JPS59176148U - 半導体ウエハ−の移動検出装置 - Google Patents

半導体ウエハ−の移動検出装置

Info

Publication number
JPS59176148U
JPS59176148U JP7183683U JP7183683U JPS59176148U JP S59176148 U JPS59176148 U JP S59176148U JP 7183683 U JP7183683 U JP 7183683U JP 7183683 U JP7183683 U JP 7183683U JP S59176148 U JPS59176148 U JP S59176148U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detection device
movement detection
semiconductor wafer
wafer movement
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7183683U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS638133Y2 (ja
Inventor
大谷　雅樹
Original Assignee
三菱電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 三菱電機株式会社 filed Critical 三菱電機株式会社
Priority to JP7183683U priority Critical patent/JPS59176148U/ja
Publication of JPS59176148U publication Critical patent/JPS59176148U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS638133Y2 publication Critical patent/JPS638133Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Controlling Sheets Or Webs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の物体の移動検出装置の一例を説明するた
めの構成図、第２図は従来の物体の移動検出装置の一例
を示す構成図、第３図は第２図の動作説明に供する各部
波形を示すタイムチャート、第４図は本考案による物体
の移動検出装置の実施例を説明するための構成図、第５
図は本考案による物体の移動検出装置の一実施例を水子
構成図、第６図および第７図は第゛５図に示す実施例の
動作説明に供する各部波形を示すタイムチャートである
。 １・・・ウェハー（物体）、３．９・・・検出器、１０
゜１２・・・インバータ、１１．１３・・・Ｄ型フリッ
プフロップ、１４・・・アンドゲート。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 物体の通過路に設けた第１および第２の２個の検出器と
    、この第１および第２の検出器の各出力をそれぞれ第１
    および第２のインバータを介して入力とする第１および
    第２のフリップフロップと、前記第１および第２のイン
    バータの各出力と前記第２のフリップフロップの出力を
    入力としこれら各入力の論理積をとるアンドゲートとを
    備え、前記物体が正方向１こ通過した後逆方向へ通過す
    るのを検出し得るようにしたことを特徴とする物体の移
    動検出装置。
JP7183683U 1983-05-12 1983-05-12 半導体ウエハ−の移動検出装置 Granted JPS59176148U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7183683U JPS59176148U (ja) 1983-05-12 1983-05-12 半導体ウエハ−の移動検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7183683U JPS59176148U (ja) 1983-05-12 1983-05-12 半導体ウエハ−の移動検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59176148U true JPS59176148U (ja) 1984-11-24
JPS638133Y2 JPS638133Y2 (ja) 1988-03-10

Family

ID=30201989

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7183683U Granted JPS59176148U (ja) 1983-05-12 1983-05-12 半導体ウエハ−の移動検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59176148U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6356140U (ja) * 1986-09-30 1988-04-14

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6356140U (ja) * 1986-09-30 1988-04-14

Also Published As

Publication number Publication date
JPS638133Y2 (ja) 1988-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59176148U (ja) 半導体ウエハ−の移動検出装置
JPS59175184U (ja) インバ−タの電流検出装置
JPS6020695U (ja) 入力信号検出回路
JPS6136886U (ja) 同期信号判別回路
JPS59117975U (ja) 検相器
JPS59134075U (ja) 選別装置
JPS6273630U (ja)
JPS58164354U (ja) ゼロ連続検出回路
JPS59114787U (ja) 同期信号発生回路
JPS5925480U (ja) 逆相検知回路
JPS58131645U (ja) 太陽電池の故障検出装置
JPS5956845U (ja) カウンタ回路
JPS58191769U (ja) 同期信号切換回路
JPS59138966U (ja) ２値化装置
JPS58165732U (ja) ドロツプアウト検出回路
JPS59175116U (ja) 回転位置検出回路
JPS6039151U (ja) ２次元座標計数装置
JPS58174759U (ja) ２アウト・オブ３冗長回路方式
JPS5911312U (ja) 非接触式制御装置
JPS59161197U (ja) ブザ−回路
JPS6039975U (ja) ロ−タリエンコ−ダの周波数弁別回路
JPS58149849U (ja) リンガ信号検出装置
JPS59138927U (ja) クロツク切替回路
JPS60106171U (ja) リレ−動作異常検出器
JPS6093120U (ja) テ−プレコ−ダ