JPH0325404Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本考案は、スピンスクラバー、スピンコータ、
スピンデイベロツパー等の基板回転処理装置にお
いて、スピンチヤツクへ未処理基板を供給搬送し
たり、スピンチヤツクから処理ずみ基板を排出搬
送したりする基板移載装置に関する。

《従来技術》 基板回転処理装置では、基板処理部のスピンチ
ヤツクへの基板の給排を自動的に行なうようにし
ており、従来の基板移載装置は、基板供給部と基
板排出部を基板処理部のスピンチヤツクを中心と
して配置し、基板供給部と基板排出部との間に基
板移載具を往復移動可能に配置し、この基板移載
具にて基板供給部からスピンチヤツク上に未処理
基板を移載するとともに、スピンチヤツク上の処
理ずみ基板を基板排出部に移載するように構成し
たものである。

上記基板移載装置として、本出願人は特願昭53
−73372号（特公昭56−49451号）にて、「回転塗
布機における基板着脱装置」を提案した。第８図
は上記先願発明に係る実施例装置の基板搬送方向
要部断面図である。この装置は、基板供給部であ
る供給側搬送装置５１と基板排出部である排出側
搬送装置５２とをそれぞれベルト搬送機構で構成
し、各々の基板載置面を、供給側搬送装置５１で
はスピンチヤツク５３の基板載置面より高く、排
出側搬送装置５２ではスピンチヤツク５３の基板
載置面より低く設置しておき、レール５５に沿つ
て水平方向に移動する基板移載具５４には、供給
側搬送装置５１とスピンチヤツク５３の各基板載
置面の中間高さの未処理基板載置区分５４ａと、
スピンチヤツク５３と排出側搬送装置５２の各基
板載置面の中間高さの処理ずみ基板載置区分５４
ｂの二つの基板載置区分を設けた装置である。な
お、スピンチヤツク５３と排出側搬送装置５２の
近傍の位置に、基板移載具５４にて基板移載具５
４を排出側搬送装置５２の方向へ移動させる際に
は基板移載具５４にて載置の基板より下方へ退避
するよう傾動手段を介して、当り辺５６と当りピ
ン５７が付設され、後述するように、基板移載具
５４が供給側搬送装置５１近傍の待機位置から、
排出側搬送装置５２へ向つて一往復水平移動する
間に、スピンチヤツク５３への未処理基板の供給
と、スピンチヤツク５３からの処理ずみ基板の排
出を一度に行うものである。すなわち、基板移載
具５４は、前記待機位置にて供給側搬送装置５１
からせり出すように送られて来た未処理基板W₁
を、未処理基板載置区分５４ａに載置すると、排
出側搬送装置５２の方へ水平移動する。この水平
移動の途中にてスピンチヤツク５３を通過する
際、基板載置具５４における両基板載置区分５４
ａ，５４ｂの境に形成された段差部５４ｃが、ス
ピンチヤツク５３上の処理ずみ基板W₂の搬送方
向後端縁に当接し、この処理ずみ基板W₂を処理
ずみ基板載置区分５４ｂに載置する。基板移載具
５４が排出側搬送装置５２へ到着すると、当りピ
ン５７が傾動起立し、処理ずみ基板W₂の搬送方
向後端縁と当接し、この状態で基板移載具５４を
前記待機位置へ復帰移動させ、処理ずみ基板W₂
を基板移載具５４から排出側搬送装置へ載置す
る。次に、基板移載具５４が前記待機位置へ復帰
移動する途中にてスピンチヤツク５３を通過する
際、当り辺５６が傾動起立し未処理基板W₁の搬
送方向後端縁と当接し、未処理基板を基板移載具
５４からスピンチヤツク５３へ載置し、しかる
後、前記待機位置へもどる。

《解決しようとする問題点》 上記先願発明は有用なものであるが、なお若干
の不都合が存在することが認められる。それは、
基板移載具５４から排出側搬送装置５２への処理
ずみ基板W₂の移載動作や、基板移載具５４から
スピンチヤツク５３への未処理基板W₁の移載動
作を、当りピン５７ないし当り辺５６にて、これ
ら基板W₁，W₂の水平移動を阻止した状態で基板
移載具５３を供給側搬送装置５１の方向へ移動さ
せることにより行なうため、上記移載時に基板
W₁，W₂の下面が基板移載具５４と摺接し、基板
の下面に微細な傷が付たり、汚れを付着させる等
の不都合を生じることである。また、スピンチヤ
ツク５３から基板移裁具５４への処理ずみ基板
W₂の移載動作においても、基板移載具５４の段
差部５４ｃにてスピンチヤツク５３上の処理ずみ
基板W₂を搬送方向へ押し出すようにして、基板
移載具５４へ移載するため、処理ずみ基板の下面
がスピンチヤツク５３の上面と摺接し、基板下面
に微細な傷が付いたり、汚れを付着させたりす
る。

以上の不都合を解消するためには、基板移載具
５４へ基板を載置させるに際しては、基板を直上
にすくい上げる如く基板移載具５４を上昇させ、
基板移載具５４から排出側搬送装置５２やスピン
チヤツク５３へ基板を載置させるに際しては、基
板を直下へ下す如く基板移載具５４を下降させる
ようにすることが望まれる。そのためには、基板
移載装置における基板移載具５４の部分を水平往
復動だけでなく上下動させるように昇降手段を組
付ければよいが、しかし、基板移載装置において
は以下の理由から昇降手段を組付けることは実用
上困難と目されていた。すなわち、何らかのカム
機構を付加（例えば基板移載具５４を水平往復動
させるための案内レール５５を部分的に上下へ屈
曲させる等）する等の方法は簡便であるが、しか
し、水平移動を伴わずに上下動だけを行うことは
困難なので、基板下面に対する摺接を解消できな
い問題がある。また、基板移載具５４に水平往復
動に対して独立して動作する昇降手段（例えばエ
アシリンダ等）を付設することも考えられるが、
この昇降手段を駆動および制御させるための各種
配管・配線が基板移載具５４の水平往復動に連動
して振り回され、十分な耐久性を確保することが
困難であり、しかも、昇降手段を付設することに
より重量増加にて基板移載具５４の俊敏な往復動
が阻害される問題がある。あるいは、基板移載装
置全体を昇降手段にて上下動させることも起案さ
れるが、しかし、基板移載装置は基板移載具５４
をきわめて平滑かつ正確に往復動させるように、
かなりの重量にて構成されているため、昇降手段
が相当大がかりなものになつてしまう問題があ
る。

本考案の目的は、上記問題点を解消した基板移
載装置を提供することである。

《問題点を解決するための手段》 本考案は上記の問題点を解決するものとして以
下のように構成される。

即ち、基板回転処理装置にて基板供給部からス
ピンチヤツクへ未処理基板を供給搬送し、前記ス
ピンチヤツクから基板排出部へ処理ずみ基板を排
出搬送する基板移載装置において、 基板供給部からスピンチヤツクを経て基板排出
部に至る区間を往復動する基枠と、基枠を往復動
させる走行駆動手段と、基枠に昇降ガイド部材を
介して昇降自在に組み付けた昇降枠と、昇降枠に
固設され基板載置区分を備える基板移載具と、基
枠の往復移動方向に沿つて配置され、昇降枠に枢
支されたローラを介して昇降枠を支持する昇降枠
上昇支持レールと、昇降枠上昇支持レールを上下
に平行移動させる昇降駆動手段とからなり、 基枠の走行停止状態にて昇降駆動手段を作動さ
せて、基板を移載するように構成したことを特徴
とするものである。

《作用》 昇降駆動源を上昇動作させると昇降枠支持レー
ルの一部と接する昇降枠に上昇させる力が作用
し、昇降枠が基枠に固設の昇降ガイド部材に案内
されて上昇し、昇降枠に固設の基板移載具は水平
方向の移動を伴なうことなく、沿直方向へ上昇す
る。

昇降枠支持レールを上昇させた状態のまま基枠
を水平移動させると、昇降枠は上昇した状態にて
基枠と共に水平移動し、昇降枠に固設の基板移載
具は上昇位置を保持したまま水平移動する。

また、昇降駆動源を下降動作させると昇降枠レ
ールが下降し、昇降枠支持レールによつて上昇支
持されていた昇降枠は、基枠に固設の昇降ガイド
部材に案内されて下降し、昇降枠に固設の基板移
載具は水平方向の移動を伴なうことなく沿直下降
する。

また、本考案では、前述のように、基枠の往復
移動区間に亙り水平に配置された昇降枠上昇支持
レールが上下に平行移動させることにより基板移
載具を昇降させるので、基板は、昇降駆動手段を
搭載せず、基板移載具を昇降させるに必要な構成
要素としては昇降枠と基板移載具のみを搭載して
いるだけであるから、基枠走行時の移動慣性は小
さく作用する。従つて、往復移動制御が俊敏で正
確なものとなる。

《実施例》 第１図は基板移載装置の斜視図、第２図は基板
処理部での縦断側面図、第３図は基板処理装置の
基板移送系を示す概略構成図である。

図において、１は基板回転処理装置の基板処理
部２に配置したスピンチヤツクであり、このスピ
ンチヤツク１を挟む状態で基板供給部として供給
側ベルト搬送装置３と基板排出部として排出側ベ
ルト搬送装置４が対設配置してある。そして、供
給側ベルト搬送装置３からスピンチヤツク１への
基板の移載及びスピンチヤツク１から排出側ベル
ト搬送装置４への基板の移載は基板移載具５で行
なうようになつている。

基板移載具５は、供給側ベルト搬送装置３やス
ピンチヤツク１及び排出側ベルト搬送装置４の上
方へせり出すように、後述する移動手段８の上端
にて片持状に支持された連結腕１０と、この連結
腕１０の下面に配置した一対の基板載置腕１１，
１１とからなる。この基板載置腕１１，１１は、
第４図示のように、対向配置された側断面Ｌ字状
と逆Ｌ字状の部材からなり、その下端せり出し部
１１ａ，１１ｂの上面は、連結腕１０の直下を境
として供給側ベルト搬送装置３側を排出側ベルト
搬送装置４側よりも高く形成され、高い方のベル
ト搬送装置３の側が未処理基板W₁を載置する未
処理基板載置区分１１ｅとして、低い方の排出側
ベルト搬送装置４の側が処理ずみ基板を載置する
処理ずみ基板載置区分１１ｆとするように、高さ
を違えて２つの区分１１ｅ，１１ｆに区分されて
いる。

上述の基板移載具５を支持する移動手段８は、
供給側ベルト搬送装置３と排出側ベルト搬送装置
４の間を水平移動し、かつ、上下動するものであ
り、後述する基枠７と昇降枠９から構成される。
この基枠７は、上記区間に沿つて、上下に平行な
状態で各々水平に配置した一対のガイドシヤフト
６に移動自在に組付けられたものであり、その下
端に連結固定したタイミングベルト１２を、モー
タからなる基板移載具走行駆動手段１３を正逆回
転させることにより、上記区間を左右に往復移動
するようになつている。

昇降枠９は基枠７にスライドベアリングからな
る昇降ガイド部材１４を介して沿直方向へ真直ぐ
昇降するように組付けられており、この昇降枠９
の外面下端部にはローラ１５が回転自在に枢支し
てある。そして、このローラ１５を下から受止め
る状態で昇降枠上昇支持レール１６がガイドシヤ
フト６と平行に配置してあり、この昇降枠上昇支
持レール１６は二つのエアシリンダ１７，１８を
直列に連結した昇降駆動手段で、下段から中段
へ、さらに上段へと二段階に昇降するようになつ
ている。下側エアシリンダ１７は基板回転処理装
置のメインフレーム１９にその胴部が固定されて
おり、上側エアシリンダ１８はメインフレーム１
９に対して昇降可能な状態で組付けてあり、そし
て下側エアシリンダ１７のピストンロツド２０に
上側エアシリンダ１８のシリンダボトム２１を連
結しており、上側シリンダ１７のピストンロツド
２２が昇降枠上昇支持レール保持材２３の下面に
当接している。なお、二つのエアシリンダ１７，
１８を直列に連結してなるこの昇降駆動手段は昇
降枠上昇支持レール１６を平行に昇降移動させる
ために、昇降枠上昇支持レール１６のほぼ両端位
置に、それぞれ配置してある。そして、かかる二
つのエアシリンダ１７，１８を進出させて昇降枠
上昇支持レール１６を上昇させることにより、前
記ローラ１５を介して昇降枠９が上昇する。ただ
し、昇降枠９の高さを、以下、どちらのエアシリ
ンダ１７，１８も進出しない状態では下段位置と
称し、どちらか一方のエアシリンダ（どちらでも
よいが当該実施例では下側エアシリンダ１７とす
る）を進出させた状態での昇降枠９の高さを中段
位置と称し、両方のエアシリンダ１７，１８を進
出させた状態を上段位置と称する。

なお、前述の供給側ベルト搬送装置３や、スピ
ンチヤツク１及び排出側ベルト搬送装置４におけ
る各基板搬送面の高さや、基板載置腕１１，１１
における未処理基板載置区分１１ｅおよび処理ず
み基板載置区分１１ｆの高さの相互関係は、以下
に記すとおりである。すなわち、供給側ベルト搬
送装置３の基板載置面高さ（以下、基準高さと称
する）に対し、スピンチヤツクや排出側ベルト搬
送装置４の各載置面は同じ高さである。基板載置
腕１１，１１における未処理基板載置区分１１ｅ
は、昇降枠９の下段位置では基準立さよりも低
く、昇降枠９の中段および上段位置では基準高さ
よりも高い。また、処理ずみ基板載置区分１１ｆ
は、昇降枠９の下段位置と中段位置では基準高さ
よりも低く、昇降枠９の上段位置では基準高さよ
りも高い。

次に、上述の基板移載装置の作動を説明する。

基板処理部２で基板を処理している状態では、
基板移載具５は搬入用ベルト搬送装置３の搬送終
端位置に対応する待機位置にある。そして、基板
処理部２での基板処理が終了すると、昇降駆動装
置の下側エアシリンダ１７が進出作動して昇降枠
上昇支持レール１６を一段上昇させることにより
基板移載具５の昇降枠９を第一上昇位置まで上昇
させ、基板移載具５の基板載置腕１１の未処理基
板載置区分１１ｅで供給側ベルト搬送装置３上の
未処理基板W₁を掬い上げる。昇降駆動装置の一
段上昇が終了し、中段位置となると、移載具走行
駆動手段１３が作動して、基板移載具５は昇降枠
９が中段位置まで上昇された状態で基板処理部２
側へ移動する。この移動時に基板載置腕１１の処
理ずみ基板載置区分１１ｆがスピンチヤツク１上
に保持されている処理ずみ基板W₂の下側に入り
込む。

そして、基板移載具５がスピンチヤツク対応位
置に達すると、昇降駆動手段の上側シリンダ１８
が進出作動して、昇降枠上昇支持レール１６をさ
らに上昇させることにより昇降枠９を上段位置ま
で上昇させ、この上昇時に基板載置腕１１の処理
ずみ基板載置区分１１ｆでスピンチヤツク１上の
処理ずみ基板W₂を掬い上げる。この昇降駆動手
段の第二上昇作動が終了すると、移載具走行駆動
手段が作動して、基板移載具５は昇降枠９が上段
位置まで上昇した状態のまま、搬出用ベルト搬送
装置４の搬送始端位置と対応する位置まで移動す
る。

基板移載具５がかかる位置に達すると、昇降駆
動手段の上側シリンダ１８が退入作動して昇降枠
１１を中段位置まで下降させ、この下降作動時に
基板載置腕９の処理ずみ基板載置区分１１ｆで保
持していた処理ずみ基板W₂を排出側ベルト搬送
装置４上に載置する。昇降駆動手段の第一下降作
動が終了すると、移載具走行駆動手段１３が逆転
作動し、基板移載具５を未処理基板載置区分１１
ｅがスピンチヤツクの上方へ位置するまで後退作
動させ、この後退作動時に基板載置腕９の未処理
基板載置区分１１ｅで保持している未処理基板
W₁の左端部に後述する当接片２５が当接し、基
板の中心が基板載置面中央の上方となるよう位置
決めされ、しかる後、昇降駆動手段の下側エアシ
リンダ１７が退入作動して下段位置まで下降さ
せ、未処理基板W₁が基板載置腕９から外れ、基
板移載具５に載置される。そして、最後に昇降枠
９を下段高さのまま待機位置まで移動させる。

なお、前記当接辺２５は、未処理基板W₁と当
接する部分が、未処理基板の外周と同じ曲率の円
弧状であつて、未処理基板W₁をスピンチヤツク
１へ載置させるとき以外は、基板載置具５の移動
に支障ないように、下方へ退避するようにして付
設されている。また、スピンチヤツク１に対する
未処理基板載置位置を厳密に合せることを要しな
い場合には、当接片２５を付設しなくてもよい。

図中、符号２４は基板の処理時に処理液の飛散
を防止するために、スピンチヤツクの周囲を覆う
カツプである。

以上、前記実施例基いて記述したが、本考案は
上述内容に限定されるものではなく、各種の変形
応用が可能である。

前記実施例では、基準高さと称する供給側ベル
ト搬送装置３の基板載置面に対して、スピンチヤ
ツク１および排出側ベルト搬送装置４の各載置面
を同じ高さとしたが、例えば、基準高さに対し排
出側ベルト搬送装置４の基板載置面を所要距離t₁
上方に配設した場合には、上段位置を所要距離t₁
上方へ設定するように、昇降枠９を中段位置から
上段位置へ上昇させる際に進出させる方のエアシ
リンダ（図示実施例では上側エアシリンダ１８が
概当する）の上昇ストロークを所要距離t₁分大き
くすればよい。

また、前記実施例では、基板供給部および基板
排出部の各々をベルト搬送装置で構成したが、第
５図ないし第６図示のような搬送装置としてもよ
い。第５図示の第２実施例における装置は、基板
回転処理装置のメインフレームに固設されたブラ
ケツト３０に駆動用ピニオン３４を駆動するモー
タ３３を固設し、回転可能なガイド用ピニオン３
５を軸支する。ラツク３２は両ピニオン３４，３
５上に噛合され、基板W₁を吸引支持させる吸引
チヤツク３１がその上に固設されている。モータ
３３を駆動することによりラツク３２ごと吸引チ
ヤツク３１上の基板を搬送するものである。

第６図示の第３実施例における搬送機構は、基
板回転処理装置のメインフレームに固設されたモ
ータ４１の回転軸に軸着した駆動用ピニオン４２
が、メインフレームにその基部が水平方向へ回転
可能に支持されたアーム４４に軸着のアーム回転
用ギヤ４３を駆動し、アーム４４はその先端に吸
着チヤツク４５が固設されている。

吸着チヤツク４５上には基板を吸着し、モータ
４１の駆動により駆動用ピニオン４２とアーム回
転用ギヤ４３の噛合回転にて右方より左方への基
板を搬送させる。

また、第７図示の第４実施例は、基板供給部を
基板回転処理装置のメインフレームに立設した基
板載置ピン４８，４８，４８とし、基板排出部も
同様の基板載置ピン４９，４９，４９は、それ自
体基板を搬送する機能を有するものではなく、こ
の実施例では、回動及び昇降する駆動手段４５に
その基部を支持させた搬送アーム４７の先端に固
設した吸着チヤツク４６にて、基板を基板載置ピ
ン４８，４８，４８へ搬送する。

上記実施例から明らかなように、本考案におけ
る基板供給部および基板排出部は、搬送装置であ
ると限定されず、例えば前記基板載置ピンのよう
に、単に基板を支持する手段でもよい。また、搬
送装置とするにしても、どのような搬送装置であ
るのかも限定しない。さらに、基板供給部や基板
排出部を他の基板処理装置の基板処理部としても
よい。

《効果》 本考案では、基枠に昇降駆動手段を搭載せず
に、基枠の往復移動方向に沿つて配置された昇降
枠上昇支持レールを上下に平行移動させることに
より基板移載具を昇降させ、昇降駆動手段は基枠
の走行停止状態にて作動し、基板移載具を昇降さ
せて基板を移載するように構成したから、以下の
ような効果を有する。

(1) カム機構によつて、移載具を昇降させるので
ないから、水平移動を伴わずに昇降させられ、
基板移載時に基板下面が基板供給部や基板排出
部および、スピンチヤツク等に摺接することな
く、基板移載具を昇降移動させることの、本来
目的である基板の下面における摺接の解消が達
成できる。

(2) 基板移載具を昇降昇降するための昇降駆動手
段を、基枠に組付けず基枠とは別に付設したか
ら、基枠を水平移動しても昇降駆動手段は水平
移動せず、昇降駆動手段に対する各種配線や配
管等が、屈曲したりよじれたりすることがな
く、静止したままであるから、耐久性が高い。

(3) 基枠や、基枠を水平移動させる装置部分全体
を昇降させるのではなく、基枠に組付けた昇降
枠だけを昇降することにより基板移載具を昇降
するようにしたから、小型でしかも簡単な構造
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は基板移載具の斜視図、第２図は基板処
理部での縦断面図、第３図は基板移送系を示す概
略構成図、第４図は基板載置腕の斜視図、第５図
〜第７図はそれぞれ別の実施例を示す概略構成
図、第８図は従来の基板移載装置の斜視図であ
る。 １……基板支持具、２……基板処理部、７……
基枠、９……昇降枠、１１……基板載置具、１４
……昇降ガイド部材、１６……昇降枠上昇支持レ
ール、１７，１８……昇降駆動手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 基板回転処理装置にて基板供給部からスピンチ
   ヤツクへ未処理基板を供給搬送し、前記スピンチ
   ヤツクから基板排出部へ処理ずみ基板を排出搬送
   する基板移載装置において、 基板供給部からスピンチヤツクを経て基板排出
   部に至る区間を往復動する基枠と、基枠を往復動
   させる走行駆動手段と、基枠に昇降ガイド部材を
   介して昇降自在に組み付けた昇降枠と、昇降枠に
   固設され基板載置区分を備える基板移載具と、基
   枠の往復移動方向に沿つて配置され、昇降枠に枢
   支されたローラを介して昇降枠を支持する昇降枠
   上昇支持レールと、昇降枠上昇支持レールを上下
   に平行移動させる昇降駆動手段とからなり、 基枠の走行停止状態にて昇降駆動手段を作動さ
   せて、基板を移載するように構成したことを特徴
   とする基板移載装置。