JPH06204322A - 基板位置合せ装置 - Google Patents
基板位置合せ装置Info
- Publication number
- JPH06204322A JPH06204322A JP29537591A JP29537591A JPH06204322A JP H06204322 A JPH06204322 A JP H06204322A JP 29537591 A JP29537591 A JP 29537591A JP 29537591 A JP29537591 A JP 29537591A JP H06204322 A JPH06204322 A JP H06204322A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- cassette
- roller
- substrates
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】円形基板の位置ぎめを行うための切りかきがつ
いた円形基板を回転させ、一括して同じ方向に位置合せ
を行う。 【構成】複数の基板１を収納したカセット６を載せるカ
セットステージ１１を傾けるためのカセットステージ駆
動シリンダー９と、基板１を回転させるためのローラー
２及びローラー２を回転させるためのモーター３を有す
るローラー部を上下に動かすためのローラー部駆動シリ
ンダー７と、カセット６内の基板１を一括して載せて移
動できるとともに基板１の切りかきにはまり位置ぎめを
行うための位置ぎめローラー４を有するアーム５をカセ
ット６に出し入れするためのアーム駆動部８とを備えて
いる。
いた円形基板を回転させ、一括して同じ方向に位置合せ
を行う。 【構成】複数の基板１を収納したカセット６を載せるカ
セットステージ１１を傾けるためのカセットステージ駆
動シリンダー９と、基板１を回転させるためのローラー
２及びローラー２を回転させるためのモーター３を有す
るローラー部を上下に動かすためのローラー部駆動シリ
ンダー７と、カセット６内の基板１を一括して載せて移
動できるとともに基板１の切りかきにはまり位置ぎめを
行うための位置ぎめローラー４を有するアーム５をカセ
ット６に出し入れするためのアーム駆動部８とを備えて
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板位置合せ装置に関
し、特に位置合せのために切りかきのついた円形基板を
カセット内で一括して位置合せを行う装置に関する。
し、特に位置合せのために切りかきのついた円形基板を
カセット内で一括して位置合せを行う装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板位置合せ装置は、図２の断面
図で示すようにウェハー（以下、基板という）が数枚収
納できるように両側にスリットがきざまれ、両側のスリ
ットで基板１を支持でき、底にローラー２ａ，２ｂが入
るように穴をあけてあるカセット６と、ローラー２ａ，
２ｂを回転させるためのモーター３を有している。基板
１は、位置合せを行うためのフラット部を有した円形基
板である。
図で示すようにウェハー（以下、基板という）が数枚収
納できるように両側にスリットがきざまれ、両側のスリ
ットで基板１を支持でき、底にローラー２ａ，２ｂが入
るように穴をあけてあるカセット６と、ローラー２ａ，
２ｂを回転させるためのモーター３を有している。基板
１は、位置合せを行うためのフラット部を有した円形基
板である。
【０００３】次に、その動作を説明する。基板１が数枚
収納されたカセット６をカセットステージ１１にセット
するカセット６内の基板１がローラー２ａ，２ｂと接触
する。ローラー２ａ，２ｂを回転させるためのモーター
３の電源をＯＮにすることにより、基板１が回転する。
基板１の位置合せを行うためのフラット部がローラー２
ａ，２ｂ側に来たとき、カセット６の両側スリットで基
板１が支持されて、ローラー２ａ，２ｂから基板１が離
れて基板１の回転が止まる。ローラー２ａ，２ｂを回転
させるためのモーター３の電源をＯＦＦにする。基板１
の位置合せを行うためのフラット部を下側にしてカセッ
ト６に収納されているすべての基板１の位置が合う。
収納されたカセット６をカセットステージ１１にセット
するカセット６内の基板１がローラー２ａ，２ｂと接触
する。ローラー２ａ，２ｂを回転させるためのモーター
３の電源をＯＮにすることにより、基板１が回転する。
基板１の位置合せを行うためのフラット部がローラー２
ａ，２ｂ側に来たとき、カセット６の両側スリットで基
板１が支持されて、ローラー２ａ，２ｂから基板１が離
れて基板１の回転が止まる。ローラー２ａ，２ｂを回転
させるためのモーター３の電源をＯＦＦにする。基板１
の位置合せを行うためのフラット部を下側にしてカセッ
ト６に収納されているすべての基板１の位置が合う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来は、円形基板の位
置ぎめを行うためのフラット部を有していたが、円形基
板の有効面積増加を目的として円形基板の１箇所に一般
的にノッチと呼ばれる切りかきを設け、この切りかきに
より円形基板の位置ぎめを行うようになってきた。
置ぎめを行うためのフラット部を有していたが、円形基
板の有効面積増加を目的として円形基板の１箇所に一般
的にノッチと呼ばれる切りかきを設け、この切りかきに
より円形基板の位置ぎめを行うようになってきた。
【０００５】従来の基板位置合せ装置では、この切りか
きのついた円形基板の切りかきを合せようとしても、円
形基板を回転させるローラーから円形基板がいつまでた
っても離れないため回転し続けてしまい、円形基板の切
りかきを合わせることが困難であった。そのため位置合
せに時間がかかり、基板処理装置の処理時間が長くなる
という問題点があった。
きのついた円形基板の切りかきを合せようとしても、円
形基板を回転させるローラーから円形基板がいつまでた
っても離れないため回転し続けてしまい、円形基板の切
りかきを合わせることが困難であった。そのため位置合
せに時間がかかり、基板処理装置の処理時間が長くなる
という問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の基板位置合せ装
置は、複数の基板を収納できるカセットを載せるカセッ
トステージと、カセットステージを傾けるためのカセッ
トステージ駆動シリンダーと、基板に接触し回転させる
ためのローラー及びこのローラーを回転させるためのモ
ーターを有するローラー部を上下に動かすためのローラ
ー部駆動シリンダーと、基板を載せて移動できるととも
に回転する基板の切りかきにはまり基板の位置ぎめを行
うための位置ぎめローラーを有するアームをカセットに
出し入れするためのアーム駆動部とを備えている。
置は、複数の基板を収納できるカセットを載せるカセッ
トステージと、カセットステージを傾けるためのカセッ
トステージ駆動シリンダーと、基板に接触し回転させる
ためのローラー及びこのローラーを回転させるためのモ
ーターを有するローラー部を上下に動かすためのローラ
ー部駆動シリンダーと、基板を載せて移動できるととも
に回転する基板の切りかきにはまり基板の位置ぎめを行
うための位置ぎめローラーを有するアームをカセットに
出し入れするためのアーム駆動部とを備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１（ａ）は本発明の一実施例の基板位置合せのた
めの切りかきをつけた基板１を数枚収納したカセット６
をカセットステージ１１にセットしたのち、スタートス
イッチを押すことによりカセットステージ駆動シリンダ
ー９によりカセット６を４５°に傾ける。ローラー部駆
動シリンダー７により、基板１を回転させるためのロー
ラー２ａ，２ｂとこのローラーを回転させるモーター３
からなるローラー部を上昇させる。アーム駆動部８によ
り、アーム５をカセット６内に移動させて基板１の裏面
へアーム５を入れたのち、アーム５上に設けられた基板
支持コロ１０ａ，１０ｂ，１０ｃの３点により基板１の
支持を行う。
る。図１（ａ）は本発明の一実施例の基板位置合せのた
めの切りかきをつけた基板１を数枚収納したカセット６
をカセットステージ１１にセットしたのち、スタートス
イッチを押すことによりカセットステージ駆動シリンダ
ー９によりカセット６を４５°に傾ける。ローラー部駆
動シリンダー７により、基板１を回転させるためのロー
ラー２ａ，２ｂとこのローラーを回転させるモーター３
からなるローラー部を上昇させる。アーム駆動部８によ
り、アーム５をカセット６内に移動させて基板１の裏面
へアーム５を入れたのち、アーム５上に設けられた基板
支持コロ１０ａ，１０ｂ，１０ｃの３点により基板１の
支持を行う。
【０００８】アーム５上に取り付けてある位置ぎめロー
ラー４により基板１とローラー２ａ，２ｂが接触する位
置までアーム５をアーム駆動部８により移動させる。ロ
ーラー２ａ，２ｂをモーター３により回転させる。基板
１上の位置合せのための切りかきに位置ぎめローラー４
が入ることにより、基板１がローラー２ａ，２ｂより離
れる。ローラー２ａ，２ｂより離れた基板１は回転を停
止する。
ラー４により基板１とローラー２ａ，２ｂが接触する位
置までアーム５をアーム駆動部８により移動させる。ロ
ーラー２ａ，２ｂをモーター３により回転させる。基板
１上の位置合せのための切りかきに位置ぎめローラー４
が入ることにより、基板１がローラー２ａ，２ｂより離
れる。ローラー２ａ，２ｂより離れた基板１は回転を停
止する。
【０００９】すべての基板１の回転が止まったのちに、
アーム駆動部８によりアーム５をカセット６の外側まで
移動させる。ローラー部駆動シリンダー７によりローラ
ー部を下降させ、カセットステージ駆動シリンダー９に
よりカセットステージ１１を水平にもどす。カセット６
内の基板１は、基板１上の位置合せのための切りかきを
同一方向にそろえて基板の位置合せができる。
アーム駆動部８によりアーム５をカセット６の外側まで
移動させる。ローラー部駆動シリンダー７によりローラ
ー部を下降させ、カセットステージ駆動シリンダー９に
よりカセットステージ１１を水平にもどす。カセット６
内の基板１は、基板１上の位置合せのための切りかきを
同一方向にそろえて基板の位置合せができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、カセット
内に収納した円形基板すべてを一度に位置合せのための
切りかきを同一方向に合わせることができるため、一枚
ずつ位置合せを行う時間が短縮され、基板処理を行う装
置の処理速度が向上するという効果を有する。
内に収納した円形基板すべてを一度に位置合せのための
切りかきを同一方向に合わせることができるため、一枚
ずつ位置合せを行う時間が短縮され、基板処理を行う装
置の処理速度が向上するという効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示す図で、同図（ａ）は縦
断面図、同図（ｂ）はアーム部の平面図である。
断面図、同図（ｂ）はアーム部の平面図である。
【図２】従来の基板位置合せ装置の断面図である。
１ 基板 ２ａ，２ｂ ローラー ３ モーター ４ 位置ぎめローラー ５ アーム ６ カセット ７ ローラー部駆動シリンダー ８ アーム駆動部 ９ カセットステージ駆動シリンダー １０ａ，１０ｂ，１０ｃ 基板支持コロ １１ カセットステージ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の基板を収納できるカセットを載せ
るカセットステージと、このカセットステージを傾ける
ためのカセットステージ駆動シリンダと、前記基板に接
触し回転させるためのローラー及びこのローラーを回転
させるためのモーターを有するローラー部を上下させる
ためのローラー部駆動シリンダと、基板を載せて移動で
きるとともに前記回転する基板の切りかきにはまり基板
の位置ぎめを行うための位置ぎめローラーを有するアー
ムを前記カセットに出し入れするアーム駆動部とを備え
たことを特徴とする基板位置合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29537591A JPH06204322A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 基板位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29537591A JPH06204322A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 基板位置合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204322A true JPH06204322A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=17819817
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29537591A Withdrawn JPH06204322A (ja) | 1991-11-12 | 1991-11-12 | 基板位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204322A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017522741A (ja) * | 2014-12-31 | 2017-08-10 | グワンチョウ ファーストプリント サーキット テック カンパニー リミテッド | フリップチップ基板に小間隔で高いはんだボールバンプを形成する製作方法 |
-
1991
- 1991-11-12 JP JP29537591A patent/JPH06204322A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017522741A (ja) * | 2014-12-31 | 2017-08-10 | グワンチョウ ファーストプリント サーキット テック カンパニー リミテッド | フリップチップ基板に小間隔で高いはんだボールバンプを形成する製作方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |