内部のエポキシ樹脂はゲル化しないので表面部分のエ
ポキシ樹脂よシ粘度は高い。従って、図示の形はほぼ維
持されている。そして、速硬化性によシ表面部分のみが
例えば1分根度で硬化する。硬化した表面部によって内
部のエポキシ樹脂はとじこめられた形となる。従って、
この時点ではもはやサブアセンブリに回転を与えなくて
も、エポキシ樹脂はサブアセンブリから落下することは
なく、巻付けたままの形を維持できる。最後に内部のエ
ポキシ樹脂を例えば加熱によシ硬化させると図示の封止
層i1を有する樹脂モールド型ダイオードが得られる。
エポキシ樹脂がヘッダーリード4や表面安定化材6と充
分ぬれてから硬化させられるので、封止層11はヘッダ
ーリード4や表面安定化材6によく接着している。また
離型剤を含んでいないので、従来技術で生じていた第1
図に示す間隙gは存在せず、耐湿性の高い半導体装置が
得られる。
分ぬれてから硬化させられるので、封止層11はヘッダ
ーリード4や表面安定化材6によく接着している。また
離型剤を含んでいないので、従来技術で生じていた第1
図に示す間隙gは存在せず、耐湿性の高い半導体装置が
得られる。
巻付時に表面部のエポキシ樹脂は抽質しないので充分厚
くエポキシ樹脂を巻付は硬化させることが出来るため、
シリコンベレット1は外力から充分保睦される。
くエポキシ樹脂を巻付は硬化させることが出来るため、
シリコンベレット1は外力から充分保睦される。
巻付時の形の通シの封止層11が得られるので、巻付時
の形を揃えるだけで型を用いなくとも形の揃った半導体
装置が得られる。
の形を揃えるだけで型を用いなくとも形の揃った半導体
装置が得られる。
エポキシ樹脂が有する速硬化性と抽質性は上述の如く型
を用いなくてもサブアセンブリのモールドを可能にする
。従って、工数は低減出来、しかも自動機械による連続
作業を行い得て品質は安定であるだけでなく、大量生産
による供給も安定でめる。
を用いなくてもサブアセンブリのモールドを可能にする
。従って、工数は低減出来、しかも自動機械による連続
作業を行い得て品質は安定であるだけでなく、大量生産
による供給も安定でめる。
第3図は本発明の他の実施例を示し、ている。
同図において、第2図に示すものと同一物、相当物には
同一符号が付けられている。
同一符号が付けられている。
この実施例では、ヘンダ一部12aから離れた位置に7
ランジ部12bが設けられたダブルヘッダーリード12
が用いられている。
ランジ部12bが設けられたダブルヘッダーリード12
が用いられている。
7ランジ部12bは巻付時に軸方向へのエポキシ樹脂の
流れを阻止し、制止層11の形を揃え、よシ一層品質の
安定に貢献する。
流れを阻止し、制止層11の形を揃え、よシ一層品質の
安定に貢献する。
第4図は本発明の他の実施例を示している。
同図において、第2図に示すものと同一物、相当物には
同一符号が付けられている。
同一符号が付けられている。
この実施例では第2図に示す実施例で用いられていた表
面安定化材が用いられずに直接エポキシ樹脂の封止層1
1でモールドされている。
面安定化材が用いられずに直接エポキシ樹脂の封止層1
1でモールドされている。
前述のエポキシ樹脂自体はシリコンベレット1のpnn
接合の露出表面を不安定にする可動性イオン、Na”
、 C1−等を含んでいない。従って、治具、製造設備
等から、エポキシ樹脂が可動性イオン、Na”、C1−
等によって汚染されない限シにおいて、表面安定化材を
省略できる。それによって、一層の工数低減が図られる
。
接合の露出表面を不安定にする可動性イオン、Na”
、 C1−等を含んでいない。従って、治具、製造設備
等から、エポキシ樹脂が可動性イオン、Na”、C1−
等によって汚染されない限シにおいて、表面安定化材を
省略できる。それによって、一層の工数低減が図られる
。
第5図は本発明の他の実施例を示しておシ、第2図に示
したものと同一物、相当物には同一符号を付けている。
したものと同一物、相当物には同一符号を付けている。
この実施例では、pn接合(図示せず)を有する複数枚
のシリコンベレットla、lb・・・1nを鑞材13を
介して所定の整流方向に積層接着してから鑞材3でヘッ
ダーリード4間に挾持させている。鑞材3の融点は鑞材
13の融点よシ低くするとシリコンペレットla、lb
・・・inの積層接着体は鑞材3によるヘッダーリード
4への鑞付時に変形しない。尚、各シリコンベレツ)l
a、lb・・・1nに設けたニッケル鍍金層は省略され
ている。
のシリコンベレットla、lb・・・1nを鑞材13を
介して所定の整流方向に積層接着してから鑞材3でヘッ
ダーリード4間に挾持させている。鑞材3の融点は鑞材
13の融点よシ低くするとシリコンペレットla、lb
・・・inの積層接着体は鑞材3によるヘッダーリード
4への鑞付時に変形しない。尚、各シリコンベレツ)l
a、lb・・・1nに設けたニッケル鍍金層は省略され
ている。
シリコンペレット1allb・・・1nが複数枚設けら
れているため、枚数に応じた耐圧が得られる。
れているため、枚数に応じた耐圧が得られる。
両ヘンダーリード4の間隔が大きくても充分モールドが
可能である。
可能である。
第6図は第2図〜第4図に示す実施例で用いられたシリ
コンペレット1に代えて用いることができる2端子双方
向シリコンサイリスタベレツト14を示している。
コンペレット1に代えて用いることができる2端子双方
向シリコンサイリスタベレツト14を示している。
シリコンペレット14中には4個のpn接合があシ、両
側のpn接合はニンケル鍍金層2によシ短絡されておシ
、双方向サイリスタ特性を持っている。
側のpn接合はニンケル鍍金層2によシ短絡されておシ
、双方向サイリスタ特性を持っている。
このように、複数のpn接合を持つものであっても本発
明に適用できる。
明に適用できる。
第7図は第2図〜第5図に示されたヘッダーリードに代
えて用いることができる電極リード15を示している。
えて用いることができる電極リード15を示している。
モリブデン、タングステンのスラグ電極15 aに銅リ
ード15bが溶接されてなるものである。
ード15bが溶接されてなるものである。
このように、本発明は電極の種類、形状に限定されるこ
となく適用できる。
となく適用できる。
前述したエポキシ樹脂のほかにも、本発明に適用できる
ものとして分子内にエポキシ基を有するエポキシ樹脂と
該エポキシ樹脂100モルに対し2〜20モルの前述の
第1式で表わされるイミダゾール化合物を含有する一液
性エポキシ樹脂がある。
ものとして分子内にエポキシ基を有するエポキシ樹脂と
該エポキシ樹脂100モルに対し2〜20モルの前述の
第1式で表わされるイミダゾール化合物を含有する一液
性エポキシ樹脂がある。
上記実施例ではエポキシ樹脂の硬化方法として熱硬化法
を挙けたが、エポキシ樹脂の硬化のために一般に用いら
れる紫外線、X線、赤外線、電子線照射による硬化等を
用いることができる。
を挙けたが、エポキシ樹脂の硬化のために一般に用いら
れる紫外線、X線、赤外線、電子線照射による硬化等を
用いることができる。
以上説明したように本発明によれば、モールドが容易で
、連続作業が可能であシ、大量生産に適し、かつ、品質
および信頼性の高い樹脂モールド型半導体装置を得るこ
とができる。
、連続作業が可能であシ、大量生産に適し、かつ、品質
および信頼性の高い樹脂モールド型半導体装置を得るこ
とができる。
第1図は従来の樹脂モールド・アキシャルリード型ダイ
オードの縦断面図、第2図〜第5図はそれぞれ本発明の
異なる実施例を示す樹脂モールド型半導体装置の縦断面
図、第6図は本発明に利用できる二端子双方向サイリス
タペレットの縦断面図、第7図は本発明に利用できる電
極リードの正面図である。 1・・・シリコンペレット、2・・・ニンケkM金N、
a・・・半田層、4・・・ヘッダーリード、5・・・銀
鍍金層、f19) 第 1 図 第2■ 第30 案40 第50 n4口 第70 /4
オードの縦断面図、第2図〜第5図はそれぞれ本発明の
異なる実施例を示す樹脂モールド型半導体装置の縦断面
図、第6図は本発明に利用できる二端子双方向サイリス
タペレットの縦断面図、第7図は本発明に利用できる電
極リードの正面図である。 1・・・シリコンペレット、2・・・ニンケkM金N、
a・・・半田層、4・・・ヘッダーリード、5・・・銀
鍍金層、f19) 第 1 図 第2■ 第30 案40 第50 n4口 第70 /4
Claims (1)
- 1.1対の電極部材間に少なくとも1個のpn接合を有
する少なくとも1枚の半導体ペレットを鑞付挾持したサ
ブアセンブリをエポキシ樹脂封止層でモールドした樹脂
モールド型半導体装置において、封止層は速硬化性およ
び揺変性を有するエポキシ樹脂よシなシ、該樹脂をサブ
アセンブリへ巻付は硬化成形して封止層とされたもので
あることを特徴とする樹脂モールド型半導体装置。 2、特許請求の範囲第1項において、エポキシ樹脂は分
子内にエポキシ基を有するエポキシ樹脂に有機二塩基酸
ジヒドラジドとイミダゾール化合物を含有しているもの
であることを特徴とする樹脂モールド型半導体装置。 3、特許請求の範囲第1項において、エポキシ樹脂は分
子内にエポキシ基を有するエポキシ樹脂にイミダゾール
化合物を含有しているものであることを特徴とする樹脂
モールド型半導体装置。 4、特許HYI求の範囲第1項において、1対の電極部
拐の各々は半導体ペレットが鑞付されるヘッダ部と該ヘ
ッダ部から伸びたリード部および該リード部に上記ヘッ
ダ部から一定距離隔てた位置に設けられた7ランク部か
らなるもので、封止層は一方の電極部材の7ランク部か
ら他方の電極部材の7ランク部にかけてサブアセンブリ
の側周部を包囲するように設けられていることを特徴と
する樹脂モールド型半導体装置。 ゛
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57224483A JPS59113648A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 樹脂モ−ルド型半導体装置 |
US06/563,039 US4540603A (en) | 1982-12-20 | 1983-12-19 | Resin-molded semiconductor device and a process for manufacturing the same |
DE8383112853T DE3377438D1 (en) | 1982-12-20 | 1983-12-20 | Resin-molded semiconductor devices and a process for manufacturing the same |
CA000443800A CA1206819A (en) | 1982-12-20 | 1983-12-20 | Resin-molded semiconductor device and a process for manufacturing the same |
EP83112853A EP0111932B1 (en) | 1982-12-20 | 1983-12-20 | Resin-molded semiconductor devices and a process for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57224483A JPS59113648A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 樹脂モ−ルド型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59113648A true JPS59113648A (ja) | 1984-06-30 |
JPS6347340B2 JPS6347340B2 (ja) | 1988-09-21 |
Family
ID=16814499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57224483A Granted JPS59113648A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | 樹脂モ−ルド型半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4540603A (ja) |
EP (1) | EP0111932B1 (ja) |
JP (1) | JPS59113648A (ja) |
CA (1) | CA1206819A (ja) |
DE (1) | DE3377438D1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS63283054A (ja) * | 1987-03-11 | 1988-11-18 | Fuji Plant Kogyo Kk | ピン保持部付リードフレームの製造方法 |
US4985747A (en) * | 1988-06-09 | 1991-01-15 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Terminal structure and process of fabricating the same |
US5219795A (en) * | 1989-02-07 | 1993-06-15 | Fujitsu Limited | Dual in-line packaging and method of producing the same |
DE4110318C2 (de) * | 1991-03-28 | 2001-10-11 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum Zusammenlöten zweier Bauteile |
US5609998A (en) * | 1994-12-29 | 1997-03-11 | Eastman Kodak Company | Process for dispersing concentrated aqueous slurries |
US5550086A (en) * | 1995-12-27 | 1996-08-27 | Tai; George | Ceramic chip form semiconductor diode fabrication method |
US6477037B1 (en) * | 1998-04-03 | 2002-11-05 | Medtronic, Inc. | Implantable medical device having flat electrolytic capacitor with miniaturized epoxy connector droplet |
US6008535A (en) * | 1998-09-17 | 1999-12-28 | Advanced Ceramic X Corp. | Method of making a semiconductor diode from laminated ceramic tape |
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US6700210B1 (en) * | 1999-12-06 | 2004-03-02 | Micron Technology, Inc. | Electronic assemblies containing bow resistant semiconductor packages |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS551174A (en) * | 1979-03-28 | 1980-01-07 | Hitachi Ltd | Semiconductor apparatus |
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JPS5629339A (en) * | 1979-08-20 | 1981-03-24 | Origin Electric Co Ltd | Glass seal of semiconductor element |
DE2944922C2 (de) * | 1979-11-07 | 1981-11-12 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Elektrisches Bauelement |
JPS5769750A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-28 | Hitachi Ltd | Manufacture of semiconductor device |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP57224483A patent/JPS59113648A/ja active Granted
-
1983
- 1983-12-19 US US06/563,039 patent/US4540603A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-12-20 DE DE8383112853T patent/DE3377438D1/de not_active Expired
- 1983-12-20 CA CA000443800A patent/CA1206819A/en not_active Expired
- 1983-12-20 EP EP83112853A patent/EP0111932B1/en not_active Expired
Patent Citations (4)
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JPS55111344U (ja) * | 1979-01-29 | 1980-08-05 | ||
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3377438D1 (en) | 1988-08-25 |
EP0111932B1 (en) | 1988-07-20 |
EP0111932A2 (en) | 1984-06-27 |
EP0111932A3 (en) | 1985-08-28 |
CA1206819A (en) | 1986-07-02 |
JPS6347340B2 (ja) | 1988-09-21 |
US4540603A (en) | 1985-09-10 |
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