JPH0638019Y2 - 基板処理装置における基板搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本考案は、スピンスクラバー、スピンコータ、スピンデ
ィベロッパー等の基板処理装置における基板搬送装置に
関する。

《従来技術》 基板処理装置では、スピンチャックへの基板の給排は基
板移載装置で自動的に行なうようにしており、従来の基
板移載装置は、スピンチャックを中心として二つの基板
搬送装置を対設配置し、一方の基板搬送装置を搬入用基
板搬送装置、他方を搬出用基板搬送装置とし、搬入用基
板搬送装置の搬送終端位置と搬出用基板搬送装置の搬送
始端位置との間に基板移載具（基板搬入機器）を往復移
動可能に配置し、この基板移載具の一往復で搬入用基板
搬送装置からスピンチャック上に未処理基板を移送する
とともに、スピンチャック上の処理済基板を搬出用基板
搬送装置に移送するように構成してある。

そして、搬入用基板搬送装置から基板移載具への受渡し
は、搬入用基板搬送装置の停止状態で行なわれるように
なっており、そのために、搬入用基板搬送装置の搬入終
端位置には、基板検出用のセンサーが設けられていた。

《解決しようとする問題点》 ところが、従来の基板移載装置では、基板検出用センサ
ーが基板の通過を検出すると基板搬送装置の駆動手段を
停止させて基板を定位置に止めるように構成していたの
であるが、基板検出センサーでの検出信号に基づき基板
搬送装置の駆動手段を停止作動させても、基板搬送装置
には慣性移動があるから、基板停止位置にバラつきが生
じ、次動作に支障をきたすという問題があった。特にこ
の種の基板搬送装置では、基板の停止位置の許容ずれ量
を小さく設定し、基板のオーバーランを防止して後続の
基板処理装置に基板を円滑に引き渡すことが必要であ
る。

また、基板搬送装置として基板搬送装置を使用した場
合、基板停止位置に位置決め用の当りピンを付設し、こ
の当りピンに基板を当接させることにより正確に停止さ
せるようにしているが、この方法では基板周縁が当りピ
ンにより、わずかではあるが破損してゴミを発生した
り、ベルトの走行慣性力がなくなるまでの間に基板の下
面がベルトと摺接するという不都合があった。

《問題点を解決するための手段》 本考案は上述の問題点を解消して、基板搬送装置で搬入
される基板を正確に定位置に止めるようにして、処理装
置への搬入機器にスムーズに受渡せるようにしたもの
で、そのために、基板を載置させた移動体を所定位置ま
走行することによって、基板を基板処理部への搬入機器
に受渡す位置まで搬送する基板処理装置における基板搬
送装置において、 基板を搬送する搬送終端部に非接触形センサーである第
一センサーと第二センサーとを近接配置し、搬送方向上
手側に位置する第一センサーが基板の後端を検出するこ
とにより基板検出信号を出力し、この第一センサーによ
る基板検出信号に基づき基板搬送装置の駆動モータへの
給電を逆回転方向への状態に切換えて移動体の慣性走行
を抑制して停止するように構成し、上記第二センサーに
よる基板不存在検出信号に基づき警報装置を発動させる
ように構成したことを特徴とする。

《作用》 上記の構成により、本考案は実質的に基板の停止位置の
許容ずれ量を小さく設定し、基板のオーバーランを防止
するという重要な作用をする。

即ち、基板搬送の終端部に近接配置された二つの非接触
形センサーのうち、搬送方向上手側に位置する第一セン
サーは、いわば停止指令用のセンサーであり、基板の後
端が第一センサー上を通過した時点で停止指令である基
板検出信号を発する。そして、この基板検出信号に基づ
き基板搬送装置の駆動モータへの給電が逆回転方向への
状態に切換えられ、移動体の慣性走行を抑制して基板を
停止させる。基板が停止した状態では、基板の後端縁が
上記第一センサーと第二センサーとの離間隙間内に位置
することになる。そして、この位置より基板が僅かでも
オーバーランすると、上記第二センサーによる基板不存
在検出信号に基づき警報が発せられる。

このように、二つのセンサーを基板搬送終端部に近接配
置し、かつ、第一センサーが基板の後端を検出すること
に基づき、駆動モータを逆相制動して基板を停止させ、
搬送方向下流側に近接配置した第二センサーで基板のオ
ーバーランを検出することにより、実質的に基板の停止
位置をシビアにコントロールすることができる。

《実施例》 第１図は要部平面図、第２図は要部の縦断正面図、第３
図は基板移送系を示す概略斜視図、第４図は基板移載具
部分の縦断側面図である。

第３図において、（１）は基板処理部（２）に配置した
スピンチャックであり、このスピンチャック（１）を挟
む状態で本考案の移動体を構成する基板搬入用のベルト
搬送装置（３）と基板搬出用ベルト搬送装置（４）が対
向配置してある。そして、搬入用ベルト搬送装置（３）
からスピンチャック（１）への基板移送及びスピンチャ
ック（１）から搬出用ベルト搬送装置（４）への基板移
送は一つの基板移載具（５）で行なうようになってい
る。

基板移載具（５）は基板処理装置の後側に両ベルト搬送
装置（３）（４）の移動方向と平行な状態で配置した上
下一対のガイドシャフト（６）に移動自在に組付けられ
た基枠（７）と、この基枠（７）に上下移動自在に組付
けられた昇降枠（９）と、この昇降枠（９）の上端部か
ら両ベルト搬送装置配設側に連出した連結腕（10）と、
この連結腕（10）の下面に適当間隔へだてて配置した前
後一対の基板載置腕（11）とで、側面視逆Ｌ字状に形成
されている。基枠（７）の下端にはタイミングベルト
（12）が連結固定してあり、モータからなる基板移載具
走行駆動手段（13）の正逆回転により、基板移載具
（５）は搬出用ベルト搬送装置（３）の搬送終端位置か
ら搬出用ベルト搬送装置（４）の搬送始端位置までの間
を左右に往復移動するようになっている。なお、基板載
置腕（11）は移動方向前側の右半部と移動方向後側の左
半部とで、その載置面の高さを異ならせてあり、左半部
が右半部よりも僅かに高く形成してある。

昇降枠（９）は基枠（７）にスラストベアリングからな
る昇降ガイド部材（14）を介して直線的に昇降するよう
に組付けられており、昇降枠（９）の下部外面にはロー
ラ（15）が回転自在に枢支してある。そして、このロー
ラ（15）を下から受止める状態でガイドレール（16）が
ガイドシャフト（６）と平行に配置してあり、このガイ
ドレール（16）は二つのエアシリンダ（17）（18）を直
列に連結した昇降駆動手段で二段階に昇降するようにな
っている。下側エアシリンダ（17）は基板処理装置のメ
インフレーム（19）にその胴部が固定されており、上側
エアシリンダ（18）はメインフレーム（19）に対して昇
降可能な状態で組付けてあり、下側エアシリンダ（17）
のピストンロッド（20）が上側エアシンリダ（18）のシ
リンダボトム（21）に当接しており、上側シリンダ（1
7）のピストンロッド（22）がガイドレール保持材（2
3）の下面に当接している。なお、この昇降駆動手段は
ガイドレール（16）を平行に昇降移動させるために二基
配置してある。

この基板移載装置の作動を説明すると、基板処理部
（２）で基板を処理している状態では、基板移載具
（５）は基板載置椀（11）の左半部が搬入用ベルト搬送
装置（３）の搬送終端位置に対応する待機位置にある。
そして、基板処理部（２）での基板処理が終了すると、
昇降駆動装置の下側エアシリンダ（17）が進出作動して
ガイドレール（16）を一段上昇させることにより、基板
移載具（５）の昇降枠（９）を第一上昇位置まで上昇さ
せ、基板移載具（５）の基板載置腕（11）の左半部で搬
入用ベルト搬送装置（３）上の未処理基板を掬い上げ
る。昇降駆動装置の一段上昇が終了すると、移載具走行
駆動手段（13）が作動して、基板移載具（５）は昇降枠
（９）が第一上昇位置まで上昇させた状態で基板処理部
（２）側へ移動する。この移動時に基板載置腕（11）の
右半部がスピンチャック（１）上に保持されている処理
済基板の下側に入り込む位置で停止する。

そして、この位置で昇降駆動手段の上側シリンダ（18）
が進出作動して、ガイドレール（16）をさらに上昇させ
ることにより、昇降枠（９）を第二上昇位置まで上昇さ
せ、この上昇時に基板載置腕（11）の右半部でスピンチ
ャック（１）上の処理済基板を掬い上げる。この昇降駆
動手段の第二上昇作動が終了すると、移載具走行駆動手
段が作動して、基板移載具（５）はその基板載置腕（1
1）の右半部が昇降枠（９）が第二上昇位置まで上昇し
た状態のまま、搬出用ベルト搬送装置（４）の搬送始端
位置と対応する位置まで移動する。

基板移載具（５）の基板載置腕（11）の右半部が搬出用
ベルト搬送装置（４）の搬送始端対応位置に達すると、
昇降駆動手段の上側シリンダ（18）が退入作動して昇降
枠（９）を第一上昇位置まで下降させ、この下降作動時
に基板載置腕（11）の右半部で保持していた処理済基板
を搬出用ベルト搬送装置（４）上に載置する。昇降駆動
手段の第一下降作動が終了すると、移載具走行駆動手段
（13）が逆転作動し、基板移載具（５）の基板載置腕
（11）の左半部をスピンチャック対応位置まで後退作動
させ、この後退作動時に基板載置腕（11）の左半部で保
持している未処理基板の左端部をワークガイド（図示は
省略したが、スピンチャックに対して基板を位置決めす
る部材であって、不要時には基板の移動領域外に退避し
ている）で当接させて、未処理基板をスピンチャック
（１）上に正確に位置決めした状態で置き残し、未処理
基板が基板載置腕（11）から外れる位置まで基板移載具
（５）が後退すると、昇降駆動手段の下側エアシリンダ
（17）が退入作動してガイドレール（18）を原点高さま
で下降させ、昇降枠（９）を原点高さのまま待機位置ま
で移動させる。

そして、上記一連の基板移載動作に先立って本考案で
は、搬入用ベルト搬送装置（３）で搬入されて来た基板
を定位置に停止させて基板移載具（５）にスムーズに受
渡せるようにするために、搬入用ベルト搬送装置（３）
の搬送終端部に二つの非接触形センサー（24）（25）が
搬送方向に並んで近接配置してある。基板搬入上手側に
位置する第一センサー（24）は搬入されて来た基板の後
端縁部を検出するように配置してあり、第一センサー
（24）の出力部は搬入用ベルト搬送装置（３）の駆動モ
ータ（26）への給電系（27）に配置した制御装置（28）
に結線されている。この制御装置（28）は、第一センサ
ー（24）からの基板後端検出信号に基づいて、ベルト搬
送装置（３）が基板送込み移動状態となる正接続状態か
ら、ベルト搬送装置（３）が逆転移動しない程度のごく
僅かな時間、逆回転方向へ電力を供給する逆接続状態と
に切換え制御するように構成してある。なお、かかる逆
転方向へ電力を供給する微少時間は、実験にてあらかじ
め求めておく。

第一センサー（24）よりも搬入下手側に配設されている
第二センサー（25）は基板の存在を確認するためのセン
サーであり、警告灯等の警報装置（29）に結線されてい
て、第二センサー（25）が基板の不存在を検出するとそ
の基板不存在検出信号に基づき警報装置を作動させて警
報を発するようにしてある。この第二センサー（25）は
第一センサー（24）に密接配置してあることから、基板
後端検出位置から実質的に上記各センサー24・25のケー
シングの厚さ分だけ搬入下手側にずれた位置が第二セン
サー（25）の検出位置となり、基板停止位置の許容位置
ずれ量は小さなものとなる。

なお、前記実施例は、基板搬送装置としてベルト搬送装
置を使用しているが、基板搬送装置としてはベルト搬送
装置に限るものではなく、例えば第５図に図示した装置
を用いてもよい。

第５図は基板搬送装置の別実施例を示し、基台（38）に
第一ブラケット（36）と第二ブラケット（37）が固設さ
れ、第一ブラケット（36）上には第一センサ（24）と第
二センサ（25）が固定されている。

第二ブラケット（37）は駆動用ピニオン（33）をその駆
動軸に軸着したモータ（34）が固設され、回動可能なガ
イド用ピニオン（35）が軸支されている。

ラック（32）は両ピニオン（33）（35）上に咬合され、
その上に第三ブラケット（45）を固設し、その上に本考
案の移動体を構成する基板吸着保持用の吸着チャック
（31）が固設されている。

第一センサー（24）及び第二センサー（25）は吸着チャ
ック（31）に吸着支持され移動する基板（30）よりも下
の位置に設置されている。

この基板搬送装置の動作を示す。

吸着チャック（31）に吸着された基板（30）がモータ
（34）の駆動により第５図の図上左方より右方へ移動を
開始する。第一センサー（24）が基板（30）の始端を検
出する。次いで第二センサー（24）が基板（30）の始端
を検出する。次に第１センサー（24）が基板（30）の後
端を検出する。この時同時にモーター（34）に対してモ
ーター（34）は逆転しない程度のわずかな時間逆接続状
態にした後停止させ、基板の後端を第一センサー（24）
と第二センサー（25）との間に位置決めする。

《効果》 後続の基板処理装置との関係で、実質的に基板の停止位
置の許容ずれ量を小さく設定し、基板のオーバーランを
防止するために、本考案では二つのセンサーを基板搬送
終端部に近接配置し、第一センサーが基板の後端を検出
することに基づき、駆動モータを逆相制動して基板を停
止させるので、基板が停止した状態では、基板の後端縁
が上記第一センサーと第二センサーとの離間隙間内に位
置することになり、この位置より基板が僅かでもオーバ
ーランすると、上記第二センサーによる基板不存在検出
信号に基づき警報が発せられる。これにより、実質的に
基板の停止位置をシビアにコントロールすることができ
る。

これらのことから、本考案では、基板処理部への搬入機
器への受渡しを正確な位置で行うことができ、次動作に
支障をきたすことがなく、基板処理系を円滑に作動させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は要部平面図、第２図は要部縦断正面図、第３図
は基板移送系を示す概略斜視図、第４図は基板移載具部
分の縦断側面図、第５図は基板搬送装置の別実施例を示
す要部斜視図である。 ２…基板処理部、３…移動体（ベルト搬送装置）、５…
搬入機器（基板移載具）、24…第一センサー、25…第二
センサー、26…駆動モータ、29…警報装置、30…基板、
31…移動体（吸着チャック）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−51436（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−105450（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭48−42981（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭44−7437（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭63−23368（ＪＰ，Ｙ２)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を載置させた移動体を所定位置まで走
   行することによって、基板を基板処理部への搬入機器に
   受渡す位置まで搬送する基板処理装置における基板搬送
   装置において、 基板を搬送する搬送終端部に非接触形センサーである第
   一センサーと第二センサーとを近接配置し、 搬送方向上手側に位置する第一センサーが基板の後端を
   検出することにより基板検出信号を出力し、この第一セ
   ンサーによる基板検出信号に基づき基板搬送装置の駆動
   モータへの給電を逆回転方向への状態に切換えて移動体
   の慣性走行を抑制して停止するように構成し、 上記第二センサーによる基板不存在検出信号に基づき警
   報装置を発動させるように構成したことを特徴とする基
   板処理装置における基板搬送装置。