JP2000077501A - ノッチ付きウエハ揃え機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数枚のウエハのノッチ揃えを一括して行な
うとともに、真空吸着パッドの跡などがつくおそれのな
いノッチ付きウェハ揃え機構を提供する。 【解決手段】 水平状態で上下方向に多段配置された複
数個のノッチ揃え用回転テーブル５ａ〜５ｅと、該多段
配置された各回転テーブルをそれぞれ正逆両方向に自在
に回転駆動可能な複数個のモータ６ａ〜６ｂと、ノッチ
揃え位置に位置合わせして配設された複数個のノッチ検
出センサ１１ａ〜１１ｅとを備え、各回転テーブル５ａ
〜５ｅと一緒になって回転する各ウエハ１のノッチ１ｂ
の位置をそれぞれのノッチ検出センサ１１ａ〜１１ｅに
よって検出し、ノッチが当該センサ位置を通過した時点
でモータ６ａ〜６ｅを一旦停止して低速で逆転し、検出
したノッチが再び当該センサで検出された時にモータを
停止する。また、各回転テーブルの上面にウエハ載置用
の接触部９を複数個形成し、その上にウエハ１を載置す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚のウエハの
ノッチ揃えを一括して行なうことができるノッチ付きウ
エハ揃え機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のノッチ付きウエハ揃え機構とし
ては、従来より縦型と横型のものが知られている。図７
は縦型の例を示すもので、ノッチ付きウエハ（以下、
「ウエハ」と略称）１をカセット４１内に垂直に収容し
た後、カセット下部側から案内ローラ４２とガイドロー
ラ４３を上昇させてウエハの周縁に接触させ、この状態
で案内ローラ４２を回転してウエハ１を回転させること
により、ウエハ１の周縁に刻まれたノッチ１ａを規定の
位置に揃えるものである。

【０００３】また、図８および図９は横型の例を示すも
ので、ウエハ１をチャッキングアーム５１によって１枚
づつノッチ揃え用回転テーブル５２上に移載し、真空吸
着パッド５３によって回転テーブル上に吸着固定した
後、回転テーブル５２を回転してウエハ１を回転させる
ことにより、ウエハ１の周縁に刻まれたノッチ１ｂを規
定の位置に揃えるものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記横型になるノッチ
付きウェハ揃え機構は、１枚のウエハに対してノッチ揃
えを行なうものであり、複数枚のウェハのノッチ揃えを
一括して行なうことができなかった。また、真空吸着パ
ッドによってウエハを吸着固定しているため、ウエハ下
面に真空吸着パッドの跡が残ってしまい、その結果とし
て、この後に続く洗浄処理工程において十分な洗浄効果
を得られないなどの問題を発生するおそれがあった。

【０００５】本発明は、横型のノッチ付きウエハ揃え機
構の上記問題を解決するためになされたもので、複数枚
のウエハのノッチ揃えを一括して行なうことができると
ともに、真空吸着パッドの跡などがつくおそれのないノ
ッチ付きウェハ揃え機構を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載のノッチ付きウエハ揃え機構は、水平
状態で上下方向に多段配置された複数個のノッチ揃え用
回転テーブルと、該多段配置された各回転テーブルをそ
れぞれ正逆両方向に自在に回転駆動可能な複数個のモー
タと、ノッチ揃え位置に位置合わせして配設された複数
個のノッチ検出センサとを備え、各回転テーブル上に載
置されて回転テーブルと一緒になって回転する各ウエハ
のノッチ位置をそれぞれのノッチ検出センサによって検
出し、該検出したノッチが当該センサ位置を通過した時
点でモータを一旦停止した後、低速で逆転し、検出した
ノッチが再び当該センサで検出された時にモータを停止
するようにしたことを特徴とするものである。

【０００７】この請求項１記載のノッチ付きウエハ揃え
機構の場合、複数個のノッチ揃え用回転テーブルを多段
構成し、それぞれのテーブル毎にウエハのノッチ位置を
検出して定位置に揃えるようにしているので、複数枚の
ウエハのノッチ揃えを一括して行なうことができる。

【０００８】また、請求項２記載のノッチ付きウエハ揃
え機構は、前記多段配置された各回転テーブルの上面に
ウエハ載置用の接触部を円周方向等間隔に複数個形成
し、該接触部上にウエハを載置するようにしたことを特
徴とするものである。

【０００９】この請求項２記載のノッチ付きウエハ揃え
機構の場合、回転テーブルの上面に形成したウエハ載置
用の接触部上にウエハを載置するようにしているので、
従来のノッチ付きウエハ揃え機構のようにウエハ下面に
真空吸着パッドの跡がつくおそれがなくなる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１〜図３に、本発明に係
るノッチ付きウエハ揃え機構の一実施の形態を示す。図
１はノッチ付きウエハ揃え機構の平面図、図２はその側
面図、図３は図１中のＡ−Ａ線拡大部分断面図、図４は
図３の略示平面図である。

【００１１】なお、この実施の形態は、５枚のウエハを
一度にノッチ揃えすることができる５段構成のノッチ付
きウエハ揃え機構の構成例を示すもので、ウエハ揃えユ
ニットが上下方向に５段に積層配置されている。そこ
で、以下の説明においては、この５段構成のウエハ揃え
ユニットを下側から上側に向かって順に、第１のウエハ
揃えユニット２ａ、第２のウエハ揃えユニット２ｂ、第
３のウエハ揃えユニット２ｃ、第４のウエハ揃えユニッ
ト２ｄ、第５のウエハ揃えユニット２ｅと呼ぶものとす
る。

【００１２】各ウエハ揃えユニット２ａ〜２ｅは、それ
ぞれのベースプレート１０ａ〜１０ｅ上に位置して、回
転案内軸３ａ〜３ｅと、ベアリング４ａ〜４ｅによって
回転自在に軸支されたノッチ揃え用回転テーブル（以
下、「回転テーブル」と略称）５ａ〜５ｅを備えてお
り、回転テーブル５ａ〜５ｅは水平状態で上下方向に５
段に積層配置されている。この例の場合、上下５段に積
層された回転テーブル５ａ〜５ｅの上下方向の積層ピッ
チ（すなわち、上下のウエハ１の離間距離）は１０ｍｍ
に設定されている。また、前記回転テーブル５ａ〜５ｅ
の材質としては、洗浄槽などの処理槽で使用されている
石英やＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などが
用いられる。

【００１３】また、各ウエハ揃えユニット２ａ〜２ｅに
は、前記回転テーブル５ａ〜５ｅをそれぞれ独立に回転
駆動するためのモータ６ａ〜６ｅが組み付けられてお
り、各モータ６ａ〜６ｅの回転軸尖端に取着されたプー
リ７ａ〜７ｅと、各回転テーブル５ａ〜５ｅとの間に
は、伝導ベルト８ａ〜８ｅが掛け渡されている。なお、
各ウエハ揃えユニット２ａ〜２ｅには、その下方側に位
置する他のウエハ揃えユニットに組み付けられたモータ
と当たることがないように逃げ穴加工が施されている。

【００１４】個々の回転テーブル５ａ〜５ｅの上面に
は、ウエハ１を載置するための接触部９が円周方向等間
隔に３ヵ所設けられている。さらに、各ウエハ揃えユニ
ット２ａ〜２ｅのベースプレート１０ａ〜１０ｅ上に
は、ウエハ１の外周縁に刻設されたノッチ１ｂを検出す
るためのノッチ検出センサ１１ａ〜１１ｅがノッチ揃え
位置に位置合わせした状態でそれぞれ配設されていると
ともに、必要に応じて、ウエハ１の回転を案内するため
の溝付きプーリ１２ａ〜１２ｅが配設される。

【００１５】なお、前記ノッチ検出センサ１１ａ〜１１
ｅとしては、例えば、一対の発受光素子からなる光学式
センサを用いればよい。発光素子から常時ウェハ１の下
面に向けて検出光を照射しておき、ウエハ１の下面から
の反射光がなくなったときにノッチ１ｂとして検出すれ
ばよい。

【００１６】次に、図５および図６を参照してその動作
を説明する。多段式チャッキングアーム１３（この例で
は５段式）に載せられた５枚のウエハ１は、該アーム１
３により、各ウエハ揃えユニット２ａ〜２ｅの回転テー
ブル５ａ〜５ｅ上にそれぞれ移載され、等間隔に配置さ
れた３個の接触部９上に載置される。このように、本発
明では、ウェハ１を接触部９上に載せるだけけであるた
め、従来装置のようにウエハ下面に真空吸着パッドの跡
がつくようなことがなくなる。

【００１７】上記のようにして各ウエハ揃えユニット２
ａ〜２ｅ上にウエハ１が移載されると、図示しない制御
回路によって各ウエハ揃えユニットのモータ６ａ〜６ｅ
がそれぞれゆっくりと回転を開始され、伝導ベルト８ａ
〜８ｅを通じて回転テーブル５ａ〜５ｅを回転し、その
上に載せられた各ウエハ１を回転テーブルと一緒に回転
させる（図５中の矢印（イ））。このとき、各ウエハ１
は、ベースプレート１０ａ〜１０ｄに必要に応じて設置
された溝付きプーリ１２ａ〜１２ｅによってその回転を
案内される。

【００１８】各ウエハ１が回転テーブル５ａ〜５ｅと一
緒になって回転すると、各ウエハ１の外周縁に刻設され
たノッチ１ｂは各ノッチ検出センサ１１ａ〜１１ｅの位
置に達した時点で、それぞれ対応するノッチ検出センサ
１１ａ〜１１ｅによって検出される。そして、ウェハ１
のノッチ１ｂが検出されると、当該ノッチを検出された
回転テーブルのモータは、図示しない制御回路によって
センサ位置を所定の距離だけ通り過ぎた後、停止され
る。

【００１９】次に、それぞれのウエハ１のノッチ１ｂを
検出して停止された各モータ６ａ〜６ｂはゆっくりと逆
回転され（図５中の矢印（ロ））、各ノッチ１ｂが再度
それぞれのノッチ検出センサ１１ａ〜１１ｅの位置に達
したところで停止される。

【００２０】前述したように、すべてのノッチ検出セン
サ６ａ〜６ｅは、予め設定されたノッチ揃え位置に正確
に位置合わせして配設されているので、各ウエハ１はノ
ッチｂがセンサ位置に一致した時点で停止される。この
結果、複数枚のウェハの位置揃えが一括して実現され
る。

【００２１】上記のようにして５枚のウエハ１のノッチ
１ｂの位置揃えが完了すると、多段式チャッキングアー
ム１３が各ウエハ１の下部に挿入され、図６中に矢印で
その移動経路を示すように、アームを上方に持ち上げて
各ウエハ１をアーム上に載せた後、さらにその状態で後
退することによって、各ウエハ１をノッチ付きウエハ揃
え機構内から運び出し、次の処理工程へと搬送する。

【００２２】なお、上記実施の形態は、５枚のウエハを
一括処理するためにウエハ揃えユニットを５段に構成し
た場合の例を示したが、ウエハの処理枚数はシステムの
設計仕様に応じて任意に設定し得るものであり、ウエハ
揃えユニットの段数もそれに応じて設定されることはい
うまでもない。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、水平状態で上下方向に多段配置された複数
個のノッチ揃え用回転テーブルと、該多段配置された各
回転テーブルをそれぞれ正逆両方向に自在に回転駆動可
能な複数個のモータと、ノッチ揃え位置に位置合わせし
て配設された複数個のノッチ検出センサとを備え、各回
転テーブル上に載置されて回転テーブルと一緒になって
回転する各ウエハのノッチ位置をそれぞれのノッチ検出
センサによって検出し、該検出したノッチが当該センサ
位置を通過した時点でモータを一旦停止した後、低速で
逆転し、検出したノッチが再び当該センサで検出された
時にモータを停止するように構成しているので、複数枚
のウエハのノッチ揃えを一括して行なうことができ、ウ
エハの処理能力を格段に向上することができる。

【００２４】また、請求項２記載の発明によれば、多段
配置された各回転テーブルの上面にウエハ載置用の接触
部を円周方向等間隔に複数個形成し、該接触部上にウエ
ハを載置するようにしたので、従来のようにウエハ下面
に真空吸着パッドの跡がつくようなことがなくなるとと
もに、ウエハと他の部分との接触を極力排除することが
でき、パーティクル（汚染粒子）の発生を低減すること
ができる。このため、歩留りの向上、さらにはこの後に
続く洗浄工程における洗浄効果の向上を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るノッチ付きウエハ揃え機構の１実
施の形態の平面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】図１中のＡ−Ａ線拡大部分断面図である。

【図４】図３の略示平面図である。

【図５】動作説明用の略示平面図である。

【図６】動作説明用の略示側面図である。

【図７】従来における縦型のノッチ付きウエハ揃え機構
の略示縦断面図である。

【図８】従来における横型のノッチ付きウエハ揃え機構
の略示平面図である。

【図９】図８の略示側面図である。

【符号の説明】

１ ノッチ付きウエハ １ａ ノッチ ２ａ〜２ｅ ウエハ揃えユニット ３ａ〜３ｅ 回転案内軸 ４ａ〜４ｅ ベアリング ５ａ〜５ｅ ノッチ揃え用回転テーブル ６ａ〜６ｅ モータ ７ａ〜７ｅ プーリ ８ａ〜８ｅ 伝導ベルト ９ 接触部 １０ａ〜１０ｅ ベースプレート １１ａ〜１１ｅ ノッチ検出センサ １２ａ〜１２ｅ 溝付きプーリ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平状態で上下方向に多段配置された複
   数個のノッチ揃え用回転テーブルと、該多段配置された
   各回転テーブルをそれぞれ正逆両方向に自在に回転駆動
   可能な複数個のモータと、ノッチ揃え位置に位置合わせ
   して配設された複数個のノッチ検出センサとを備え、 各回転テーブル上に載置されて回転テーブルと一緒にな
   って回転する各ウエハのノッチ位置をそれぞれのノッチ
   検出センサによって検出し、該検出したノッチが当該セ
   ンサ位置を通過した時点でモータを一旦停止した後、低
   速で逆転し、検出したノッチが再び当該センサで検出さ
   れた時にモータを停止するようにしたことを特徴とする
   ノッチ付きウエハ揃え機構。
2. 【請求項２】 前記多段配置された各回転テーブルの上
   面にウエハ載置用の接触部を円周方向等間隔に複数個形
   成し、該接触部上にウエハを載置するようにしたことを
   特徴とする請求項１記載のノッチ付きウエハ揃え機構。