JPS60114442A - ウエハのオリフラ位置合せ装置 - Google Patents
ウエハのオリフラ位置合せ装置Info
- Publication number
- JPS60114442A JPS60114442A JP22124283A JP22124283A JPS60114442A JP S60114442 A JPS60114442 A JP S60114442A JP 22124283 A JP22124283 A JP 22124283A JP 22124283 A JP22124283 A JP 22124283A JP S60114442 A JPS60114442 A JP S60114442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- orientation flat
- sensor
- motor
- stoppers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
- B23Q7/16—Loading work on to conveyors; Arranging work on conveyors, e.g. varying spacing between individual workpieces
- B23Q7/165—Turning devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Positioning Apparatuses (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば搬送ベルトなどにより搬送されて位置
決めされているウェハのオリフラ（オリエンテーション
フラット）全所定の位置に位置合１− せするための装置に関する。
決めされているウェハのオリフラ（オリエンテーション
フラット）全所定の位置に位置合１− せするための装置に関する。
オリフラの位置合せ装置としては、従来、ウェハの周面
に接触してウェハに回転を与えるローラを用い、ウェハ
のオリフラが前記ローラのところへ至ったとき、該ロー
ラがウェハから離れて該ウェハの回転を停止させること
により、オリフラを所定の位置に位置合せするものや、
ウェハを回転させつつ光学的センサなどによりオリフラ
を検出してオリフラの位置合せを行なうものがあるが、
これらはいずれもウェハを回転可能に支持し、これを回
転駆動する必要があり、一般的には搬送ベルトやフォー
クなどで搬送されてきたウェハに対して行なうため、ウ
ェハを搬送ベルトなどから持ち上げて回転可能にする必
要もあり、装置が比較的複雑になる。
に接触してウェハに回転を与えるローラを用い、ウェハ
のオリフラが前記ローラのところへ至ったとき、該ロー
ラがウェハから離れて該ウェハの回転を停止させること
により、オリフラを所定の位置に位置合せするものや、
ウェハを回転させつつ光学的センサなどによりオリフラ
を検出してオリフラの位置合せを行なうものがあるが、
これらはいずれもウェハを回転可能に支持し、これを回
転駆動する必要があり、一般的には搬送ベルトやフォー
クなどで搬送されてきたウェハに対して行なうため、ウ
ェハを搬送ベルトなどから持ち上げて回転可能にする必
要もあり、装置が比較的複雑になる。
本発明の目的は、例えば搬送ベルトなどにより位置決め
して支持されているウェハのオリフラをより簡単な装置
構成により位置合せし得る装置を提供するＫある。
して支持されているウェハのオリフラをより簡単な装置
構成により位置合せし得る装置を提供するＫある。
かかる目的を達するための本発明は、位置決めして支持
されているウェハのオリフラ位置合せ装置において、ウ
ェハを吸着可能に形成されると共に前記位置決めされて
いるウエノ・に対して同心に配置されたテーブルと、同
テーブルにそれと同軸上に設けられたネジ部と、同ネジ
部をネジ係合して前記テーブルを回転および昇降可能に
支持する部材と、前記テーブルにその軸方向に移動可能
で回転を伝達可能に接続された回転駆動手段と、前持さ
れているウエノ・を、前記回転駆動手段によって回転さ
れると共にネジ部によって上昇されるテーブルで吸着支
持して前記搬送ベルトから上昇させつつ回転させて前記
オリフラ検出センサによりオリフラ位置を検出してオリ
フラの位置合せを行なうようにしたものである。
されているウェハのオリフラ位置合せ装置において、ウ
ェハを吸着可能に形成されると共に前記位置決めされて
いるウエノ・に対して同心に配置されたテーブルと、同
テーブルにそれと同軸上に設けられたネジ部と、同ネジ
部をネジ係合して前記テーブルを回転および昇降可能に
支持する部材と、前記テーブルにその軸方向に移動可能
で回転を伝達可能に接続された回転駆動手段と、前持さ
れているウエノ・を、前記回転駆動手段によって回転さ
れると共にネジ部によって上昇されるテーブルで吸着支
持して前記搬送ベルトから上昇させつつ回転させて前記
オリフラ検出センサによりオリフラ位置を検出してオリ
フラの位置合せを行なうようにしたものである。
以下本発明の一実施例を示す第１図ないし第２図につい
て説明する。１はウニ・・ｗ’４収納するカセットで、
図示しない昇降台に載置され、収納部１ａのピッチＰず
つ下降し得るようになっている。
て説明する。１はウニ・・ｗ’４収納するカセットで、
図示しない昇降台に載置され、収納部１ａのピッチＰず
つ下降し得るようになっている。
２．３は丸ベルトなどの搬送ベルトで、それぞれ２本が
対になり、第２図に示すように、モータ４から駆動ベル
ト５を介して正逆方向へ走行されるようになされ、搬送
ベルト２の図において左端側には、カセット１内にある
ウエノ・Ｗが最下段側から順次接触して図において右方
へ搬送可能になされている。
対になり、第２図に示すように、モータ４から駆動ベル
ト５を介して正逆方向へ走行されるようになされ、搬送
ベルト２の図において左端側には、カセット１内にある
ウエノ・Ｗが最下段側から順次接触して図において右方
へ搬送可能になされている。
前記搬送ベルト３．３の間には、第１図に示すように、
テーブル６が設けられている。このテーブル６は、第２
図に示すように、同軸上にネジ部６ａｉ有し、このネジ
部６ａが固定フレーム７に取付けられているハウジング
８にネジ係合されることにより支持されている。ネジ部
６ａの中心にはモータ９に゛より回転されるスプライン
軸などの軸方向に移動可能で回転を伝達する手段（以下
スプライン軸として説明する）１０が接続され、前記テ
ーブル６を昇降可能にして回転させるようになっている
。
テーブル６が設けられている。このテーブル６は、第２
図に示すように、同軸上にネジ部６ａｉ有し、このネジ
部６ａが固定フレーム７に取付けられているハウジング
８にネジ係合されることにより支持されている。ネジ部
６ａの中心にはモータ９に゛より回転されるスプライン
軸などの軸方向に移動可能で回転を伝達する手段（以下
スプライン軸として説明する）１０が接続され、前記テ
ーブル６を昇降可能にして回転させるようになっている
。
前記テーブル６には、その上面に開口するサクション穴
１１が設けられ、このサクション穴１１は・・ウジング
８に設けた環状溝１２および穴１３ヲ介して図示しない
真空ポンプに接続され、減圧可能になっている。
１１が設けられ、このサクション穴１１は・・ウジング
８に設けた環状溝１２および穴１３ヲ介して図示しない
真空ポンプに接続され、減圧可能になっている。
テーブル６の図において右方には、第１図に示すように
、２本の対をなすストッパ１４．１４が設けられている
。これらのストッパ１４．１４は、搬送ベルト３によっ
て送られてきたウエノ・Ｗの中心がテーブル６の中心よ
り若干右方（第１，２図において）へ行き過ぎた状態で
該ウエノ・Ｗの外周に当接するように位置してスライダ
１５に取付けられている。スライダ１５はガイド１６．
１６によってストッパ＋４． ＋４’ｉウエハＷに向け
て移動させる方向へ移動可能に支持されている。前記ス
ライダ１５は、第２図に示すように、シリンダなどの駆
動装置１７によって前記ガイド＋６、＋６と平行に移動
される押付部材１８に所定量移動可能に係合されると共
に、両者の間にバネ１９ヲ介在させている。
、２本の対をなすストッパ１４．１４が設けられている
。これらのストッパ１４．１４は、搬送ベルト３によっ
て送られてきたウエノ・Ｗの中心がテーブル６の中心よ
り若干右方（第１，２図において）へ行き過ぎた状態で
該ウエノ・Ｗの外周に当接するように位置してスライダ
１５に取付けられている。スライダ１５はガイド１６．
１６によってストッパ＋４． ＋４’ｉウエハＷに向け
て移動させる方向へ移動可能に支持されている。前記ス
ライダ１５は、第２図に示すように、シリンダなどの駆
動装置１７によって前記ガイド＋６、＋６と平行に移動
される押付部材１８に所定量移動可能に係合されると共
に、両者の間にバネ１９ヲ介在させている。
また、テーブル６０図において左方には、第１図に示す
ように、２本の対をなす位置決めビン２α２０が設けら
れている。これらの位置決めビン２０゜２０は、連結部
材２１（第２図参照）にそれぞれ取付けられると共に、
ガイド２２に摺動可能に係合され、ソレノイドなどの昇
降駆動手段（以下ソレノイドとして説明する）２３にて
上下動され、上端が搬送ベルト３の上面に対して高・低
の両位雪をとり得るようになっている。両位置決めビン
２０．２０は、パ１ それらにウエノ・Ｗの円形部外周に共に当接している状
態で該ウエノ・Ｗの中心をテーブル６の中心に合致させ
るように配置されている。
ように、２本の対をなす位置決めビン２α２０が設けら
れている。これらの位置決めビン２０゜２０は、連結部
材２１（第２図参照）にそれぞれ取付けられると共に、
ガイド２２に摺動可能に係合され、ソレノイドなどの昇
降駆動手段（以下ソレノイドとして説明する）２３にて
上下動され、上端が搬送ベルト３の上面に対して高・低
の両位雪をとり得るようになっている。両位置決めビン
２０．２０は、パ１ それらにウエノ・Ｗの円形部外周に共に当接している状
態で該ウエノ・Ｗの中心をテーブル６の中心に合致させ
るように配置されている。
さらにまた、テーブル６の第１図において右方近傍には
、光学式などのオリフラ検出センサ２４が設けられてい
る。このオリフラ検出センサ２４ハ、テーブル６上に中
心を合致して置かれているウェハＷのオリフラｆが１例
えば搬送ベルト３と直角になるような所定位置にあると
き、ウエノ・Ｗによって受光量を全受光量の半分に減じ
られることによりオリフラｆの位置を検出して、モータ
９を停止させるようになっている。
、光学式などのオリフラ検出センサ２４が設けられてい
る。このオリフラ検出センサ２４ハ、テーブル６上に中
心を合致して置かれているウェハＷのオリフラｆが１例
えば搬送ベルト３と直角になるような所定位置にあると
き、ウエノ・Ｗによって受光量を全受光量の半分に減じ
られることによりオリフラｆの位置を検出して、モータ
９を停止させるようになっている。
なお、第１図における２５はウェハＷが搬送されてきた
ことを検出するセンサであり、２６はウェハＷが位置決
めビン２０．２０に接触していることを検出するセンサ
である。
ことを検出するセンサであり、２６はウェハＷが位置決
めビン２０．２０に接触していることを検出するセンサ
である。
次いで本装置の作用について説明する。位置決めピン２
０．２０を第２図に示すように低位置に置くと共に、ス
トッパ１４．１４ｉ駆動装置１７により第１図および第
２図において右方へ後退させて置き、モータ４を正転さ
せてカセット１内のウェハｗ６搬送ベルト２．３により
前記ストッパ１４．１４へ向けて送り出す。送り出され
たウェハＷは、センサ２５によって検出され、該ウェハ
Ｗがストツバ１４゜１４に確実に当接するタイミングを
持ってモータ４を停止させる。このときウェハＷ Ｆｉ
、位置決めピン２０．２０’ｉ通過している。そこで、
次いでソレノイド２３により位置決めピン２０．２０を
高位置に突出させ、その後、駆動装置１７により押付部
材１８を図において左方へ前進させ、バネ１９、スライ
ダ１５ヲ介してストッパ１４．１４’ｉ移動させると共
に、モータ４を所定量だけ逆転させて、ウェハＷを位置
決めビン２０．２０に押付ける。このとき、ウェハＷは
、オリフラｆが位置決めピン２０．２０に当らないよう
におおよその向きを定めてカセット１内に収納されてい
るため、前記ウェハＷはその円形外周部が位置決めビン
２０．２０に当接し、テーブル６と同心上に位置決めさ
れる。なお、ストッパ１４．１４のウェハ押付力は、バ
ネ１９によって比較的小さな値に設定されている。この
位置決めは、センサ２６によって検出され、ストッパ１
４．１４−ｉ後退させる。
０．２０を第２図に示すように低位置に置くと共に、ス
トッパ１４．１４ｉ駆動装置１７により第１図および第
２図において右方へ後退させて置き、モータ４を正転さ
せてカセット１内のウェハｗ６搬送ベルト２．３により
前記ストッパ１４．１４へ向けて送り出す。送り出され
たウェハＷは、センサ２５によって検出され、該ウェハ
Ｗがストツバ１４゜１４に確実に当接するタイミングを
持ってモータ４を停止させる。このときウェハＷ Ｆｉ
、位置決めピン２０．２０’ｉ通過している。そこで、
次いでソレノイド２３により位置決めピン２０．２０を
高位置に突出させ、その後、駆動装置１７により押付部
材１８を図において左方へ前進させ、バネ１９、スライ
ダ１５ヲ介してストッパ１４．１４’ｉ移動させると共
に、モータ４を所定量だけ逆転させて、ウェハＷを位置
決めビン２０．２０に押付ける。このとき、ウェハＷは
、オリフラｆが位置決めピン２０．２０に当らないよう
におおよその向きを定めてカセット１内に収納されてい
るため、前記ウェハＷはその円形外周部が位置決めビン
２０．２０に当接し、テーブル６と同心上に位置決めさ
れる。なお、ストッパ１４．１４のウェハ押付力は、バ
ネ１９によって比較的小さな値に設定されている。この
位置決めは、センサ２６によって検出され、ストッパ１
４．１４−ｉ後退させる。
次いで、図示しない真空ポンプにより、穴１３、環状溝
１２ヲ介してテーブル６のサクション穴１１ヲ減圧可能
な状態にして、回転駆動手段９によりスプライン軸１０
ヲ介してテーブル６を回転させる。
１２ヲ介してテーブル６のサクション穴１１ヲ減圧可能
な状態にして、回転駆動手段９によりスプライン軸１０
ヲ介してテーブル６を回転させる。
テーブル６はネジ部６ａによりハウジング８にネジ係合
されているため、回転に伴ないネジ部６ａのネジのリー
ドに従がって上昇し、前記のように位置決めされて搬送
ベルト３．３上に支持されているウェハＷの下面に接触
し、前記サクション穴１１の吸着力によりウェハＷｉ吸
着し、引続く該テーブル６の回転と上昇によりウェハｗ
６搬送ベルト３゜３から持ち上げつつ回転させる。ウェ
ハＷのオリフラｆは、該ウェハＷが少なくとも１回転さ
れる前に第１図に示すようにオリフラ検出センサ２４の
位置によって定められる所定位置に達する。そこで、オ
リフラの位置合せに要するウェハＷの上昇量はネジ部６
ａの１リ一ド以内に押えられ、このネジのリードを適宜
に定めることにより、ウェハＷの上下方向の位置変化は
比較的小さな所定範囲内に納められる。オリフラｆが前
記のように所定位置に達すると、オリフラ検出センサ２
４が作動してモータ９を停止させ、オリフラｆの位置合
せを完了する。こうして位置合せされたウェハＷは、図
示しない搬出手段などにより搬送される。
されているため、回転に伴ないネジ部６ａのネジのリー
ドに従がって上昇し、前記のように位置決めされて搬送
ベルト３．３上に支持されているウェハＷの下面に接触
し、前記サクション穴１１の吸着力によりウェハＷｉ吸
着し、引続く該テーブル６の回転と上昇によりウェハｗ
６搬送ベルト３゜３から持ち上げつつ回転させる。ウェ
ハＷのオリフラｆは、該ウェハＷが少なくとも１回転さ
れる前に第１図に示すようにオリフラ検出センサ２４の
位置によって定められる所定位置に達する。そこで、オ
リフラの位置合せに要するウェハＷの上昇量はネジ部６
ａの１リ一ド以内に押えられ、このネジのリードを適宜
に定めることにより、ウェハＷの上下方向の位置変化は
比較的小さな所定範囲内に納められる。オリフラｆが前
記のように所定位置に達すると、オリフラ検出センサ２
４が作動してモータ９を停止させ、オリフラｆの位置合
せを完了する。こうして位置合せされたウェハＷは、図
示しない搬出手段などにより搬送される。
前述した実施例は、搬送ベルト２．３によって搬送され
、その上で位置決め支持されているウニ・・Ｗのオリフ
ラｆを位置合せするようにした例を示したが、本発明は
これに限らず、２本のフォークなどによって支持、位置
決めされているウェハに対しても同様に適用し得ること
は言うまでもない。
、その上で位置決め支持されているウニ・・Ｗのオリフ
ラｆを位置合せするようにした例を示したが、本発明は
これに限らず、２本のフォークなどによって支持、位置
決めされているウェハに対しても同様に適用し得ること
は言うまでもない。
以上述べたように本発明によれば、ネジを用いて回転と
共に上昇するテーブルによりウェハのオリフラの位置合
せ全行なうようにしたため、非常に簡単な装置により搬
送途中などにおけるウェハのオリフラの位置合せが可能
になった。
共に上昇するテーブルによりウェハのオリフラの位置合
せ全行なうようにしたため、非常に簡単な装置により搬
送途中などにおけるウェハのオリフラの位置合せが可能
になった。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図のｎ−ｎ線による断面図である。 Ｗ・・・ウェハ、ｆ・・・オリフラ、 １・・・カセッ）、’ ２．３・・・搬送ベルト。 ６・・・テーブル、６ａ・・・ネジ部、８・・・ハウジ
ング、９・・・回転駆動手段、１０・ ・ ・スプライ
ン軸、１１・ ・・サクション穴、Ｉ４・ ・ ・スト
ツバ、１６・ ・ ・ガイド、１７・・・駆動装置、１
９・・・バネ、２０・ ・ ・位置決めビン、２３・・
・昇降駆動手段、２４・・・オリフラ検出センサ、 ２５、２６・・ ・センサ。 出願人 東芝機械株式会社 １１ −
図のｎ−ｎ線による断面図である。 Ｗ・・・ウェハ、ｆ・・・オリフラ、 １・・・カセッ）、’ ２．３・・・搬送ベルト。 ６・・・テーブル、６ａ・・・ネジ部、８・・・ハウジ
ング、９・・・回転駆動手段、１０・ ・ ・スプライ
ン軸、１１・ ・・サクション穴、Ｉ４・ ・ ・スト
ツバ、１６・ ・ ・ガイド、１７・・・駆動装置、１
９・・・バネ、２０・ ・ ・位置決めビン、２３・・
・昇降駆動手段、２４・・・オリフラ検出センサ、 ２５、２６・・ ・センサ。 出願人 東芝機械株式会社 １１ −
Claims (1)
- １、 位置決めして支持されているウェハのオリフラ位
置合せ装置において、ウェハを吸着可能に形成されると
共に前記の位置決めされているウェハに対して同心に配
置されたテーブルと、同テーブルにそれと同軸上に設け
られたネジ部と、同ネジ部をネジ係合して前記テーブル
を回転および昇降可能に支持する部材と、前記テーブル
にその軸方向に移動可能で回転を伝達可能に接続された
回転駆動手段と、前記テーブルの近傍に設けられたオリ
フラ検出センサとからなるウェハのオリフラ位置合せ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22124283A JPS60114442A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | ウエハのオリフラ位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22124283A JPS60114442A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | ウエハのオリフラ位置合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60114442A true JPS60114442A (ja) | 1985-06-20 |
Family
ID=16763691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22124283A Pending JPS60114442A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | ウエハのオリフラ位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60114442A (ja) |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP22124283A patent/JPS60114442A/ja active Pending
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