JPS58175173A - マガジン及び複数のデイスクホルダ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はマガジン及びこのマガジン中に複数の中心孔あ
きディスクを支持するディスクホルダーに関するもので
ある。本発明は特に、しかし独占的にではなく、例えば
ディスク上に材料層を沈着させる如き処理を中心孔あき
ディスクの一側面に施す工程に使用するマガジンとディ
スクホルダーに関づるものである。本発明が極めて適づ
るその一例は、アルミニウム反射層がビデオディスクの
製造におい−Ｃプラスチック材料のディスク上に沈着せ
しめられる如きスパッタリング工程である。

この工程はスパッタリングチャンバ内で行なわれ、プラ
スチックディスクがこのチャンバ内へ供給され、アルミ
ニウム層を被覆され、各ディスクは一側面のみを被覆さ
れるため、一度に１つづつ又は２つづつ前記チャンバか
ら取出される。本発明の目的はかかる工程を通じて前記
ディスクを搬送することを容易にするマガジン及びディ
スクホルダーを提供することにある。

米国特許明細書箱３９６，６８９号は電気絶縁テープ等
の平らなコイル又は巻物を運搬するための充填ケース又
はコンテナを開示している。巻物は平らな、板状トレイ
に載せて運ばれ、前記トレイはコンテナ内で水平位置で
上トに重ねて配置され、夫々−側に中心のボスを形成さ
れており、前記ボスは１へレイ上で巻物を横に動かない
ように保持乃るために夫々のテープ巻物の中心孔に掛合
する。かかる構造は本発明が主として対象としている作
業型式には全く適さない。第一に、個々のトレイは隣接
したトレイ上のテープ巻物に衝合することによっＣのみ
テープ巻物の軸線方向にコンテナ内で動かないように保
持され、このためもしトレイとその十のテープ巻物がコ
ンｊすから取除かれると、テープ巻物と残っているトレ
イがコンテナ内で移動するのを防止することはできない
。第二に、テープ巻物をトレイに軸線力向に動がないよ
うに固定する手段を有しない。この結果、トレイをコン
テナから取除くとき、それが、トレイの中心ボスが、も
し垂直上向きに向いていなければ、上向き方向で少なく
とも傾斜する位置に保持されＣいないならば、テープ巻
物がボスから滑り出る危険性がある。これはテープ巻物
の運搬に関しては原因になり得ないが、前記種類の工程
でかかる制限を受けることはひどい、最も望ましくない
拘束どなる。

本発明によれば、マガジン及びこのマガジン内に複数の
中心孔あきディスクを支持するための複数のディスクホ
ルタ−に於て、マガジンが平行な平面内に位置する一対
の対向する壁を備え、かつディスクホルダーがそれを通
してマガジンに入れられたりマガジンから出されたりさ
れ得る前記壁間の開放側面をもち、ディスクホルダーは
各々板の一側又は各側に中心孔あきディスクを取付ける
だめの取付手段をもつ剛性の板を備え、前配板は案内手
段と協働するための一対の対向した平行縁をしら、前記
案内手段は前記ホルダーの板の前記縁と平行な方向にマ
ガジンに入れたり出したりする間にディスクホルダーを
案内するため及び離隔した平行な平面内に位置するホル
ダーの板と共にマガジン内にディスクホルダーを支持す
るためにマガジンの前記壁の内側に備えられ、各ディス
クホルダーの取付手段は夫々の１つ以上のディスク−の
中心孔に掛合するように配置されておりかつディスクホ
ルダーの板の夫々の１つ以上の側に１つ以上のディスク
を定着するように１つ以上の中心孔を包囲する１つ以上
のディスクの１つ以上の縁上に掛合するように構成され
ていることを特徴と４るマガジン及び複数のディスクホ
ルダーが提供される。

前記のスパッタリング■稈に使用したとき、前記マガジ
ンは段歩的に入口を通してスパッタリングチャンバへ運
ばれ、相継く段歩間の各合間に１つ以上のプラスチック
ディスクを取付けられているディスクホルダーがマガジ
ンからスパッタリングチャンバへ移送され、そこに保持
される間にアルミニウム層が各ディスク上に沈着せしめ
られ、次いでマガジンへ戻されることができる。

各ディスクホルダーの主体用に剛性の板を使うことによ
り、ホルダーに担持された１つ以上のデ４イスクの１つ
以上の軸線の方向のホルダーの全寸法は減らされ、かく
して所定寸法のマガジン内に納め得るディスクホルダー
の数は、組立てられた構成部品に比して、増すことがで
きる。

本発明のマガジン及びディスクホルダーの好適実施例は
、マガジンの前記壁は各ディスクホルダーの板の前記対
向縁の間の距離に実質的に等しい距離だけ離隔しでいて
、ディスクホルダーがホルダーの平面をマガジンの前記
壁の平面と直角をなす平面内に配置させてマガジン内に
挿入され得る如くなされており、前記案内手段はマガジ
ンの前記壁の各々の内側に設けた等間隔をあけた案内ロ
ーラの複数の離隔した平行列を含み、各列はマガジンの
前記開放側面を含む平面と平行な方向に延在し、前記ロ
ーラはマガジンの前記壁の平面と直角をなす軸線の回り
に回転できることを特徴とする。

案内手段のためのローラの使用により、案内手段とディ
スクホルダーの板との間の摩擦は固定した消り面に比し
て減少し、また前記板の案内手段への送入が容易になる
。

ディスクホルダーに対する最適の案内と支持は次の如き
実施例により得られる、即ちマガジン中の案内ローラが
次の如く配置され、即ち各ローラ列中の各ローラの軸線
がマガジン中のすべての他方のローラ列の各々内のロー
ラの軸線を含みかつマガジンの前記壁の平ｍｌとマガジ
ンの前記開放側面を含む平面とに対して直角をなす平面
内に位置するように配置され、前記マガジンの前記壁の
各々上の各日−ラが前記壁のうちの他り上のローラと実
質的に同軸になるように配置され、各列中のローラは次
のような距離即ちディスクホルダーの機がマガジンの前
記壁上の各ローラ列中の２つの隣接したローラ間に前記
対向した縁で挿入されることができかつ前記対向した縁
で板の両側のこれらのローラと接触するようになる如き
距離だけおＨに離隔していることを特徴とする本発明の
実施例により得られる。

マガジンは最初に述べた開放側面に対向した第二の開放
側面をもち、前記２つの側面は平行な平゛面内に位置し
、たな部が、マガジン中にホルダーを支持するためにデ
ィスクホルダーの板に掛合するためマガジンの前記第二
開放側面の境界に隣接したマガジンの各側壁の内側に沿
っＣ延在する。

この構成は、ディスクホルダーをマガジンの外に持上げ
、またもし必要ならば、その後これらをマガジンに戻す
だめの持上げ機構を有利に使用することができる。とい
うのは前記持上げ機構はマガジンの第二開放側面を通し
てディスクホルダーの板に掛合し、前記最初に述べた開
放側面を通しでホルダーをマガジンの外に持上げること
が便利にできるからである。

本発明はまた、マガジン及びディスクホルダー組合せ構
造に使用するディスクホルダーであつＣ、ディスクホル
ダーが板の各側に中心孔あきディスクを取付けるための
取付手段をもつ剛性の板を含み、前記板がマガジンの前
記壁の内側に備えた案内手段と協働するための一対の対
向した平行な縁をもつ如きディスクホルダーに於て、取
付手段はディスクホルダーの板と直角をなす中心軸線を
もつ仮想円上に配置した２群のばね指片を含み、各群は
前記円のまわりに均等に分配した３つ以上の指片からな
り、各指片はこの指片群を担持しかつ前記板に固着され
た支持体に一端で連結されており、２つの指片群の２つ
の支持体は板の対向側面に配置されて、各支持体上の指
片は各々機中の孔を通して延在して、各指片の最近の端
が板の一側にかつ末端が他側に配置されるようになって
おり、各桁は前記仮想円の中心軸線から遠く離れた指片
の側でその末端に突起を形成されており、指片の各群上
の突起の先端はディスクの中心孔の直径よ１ り大きい直径をもつ仮想円上に位置し、各群の指Ｐ１は
前記中心軸線に向ってかたよることができて、ディスク
の中心孔を取囲む１つの前記ディスクの縁が夫々の指片
上の突起を通り越すようになし、かくしてこれらの突起
が、指片が逆方向にかたよったとき、前記ディスクの前
記縁上に掛合して前記板の夫々の側に前記ディスクを固
着できるようになしていることを特徴とするディスクボ
ルダ−を提供する。

各群の指片の最近の端が板の一側にかつそれらの末端が
他側に配置されるようにばね指片の２つの群を支持する
ことにより、板からの指片の所定の突出に対して、指片
は、各指片群の各指片をすべて板の一側に配置した場合
よりも大きな長さ、それ故その場合よりも大きな弾力を
与えられることができる。このことに因り、中心孔あき
ディスクを取付手段上に圧入しまた、それらをこの手段
から引き外すのに要する力が減少する。また上記のこと
に因り、取付手段が板の各側から突出する距離が減少し
、かくして更にホルダーに担持されたディスクの軸線方
向のディスクホルダーの全寸法が減少する。

本発明のディスクホルダーの好適実施例は、ばね指ハの
各群の支持体はディスクからなり、夫々の群の指片はこ
のディスクと一体にその周囲に形成されており、各指片
は前記ディスクに一端で連結され、前記ディスクの中心
軸線と平行な方向に又は実質的にこの中心軸線の方向に
そこから延びていることを特徴とする。この構造では、
ばね指片の各群とそれらの支持体は例えばステンレスば
ね鋼で作った素材から簡単に、安価に作ることができ、
前記素材は放射方向に延びる指片をもつディスクからな
り、指片は引続き折り曲げて、ディスクから軸線方向に
その一側に延びてばね指片を形成するようになされる。

各ディスクホルダーの取付手段はホルダーの機中の円孔
内に設けられ、取付手段のばね指片の２つの群はこの孔
を通して反対方向に延びており、またばね指片の２つの
群の支持体は２つの位置決めディスクにより機中の孔と
同軸に配置され、前記位置決めディスクは前記孔を取囲
む板の縁に板の各側に１つづつ形成された環状凹部に嵌
入しており、位置決めディスクの１つはこのディスクの
両側から突出す゛る中心スリーブを形成されており、他
方の位置決めディスクと前記支持体は前記スリーブ上に
密嵌する中心孔をもち、各位置決めディスクは２群のば
ね指片が通過する複数の孔を形成されている。

取付手段をディスクホルダーの機中の孔内に設けそして
取付手段のばね指片の２つの群の支持体を機中の環状凹
部に嵌入する位置決めディスクによって前記孔と同軸に
配置することにより、ディスクホルダーの軸線方向の全
寸法を更に減少することができる。

ばね指片の２つの群の支持体と各ディスクホルダーの取
付一手段の位置決めディスクは２つの環状締付部材によ
り軸線方向に締合わされ、その中心孔は前記１つの位置
決めディス（りの中心スリーブ上に密嵌し、その１つは
ねじを受入れるためその軸線に平行に延びるねじ山付き
穴を形成されており、前記ねじは他方の締付部材中の平
滑穴と、前記支持体及び位置決めディスク中の孔と、デ
ィスクホルダーの機中の孔とを通過する。かかる構成に
より、２群のばね指片と２つの位置決めディスクを前記
板に固着する簡単なかつ迅速な方法を提供することがで
きる。

また、−組の３つ以上の脚柱が各ディスクホルダーの板
の各側に設Ｇ）られ、各脚柱は板から遠ざかる方向に先
細状になった円錐形又は円錐台形の表面をもち、各組の
脚柱はディスクホルダーの取付手段のはね指片の２つの
群が配置されている仮想円の中心軸線のまわりに均等に
分配されており、かつ中心孔あきディスクが根の各側に
取付けられるときディスクの外縁が板の前記の側の脚柱
の円錐形又は円錐台形の表面にもたれる如き距離だけ前
記軸線から均等に離隔しており、脚柱の構造は、中心孔
あきディスクの外縁が、脚柱にもたれるとき、中心孔あ
きディスクの縁が夫々の群のばね指片上の突起の背後に
掛合したときディスクの中心孔を取囲む前記中心孔あき
ディスクの縁より根から遠くに離隔している。

ディスクのこのかたよりにより中心孔あきディスクに生
じる応力の結果として、ディスクはディスクホルダー上
で望ましくない動きを起さないように防止される。更に
脚柱はディスクをディスクホルダーの平面から離して保
持する働きをする。

前記脚柱はまたディスクをディスクホルダーに取付ける
ときディスクを前以て位置決めする便利な手段を提供す
る。

また、各ディスクホルダーの板上の２組の脚柱は各々が
各組の脚柱を含む対をなして便利に配置することができ
、各対の２つの脚柱は板の両側でお互に同軸に配置され
かつ１つの脚柱の平滑穴と前記板の孔とを通過して他方
の脚柱のねじ山付き穴に螺着するねじにより板に固着さ
れる。

以下、本発明のマガジン及びディスクホルダーの実施例
を図に基づき詳述する。しかし本発明は実施例に示す如
きビデオディスクの反射アルミニウム層を形成するスパ
ッタリング工程に使用するものに限定されるものではな
い。

第１図に示すマガジン１は立方形をなし、かつステンレ
ス−で作った長方形の底フレーム２と、２つの長方形の
側壁３と、端壁４を含み前記端壁はフレーム２に固定さ
れ、アルミニウムから作られる。側壁と端壁は骨格構造
をなして、それらのΦωと、その製造に使うアルミニウ
ムωを減少さぜでいる。このマガジンは上側と下側が開
放している。

マガジンの各側壁３の内側に案内ローラの３つの離隔し
た平行な列が取付けられる。これらの列には夫々の側壁
の上縁に隣接して位置する上列と、壁の底に位置する下
列と、上下の列間の中程に位置する中間列が含まれる。

数個のローうのみを示しているが、各列は壁の上ｉ；の
縁と平行に、夫々の側壁の全長にわたり延在する。ロー
ラは側壁の平面と直角をなす軸線の回りに回転でき、か
つこれらの壁の内側と一緒に、ディスクホルダーを案内
してマガジンに入れ出しする案内手段を形成する。その
１つを第１図に６で示す。これについては後述する。

第２，３図に示ケディスクホルダー６はステンレス鋼で
作った四角板７を含み、その一部は例えば８，９で除去
されていて、板の重さと、その製造に使うステンレス鋼
の量を減少ゼしめる。板７の中心の円孔１０（第４図）
内に取付手段１１を設け、第３図に一点鎖線で示す２つ
のディスク　１２．１３を板７の各側に１つづつ取付け
ることができるようになす。ディスク　１２．１３はプ
ラスチック材料で作り、夫々ビデオディスクの主体を形
成する。各ディスクはアルミニウムの反射層を一側にも
たねばならない。各ディスクは円中心孔をもち、取付手
段１１を２つのディスクの孔に掛合づるように配置する
。ディスクホルダーの板７の各対をなす対向した縁の２
つの縁間の距離はディスク　１２．１３の直径より大き
く、板の縁がディスクの周囲を越えて突出してマガジン
１中の案内ローラ５と協働するようになしている。これ
については後述する。

ディスクホルダーの取付手段１１は第２．３．４図に詳
細に示し、これはディスク　１２．１３中の中心孔と実
質的に同じ直径の仮想円上に配列した２グループのばね
指片１４，１５を含み、またこれはディスクホルダーの
板７中の中心孔１０と同心であり、各グループは３つ以
上のこの実施例では５個のばね指片が仮想円のまわりに
均等に、この円上で他方のグループの指片と交互に、分
配されている。

各グループのばね指片１４，７５は夫々ステンレスばね
鋼の環状ディスク　１６．１７の外縁に形成され、各デ
ィスク上の指片はディスクからその一側へ軸線方向に延
在するように曲げられている。ディスク１６と１７は根
７の両側に配置し、各ディスク上のばね指片を板の中心
孔１０を通して板の遠く離れた側まで延在さゼでいる。

かくして、各指片は板の一側に、その固定した、最近の
端を配置させ、他側に、その自由な末端を配置させてい
る。この点は第３図に示している。各ばね指片はその末
端を曲げで、突起を形成し、この突起は指片の外側、即
ちディスクホルタ−の中心軸線×−Ｘ（第３図）から遠
く離れた側に傾斜側面をもつ。この軸線は根７の中心孔
１０の中心を通る。指片１４，１５上の突起は人々１４
ａ、１５ａで示す。各グループの指片上の突起の先端は
ディスク　１２．１３の中心孔の直径より（Φかに大き
い直径をもつ仮想円上に位置覆る。ばね指片は２つの位
置決めディスク１８．１９により軸線Ｘ−Ｘに対して精
密に配置する。これらのディスクは板の中心孔１０を取
囲む板の縁で板７の各側に１つづつ形成された環状凹部
２０，２１に嵌る。位置決めディスク１８は中心スリー
ブ２２と一体に形成され、このスリーブはディスクの両
側から突出する。他方の位置決めディスク１９はスリー
ブ２２に密嵌する中心孔２３をもつ。ばね指片１４，１
５をその上に形成する環状ディスク１６．１７の中心孔
がスリーブ２２上に密嵌する。各位置決めディスク１８
．１９は１０個の等間隔をおいた孔２４の１つの円系列
を同心に形成され、１０個のはね指片１４，１５が前記
孔を通り、指片１４は指片１５と交互に配列する。ばね
指片１４．１５の指片ディスク１６．１７と、位置決め
ディスク　１８．１９はすべて２つの環状締付部材２５
．２６により軸線方向にしっかり締合わせられる。Ｌ記
部材の１つは、この場合、締付部材２５は２つのねじ２
８を受入れるために軸線と平行に延びる２つのねじ山付
き穴２７を有し、前記ねしは他方の締付部材中の平滑な
、即ちねじ無しの穴２９を通る。前記ねじはまた環状デ
ィスク　１６．１７及び位置決めディスク１８．１９中
の孔と、板７中の中心１０を通過する。環状締付部材２
５．２６の中心孔は位置決めディスク１８のスリーブ２
２」：に密嵌する。締付部材２５．２６は、内側に即ち
板７に面する側に、隆起リム３０．３１を夫々形成され
ており、前記リムは夫々ばね指片１４．１５の最近の端
にもたれる。一方、ばね指片の支持ディスク１６，１７
は夫々位置決めディスク１８．１９にもたれる。各締付
部材は周囲に５個の凹部３２を形成され、これらの凹部
は夫々の締付部材の周囲に等間隔をおいて配列し、また
板７の締付部材と同じ側にその末端を配置しているばね
指片１４又は１５がかたよって四部に入ることができる
ように配置される。

プラスチックディスク１２．１３はディスクホルダーの
＆７の一側又は他側て取付手段１１上に各ディスクの中
心部分を単に押圧するだけによりディスクホルダー６に
取付けられる。この操作で、夫々のディスク１２又は１
３の内縁、即ちディスクの中心孔を取囲む縁はばね指片
１４又は１５上の突起１４ａヌは１５ａに掛合し、前記
ばね指片の末端１ま板７の関連する側から突出し、ディ
スク１２又は１３の内縁が前記突起１４ａ又は１５ａを
通り越すまでこれらの指片を内方へかたよらせ、その後
ばね指片ははね返り、突起がディスクの内縁に掛合して
かぶさり、板の側面にディスクを固着するようになる。

ディスク１２．１３は取付手段１１から等しく簡単に引
き抜くことができる。

各グループの指片の最近の端が板７の一側にそしてそれ
らの末端が他側に配置されるように２つのグループのば
ね指片１４，１５を支持することにより、板からの指片
の所定の突出のために、指片はより大きな長さを、それ
故各指片グループの各指片をすべて板の一側に配置した
場合よりも大きな弾力を与えることができる。このため
、ディスク１２．１３を取付手段１１上に押込みまたそ
れから川き抜くのに要する力は減少する。またばね指片
の所定長さに対して、これは取付手段が板７の各側から
突出距離を、かくして中心軸線Ｘ−Ｘの６向に測定した
ディスクホルダーの全寸法を減らす結果をもたらす。

ディスクホルダーに対覆るディスク　１２．１３の取付
けの堅固性を増し、ホルダー上でのディスクの望ましく
ない撓みを妨げるために、−組の３つ以上の本例の場合
には４個の、円錐形の又は図示の如き円錐台形の表面３
４をもつ脚柱３３がディスクホルダーの板７の各側に設
けられる。２組の脚柱は対をなして配列し、その各々は
各組の１つの脚柱を含み、６対の２つの脚柱は板７の両
側にお互に配置され、ねじ３５により板に固着されてい
る。

前記ねしは１つの脚柱中の平滑穴を通り、板７中の孔を
通り、他方の脚柱のねじ山付き穴に螺着覆る。各組の脚
柱はディスクホルダーの中心軸線Ｘ−Ｘのまわりに均等
に分配され、そして板７の夫々の側に取付けたディスク
１２及び１３が板のその側の脚柱の円錐台形表面３４上
にその外縁でもたれる如くなるような距離だけこの軸線
から等間隔をあけている。脚柱の構造は次の如くなす、
即ちディスクの外縁が、脚柱にもたれたとき、夫々のば
ね指片１４及び１５上の突起１４ａ又は１５ａの・背後
に掛合するディスクの内縁よりも大きな距離板７から離
れるように構成され、その結果ディスクはその撓みに因
り僅かに応力を与えられ、これによりディスクホルダー
上で望ましくない動きを生じることを妨げられる。脚柱
３３は更にディスク１２．１３を板７から離して保持す
る働きをする。これらはまたディスクホルダーに取付け
られるときディスクを予め位置決めする便利な手段を提
供する。

マガジン１０２つの側壁３はディスクホルダー６の板７
の対向する縁間の距離に実質的に等しい距離だけ離れて
いて、板７をこれと直角をなす平面内で側壁間に、この
平面内に大きな遊びを生じることなしに、挿入できるよ
うになす。マガジン内の案内ローラ５は次の如（配置す
る、即ち各ローラ列中の各ローラの軸線が、すべての他
の５つのローラ列内のローラの軸線を含みかつマガジン
の側壁３の平面とマガジンの開放した上Ｆの側面を含む
平面とに直角をなす一平面内に、位置づるように配置す
る。前記ローラはまた次のように配置する、即ち各側壁
３上の各ローラが他方の側壁上のローラと実質的に同軸
になるように、配置する。各列中のローラはお互に均等
に離隔しており、その離隔の距離は次の如きものとする
、即ちディスクホルダーの板７が２つの側壁３上の各ロ
ーラ列中の２つの隣接したローラ間に板の２つの対向線
で挿入できそして夫々の２つの対向縁で板の両側でこれ
らのローラと接触するようになる如き距離とする。かく
して、各側壁３上の上下列中の２つ目ごとの隣接したロ
ーラがその壁上の中間列とト列の各々中の前記ローラの
直ぐ下の２つ目ごとの隣接したローラ及び前記壁の内側
と組合わさって、開放した上側を通してホルダーをマガ
ジンに入れたり出したりする間にディスクホルダーの板
７の縁を案内するための案内を形成する。マガジンに挿
入されたディスクホルダーはローラ５により直立位置に
支持された状態を保ち、その際ディスクホルダーの板７
はマガジンの側壁３の平面とマガジンの開放した上下の
側面を含む平面に対して直角をなす離隔した平行な平面
内に位置する。

これらの位置で、板７はマガジンの底フレーム２の縦側
部材２ａにより形成したたな部上に載る。

２ｂで示″ｇ１つのたな部が第１図に示されている。

第５図に示すマガジンは第１図のものと類似しており、
第２．３．４図に示す構造のディスクボルダ−を装填さ
れており、各ホルダーは２つのプラスチックディスクを
担持していて、スパッタリング加工装置へ入ろうとして
おり、この加工装置内で各プラスチックディスクは一側
面をアルミニウム層で被覆されることになる。この加工
＃Ａ置は本発明の部分には含まれないので、概略のみを
示すことにして、詳述はしない。この加工装置は、２つ
の夫々のディスクを取付け１〔ディスクホルダーを受入
れる中心部分３７をもつスパッタリングチャンバ３６と
、２つのディスクの各々に同時にアルミニウム層を沈着
させるスパッタリングを行なう２つのマグネトロン（図
示せず）を入れた２つの外側部分とを含む。マグネトロ
ンによるスパッタリングは既知の工程であるので、ここ
では説明しない。スパッタリングチャンバ３６はマガジ
ンチャンバ４０の直ぐ上に設けられ、このチャンバ４０
は一端で入口チャンバ４１に、他端で出口チャンバ４２
に接続し、ゲート弁４３．４４がマガジンチャンバと人
口及び出口チャンバ間に夫々挿入されている。スパッタ
リングはチャンバ３６内で真空中で行ない、フラップ弁
がスパッタリングチャンバ３６とマガジンチャンバ４０
間のハウジング４５内に配置されて、ディスクホルダー
が通ってこれらの２つのチャンバ間を移動づる開口を封
止づるようになす。チャンバ４０，４１．４２は支持構
造４６上に地面より上で支持される。ヒンジ結合した真
空封密のドア４７．４８は入口チャンバ４１への入口と
出口チャンバ４２からの出口に設けられる。マガジンは
ドア４７．４８の内側と入口チャンバ４１、マガジンチ
ャンバ４０及び出口チャンバ４２の床上に設けたローラ
４９上で運ばれる。

ローラはマガジン１の底フレーム２の２つの縦側部材２
ａに沿って延在する平面２ｃ　　（第１図）と協働する
ために２つの平行線内でチャンバの側面に配置ツる。マ
ガジンはマガジンの底上のつめ（図示せず）と協働する
チェーン（図示せず）により入口チャンバ４１に入った
り、出口チャンバ４２から出たりする。マガジンチャン
バ４０内では、マガジンは平面２Ｃの次にあるマガジン
の底フレーム２の側部材２ａの下面に沿っ−Ｃ延在する
歯付きラック２ｄと協働するビニオン（図示せず）によ
り段歩的に進められる。

マガジン１が入口チャンバ４１に入ったとき、真空封密
のドア４７が閉じる。次いでゲート弁４３が開いて、マ
ガジンを前記のチェーンにより前進させてマガジンチャ
ンバ４０へ入れる。このチャンバ４０は既にポンプで排
気されて、スパッタリングチャンバ３６内に生じる真空
のレベルまで排気されている。次いでゲート弁４３が再
び閉ざされ、マガジンチャンバ内の真空のロスが防止さ
れる。マガジン１の長さの２倍より僅かに大きい長さを
もつマガジンチャンバ４０内で、マガジンは段歩的に前
方へ割出しされ、その歩幅はマガジン内の案内ローラ５
の各列内の隣接したローラの中心間の距離に各々等しい
。相継ぐ段歩間の各合間中にディスクホルダーはマガジ
ンから持上げられてスパッタリングチャンバ３６に入れ
られ、そこに支持される間にアルミニウム層がディスク
ホルダーに取付けられたプラスチックディスクの各々に
沈着ぜしめられ、その後再びマガジン内へ下げて戻され
る。この上げ下ろしは液圧作動機構（図示せず）により
行なわれる。この機構はマガジンチャンバ４０の底の壁
５０内に納められ、そしてマガジン１の開いた底を通し
て一度に１つづつディスクホルダーの板７に掛合する。

その下方行程の終りにこのマガジンはビニオンを作動さ
せ、このビニオンはマガジンを前方へ割り出しする。マ
ガジン１中のディスクホ。

ルダー上のすべてのプラスチックディスクがアルミニウ
ム層で被覆されたとき、ゲート弁４４が間かれ、真空封
密ドア４８は閉じており、マガジンはチェーンによりマ
ガジンチャンバ４０から進められて出口チャンバ４２へ
入れられる。次いでゲート弁４４は再び閉ざされ、ドア
４８が開いて、マガジンを出口チャンバ４２から立去ら
才る。

ディスクの内縁のみでディスクホルダーにディスクを取
付けることにより、各ディスクの一側の全面積はアルミ
ニウム被膜を自由に受取るようにしておかれる。

ディスクホルダーの軸線方向寸法が小さいことは前記ス
パッタリング加工装置に特に有利である。

即ち、このことによりディスクボルダ−の数が、それ散
所定長さのマガジン内に納めることのできるディスクの
数が増し、またスパッタリング加工装置のマガジンチャ
ンバの長さはマガジンの長さに関係があるので、所定長
さのマガジンチャンバ内に納めることのできるディスク
の数が増す点で有利である。

本発明は上記実施例に限定されない。例えばディスクホ
ルダーは各側に複数のディスクを担持するように構成づ
ることができる。かがるディスクホルダーはビデオディ
スクに似ているがそれよりかなり小さい種類のオーディ
オディスクや、またビデオディスクの如く一側にアルミ
ニウム層を被覆したプラスチック材料のディスクからな
る種類のオーディオディスクの製造に使用できる。情報
はビデオディスクに情報を記録したりこの情報をそれか
ら再生するのに使用されるものに類似のオプトエレクト
ロニクス手段によりこれらのオーディオディスクに記録
されたりまたそれから再生されたつづる。各側に例えば
４つのプラスチックディスクを担持するように構成され
たディスクホルダーは前記の如く１つの中心孔をもつ代
りに４つの円孔を形成された剛性の根を含むことができ
る。

４つの孔はこの根に対称的に配置される；四角の板では
、これらの孔は板の孔の中心にその中心をもつ仮想の四
角形の４つのかどに配置される。前記の取付手段１１に
類似の数句手段は各４つの孔に設置ノられ、板の各側の
合孔のまわりに前述の脚柱３３に類似の一組の脚柱が配
置される。

【図面の簡単な説明】

第１図はディスクホルダーの１つを示すマガジンの斜視
図で、２つのディスク（１つだけが莞えＣいる）が取付
けられていて、マガジンに挿入されているところを示す
もの、 第２図はディスクホルダーの１つを第１図より拡大しで
示す立面図、 第３図は第２図の線■−■上でとった、第２図より僅か
に拡大して示す＠ｉ面図、 第４図は第２．３図に示すディスクホルダーの取付手段
の分解斜視図、 第５図は本発明によるマガジンとディスクホルダーに対
しＣ使用するように構成したスパッタリング加工装置の
概略の倒立面図で、装填されたマガジンが加工装置に入
ろうとしている状態で示した図である。 １・・・マガジン　　　　２・・・底フレーム３・・・
側壁　　　　　　４・・・端壁５・・・案内ローラ　　
　６・・・ディスクホルダー７・・・四角板　　　　　
１０・・・円孔１１・・・取付手段　　　　１２．１３
・・・ディスク１４．１５・・・ばね指片　　１６，１
７・・・環状ディスク１９・・・位置決めディスク ２０．２１・・・環状凹部　　２２・・・中心スリーブ
２５．２６・・・環状締付部材 ２７・・・ねじ山付き穴　　２８・・・ねじ３０．３１
・・・隆起リム　　３２・・・凹部３６・・・スパッタ
リングチャンバ ３７・・・中心部分　　　　４０・・・マガジンチャン
バ４１・・・入１］チャンバ　　４２・・・出口チャン
バ４３．４４・・・ゲート弁　　４５・・・ハウジング
４７．４８・・・ドア 特許出願人　　エヌ・べ−・フィリップス・フルーイラ
ンペンフ？ブリケン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、マガジン及びこのマガジン内に複数の中心孔あきデ
   ィスクを支持するための複数のディスクホルダーに於て
   、マガジンが平行な平面内に位置する一対の対向する壁
   を備え、かつディスクホルダーがそれを通しでマガジン
   に入れられたりマガジンから出されたりされ得る前記壁
   間の開放側面をもち、ディスクホルダーは各々板の一側
   又は各側に中心孔あきディスクを取付けるための取付手
   段をもつ剛性の板を備え、前記板は案内手段と協働する
   ための一対の対向した平行縁をもち、前記案内′手段は
   前記ホルダーの板の前記縁と平行な方向にマガジンに入
   れたり出したりする間にディスクホルダーを案内す−る
   ため及び離隔した平行な平面内に位置するホルダーの板
   と共にマガジン内にディスクホルダーを支持するために
   マガジンの前記壁の内側に備えられ、各ディスクホルダ
   ーの取付手段は夫々の１つ以上のディスクの中心孔に掛
   合するように配置されており、かつディスクホルダーの
   板の夫々の１つ以上の側に１つ以上のディスクを定着す
   るように１つ以上の中心孔を包囲する１つ以上のディス
   クの１つ以上の縁上に掛合するように構成されているこ
   とを特徴とするマガジン及び複数のディスクホルダー。 ２、特許請求の範囲１記載のマガジン及び複数のディス
   クホルダーに於て、マガジンの前記壁は各ディスクホル
   ダーの板の前記対向縁の間の距離に実質的に等しい距離
   だけ離隔していて、ディスクホルダーがホルダーの平面
   をマガジンの前記壁の平面と直角をなす平面内に配置さ
   せてマガジン内に挿入され得る如くなされており、前記
   案内手段はマガジンの前記壁の各々の内側に設けた等間
   隔をあけた案内ローラの複数の離隔した平行列を含み、
   各列はマガジンの前記開放側面を含む平面と平行な方向
   に延在し、前記ローラはマガジンの前記壁の平面と直角
   をなす軸線の回りに回転できることを特徴とするマガジ
   ン及び複数のディスクホルダー。 ３、特許請求の範囲２記載のマガジン及び複数のディス
   クホルダーに於て、マガジン中の案内ローラは次の如く
   配置され、即ち各ローラ列の中の各ローラの軸線がマガ
   ジン中のすべての他方のローラ列の各々内のローラの軸
   線を含みかつマガジンの前記壁の平面とマガジンの前記
   開放側面を含む平面とに対して直角をなす平面内に位置
   するように配置され、前記ローラはまたマガジンの前記
   壁の各々上の各ローラが前記壁のうちの他方上のローラ
   と実質的に同軸になるように配置され、各列中のローラ
   は次のような距離即ちディスクホルダーの板がマガジン
   の前記壁土の各ローラ列中の２つの隣接したローラ間に
   前記対向した縁で挿入されることができかつ前記対向し
   た縁で板の両側のこれらのローラと接触するようになる
   如き距離だけよ夕互に離隔していることを特徴とするマ
   ガジン及び複数のディスクホルダー。 ４、特許請求の範囲１乃￥３の何れが１つに記載のマガ
   ジン及び複数のディスクホルダーに於て、マガジンが最
   初に述べた開放側面に対向した第二の開放側面をもち、
   前記２つの側面は平行な平面内に位置しており、たな部
   がマガジン内に前記ホルダーを支持するためにディスク
   ホルダーの板に掛合するためにマガジンの前記第二開放
   側面の境界に隣接したマガジンの前記壁の各々の内側に
   沿って延在づることを特徴とするマガジン及び複数のデ
   ィスクホルダー。 ５、マガジン及びディスクホルダー組合せ構造に使用す
   るディスクホルダーであって、ディスクホルダーが板の
   各側に中心孔あきディスクを取付けるための取付手段を
   もつ剛性の板を含み、前記板がマガジンの前記壁の内側
   に備えた案内手段と協働するための一対の対向した平行
   な縁をもつ如きディスクホルダーに於て、取付手段はデ
   ィスクホルダーの板の平面と直角をなす中心軸線をもつ
   仮想円上に配置した２群のばね指片を含み、各群は前記
   円のまわりに均等に分配した３つ以上の指片からなり、
   各指片はこの指片群を担持しかつ前記板に固着された支
   持体に一端で連結されており、２つの指片群の２つの支
   持体は板の対向側面に配置されて、各支持体上の指片は
   各々機中の孔を通して延在して、各指片の最近の端が板
   の一側にかつ末端が弛側に配置されるようになっており
   、各指片は前記仮想円の中心軸線から遠く離れた指片の
   側でその末端に突起を形成されており、指片の各群上の
   突起の先端は前記ディスクの中心孔の直径より大きい直
   径をもつ仮想円上に位置し、各群の指片は前記中心軸線
   に向ってかたよることができて、ディスクの中心孔を取
   囲む１つの前記ディスクの縁が夫々の指片上の突起を通
   り越すようになし、かくしてこれらの突起が、指ハが逆
   方向にかたよっｌ、−とき、前記ディスクの前記縁上に
   掛合して前記板の夫々の側に前記ディスクを固着（・き
   るようになしていることを特徴とするディスクホルダー
   。 ６、特許請求の範囲５記載のディスクホルダーに於て、
   ばね指片の各群の支持体はディスクからなり、夫々の群
   の指片はこのディスクと一体にその周囲に形成されてお
   り、各指片は前記ディスクに一端で連結され、前記ディ
   スクの中心軸線と平行な方向に又は実質的にこの中心軸
   線の方向にそこから延びていることを特徴とするディス
   クボルタ−０ ７、特許請求の範囲６記載のディスクホルダーに於て、
   各ディスクボルダ−の取付手段はホルダーの機中の円孔
   内に設けられ、取付手段のばね指片の２つの群はこの孔
   を通して反対方向に延びており、またばね指片の２つの
   群の支持体は２つの位置決めディスクにより機中の孔と
   同軸に配置され、前記位置決めディスクは前記孔を取囲
   む板の縁に板の各側に１つづつ形成された環状四部に嵌
   入しており、位置決めディスクの１つはこのディスクの
   両側から突出７る中心スリーブを形成されてｄ３す、他
   方の位置決めディスクと前記支持体は前記スリーブ上に
   密嵌する中心孔をもち、各位置決めディスクは２群のば
   ね指片が通過する複数の孔を形成されていることを特徴
   とするディスクホルダー。 ８、特許請求の範囲７記載のディスクホルダｉに於て、
   ばね指片の２つの群の支持体と各ディスクホルダーの取
   付手段の位置決めディスクは２つの環状締付部材により
   軸線方向に締合わされ、その中心孔は前記１つの位置決
   めディスクの中心スリーブ上に密嵌し、その１つはねじ
   を受入れるためその軸線と平行に延びるねじ山付き穴を
   形成されており、前記ねじは他方の締付部材中の平滑穴
   と、前記受持体及び位置決めディスク中の孔と、ディス
   クホルダーの機中の孔とを通過することを特徴とするデ
   ィスクホルダー。 ９、特許請求の範囲５乃至８の何れが１つに記載のディ
   スクホルダーに於て一組の３つ以上の脚柱が各ディスク
   ホルダーの板の各側に設けられ、各脚柱は板から遠ざか
   る方向に先細状になった円錐形又は円錐台形の表面をも
   ち、各組の脚柱はディスクホルダーの取付手段のばね指
   片の２つの群が配置されている仮想円の中心軸線のまわ
   りに均等に分配されており、かつ中心孔あきディスクが
   板の各側に取イ」けられるときディスクの外縁が板の前
   記の側の脚柱の円錐形又は円錐台形の表面にもたれる如
   き距離だけ前記軸線から均等に離隔しており、脚柱の構
   造は、中心孔あきディスクの外縁が、脚柱にもたれると
   き、中心孔あきディスクの縁が夫々の群のばね指片上の
   突起の背後に掛合したときディスクの中心孔を取囲む前
   記中心孔あきディスクの縁より根から遠くに離隔してい
   ることを特徴とするディスクホルダー。 １０、特許請求の範囲９記載のディスクホルダーに於て
   、各ディスクホルダーの根土の２組の脚柱は各々が各組
   の脚柱を含む対をなして配置され、６対の２つの脚柱は
   板の両側でお互に同軸に配置されかつ１つの脚柱の平滑
   穴と前記板の孔とを通過して他方の脚柱のねじ山付き穴
   に螺着するねじにより板に固着されることを特徴とする
   ディスクホルダー。