JPS6356140U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6356140U JPS6356140U JP15119286U JP15119286U JPS6356140U JP S6356140 U JPS6356140 U JP S6356140U JP 15119286 U JP15119286 U JP 15119286U JP 15119286 U JP15119286 U JP 15119286U JP S6356140 U JPS6356140 U JP S6356140U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transport
- detection signal
- conveyance device
- belt conveyance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
Description
第１図は要部平面図、第２図は要部縦断正面図
、第３図は基板移送系を示す概略斜視図、第４図
は基板移載具部分の縦断側面図、第５図及び第６
図はそれぞれ基板搬送装置の別実施例を示す要部
斜視図である。 ２……基板処理部、３……基板搬送装置、５…
…搬入機器（基板移載具）、２４……第一センサ
ー、２５……第二センサー、２６……３の駆動モ
ータ、２７……２６への給電路、２９……警報装
置。
、第３図は基板移送系を示す概略斜視図、第４図
は基板移載具部分の縦断側面図、第５図及び第６
図はそれぞれ基板搬送装置の別実施例を示す要部
斜視図である。 ２……基板処理部、３……基板搬送装置、５…
…搬入機器（基板移載具）、２４……第一センサ
ー、２５……第二センサー、２６……３の駆動モ
ータ、２７……２６への給電路、２９……警報装
置。
Claims (1)
- 基板搬送装置で基板を定位置まで搬送し、そこ
で基板処理部への搬入機器に受渡すにあたり、基
板搬送装置における搬送終端部に二つの非接触形
センサーを近接配置し、搬送方向上手側に位置す
る第一センサーによる基板検出信号に基づき基板
搬送装置の駆動モータへの給電を逆回転方向への
状態に切換えてベルト搬送装置の慣性走行を抑制
して停止するように構成し、第一センサーに続け
て配置した第二センサーによる基板不存在検出信
号に基づき警報装置を発動させるように構成した
基板の搬送時受渡し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986151192U JPH0638019Y2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 基板処理装置における基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986151192U JPH0638019Y2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 基板処理装置における基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6356140U true JPS6356140U (ja) | 1988-04-14 |
| JPH0638019Y2 JPH0638019Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=31068038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986151192U Expired - Lifetime JPH0638019Y2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 基板処理装置における基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638019Y2 (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS447437Y1 (ja) * | 1965-09-06 | 1969-03-20 | ||
| JPS5242981A (en) * | 1975-09-19 | 1977-04-04 | Acna | Printing swelling material and mixture of said material and synthetic fiber |
| JPS52105450U (ja) * | 1976-02-06 | 1977-08-11 | ||
| JPS5643821U (ja) * | 1979-09-13 | 1981-04-21 | ||
| US4319864A (en) * | 1979-02-21 | 1982-03-16 | Roland Kaufeldt | Apparatus for producing rapid movement and smooth braking and a precisely defined final position of a movable robot arm |
| JPS59176148U (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体ウエハ−の移動検出装置 |
| JPS6151436A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-13 | Canon Inc | 原稿自動給送装置の制御方法 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP1986151192U patent/JPH0638019Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS447437Y1 (ja) * | 1965-09-06 | 1969-03-20 | ||
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| JPS52105450U (ja) * | 1976-02-06 | 1977-08-11 | ||
| US4319864A (en) * | 1979-02-21 | 1982-03-16 | Roland Kaufeldt | Apparatus for producing rapid movement and smooth braking and a precisely defined final position of a movable robot arm |
| JPS5643821U (ja) * | 1979-09-13 | 1981-04-21 | ||
| JPS59176148U (ja) * | 1983-05-12 | 1984-11-24 | 三菱電機株式会社 | 半導体ウエハ−の移動検出装置 |
| JPS6151436A (ja) * | 1984-08-21 | 1986-03-13 | Canon Inc | 原稿自動給送装置の制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638019Y2 (ja) | 1994-10-05 |