JPS6367744A - オリフラ整列機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、各種ウェハ製造装置に適用され、半導体ウェ
ハの位置決めに必要なオリフラ（ウェハ外周に設けられ
た切り欠き）を一定方向に整列するオリフラ整列機に関
する。

「従来の技術」 第６図（Ａ）、（Ｂ）および第７図に示されるように、
従来、半導体ウェハｌを丸ベルトコンベア２等で搬送す
る途中にはオリフラ整列機構３が設けられ、オリフラ１
１の位置をガイドレール４に平行になるように整列して
いるが、その方法としては、丸ベルトコンベア２上を丸
ベルト１３．１４により送られたウェハ１を、アクチェ
ータ１７により昇降可能なウェハ用ストッパらによって
停止させ、センタリングした後、バキュームチャック８
を設けた昇降回転ユニット６によりウェハ１を丸ベルト
コンベア２から１〜２０持ち上げ、バキュームチャック
８をモータ９により歯車７を介して回転し、オリフラセ
ンサ１０によりオリフラ１１の位置を検出する方法が行
われている。オリフラ１１の位置を検出するためには、
第７図に示されるように２個のオリフラセンサ１０によ
り、オリフラ１１の切り欠さとウェハ１の外周との寸法
差を利用した検出が行われている。オリフラ１１を検出
した後、モータ９は停止され、昇降回転ユニット６およ
びストッパ５はアクチェータ１７．１８により降下され
、ウェハ１を丸ベルト１３．１４上に降し搬送する０以
上の様に、従来においては多数の部品とａ雑な制御によ
りオリフラ整列を行うため、コスト高となり多くのスペ
ースを要していた。

「発明が解決しようとする問題点」 本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので
あり、安価にかつ省スペースで、オリフラ整列を行うこ
とができる構造が簡単なオリフラ整列機を提供すること
を目的とする。

「問題点を解決するための手段」 しかして、本発明によれば、側面にガイドレールを有す
ると共に、２本以上のベルト用いたベルトコンベアによ
り搬送されるオリフラ付の半導体ウェハを整列するため
のオリフラ整列機において、１本のベルトを持ち上げて
他のベルトからウェハを離し、かつそのウェハを傾斜す
ることにより、前記ガイドレールにウェハを押し付ける
様にするアイドルプーリと、前記ウェハがアイドルプー
リ上のベルトにより回転される様に案内する案内曲面を
形成された案内部材と、前記アイドルプーリおよび案内
部材を昇降させる１つ以上のアクチェータとを備えるこ
とを特徴とするオリフラ整列機が提供される。

「作用」 上記構成によれば、アイドルプーリによって持ち上げら
れたベルトがウェハの下面を送り方向に押すため、ウェ
ハが案内部材に曲面に沿って回転し、そのウェハのオリ
フラは側面のガイドレールに当接するように整列される
。

「実施伝」 本発明の実施例を第１図から第５図について説明する。

第１図（Ａ）は丸ベルトコンベア２の上面を示し、第１
図（Ｂ）は正面を示し、第１図（Ｃ）は側断面を示す、
半導体ウェハ１はコンベア用モータ１２により駆動され
た丸ベルト１３および丸ベルト１４上を搬送される。ア
イドルプーリ１５およびウェハ用ストッパ５はオリフラ
合せ位置に設けられており、アクチェータ１７により昇
降される。第３図に示されるように、アイドルプーリ１
５は丸ベルト１３の直下に位置し、かつストッパ５に対
しては回転自在なように回転軸１つにより一体に結合さ
れ、ストッパ５はアクチェータ１７のピストン２０に連
結されている。第４図に示されるように、案内部材をな
ずウェハ用ストッパ５の案内曲面５１の半径Ｒは、ウェ
ハ１の半径ｒより大きくされており、そのストッパ５の
材質はテフロン等の摩擦が小さいプラスチックが用いら
れている。

丸ベルト１３．１４はウレタンゴム等の高摩擦で耐摩耗
性が高い材料が用いられている。また、第３図に示され
るようにウェハ用ストッパ５には、ベルト１３およびベ
ルト１４に接触しないように渭５Ａ、５Ｂが刻設されて
いる。第５図に示されるように、オリフラセンサ１０と
しては、発光ダイオード１０ＡとフォトトランジスタＩ
ＯＢとを備え、例えば発光ダイオードＩＯＡの光を遭え
ざるとオンする光電式のセンサが使用されている。

次に、本実施例の作動を説明する。第１図から第５図に
おいて、丸ベルトコンベア２に前工程からウェハ１が送
られてきたとき、アクチェータ１７を作動してピストン
２０を上昇させストッパ５およびアイドルプーリ１５を
持ち上げると、ウェハ１がストッパ５に当ってアイドル
プーリ１５の上に停まると共に、丸ベルト１３がアイド
ルプーリ１５によって持ち上げられる。そして、第２図
に示されるように、アイドルプーリ１５により持ち上げ
られた丸ベルト１３がウェハ１の下面に接触し、そのウ
ェハ１がガイドレール４に向けて傾斜され、他方の丸ベ
ルト１４はウェハ１の下面から離れるため、ウェハ１は
ストッパ５の案内曲面５１に押し付けられながら、丸ベ
ルト１３の摩擦力により回転され、ガイドレール４にオ
リフラ１１が合せられる。ガイドレール４上にはオリフ
ラセンサ１０が設けられているため、オリフラ１１がガ
イドレール４に合ったことが確認されると、図示しない
制御装置を介してアクチェータ１７が作動され、アイド
ルプーリ１５およびストッパ５が下降される。ウェハ１
はベルト１３およびベルト１４上に降され、オリフラ１
１がガイドレール４に沿って平行に整列されたままの姿
勢で両ベル）１３．１４により後工程へ搬送される。な
お、シリコン板などからなるウェハ１は軽く、ベルト１
３による回転力は自重分による摩擦力で得ているため、
ウェハ１を破損するような応力は全く生じない。

「数値的性能例」 本発明のオリフラ整列機を＃Ｉ、１ヤし、従来の整列機
構と専有スペースおよび価格を比較したところ、専有ス
ペースが二分の一以下となり、価格は四分の一以下であ
った。この結果は、主に従来におけるバキュームチャッ
ク８、チャック用モータ９、およびアクチェータ１８が
不要になったためと考えられる。

「その他の実施例」 なお、上記実施例においては、ベルトコンベアのベルト
が２本であったが、３本またはそれ以上のベルトを有す
るベルトコンベアについて本発明を実施するようにする
こともできる。また、前記ベルトは丸ベルトに限られず
、例えば、平ベルトが用いられてもよい、さらに、アク
チェータは２個用いられてもよい。

「効果ｊ 以上述べたように、本発明のオリフラ整列機は上記の構
成を有するから、安価にかつ省スペースでオリフラ整列
を行うことができ、構造も簡単であるなどの優れた効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）は本発明の実施例を示す上面図、第１図（
Ｂ）は正面図、第１図（Ｃ）は側面断面図、第２ｉ２Ｉ
は作動状聾を示す断面図、第３図は要部の斜視図、第４
図はウェハ用ストッパの説明に供する模式図、第５図は
オリフラセンサを示す斜視図、第６図（Ａ＞は従来のオ
リフラ整列概楕を示す上面図、第６図（Ｂ）は側面断面
図、第７図（艷従来機構の斜視図である。 １１２．半導体ウェハ　　２１５．丸ベルトコンベア４
１１．ガイドレール　　５　、、、’ンエハ用ストッパ
５１　、、、案内曲面　　　１３．、、丸ベルト１４　
、、、丸ベルｌ−１，５，、、アイドルプーリ１７、、
、アクチェータ 第２　図 第３１１２ 第４図 第５図 第７図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 側面にガイドレールを有すると共に、２本以上のベルト
   を用いたベルトコンベアより搬送されるオリフラ付の半
   導体ウェハを整列するためのオリフラ整列機において、 １本のベルトを持ち上げて他のベルトからウェハを離し
   、かつそのウェハを傾斜することにより、前記ガイドレ
   ールにウェハを押し付ける様にするアイドルプーリと、 前記ウェハがアイドルプーリ上のベルトにより回転され
   る様に案内する案内曲面を形成された案内部材と、 前記アイドルプーリおよび案内部材を昇降させる１つ以
   上のアクチエータと を備えることを特徴とするオリフラ整列機。