JPS58186590A - 真空吸着手段上の物品の存否を検出する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空吸着手段を真空源と連通ずるように置くこ
とができ、この真空吸着手段が物品を吸着し、輸送し、
置くことができ、真空の作用で真空吸着手段が物品を吸
着し、保持し、真空が遮断された時即ち破られた時物品
が解放され、真空吸着手段が真空源と連通し且つ物品が
吸着手段上に存在する時真空吸着手段に圧力差が得られ
、真空吸着手段が真空源と連通し且つ真空吸着手段上に
物品が存在しない時テスト即ち故障信号を発生するのに
利用される真空吸着手段上の物品の存否を検出する方法
に関するものである。

真空吸着手段により部品（物品）を吸着し、輸送し、置
くためには、必要というのではないが下記事項を知るこ
とが望ましい。即ち、 ａ、物品が実際に吸着手段により引っ張られ、吸着して
いること。

ｂ、物品を置く時迄の全輸送行程を通して物品が吸着手
段に吸着され続けていること。

Ｃ・　物品が正しい位置に置かれ、そのままになってい
ること。

物品が吸着手段に存在するが存在しないかを検出するこ
とは種々の方法で行なうことができる。

例えばｉｆｌ又はセンサを用いて間接的に機械的又は光
学的平膜により吸着手段の相対的移動を検出し、又は圧
力検出器若しくは７０−メータを用いることにより検出
することができる。

上述した種類の方法は、米国特ｌＦＦ第１１４５８７１
４号明細書から既知であるが、これは圧力の差に応答す
るダイアフラムを用いる間接的な検出方法に関するもの
である。差圧スイッチを用いるもう−つの間接的方法が
米国特許第４１１６８４８号明細書から既知である。ま
たホトセルを用いる光学的Ｉｉ１．理に基づく検出方法
（これもまた間接的万ｕ、・である）が米国特許第８７
８１８６７号明細書から既知である。最后に、欧州特許
願第００８６８２６号は円方検出器と光学的検出方法と
を用いる検出方法を開示している。これらの既知の検出
方法は移動５Ｊ能な部材を用いるか差圧に応答するか又
は両者を共に用いている。

本発明の目的はこれらの既知の検出方法を改良し、検出
過程自体を速め、検出の信頼度を高齢るにある。

杢発月によればこの目的を達成するため真空吸着手段が
真空源と連通し且つ真空吸着手段上に物品が存在しない
時真空により作られる空気流がテスト即ち故障信号を発
生ずるのに利用され、この空気流が真空吸着手段上に物
品が存在しないことを表示する音響信号に変換されるこ
とを特徴とする。

以后同−の検出方法と称するが、本発明に優ル方法を用
いると、簡単に高速な検出が達成されるが、笛音叉は雑
音信号により発生させられた音響信号の強さが信号の振
幅の目安となり、また空気流の速度の目安となる。真空
にスイッチオンされた場合、吸着手段の自由端が物品に
より閉じられていない時、即ち吸着手段に物品が存在し
ない時最大空気流、従って最大音−信号が予想される。

逆に吸着手段が物品により閉じられている時、空気流、
従って音響信号が最小となる。

吸着し、輸送すべき物品は種々の寸法となり得る。比較
的大きな寸法の物品、例えばデシメートｋ　（７）オー
ダーの大きさの物品の場合は、数個の吸着手段を用いる
。ミリメートルのオーダーの大きさの小さい物品の場合
は唯１個の吸着手段で十分である。

音響信号は空気流の中に配設されている笛音叉は雑音発
生器により発生させることができる。しかし、本発明の
好適な一実施例によれば音響信号を空気内にで身た乱流
により作る。

この音響信号は増幅すると好適である。

本発明の別の好適な方法によれば、前書信号を電気的、
電子的及び／又は光学的信号に変換する。

本発明は電子的及び／又は電気的部品を吸着し、転送し
、置くこと並びに処理したり取り扱うことに用いると殊
に有利である。

電子産業での微小化の程度が進み、接続線を有しＱい板
状、塊状又は円柱状の部品が開発され、これらは「チッ
プ−タイプ」部品と呼ばれている。

これらの部品はミリメートルのオーダーの大きさの口■
成り小さい寸法になっており、例えば、しばしば用いら
れる部品は８．２　Ｘ　１．６　Ｘ　Ｏ，８ミリメート
ルの標準寸法を有する。このようなチップ−タイプの部
品を基板上に置くためには、場合場合で所定のパッケー
ジにパックし又はせずに部品を所定の位置に差し出し、
これを転送部材により取り上げ、基板のトラック側の適
当な位置に置く。部品は予しめ基板及び／又は部品に塗
布されているはんだペースト又はにかわのような固定剤
によりこの位置に保たれる。次に適当なプロセスにより
Ｆｆｌｓ品をこの位置に固定させるっダイオード　トラ
ンジスタのような短い接続部材を具える部品は、同じよ
うにして転送され、基板−ヒに設かれる。これらの部品
の寸法か小さいこと、基板上で密なトランクパターンを
有すること及び部品を基板上で正確に位置決めする必要
があることを考慮に入れると、このような部品は接Ｍ線
を有する従来の部品を取り扱うために慣行的に使用され
てきたような純粋に機械的な把持手段により転送し、置
くことはできない。チップタイプの部品を取り扱うため
には一般に真空源に連結された真空吸着手段を用い、こ
の真空吸着手段により吸着位置で所定のパック−ジから
又はパッケージ抜きで部品を吸着し、その後で部品がつ
いている吸着手段を基板の上方の取り付は位置に動かし
、最后にｇ＆着手段により部品を基板−Ｆに置き、予し
め基板及び／又は部品に塗布されている例えばにかわ又
ははんだペーストのような固定剤でその位階に保つ。真
空を破った後吸着手段を再度吸着位置に動かし、その後
で別の部品を吸着し、新しいサイクルが開始する。

本発明は各部品を真空＠層手段により吸着位置から基板
上の置くべき位置に輸送する電気的及び／又は電子的部
品を基板上に置く方法に使用すると殊に有利である。こ
の本発明方法は吸着位置での各部品の吸着と、この部品
を基板上に置くこととを本発明に係る貴会検出方法によ
りチェックする。

同一基板上に可成り多数の部品、例えば数十の部品を置
くべき時は、確実にこれらの部品を吸着し、輸送し、置
くことが絶対に必要である。たった一つの部品でも吸着
されなかったり、実際に基板上に置かれたままにならな
いと、取り付はプロセスが乱され、欠陥商品が許し難い
程のパーセンテージででる。また取り付はプロセスの信
頼できる実行の点で受は容れ難い不確実性が生ずる。し
かし、本発明に係る貴書検出方法を用いることによりこ
れらの問題及び不確実性を回避できる。

この明細書で、「基板」といつ用語は、部品が収容され
ている空胴、室又はカットアウトを具えるテープ状のパ
ッケージストリップを意味することもあることを理解す
べきである。部品のノぐツナージングにつき本発明方法
を用いることにより、各空洞、室又はカットアウトに実
際に一つの部品を設けることができる。

所望とあれば又は必要とあれば勿論部品が基板上に置か
れる直前に部品の存在をチェックすることもできる。こ
れにより吸着位置から置くべき位置に転送する間に部品
が吸着手段から落ちなかったかどうかを検出することが
できる。

本発明に保る貴会検出方法は各部品をｇ＆着位置から置
くべき位置へ輸送する途中の中間位置に一時的にとめ、
この中間位置で固定剤を部品に塗る取り付はプロセスで
使ＭＩ　Ｌ、でも有利である。中間位置に部品が存在す
ることも本発明に係る音−検出方法でチェックできる。

上述した取り付は方法で部品を設けた基板には置き練り
があってはならないが、このような練りは殊に所望のＳ
橡で部品が設けられていない位置を意味するものと理解
すべきである。

本発明はまた本発明方法を実行する装置にも関するもの
で、この装置は真空源に連結されている少なくとも１個
の移動可能な真空吸着手段と、この真空吸着手段と真空
源との間に連通関係を作ったり遮断したりするように動
作する弁とを具える。

この本発明に保る装置は真空吸着手段と真空源との間の
連結部内に貴会発生器を挿入したことを特徴とする。こ
の装置は以后音暢検出器と称する。

一実施例では音響発生器は単に笛音を生ずるように構成
するが、好適な実施例での前会発生器は渦流室として構
成する。この渦流室は真空により作られた空気流の中に
乱流を生ぜしめるが、この乱流には音と雑音とが伴なう
。この例の構成では圧力差を作る必要がない。このよう
な簡単な音響即ち雑音発生器は可動部分を具えず、制約
なしに空気流を豊かに通すから、汚染によ）故障する危
険は非常に小さい。

本発明の装置の一つの好適な実施例では、渦流ｍ内にマ
イクロホンを設けることにより、乱流空気流により生じ
た音を簡単に電気信号に変えることができる。

本発明装置の一つの好適な実施例では、このマイクロホ
ンを電子式信号処理装置に接続する。この徊号処珈装置
は、例えば、高域フィルタ、増幅器及びしきい値調整装
瞳を具え、マイクロホンにより捕えられた信号を処理し
、ｒ　ｙｅｓ　Ｊ及び「ｎｏ　Ｊ信号に変換し、この「
ｙｅｓ」及び「ｎｏ」信号を電子文制御装置に加え、こ
の制御装置が機械装置を左右することができる。乱流空
気流により発生したのではない混乱を与える異常音舎信
号は増幅され、伝達されることがない。このような音響
信号の例は約１００００　Ｈｚ迄の周波数レンジの会話
音及び音楽の音である。このような音嚇信号は高域フィ
ルタによりＶ＝波され、除去されてしまう。

しきい値ｌｌｌ１１装置によるしきい値の調整は音−検
出器が応答しなければならない信号の最小値を調整する
ことを許す。真空吸着手段に部品がついている場合は音
は最小値となり、真空吸着手段に部品が吸いついていな
い場合は童は最大値となる。

しかし、部品と真空吸着手段自体との間には１部品の表
面が、絶対的に平滑でないため何時も若干の漏曳が生ず
る。しかし、この事実はしきい値の調整により考慮する
ことができる。

上述した貴会検出器の利点と本願人の名による帥の特軒
願で提案されている装置とを組み合せると十分な利点が
得られる。これは複数個の電気及び／又は電子部品を基
板上に置くための装置であってフレームと、駆動機構と
、基板に対する担体と、複数個の真空吸着手段を伴なう
転送機構とを具える。このような本発明装置は複数個の
真空吸着手段の各々が特許請求の範囲第８項ないし第１
１項のいずれかに記載の装置の一部を形成し且つ単一の
共通弁を介して共通真空源と連通ずるように置くことが
できることを特徴とする。その簡単さと得られる信頼度
とのため、この前書検出器は多重使用に非常に適してお
り、装置全体の信頼性が改良されると共に、音曽検田器
のコストが士がる。

本発明に係る上述した装置の一つの好適な実施例は固定
剤を部品に塗布する機構を具え、この機構が塗布部相が
成る飯の固定剤を受は取る休止位置と、塗布部材が部品
の下側と接触するように持つてこられる動作位置との間
で移動可能な複数個の塗布部材を具えることを特徴とす
る。音會検出器のお蔭で、何俺かの理由で部品な担持し
ていない真空吸着手段は全て塗布部材の一つと接触する
のが防がれ、一連真空ｇ＆着手段の真空ダクトが固定剤
により東かれることはなくなる０ 図面につき本発明の詳細な説明する。

第１図は吸込管１０６を具える真空吸着手段１０５に物
品１０８が吸いつけられているか否かを検出する検出装
ｆｌｌｌｌｏ１の略図である。

吸着手段１０５は可撓性を有する管１０７を介して真空
源】０９に連結する。弁１１１により吸着子ｆ９１０５
は真空源】０９又は大気又は圧縮空気源】１８に連通ず
ることができる。検出装置１０１は音響に基づいて動作
するつこの目的で検出装置１０】は雑音即ち音響発生器
１１Ｋを具えるが、これは互に直角に延在し、狭窄部を
有しない人Ｄ　１２１と出口１２１１とを具える渦流室
１１９を具える。渦流室１１９にはマイクロホン１２５
、できればエレクトレットマイクロホンを設け、これを
電子式信号処理装置１２７に接続する。この信号処理装
ｆｔ１２７は、例えば、高域フィルタ、増幅器、整流ａ
、平滑コンデンサ及びしきい＊ｓｉ整装置を具える。こ
の信号処理装置からの「ｙｅｓ　Ｊ信号又は「ｎｏ」信
号は光学的、音響的及び／又は電子式信号の形態で制御
装置に加えられる。この音物発生器１１５は弾性的又は
吸取的要素１８１を介して固定された基台】８δに取り
付ける。

この音響発生器の動作は以下の通りである。物品ｌＯδ
をピックアップし、輸送し、直ぐために、真空ＩＪ＆着
手段１０５を弁１１１を介して真空源１０９に連結する
。先ず周囲の空気が閉じられていない真空吸着手段の自
由端から真空吸着手段内に吸い込まれ、吸込管１０６及
σロ■撓性を有する管１０７内に空気流が生ずる。吸着
手段１０６の自由端がつまみ上げるべき物品１０３に近
づいたり、接触した時、この物品は空気流により吸着手
段の自由端に引きつけられ、第１Ａ図に示すように物品
のｌｌｌ１ｉ端間に生ずる）Ｔｚ力差によりそこに保持
される。次にこの物品１０８は吸着手段】０５を動かす
ことにより所望の位置に送られる。物品を所望の位置に
置くために、弁１１１によりｇ＆着手段１０５を真空源
１０９から切り離し、大気と連通させることにまり吸込
管１０６の真空を破る○所望とあらば又は必要とあらば
、吸着手段１０５を圧縮空’Ｍ、ｆｊ１１１ｓに連結し
、積極的に、ｆｌ’ｌｌち、強制的に物品１０８を吸着
手段１（１５から離れさせることができる。これは非常
に軽い物品を取り扱う時電要となることがある。如回な
る理由によるにせよ吸込９１ｉｆ１ｏｓが物品１０ａに
より閉ざされない状態で吸着子１９１０５が真空源１０
９に連結されると、これは音曽即ちノイズ発生器１１５
により検出され、合図される。この状態では吸込管］０
６を口］撓性を有する管１０７内の空気流が入口１２］
と出口】２８との間で空気流の方向か鋭く、突然に変わ
るため渦流室】１９内で渦を巻く。この空気の乱流は音
４１１ｍち雑音信号を発生し、この信号がマイクロホン
１２５によりとらえられ、次に電子式信号処理装置１２
７で増幅され、その後で更に処理を施されて電子、音−
１九俺の信号に変えられる。信号処理装置】２７のフィ
ルタは約１００　ｏ　ｏ　Ｈｚ迄ノｇＪｍｒｔｔｔ波数
範囲で異常ｔＪ音が伝えられるのを防ぐ０このような異
常な音はフィルタで消される。明らかに、マイクロホン
】２５でとらえられた音場信号は積極的な表示又は消極
的な置方くを行なうように処理することかで゛きる。

即ち、物品が吸着手段の端に存在しないこと又は存在す
ることを光学的、音物的又は他の認識可能なｌｉ様で合
図することができる。

第１図に示した実施例は唯一つの物品を吸着するのに適
した唯一つのｇ＆着手段を躾える貴会検出装置に関する
ものである。もっと大きな物品を吸着し、輸送し、蓋〈
ためには伽数個の真空吸着手段を使用し、その各々に本
発明に孫る貴書検出装置を設けることができる。これら
の飛数個の真空吸着手段は一緒に動作させることもでき
るし、別々に動作させることもできる口 図示した実施例では真空吸着手段】０５を単純な吸込管
として＊＋ｉしているが、同じ利点を有し、同じ効果を
与える他の実施例を用いることもできる。例えば、管内
で摺動できる吸込管を具えるタイプの真空吸着手段であ
る。

信頼度が高く、破損と汚染を受けにくく、寸法が小さい
ため、本発明に係る貴会検出装置は、第２図ないし第６
図に示すような電気及び／又は電子部品を基板に置き、
取り付ける装置で使用すると殊に好適である。

第２図に示す符号１は、基板、例えば、印刷回路基板を
示す。この基板の下側には既に通常の部品８が取り付け
られており、これらの部品８のリード線は基板の孔に挿
入されている。基板１の上側には非常に小さく、リード
線を有しない多数の他の部品１０８を智がねばならない
。「チンプｊとも呼ばれるこのタイプの部品の寸法はミ
リメートルの大きさのオーダーであり、これらの部品は
非常に正確に位置決めして互に非常に小さな間隔で基板
上に取り付けねばならない。部品の共通の寸法は８・２
　Ｘ　１．６　Ｘ　Ｏ，８ｓｍ＋である。基板】は基板
支持体７により支持されるが、この基板支持体７は位置
決め要素８を具える。配設すべき部品１０８はテープ９
にパッケージされているが、これは送りスプロケット孔
を具え、部品はテープの開口内にゆるく配設され、テー
プの開口の下側は下側箔により閉じられ、上側はカバー
箔により閉じられている。

多数のこれらのテープはホルダ】８内の回転自在ノＩＪ
−ル１１に巻きつけられている。ホルダ１８内に何個の
リールを設けるかは条件次第である。讐通はホルダ１８
内の２個のレベルに８２個ノリールを取り付ける。テー
プ９はリールｌ】がらテープをＦｇｒ定の吸着位置Ｐ恵
送る装置１５（説明せず）迄延在する。このよう１（テ
ープ送り装置１５は前に出願した特＃ｌ：願の主題を形
成する。本例ではこの装置は各サイクル時に８２個の部
品１０８を送るように構成されている。部品１０８はテ
ープからはずされ、転送装Ｗｔ２１により基板１に運ば
れる。テープ送り装置］５はチー１９が一緒に又は個別
的に＠着位置Ｐに送るように構成することができる。転
送装置２１は主としてクレーム２８、転送機構２５、駆
動機＃ｌＩ２７及び前記基板支持体７がら成る。これら
の部品は基台２８上に取り付けられている。

以下第８図ないし第６図につき説明する転送機＃Ｉ２５
は同時に転送する必要のある部品の数に寺しい数、即ち
、本例では８２個の転送アームを具える。各転送アーム
２９は真空吸着子＄９】ｏ５を具える。転送アーム２９
は唯一つの共通の台車δｌ内で互に独立に摺動すること
ができ、この台車８１自体がフレーム２８内で往復運動
することができる。台車３１は駆動機構２７で駆動され
るが、この駆動機構２７は第２図に示され、モータ（図
示せず）、カムディスク８８及びローラδ７の形態をし
たカム従動体を具えるてこ８５を具える。フレーム２８
は第４図に示すように主として２個の側壁４】から収る
。台車８１は断面が方形の管状形態を有している。その
運動時には台車δ１＆まローラ４８により案内されるが
、ローラ４８は台車の両側に取り付けられており、９Ａ
　ＩＩ　４１の内側に取り付けられ且つフレーム２８か
ら基板支持体７を越えて自由に突出する２個のレール４
５に沿って走行する。台車８１は斯くして２ｉＩの＠＠
４１間を自由に動くことができる。台車の上側壁と１゛
側壁の内側には平行な溝４７を設ける。本例では６壁に
８２個の溝を設ける。これらの溝４７は玉軸受４９及び
摺動ブロック６１と協働して対応する数の転送アーム２
９を摺動させつつ案内する。

玉軸受４９は各転送アームの上側に一つと下側に一つあ
り、転送アームをその後端に遊びを作らずに支持する。

このような支持機構によると転送アームの垂直位置が保
たれる。摺動ブロック５１は台車８１に対して垂直方向
に転送アーム２９と台車δｌとの間にいくらかの遊びが
存在するような寸法とする。転送アームは玉軸受４９に
より画成される凧直軸線を中心としてこの遊びの中で回
動する。各転送アーム２９はフレーム２８とは反対側の
端に真空ｇ＆着手股１０５を具えるが、この真空吸着平
膜】０６は図示した例では吸込管を具えるタイプのもの
とする。吸込管はピストン５５により垂直方向に動かす
ことができる（第８図）。

各転送アーム３９は圧縮空気ダクト５７を具えるが、こ
の圧縮空気ダクト５７は関連するｉＪ撓性を有する管５
９とｌ１４達する電磁弁６０とを経て圧縮空気源に達通
し、夫々の＠層手段】０５内でピストン５ｂの上の空間
と連通ずる。電磁弁６０は個別的に作動させることがで
きる。仏って、吸込管５８は個別的にはずすことができ
る。また、各転送アーム２９には真空ダクト６１を設け
るが、この真空ダクト６１は一方では夫々の吸込管５８
に連通し、他方では第１図につき前述した態様で可撓性
を有する管】０７を介して真空ｆｊＩ７Ａ１０９に連通
させる。−そして各真空ダクト６１は音梼検出装璽】０
１と、真空源１０９及び多くは圧縮空気源１１８とが連
結されている共通空気室１δ５とを介して真空源に連結
する。符号１１１は第１図につき既に述べた弁に類似す
る弁である。吸込管５８は各々ばね６５により第８図に
示す中性体、上位置に保たれ、この時夫々の転送アーム
２９は吸着位置にあり、吸着位置Ｐにある部品１０８を
吸着する用意ができてし・る。各吸着手段】０６のｔ端
にある突起６７は日新７０を具え、多重固定衡合部材と
して働らく衝合俸６９に当接する。符号７１は交換可能
なようにフレーム２８に取り付番フられているプログラ
ム板を指す。このプログラム板７１は止め７８を具え、
この止め７８が吸着手段１０５上の突起６７と係合し、
転送アーム２９を第５図；こ示す取り付は位麓に置く。

第４図に示すように、プログラム板７１は位置決め孔７
５が位置決めピン７７と協動することによりフレーム２
８に対して正確に位置決めされる。プログラム板７１は
フレーム２８の２個の＠壁にとりつけられている２個の
細長い支持体７８に止まる。

符号８１ははんだペースト又はにかわのような固定剤即
ち接着剤を部品の下側に塗布する機構を示す。この接着
剤塗布機構は主として細長いアーム８δを具え、このア
ーム８ａの上に塗布部材８５の列を取りつける。塗布部
材の数は置くべき部品の数に侍しい。塗布部材８５を具
えるアーム８８は塗布部材８５が接着剤が入っている一
容器８７に浸されている第２図に示す休止位置から塗布
部材８５の自由端が置くべき部品の下側に接触する動作
位１ｌｌ（図示せず）へ垂直方向に動くことができる。

以下上紀装會の動作のサイクルを説明する０先ず、８２
個の＠層手段１０５を具える８２個の転送アーム２９を
全部吸着位置に持っていかねばならない。この目的で、
台車８１を駆動機＠２７により衝合欅６９の方へ動かす
。摺動ブロック５１は正確に規制された摩擦を伴って台
車８１の溝４７内で摺動する。この摩擦は台車８１が駆
動される時転送アーム２９がこれと共に動くようなもの
とする。しかし、転送アーム２９の吸着手段の突起６７
が衝合俸６９と接触するや否や、その吸着手段を具える
関連アームが停止し、このアームは台車８】がその運動
を続ける間静止し続ける。

摺動ブロック５１とアームの玉軸受４１とは台車８】の
夫々の溝４７内に静止し統ける。

台車δ１を吸着位置に動かす時、転送アーム２９は全て
の吸着手段１０５の突起６７が固定された衝合俸６９と
接触する。この時転送アームは全て吸着位置に静止する
。突起６７と衝合俸６９のｂＩｒとは転送アームのＵＪ
＆着位置で、吸込管５８の中心線が正確に一本の線上に
配置すべき部品の吸着位＆Ｐ上で一本の線に位置するよ
うに形な決め、寸法をとり、調整する。

次に、吸込管５３をばね６５の力に抗して圧縮空気によ
り下方に動かす。この圧縮空気は弁６゜の動作により管
５９と転送アーム２９内の圧縮空気ダクト５７とを経て
供給される。次に吸着位置Ｐにある部品１０δを夫々の
吸込管５８により吸着し、保持する。吸込管６８は大々
の真空ダクト６１と管１０７とを経て共通空気室１８５
に連通させられており、空気室１δ５が弁】】１を経て
真空［１０９に連通させられている。

圧縮空気のｇ＆着着手への供給が遮断されると、吸込管
６δはばね６５により再び持ち上げられ、次いで台＄８
１が駆ｌｌｌ１ａｌｌ摘４７により後方に動がされ、転
送アーム２９が台車と共に動き、吸着手段１０５をプロ
グラム板７１の人口側に持ってゆ〈０この時全ての吸着
手段１０５は互に平行な直線に沿って第１の距離Ａだけ
走行する。この第１の距亀ムは全ての吸着手段につき同
一とする。本願人の名による前記の前の特ｒＦ願に詳細
に既に記載されているように、プログラム板７１の入口
側にＯｊ撓性を有する案内要素の前端に続いているキャ
ッチャ（ｃａｔｃｈｏｒ　）　要素（図示せず）を設け
る。

各案内要素の他方の偽部はプログラム板７１上の衝合ブ
ロックに固定し、吸着手段１０５を関連止め７８により
、部品１０８を置くべき位置、即ち、基板】上に部品を
置くべき位置の正確に上方に置く。吸着手段１０５上の
突起６７は案内要素により止め７８迄案内され、そこで
突起６７が市め７δと保合することにより転送アーム２
９が止められる。次に吸着手段が横方向の動きを伴ない
又は伴なわず第２の距離Ｂだけ走行する。この第２の距
＃ＩＢは全ての吸着手段に対し同一であることもあり、
吸着手段毎に互に異なることもある。

全ての吸着手段１０５が関連止め７８と接触したら、吸
込管６δを圧縮空気により再度下方に動かし、吸込案内
の真空を破ることにより又は吸込管を圧縮空気源１１！
３に連結することにより部品１０８を基板１上に置く。

次に、圧縮空気をｇ＆着手段１０５内のピストン５５上
の空間に供給するのを再度遮断し、ばね６５により吸込
管５８を持ち上げる。最后に全ての吸着手ｌＱ１０５が
再度固定衝合＄Ｉ６９と接触す葛迄台車８１を再度前方
に動かす。中間の時間において、全てのテープ９を１位
置だけ進め、次の部品が各吸着位ｔｉｌＰにくるように
する。

部品が吸着手段１０５についているが否が及び正しく吸
着されているか否かの検出、障害のない輸送及び上記動
作サイクル時に部品を正しく置くことは以下のように行
なわれる。

吸着手段１０６の吸込管５ａは部品１０８の吸着時及び
部品の輸送時を通して部品がその置くべき位置に置かれ
つばなしになる迄真空源１ｏδと連通させる。第１の「
存在Ｊ検出は部品の吸着時に行なう。例えば関連位＆Ｐ
に部品が存在しないため、吸込管５δの一つが部品を吸
着するのに失敗すると、これが第１図につき既に述べた
関連音響横田装Ｎ１０１により検出され、合図される。

そうすると信号処理袋［１２７の一部を形成する制御装
置により、空の位置に関連するテープ９を除いて全ての
テープ９の駆動が阻止され、空の位置に関連するテープ
９が独立に一位置醜められ、前に空であった吸着位置Ｐ
に部品１０８を置く０吸込管５８が未だ部品を吸着して
いない吸着手段１０５は関連する弁６０により空気的に
作動させられ、この吸込管が下方に動き、部品を吸着す
る。

この間他の吸込管はその上側位置にとどまる。部品を吸
着した後吸込管はばね６５により持ち上げられ、全ての
吸着手段が一緒になってサイクルカミ続けられる。何回
か吸着の試みが失敗した時は、装置が停められ、史にチ
ェックを受ける。

Ｖ＆着手段が基板上の夫々の置くべき位置の上にある侍
史に存在の検出を行なうことにより、物品をｇ＆着位置
から置くべき位置に輸送する間に物品が吸着手段の一つ
から失なわれたことを噴出することができる。物品が存
在しないことは再度関連する貴会検出装置１０１により
検出され、合図される。貴書検出装ｆｌｌ１０１は信号
処理装置１２７を介して関連する電磁弁６０が作動する
のを防ぐ。

空の吸込管５８は上側位置にとどまり、他σＪ＠込管は
下げられ夫々の物品を基板上に置く。次に、全ての吸着
手段は吸着位置に戻され、そこで位置Ｐにある次フ〕物
品を吸着する。次に転送装置はもう一同取り付はサイク
ルを行なうが、この時は物品は基板上の未だ空の置くべ
き位置だけに置かれ、他の吸込管は圧縮空気源から遮断
され続け、下げられない。次に全てのｇ＆着手段は吸着
位置に戻され、そこでこの時空の吸込管だけが物品を吸
着し、この後で正常の取り付はサイクルが書間する。

この音１１検出方法はまた物品が基板上の置くべき位置
に実際に置かれたままにｆｌつているか否かをチェック
するのにも使用できる。物品が置かれていれば全ての検
出装置が信号を出す。特定の吸着手段につき信号が出な
い時は、この吸着手段が夫々の物品を基板上に置いたま
まにするのに失敗したか、又はその吸込管が塞がってい
る。

（づ◆かの理由で特定の物品が所ｌ１ａａりの態様で基
板上に置かれていない全ての場合は、次の取り付はサイ
クルにおいて一つの物品だけが上述した態様で取り付け
られる。

物品を基板上に固定するために、接着剤を基板に塗るこ
ともできるし、物品に殖ることもできるし、両方に塗る
こともできるが、上述したテストは接着剤が実際に基板
及び／又は物品上に存在するか白かをチェックすること
ができる。存在する場合は、物品は吸着手段内の真空に
打ち勝て、物品は屯営に接着剤の粘性により基板上にと
どまる。

従って取り付はサイクルが完了した時吸着手段の一つに
物品が存在することを夫々の貴会検出装置が表示するこ
とは関連物品及び／又は基板上に接着剤が存在しなかっ
たことを表わす。

全ての物品を基板上に置いたままにするたｔ、物品が基
板上に置かれた時空気室１８５を双方向弁］１１により
圧縮空気源１１８の方に切り換え、ｇ＆着骨管１０５内
真空を破り、吸込管６８を押すようにすることができる
。物品はこうしてあたかも吸込管から突きｂｊされたよ
うになり、同時に吸込管５８が押される。

上述した状態では物品を担っていない吸込管は夫々の電
磁弁６０により圧縮空気源から切り離される。従ってこ
れらの吸込管５８を動かすピストン５５は′＠達するは
ね６５によりその上側の休止位置に保たれ、斯くして基
板上の接着剤がつくのが防がれ、接着剤による吸込管の
汚染や閉塞が防かれる。同じようにして空の吸込管は接
着剤塗布機構８１内の塗布部材８５の接着剤と接触する
のが防がれる。

上述し、図示した実施例では、ばね６５により吸込管６
δがその休止位置に動かされ、そこに保たれるが、明ら
かにこの目的で代りに空気的手段を用いることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る真空吸着手段上の物品の存否を検
出する検出装置の一実施例の略図・第１五図は第１図に
示した吸着手段の一部の略図、 第２図は電気及び／又は電子部品を取り付ける装置の一
例の略図、 第８図は第２図に示した装置の一部を形成する吸着位置
にある転送装置の第４図の厘−厘線に沿って切った長手
方向断面図、 第４図は第８図のＮ−１／線に沿って切った転送装置の
横方向断面図、 第す図は取り付は位置にある第６図のｖ−■線に沿って
切った側方向断面図、 第６図は転送装置の第５図のＭ−Ｍ線に沿って切った平
面断面図である。 】・・・基板　　　　　　　８・・・通常の部品７・・
・基板支持体　　　　８・・・位置決め要素９・・・テ
ープ　　　　　　　１１・・・リール１８・・・ホルダ
　　　　　　１５・・テープ送り装置２】・・・転送装
置　　　　２８・・・フレーム２５・・・転送機構　　
　　２７・・・駆動機構２８・・・基台　　　　　　２
９・・・転送アーム８１・・・台車　　　　　　８８・
・・カムディスク８５・・・テコ　　　　　　　８７・
　ローラ４１・・側壁　　　　　　　４８・・・ローラ
４５・・・レール　　　　　　４７・・・溝４９・・・
玉軸受　　　　　５１・・摺動プロ゛７り５８・・吸込
管　　　　　５５・・・ピストン５７・・・圧縮空気ダ
クト　　５９・・・可撓性を有する管６０・・・電磁弁
　　　　　６１・・・真空ダクト６５・・・ばね　　　
　　　６７・・・突起６９・・・衝合棒　　　　　７０
・・・凹所フト・・プログラム板　　７８・・止め７６
・・・位置決め孔　　　７８・・・支持体８１・・・接
着剤塗布機構　８８・・・アーム８５・・・塗布部材　
　　　８７・・・接着剤の容器１０１・・・検出装置　
　　　】０８・・・物品１０５・・（真空）＠着手段　
】０６・・・吸込管１０７・ロエ撓性を有する管 １０９・・・真空＃１１１・・・弁（双方向弁）１１δ
・・・圧縮空気源　　　】１５・・・音曖発生器１１９
・・・渦流室　　　　　　１２１・・人目１２δ・・・
出口　　　　　　　１２５・・・マイクロホン】２７・
・・信号処理装置 １８１・・・弾性的又はｇ＆暇的要素 １８５・・・共通空気室　　　Ｐ・・・吸着位置ム・・
・第１の距１ｍ　　　　　Ｂ・・・第２の距離Ｕノ　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　ｑ〕ｇ！０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　真空吸着手段を真空源と連通ずるように置くことが
   でき、この真空吸着手段が物品を吸着し、輸送し、置く
   ことができ、真空の作用で真空吸着手段が物品を吸着し
   、保持し、真空が遮断された時即ち破られた時物品が解
   放され、真空吸着手段が真空源と連通し且つ物品が吸着
   手段上に存在する時真空吸着手段に圧力差が得られ、真
   空吸着手段が真空源と連通し且つ真空吸着手段上に物品
   が存在しない時ナス）　ＩＩち故障信号を発生するのに
   利用される真空吸着手段上の物品の存否を検出する方法
   において、真空吸着手段が真空源と連通し且つ真空吸着
   手段上に物品が存在しない時真空により作られる空気流
   がテスト即ち故障信号を発生するのに利用され、この空
   気流が真空吸着手段上に物品が存在しないことを表示す
   るｆＩＩｋ信号に変換されることを特徴とする真空吸着
   手段上の物品の存否を検出する方法。 １　前記音４１１信号が空気流内にできる乱流により生
   ずることを特徴とする特＃’Ｆ　ｇ＃求の範囲第１項記
   載の真空吸着手段上の物品の存否を検出する方法。　　
   　− ＆　前記貴書信号を増幅することを特徴とする特ｆＦｎ
   求の範囲第１ｒＩＡ又は第２項記載の真空吸着手段上の
   物品の存否を検出する方法。 表　前記音場信号を電気的、電子的及び／又は光学信号
   に変換することを特徴とする特許請求の範囲第１項、第
   ２項又は第８項記載の真空吸着手段上の物品の存否を検
   出する方法。 ４　各部品を真空吸着手段により吸着位置から基板上の
   置くべき位置に輸送する基板上に電気及び／又は電子部
   品を置く方法において、吸着位置での各部品の吸着と、
   この部品を基板上に置くこととを特許請求の範囲第１項
   ないし第４項のいずれかに記載の方法によりチニックす
   ることを特徴とする基板上に電気及び／又は電子部品を
   置く方法。 ６　吸着位置から置くべき位置に転送する時中間位置で
   固定剤を各部品に塗布する特ｆＦｔ！ｌｌ求の範囲第５
   項記載の基板上に電気及び／又は電子部品を置く方法に
   おいて、中間位置に部品が存在することを特許請求の範
   囲第１項ないし第４項のいずれかに記載の方法によりチ
   ェックすることを特徴とする基板上に電気及び／又は電
   子部品を置く方法。 ７、　部品が特許請求の範囲第５項又は第６項に記載の
   方法により置かれていることを特徴とする電気及び／又
   は電子部品を具える基板。 ８　少なくとも１個の移動口■能な、真空源に連結され
   ている真空吸着手段を具える特許請求の範囲第１項ない
   し第６項の一項に記載の方法を実施するための真空吸着
   手段上の物品の存否を検出する装置において、真空吸着
   手段と真空源との間の連結部内に前会発生器を挿入した
   ことを特徴とする真空吸着手段上の物品の存否を検出す
   る装置。 ９、＃Ｊ記音惨光生器を渦流室として４１１成したこと
   を特徴とする特ｔｆＩｉ＃求の範囲第８項記載の真空吸
   着手段上の物品のｑ白を検出する装置。 １（Ｌ　　前記１ｌｉ１６ｔＩＩＪ室内にマイクロホン
   を配設したことを特徴とする特許請求の範囲第９項記載
   の真空ＶＩ＆層手投手股上品の存否を検出する装置。 ＩＬ　　前記マイクロホンを電千式信号処理装曾に接続
   したことを特徴とする特肝−噌求の範囲第１０項記載の
   真空＠層手段上の物品の存否を検出する装置。 ｌｌ　　フレームと、駆動機構と、基板に対する担体と
   、備数個の真空吸着手段を具備する転送機構とを具える
   偵数個の電気及び／又は電子部品を基板上に置く装置に
   おいて、ｆＭ数個の真空吸着手段の各々か特＃！？請求
   の範囲第８項ないし第１１項のいずれかに記載の装置の
   一部を形成し且つ単一の共通弁を介して共通真空源と連
   通ずるように電〈ことができることを特赦とする４！１
   数個の電気及び／又は電子部品を基板上に置く装置。 Ｉ＆　固定剤を部品に塗布する機構を具え、この機構が
   塗布部材が成る量の固定剤を受は取る休止位置と、塗布
   部材が部品の下側と接触するように持ってこられる動作
   位置との間で移動口■能な複数個の塗布部材を具えるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１８項記載のｖＩＩ数
   個の電気及び／又は電子部品を基板上に置く装置。