JPS58178534A - オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置 - Google Patents
オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置Info
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- JPS58178534A JPS58178534A JP6112282A JP6112282A JPS58178534A JP S58178534 A JPS58178534 A JP S58178534A JP 6112282 A JP6112282 A JP 6112282A JP 6112282 A JP6112282 A JP 6112282A JP S58178534 A JPS58178534 A JP S58178534A
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、オリエンテーシ四ンフラットの位置決め装置
に係り、特に、エツチング装置等の半導体製造装置に好
適なオリエンテーシ曹ンフラットの位置決め装置に関す
るものである。
に係り、特に、エツチング装置等の半導体製造装置に好
適なオリエンテーシ曹ンフラットの位置決め装置に関す
るものである。
従来のオリエンテーシ璽ンフラット（以下、オリフラと
略）の位置決め装置例を第１図により説明する。
略）の位置決め装置例を第１図により説明する。
第１図は、従来、半導体製造装置に適用されているオリ
７うの位置決め装置の平面図で、ウェーハｌＯが載置さ
れ搬送される搬送ベルト□□□を横断した状態でガイド
ローラ３０．３１．３２が、ウェーハ１０の外周に沿っ
て配設され、また、ガイドローラ刃。
７うの位置決め装置の平面図で、ウェーハｌＯが載置さ
れ搬送される搬送ベルト□□□を横断した状態でガイド
ローラ３０．３１．３２が、ウェーハ１０の外周に沿っ
て配設され、また、ガイドローラ刃。
阻には、駆動歯車羽と共に噛合する一奉菖、墨が設けら
れ、ガイドローラ冨には、歯車あと噛合する噛車菖が設
けられている。この場合、ガイドロー２３０．３１は同
一方向で同転し、また、ガイドローラ羽はガイドローラ
（資）、３１と逆回転している。
れ、ガイドローラ冨には、歯車あと噛合する噛車菖が設
けられている。この場合、ガイドロー２３０．３１は同
一方向で同転し、また、ガイドローラ羽はガイドローラ
（資）、３１と逆回転している。
搬送ベル）２０に載置され搬送されてきたウェーハｌＯ
の外周端面がガイドローラ３０．３１．３２と接触状態
にある時は、オリフラ１１がガイドローラ３五と対応す
る方向にウェーハ１０は回転する。その後、オリフラ１
１がガイドローラ３１と対応する位置に到達した時点で
、ウェーハ１０の外周端面とガイドローラ３１との接触
が断たれウェーノ・１０の外周端面は、ガイドロー２菊
、３２のみと接触するようになる。
の外周端面がガイドローラ３０．３１．３２と接触状態
にある時は、オリフラ１１がガイドローラ３五と対応す
る方向にウェーハ１０は回転する。その後、オリフラ１
１がガイドローラ３１と対応する位置に到達した時点で
、ウェーハ１０の外周端面とガイドローラ３１との接触
が断たれウェーノ・１０の外周端面は、ガイドロー２菊
、３２のみと接触するようになる。
二の状態で、ガイドローラ（資）、３２は逆回転してい
るため、ウェーハ１０の回転を打消す作用が生じウェー
ハｌＯの回転が停止し、オリフラの位置決めが完了する
。なお、その後、クエーハｌＯは、ガイドローラ刃、３
２の回転が停止され別手段により搬送される。
るため、ウェーハ１０の回転を打消す作用が生じウェー
ハｌＯの回転が停止し、オリフラの位置決めが完了する
。なお、その後、クエーハｌＯは、ガイドローラ刃、３
２の回転が停止され別手段により搬送される。
このようなオリ７うの位［＆め装にでは、次のような欠
点があった。
点があった。
（１１オリ７うの位［決めが、ウェーハの外周端面と２
＠のガイドローラとの摩擦力をバランスさせることで行
われ、また、オリフ２の位置決め完了後のガイドローラ
の回転停止時にづれが生１−るため、オリフ２の位置決
めを正確に行うことができない。
＠のガイドローラとの摩擦力をバランスさせることで行
われ、また、オリフ２の位置決め完了後のガイドローラ
の回転停止時にづれが生１−るため、オリフ２の位置決
めを正確に行うことができない。
（２） ウェーハ裏面と搬送ベルトとの滑り接触時間
が長く、また、ウェーハの外周端面とガイドローラとが
転りおよび滑り接触するため、この間に、塵埃が発生し
、つ、−ハの歩留りが低下する。
が長く、また、ウェーハの外周端面とガイドローラとが
転りおよび滑り接触するため、この間に、塵埃が発生し
、つ、−ハの歩留りが低下する。
本発明は、上記欠点の除去を目的としたもので、別手段
により搬送されてきたウェーハのオリフラを概略位置決
めする概略位置決め装置と、ウェーハを停止させる停止
面とオリフラの位置決め面とを有するストッパーと、該
ストッパーのオリフラの位置決め曲にウェーハのオリフ
ラを押付ける押付け）、装置とで構成したことを特徴と
し、オリ７うの位置決めを正確に行うことができ、かつ
、ウェーハの歩留り低下を防止できるオリフラの位置決
め装置を提供するものである。
により搬送されてきたウェーハのオリフラを概略位置決
めする概略位置決め装置と、ウェーハを停止させる停止
面とオリフラの位置決め面とを有するストッパーと、該
ストッパーのオリフラの位置決め曲にウェーハのオリフ
ラを押付ける押付け）、装置とで構成したことを特徴と
し、オリ７うの位置決めを正確に行うことができ、かつ
、ウェーハの歩留り低下を防止できるオリフラの位置決
め装置を提供するものである。
本発明の一実施例を第２図、第３固唾こより説明する。
Ｗｉ２図は、本発明によるオリフ２の位置決め装置の正
面図、第３図は、七の平面図で、テーブル歯率鉛が設け
られ軸受４１で軸支されたテーブル細々が設けられたウ
ェーハ１０が同心状に載ｌされるテーブルＣと、テーブ
ル軸社がカップリング個を介してピスト／４５に連接さ
れテーブル心を昇降させるテーブルシリンダ荀と、テー
ブル歯車軸荀と噛合する駆動−車４７が設けられテーブ
ルーな回転させる回動装置４８と、オリフラ１１を非接
触で検出する検出装置、例えば、発光素子−と受光素子
間とからなるフォトセンサと、テーブルシリンダ柘と回
動装置！槌と受光素子間とが接続された制御装５１！５
１とで構成された概略位置決め！ｊｔＨのテーブル心が
搬送ベルト９関に設けられ、また、オリフラ１１が概略
位置決めに到達した時点で発光素子４９から発した光を
受光素子（資）で受光できるように発光素子・と受光素
子（資）とが配設されている。テーブル４３のウェーハ
搬送方向後方には、テーブル心と一一中心線上でストッ
パー印が昇降司能暑こ設け°られている。ストッパーω
は、ウェーハ搬送方向と対応する＠向の下段憂こウェー
ハ１０を一旦停止させる停止面６１を、上段にオリ７う
１１の位置決め面鑓を有し、また、その表向には、搬送
ベル）２０が移動、かつ、挿脱可能な溝８を有している
。停止面６１は位置決め面心より突出しており、停止面
６１とテーブル心の側面とは、搬送ベル）２０で搬送さ
れてきたウェーハｌＯが停止面６１で一旦停止した状態
でテーブル葛に同心状に載置されるような間隔を有して
いる。ストッパ、−ωは、軸受６で昇降を支持されたス
トッパー軸錦に設けられ、ストッパー細めは、ストッパ
ーωを昇降させるストッパーシリンダ偶のピストン６月
二カップリグ鎚を介して連接されており、ストッパーシ
リンダ団によるストッパー（イ）の昇降は時間制御され
る。なお、この場合、ス）ツバ−（イ）の位置決め面心
にオリフラ１１を押付ける装置は、搬送ベル）２０であ
る。
面図、第３図は、七の平面図で、テーブル歯率鉛が設け
られ軸受４１で軸支されたテーブル細々が設けられたウ
ェーハ１０が同心状に載ｌされるテーブルＣと、テーブ
ル軸社がカップリング個を介してピスト／４５に連接さ
れテーブル心を昇降させるテーブルシリンダ荀と、テー
ブル歯車軸荀と噛合する駆動−車４７が設けられテーブ
ルーな回転させる回動装置４８と、オリフラ１１を非接
触で検出する検出装置、例えば、発光素子−と受光素子
間とからなるフォトセンサと、テーブルシリンダ柘と回
動装置！槌と受光素子間とが接続された制御装５１！５
１とで構成された概略位置決め！ｊｔＨのテーブル心が
搬送ベルト９関に設けられ、また、オリフラ１１が概略
位置決めに到達した時点で発光素子４９から発した光を
受光素子（資）で受光できるように発光素子・と受光素
子（資）とが配設されている。テーブル４３のウェーハ
搬送方向後方には、テーブル心と一一中心線上でストッ
パー印が昇降司能暑こ設け°られている。ストッパーω
は、ウェーハ搬送方向と対応する＠向の下段憂こウェー
ハ１０を一旦停止させる停止面６１を、上段にオリ７う
１１の位置決め面鑓を有し、また、その表向には、搬送
ベル）２０が移動、かつ、挿脱可能な溝８を有している
。停止面６１は位置決め面心より突出しており、停止面
６１とテーブル心の側面とは、搬送ベル）２０で搬送さ
れてきたウェーハｌＯが停止面６１で一旦停止した状態
でテーブル葛に同心状に載置されるような間隔を有して
いる。ストッパ、−ωは、軸受６で昇降を支持されたス
トッパー軸錦に設けられ、ストッパー細めは、ストッパ
ーωを昇降させるストッパーシリンダ偶のピストン６月
二カップリグ鎚を介して連接されており、ストッパーシ
リンダ団によるストッパー（イ）の昇降は時間制御され
る。なお、この場合、ス）ツバ−（イ）の位置決め面心
にオリフラ１１を押付ける装置は、搬送ベル）２０であ
る。
今、搬送ベルＢｏにより第３図に示す状態でウェーハｌ
Ｏが搬送されてきたとする′と、まず、ウェーハｌＯは
ストッパωの停止面６１に当接し一旦停止する。この状
態では発光素子紛から発した光はウェーハｌＯにより進
行を阻止され受光素子父で受光されないため、制御装置
［５１でテーブルシリンダ柘が作動し、テーブル心が上
昇する。その結果、一旦停止しているウェーハ１０はテ
ーブル心に同心状に載置されて搬送ベルト加より離脱す
る。その後、制御装置５１で回動装置槌を駆動開始させ
、ウェーハＷが載置されたテーブル葛を目動（第３図で
は、左回り）させる。ウェーハｌＯがテーブル葛に載置
されて回動し発光素子４９から発した光が、その進行を
ウェーハｌＯで阻止されることなく受光素子間で受光さ
れると制御装［５１で回動装置絽を駆動停止させ、オリ
７う１１の概略位置決めが完了する。
Ｏが搬送されてきたとする′と、まず、ウェーハｌＯは
ストッパωの停止面６１に当接し一旦停止する。この状
態では発光素子紛から発した光はウェーハｌＯにより進
行を阻止され受光素子父で受光されないため、制御装置
［５１でテーブルシリンダ柘が作動し、テーブル心が上
昇する。その結果、一旦停止しているウェーハ１０はテ
ーブル心に同心状に載置されて搬送ベルト加より離脱す
る。その後、制御装置５１で回動装置槌を駆動開始させ
、ウェーハＷが載置されたテーブル葛を目動（第３図で
は、左回り）させる。ウェーハｌＯがテーブル葛に載置
されて回動し発光素子４９から発した光が、その進行を
ウェーハｌＯで阻止されることなく受光素子間で受光さ
れると制御装［５１で回動装置絽を駆動停止させ、オリ
７う１１の概略位置決めが完了する。
その後、制御装［５１でテーブルシリンダ槌を下降駆動
させテーブル−な下降させ、また、それと共につ、−ハ
１０が位置決め面心で停止するようにストッパーシリン
ダ団を下降駆動させストッパーθを下降させる。テーブ
ルｌの一ト降によりウェーハｌＯは搬送ベルト２Ｄに載
置されストッパーｍ）位ｓｔ決め面心に向って搬込され
る。搬送されてきた・ウェーハｌＯは位置決め面Ｃに尚
接し、搬送ベルト加の搬送力で位１決め面６２１こ押付
けられることで、オリ７う１１の位置決めが正確・こ行
われる。その後、ウェーハｌＯは別手段番こより受取ら
れ他の場所へ搬送される。
させテーブル−な下降させ、また、それと共につ、−ハ
１０が位置決め面心で停止するようにストッパーシリン
ダ団を下降駆動させストッパーθを下降させる。テーブ
ルｌの一ト降によりウェーハｌＯは搬送ベルト２Ｄに載
置されストッパーｍ）位ｓｔ決め面心に向って搬込され
る。搬送されてきた・ウェーハｌＯは位置決め面Ｃに尚
接し、搬送ベルト加の搬送力で位１決め面６２１こ押付
けられることで、オリ７う１１の位置決めが正確・こ行
われる。その後、ウェーハｌＯは別手段番こより受取ら
れ他の場所へ搬送される。
本実施例のようなオリフラの位置決めＭ＆ｉ（では、次
のような効果がある。
のような効果がある。
（１）搬送ベルトにより搬送されてきたウェーハのオリ
フラを概略位置決めした後場こ、ストッパーの位置決め
面に搬送ベルトの搬送力で押付けるようにしているので
、オリ７２の位置決めを正確篭こ行うことができる。
フラを概略位置決めした後場こ、ストッパーの位置決め
面に搬送ベルトの搬送力で押付けるようにしているので
、オリ７２の位置決めを正確篭こ行うことができる。
（２）オリフラの位置決めを従来のよう６二転りおよび
滑り接触させないで行えるので、塵埃が発生しない。
滑り接触させないで行えるので、塵埃が発生しない。
なお、ウェーハを搬送する手段として本実施例では搬込
ベルトを用いた例につき説明したが、十の他にメカニカ
ルチャック、真空チャックを有する搬送アーム等の搬送
手段を用いても良い。また、押付は装置は、搬送ベルト
の他に、バネカ、気体圧力、油圧力、電磁力等を利用し
た押付は装置であっても良い。
ベルトを用いた例につき説明したが、十の他にメカニカ
ルチャック、真空チャックを有する搬送アーム等の搬送
手段を用いても良い。また、押付は装置は、搬送ベルト
の他に、バネカ、気体圧力、油圧力、電磁力等を利用し
た押付は装置であっても良い。
本発明は、以上説明したように、オリフラの位置決め装
置を、搬送されてきたウェーハのオリ７うを概略位置決
めする概略位置決め装置と、ウェーハを一旦停止させる
停止面とオリ７″）の位置決め面とを有するストッパー
と、該ストッパーのオリフラの位置決め面にウェーハの
オリフラを押付ける押付は装置とで構成したことで、ウ
ェーハのオリフラを概略位置決めした後にストッパーの
オ ”リフラの位置決め面にウェーハのオリフラを押付
けてウェーハのオリフラの位置決めを行うことができ、
かつ、塵埃が発生すること、Ｊｉないので、正確にウェ
ーハのオリフラの位［決めがで番、かつ、ウェーハの歩
留り低下を防止できる効果がある。
置を、搬送されてきたウェーハのオリ７うを概略位置決
めする概略位置決め装置と、ウェーハを一旦停止させる
停止面とオリ７″）の位置決め面とを有するストッパー
と、該ストッパーのオリフラの位置決め面にウェーハの
オリフラを押付ける押付は装置とで構成したことで、ウ
ェーハのオリフラを概略位置決めした後にストッパーの
オ ”リフラの位置決め面にウェーハのオリフラを押付
けてウェーハのオリフラの位置決めを行うことができ、
かつ、塵埃が発生すること、Ｊｉないので、正確にウェ
ーハのオリフラの位［決めがで番、かつ、ウェーハの歩
留り低下を防止できる効果がある。
第１図は、従来のオリ７）の位１因め装置の平面図、第
２図は、本発明によるオリフラの位置決め装置の一実施
例を示す正面図、第３図は、その平面図である。 １０・・・・・・ウェーハ、１１・・・・・・オリフラ
、加・・・・・・搬送ベルト、荀・・・・・・テーブル
、槌・・曲テーブルシリンダ、槌・・・・・・回船装置
、Ｏ・・・・・・発光素子、父・・曲受光素子、５１・
・・・・・制御装置、ω・・・・・・スト２ノ＜−１６
１・・・・・停止面、区・・・・・・位置決め面、Ｂ・
・・・・・溝、６・・・ストッパーシリンダ
２図は、本発明によるオリフラの位置決め装置の一実施
例を示す正面図、第３図は、その平面図である。 １０・・・・・・ウェーハ、１１・・・・・・オリフラ
、加・・・・・・搬送ベルト、荀・・・・・・テーブル
、槌・・曲テーブルシリンダ、槌・・・・・・回船装置
、Ｏ・・・・・・発光素子、父・・曲受光素子、５１・
・・・・・制御装置、ω・・・・・・スト２ノ＜−１６
１・・・・・停止面、区・・・・・・位置決め面、Ｂ・
・・・・・溝、６・・・ストッパーシリンダ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 搬送されてきたウェーハのオリエンテーシ。 ンフラットを概略位置決めする概略位置決め装置と、前
記ウェーハを一旦停止させる停止面と前記オリエンチー
シーンフラットの位置決め面とを有するストッパーと、
鋏ストッパーのオリエンチーシーンフラットｑ位厘医め
面にウェーハのオリエンテーシ冒ンフラットを押付ける
押付は装置とで構成したことを特徴とするオリエンテー
シ冒ンフラットの位置決め装置。 ２、 前記概略位置決め装ぼを、前記ウェーハが同心状
に載置されるテーブルと、該テーブルを昇降、かつ、回
動させる駆動装置と、前記オリエンチーシーンフラット
を非接触で検出する検出該 装置と、棄検出装置と駆動ＩＩｉ置とが接続された制御
装置とで構成した特許請求の範囲第１項記載のオリエン
チーシーンフラットの位置決め装［ ３、前記検出＊ｍを、発光素子と受光素子とからなるフ
ォトセンサとし、該フォトセンサの受光素子を制御装置
に接続した特許請求の範囲ｉＪｚ項記載のオリエンテー
ションフラットの位置決め装置。 ４ 前記ストッパーの側面の下段を前記停止面、上段を
前記オリエンテーシ四ンの位置決め面とし、該位置決め
面より停止面を突出させた特許請求の範囲第１項記載の
オリエンテーシ璽ンフラットの位Ｗ次め装置。 ５、 前記ストッパーを、前記テーブルと同一中心線上
で、かつ、テーブルの側面と前記停止面とに該停止面で
一旦停止した前記ウェーハがテーブルに同心状に載置さ
れるような間隔を有し昇降可能に設けた特許請求の範囲
ｇＪ２項又は第４項記載のオリエンテーシ璽ンフラット
の位置°決め装置。 ６ 前記押付は装置を搬送ベルトとした特許請求の範囲
第１項記載のオリエンテーシ曹ンフラットの位置決め装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6112282A JPS58178534A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6112282A JPS58178534A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178534A true JPS58178534A (ja) | 1983-10-19 |
| JPH0359582B2 JPH0359582B2 (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=13161950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6112282A Granted JPS58178534A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | オリエンテ−シヨンフラツトの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178534A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0351240A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53122369A (en) * | 1977-04-01 | 1978-10-25 | Hitachi Ltd | Automatic alignment unit for wafer |
| JPS5539021A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Automatic plate tester |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP6112282A patent/JPS58178534A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53122369A (en) * | 1977-04-01 | 1978-10-25 | Hitachi Ltd | Automatic alignment unit for wafer |
| JPS5539021A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-18 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Automatic plate tester |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0351240A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-05 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0359582B2 (ja) | 1991-09-11 |
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