JPH05143985A - ロボツトハンドによるデイスクの掴取方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】収納ケースを傾斜させてこれに収納されたディ
スクを片方に傾斜させておくことにより、この傾斜させ
たディスクをロボットハンドで掴取るときに、ディスク
が左右にぐらつき、ディスクの掴取りミスを起こす、と
いうおそれをなくすことを目的とするものである。 【構成】上方に開口１ａを有し、所定間隔を置いてディ
スクを立設させる立設案内溝１ｂを有する収納ケース１
に、多数枚立設して収納されたディスク２を、ロボット
ハンド３が１枚ずつ掴取って所定の位置に搬送する際
に、前記収納ケース１を所要角度傾斜させ、この収納ケ
ース１に収納した多数枚のディスク２を全て一方に傾斜
させて、ロボットハンド３がディスク２を１枚ずつ掴取
る際に、ディスク２が左右にぐらつかないようにしたこ
とを特徴とするロボットハンドによるディスクの掴取方
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば複数枚のディ
スクをディスクホルダーに取付け、このディスクホルダ
ーをスパッタリング装置に通して磁気ディスクを製造す
る製造工程において、収納ケースから複数枚のディスク
をロボットハンドで掴取って、これをディスクホルダー
に取付ける際の、ロボットハンドによるディスクの掴取
方法に関するものである。

【従来の技術】

【０００２】図５は従来の磁気ディスクの製造工程にお
けるスパッタリング装置の概略を示し、（Ａ）はその平
面図で、（Ｂ）は正面図であり、１１はディスクのアン
ロード／ロード室で、ここでスパッタリング装置のイン
ラインの流れから一時外されたキャリア１２の上に固定
した、ディスクホルダー１３に複数個取付けられた磁性
被膜が形成された磁気ディスクを、ディスクホルダー１
３からロボットハンドによって取外し、また、未被膜形
成のディスクをロボットハンドによってディスクホルダ
ー１３に取付けたキャリア１２をインラインの流に乗せ
る。

【０００３】このインラインの流に乗せられたキャリア
１２は、これが後述する加熱室に入る時にその真空度に
影響を与えないようにするための低真空の第一の緩衝室
１４に入り、次に高真空で加熱された加熱室１５に入
り、ここでキャリア１２の上のディスクホルダー１３に
取付けられたディスクを加熱する。

【０００４】次に、このキャリア１２およびディスクホ
ルダー１３はクロム（Ｃｒ）とタンタル（Ｔａ）を順次
スパッタリングによってディスクに被膜形成するスパッ
タリング室１６に入って、クロム（Ｃｒ）とタンタル
（Ｔａ）の被膜が順次ディスクの両面に形成される。

【０００５】さらに、スリット１７を通った後にカーボ
ン（Ｃ）をスパッタリングによってディスクに被膜形成
するカーボンスパッタリング室１８に入って、ここでデ
ィスクの両面にカーボン（Ｃ）が被膜形成される。前記
スリット１７を設けたのはカーボンスパッタリングの条
件を、他のスパッタリングの条件と相違させるためであ
る。

【０００６】さらに、このキャリア１２およびディスク
ホルダー１３は、これがスパッタリング室の外に出る時
にスパッタリング室の真空度に影響を与えないようにす
るための低真空の第二の緩衝室１９に入った後に外に出
て、図５の（Ｂ）に示すように、エレベータ装置（図示
しない）によって上側に上げられ、矢印で示すように左
側に動いて、再び前記ディスクのアンロード／ロード室
１１に戻り、磁性被膜が形成された磁気ディスクをロボ
ットハンドがディスクホルダー１３から取外し、未被膜
形成のディスクをロボットハンドがディスクホルダー１
３に取付ける。

【０００７】図６の（Ａ）はキャリアおよびこれに搭載
されたディスクホルダーの斜視図、図６の（Ｂ）はディ
スクホルダーの一部の詳細図である。このキャリア１２
の上に固定されたディスクホルダー１３に未被膜形成の
多数のディスク２０を取り付けるため、このディスクホ
ルダー１３にディスク２０より僅かに大きいディスク取
付孔２１を複数個配列して穿設し、この取付孔２１の内
壁の下側のほぼ半周部にディスク取付溝２１ａを形成
し、このディスク取付溝２１ａにディスク２０の下側半
周部２０ａを嵌合させて、ディスク２０を取付孔２１に
取付ける。

【０００８】このディスク２０の取付孔２１への取付け
は、図７に示すように、ロボットハンド２２によって行
われる。ロボットの胴体２３は矢印ａで示すように左右
に移動可能で、首部２４は矢印ｂで示すように上下動可
能かつ矢印ｃで示すように３６０度回転可能で、頭部２
５は矢印ｄで示すように仰伏動可能であり、さらに、ロ
ボットハンド２２の上ハンド２２ａは固定で、下ハンド
２２ｂは矢印ｅで示すように上ハンド２２ａに対して接
離可能である。

【０００９】そして、上、下ハンド２２ａ，２２ｂを接
近させるように移動させた状態で、ディスクの中心孔検
出カメラ２６でディスク２０の中心孔２０ｂを検出しな
がら、上、下ハンド２２ａ，２２ｂを収納ケース２７に
収納されたディスク２０の中心孔２０ｂ（図６参照）に
挿入し、上、下ハンド２２ａ，２２ｂを離間させるよう
に移動させると、この上、下ハンド２２ａ，２２ｂによ
ってディスク２０が掴取られる。

【００１０】そして、ディスク２０を掴取ったロボット
ハンド２２を上方に移動させると共に、首部２４を１８
０度回動させて、ディスクホルダー１３に複数個配列し
て穿設したディスク取付孔２１の内壁の下側のほぼ半周
部に形成したディスク取付溝２１ａに、ディスク２０の
下側半周部２０ａを嵌合させて、ディスク２０を取付孔
２１に取付ける。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図８に示すよ
うに、前記ディスク２０の収納ケース２７に設けた、デ
ィスク２０が所定間隔を置いて立設される立設案内溝２
７ａは、ディスク２０の掴取りおよび収納を円滑に行う
ために、ディスク２０の厚みｔより充分大きい溝間隔Ｔ
を有しているので、この収納ケース２７の立設案内溝２
７ａに嵌合させてディスク２０を垂直に立設させた場
合、このディスク２０は左右にぐらつく可能性がある。

【００１２】従って、この収納ケース２７に垂直に立設
させて多数枚収納させたディスク２０をロボットハンド
２２で掴取る際に、ディスク２０が左右にぐらつくと、
ロボットハンド２２がディスク２０の掴取りミスを起こ
すおそれがある、といった問題があった。

【００１３】この発明は、このような従来の問題点に鑑
みてなされたもので、収納ケースを傾斜させてこれに収
納されたディスクを片方に傾斜させておくことにより、
この傾斜させたディスクをロボットハンドで掴取るとき
に、ディスクが左右にぐらつき、ディスクの掴取りミス
を起こす、というおそれをなくすことを目的とするもの
である

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、この発明のロボットハンドによるディスクの掴取方
法は、図１に示すように、上方に開口１ａを有し、所定
間隔を置いてディスクを立設させる立設案内溝１ｂを有
する収納ケース１に、多数枚立設して収納されたディス
ク２を、ロボットハンド３が１枚ずつ掴取って所定の位
置に搬送する際に、前記収納ケース１を所要角度傾斜さ
せ、この収納ケース１に収納した多数枚のディスク２を
全て一方に傾斜させて、ロボットハンド３がディスク２
を１枚ずつ掴取る際に、ディスク２が左右にぐらつかな
いようにしたことを特徴するものである。

【００１５】

【作用】この発明においては、収納ケース１に垂直に立
設して収納したディスク２を、ロボットハンド３によっ
て１枚ずつ掴取る際に、収納ケース１を傾斜させてこれ
に収納されたディスク２を片方に傾斜させておくことに
より、この傾斜させたディスク２をロボットハンド３で
掴取るときに、ディスク２が左右にぐらつくことがなく
なり、ディスク２の掴取りミスを起こすことがなくな
る。

【００１６】

【実施例】以下、図１乃至図４を参照してこの発明のロ
ボットハンドによるディスクの掴取方法について詳細に
説明すると、図１はこの発明を説明するための正面図、
図２は同平面図、図３はディスクを垂直に立設して収納
する収納ケースの平面図、図４は同側面図である。

【００１７】これらの図において、１は上方に開口１ａ
を有し、所定間隔を置いてディスク２を立設させる立設
案内溝１ｂを有する収納ケース、３はこの収納ケース１
に垂直に立設して収納したディスク２を１枚ずつ掴取る
ロボットハンドである。このロボットハンド３を有する
ロボットの胴体４は矢印ａで示すように左右に移動可能
で、首部５は矢印ｂで示すように上下動可能かつ矢印ｃ
で示すように３６０度回転可能で、頭部６は矢印ｄで示
すように仰伏動可能であり、さらに、ロボットハンド３
の上ハンド３ａは固定で、下ハンド３ｂは矢印ｅで示す
ように上ハンド３ａに対して接離可能である。

【００１８】そして、上、下ハンド３ａ，３ｂを接近さ
せるように移動させた状態で、ディスクの中心孔検出カ
メラ７でディスク２の中心孔２ａを検出しながら、上、
下ハンド３ａ，３ｂを収納ケース１に収納されたディス
ク２の中心孔２ａに挿入し、上、下ハンド３ａ，３ｂを
離間させるように移動させると、この上、下ハンド３
ａ，３ｂによってディスク２が掴取られる。

【００１９】そして、ディスク２を掴取ったロボットハ
ンド３を上方に移動させると共に、首部５を所要角度回
動させて、ディスクホルダーに複数個配列して穿設した
ディスク取付孔の内壁の下側のほぼ半周部に形成したデ
ィスク取付溝に、ディスク２の下側半周部を嵌合させ
て、ディスクを取付孔に取付ける点は、従来と同じであ
る。

【００２０】この発明は、収納ケース１に、多数枚立設
して収納されたディスク２を、ロボットハンド３が１枚
ずつ掴取って所定の位置に搬送する際に、前記収納ケー
ス１を所要角度傾斜させ、この収納ケース１に収納され
た多数枚のディスク２を全て一方に傾斜させて、ロボッ
トハンド３がディスク２を１枚ずつ掴取る際に、ディス
ク２が左右にぐらつかないようにしたものである。

【００２１】すなわち、コンベヤー８によって収納ケー
ス１がロボットハンド３の近傍に搬送されて来て、そこ
で収納ケース１の搬送が停止されると共に、コンベヤー
８の下方から押上杆９が突出して来て、収納ケース１の
ロボットハンド３側の底面を押上げて、収納ケース１を
たとえば１５度前後傾斜させ、この収納ケース１に収納
された多数枚のディスク２を全て図において右方に傾斜
させることによって、ロボットハンド３がディスク２を
１枚ずつ掴取る際に、ディスク２が左右にぐらつかない
ようになり、ディスク２の掴取りミスを起こすことがな
くなる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、この発明のロボッ
トハンドによるディスクの掴取方法は、上方に開口を有
し、所定間隔を置いてディスクを立設させる立設案内溝
を有する収納ケースに、多数枚立設して収納されたディ
スクを、ロボットハンドが１枚ずつ掴取って所定の位置
に搬送する際に、前記収納ケースを所要角度傾斜させ、
この収納ケースに収納した多数枚のディスクを全て一方
に傾斜させるようにしたので、ロボットハンドが収納ケ
ースに収納した多数枚のディスクを１枚ずつ掴取る際
に、ディスクが左右にぐらつかなくなり、ディスクの掴
取りミスを起こすことがなくなる。実験の結果による
と、従来はディスクの掴取りミスが１７％前後あったも
のが、この発明によるとディスクの掴取りミスは全くな
くなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明を説明するための正面図である。

【図２】この発明を説明するための平面図である。

【図３】ディスクを垂直に立設して収納する収納ケース
の平面図である。

【図４】ディスクを垂直に立設して収納する収納ケース
の側面図である。

【図５】従来の磁気ディスクの製造におけるスパッタリ
ング装置の概略図である。

【図６】スパッタリング装置で使用されるキャリアおよ
びディスクホルダーの斜視図である。

【図７】従来のロボットハンドによるディスクの掴取方
法の説明図である。

【図８】ディスクの収納ケースの平面図である。

【符号の説明】

１ 収納ケース １ａ 開口 １ｂ 立設案内溝 ２ ディスク ２ａ 中心孔 ３ ロボットハンド ３ａ 上ハンド ３ｂ 下ハンド ４ 胴体 ５ 首部 ６ 頭部 ７ ディスクの中心孔検出カメラ ８ コンベヤー ９ 押上杆 １１ アンロード／ロード室 １２ キャリア １３ ディスクホルダー １４ 第一の緩衝室 １５ 加熱室 １６ スパッタリング室 １７ スリット １８ カーボンスパッタリング室 １９ 第二の緩衝室 ２０ ディスク ２０ａ 下側半周部 ２０ｂ 中心孔 ２１ ディスク取付孔 ２１ａ ディスク取付溝 ２２ ロボットハンド ２２ａ 上ハンド ２２ｂ 下ハンド ２３ 胴体 ２４ 首部 ２５ 頭部 ２６ 中心孔検出カメラ ２７ 収納ケース ２７ａ 立設案内溝

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上方に開口（１ａ）を有し、所定間隔を
   置いてディスクを立設させる立設案内溝（１ｂ）を有す
   る収納ケース（１）に、多数枚立設して収納されたディ
   スク（２）を、ロボットハンド（３）が１枚ずつ掴取っ
   て所定の位置に搬送する際に、前記収納ケース（１）を
   所要角度傾斜させ、この収納ケース（１）に収納した多
   数枚のディスク（２）を全て一方に傾斜させて、ロボッ
   トハンド（３）がディスク（２）を１枚ずつ掴取る際
   に、ディスク（２）が左右にぐらつかないようにしたこ
   とを特徴とするロボットハンドによるディスクの掴取方
   法。