JPH0721859B2

JPH0721859B2 - 自動ディスク取扱い装置及び方法

Info

Publication number: JPH0721859B2
Application number: JP27091086A
Authority: JP
Inventors: アレンロナルド; チェンツ
Original assignee: コマツグ，インコ−ポレイテツド
Priority date: 1985-11-15
Filing date: 1986-11-15
Publication date: 1995-03-08
Anticipated expiration: 2010-03-08
Also published as: JPS62125584A; EP0222459A3; EP0222459A2

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、コンピュータメモリ又はその他のディスクを
閉塞及び開栓し且つ後のディスク処理の為に該ディスク
をディスク担持パネル内にローディングし且つ該ディス
クを該パネルから後に除去する為の自動装置及び方法に
関するものである。結果的に得られるディスク製品内の
不純物を減少させる為に、全ての操作はクリーンルーム
環境で実施される。尚、本願は1984年８月21日に出願し
た米国特許出願第06/642,853号に関連している。

周知の如く、メモリディスクの製造では、アルミ又はそ
の他の適宜の物質のブランクを、コバルト、ニッケル及
びクロムの合金等の磁気物質で両側をスパッタリングに
よってコーティングする。該ディスクブランクは、中央
孔を有しており、その孔は、使用中において、ディスク
ドライブのスピンドル上に装着されている。その製造が
継続されると、担持パネル内に水平状態又は垂直状態に
保持されている１つ又はそれ以上のディスクを一対の離
隔されている水平又は垂直な電極を通過して搬送し、そ
こで該電極によって発生される物質のプラズマがディス
クの両側上にスパッタされる。前述した特許出願に記載
されている如く、両方の電極から同時的にスパッタリン
グする間対向する電極の一方からの物質の交差汚染を防
止することが望ましい。上掲した特許出願は、担持パネ
ル内の各ディスクの周辺エッジ及び該ディスクの中央孔
を分離させる手段を開示しており、従って該ディスクの
一方の側から他方の側へのスパッタされる粒子のクロス
コンタミネーション即ち交差汚染は実効的に存在しな
い。元もと、ディスクのローディング及びアンローディ
ングは手作業であって、それにより該ディスクは担持パ
ネル上に装着されていた。或る場合には、ディスク中央
孔用に閉塞装置は存在しなかった。その他の操作におい
て、適宜のフラップ又はスクリュー栓が設けられて、ス
パッタリングステップ中に各ディスク中央孔を一時的に
閉塞させていた。その他の装置においては、ディスクは
最初に片側がコーティングされ、次いで、パネルから除
去した後に、反転させ且つ再度挿入して、該ディスクの
反対側を後のスパッタリングステップにおいてコーティ
ングさせることが可能となる。

上述したシステム即ち方式は、日本真空技術株式会社、
米国カリフォルニア州ミルピタスのCPAインコーポレイ
テッド、米国ペンシルバニア州エクスポートのレイボル
ド−ハレウスバキュームプロダクツ主のスパッタリング
・ディスク取扱いシステムが典型的ものである。これら
のシステムにおいてパネルへ及びそこからディスクをロ
ーディング及びアンローディングすることは主に手作業
のローディング及びアンローディングの為に設計されて
いた。

本発明は以上の点に鑑みなされたものであって、上述し
た如き従来技術の欠点を解消した自動的なディスク取扱
い方式及び方法を提供することを目的とする。

より高速でブランクディスクのローディング操作を行い
又処理済みディスクのアンローディング操作を行い、パ
ネル内への多数のディスクのローディング及びアンロー
ディングが全体的な生産ラインを介して走行する断続的
な一連のパネルに関するスパッタリング操作と歩調を合
せるものでない様にさせることが望ましい。更に、手作
業のローディング及びアンローディング又はディスク孔
閉塞栓の如き補助装置の導入及び運動から発生する粒子
によるか、又は取扱い中にブランク又はディスクの仕上
げ表面をスクラッチするか又はその他の損傷を与えるこ
とによるかの何れかによって、ローディング及びアンロ
ーディング操作がブランクディスク又は完成したディス
クの汚染を起す様なものでないことが重要である。更
に、基本的に各栓（プラグ）が継続的にリサイクルされ
且つ現場において（初期ローディングを除いて）におい
て断続的に使用され且つ操作中に通常閉じた処理環境中
に汚染物を導入する可能性のある新たな栓を継続的に導
入することの必要性が無い様に、最小在庫の閉塞栓が利
用されるものであることが望ましい。栓を喪失したり、
置き間違えたり、落下させたりして汚染物をピックアッ
プすることはない。

上述した目的は、一連のパネルの各々がブランクディス
クカセットからのブランクデイスクでロードされるイン
ライン型ディスク処理方式の一部である閉じた「クリー
ンルーム」タイプの室内で操作可能なロボット型即ち自
動的方式を提供することによって達成可能である。次い
で、充填されたパネルは１つ又はそれ以上のディスク処
理ステーションへ搬送され且つ、通常はディスクロード
ステーションに直近して隣接するディスクアンロードス
テーションへ戻るべく進行する。本自動的方式は少なく
とも１つのロボットアームを有しており、それはディス
ク栓のノブ部分を把持し、該栓は、ブランクディスクカ
セットから順次に各ディスクを排出した後にブランクデ
ィスクの中央孔内に装着される。該栓がディスク中央孔
内に着座されると、ロボットアームはディスク及び栓を
把持し保持し且つディスク担持パネルへ搬送し且つ該デ
ィスク及び栓を該担持パネル内の多数ディスク保持孔の
１つの中に挿入する。初期的な担持パネルローディング
以外の操作のいて、ロボットアームはコンピュータコン
トロール又はその他のタイプの自動的制御装置によって
パネル内の別のディスク保持孔へ指向されて、処理済み
ディスクの前に挿入した中央孔を把持し且つその処理済
みディスクをアンロードステーションへ搬送し、そこで
中央栓が処理済みディスクから除去される。

１実施例においては、該栓の第１セクションを未だ把持
しているロボットアームは、その栓のセクションを別の
ブランクディスクへ挿入させる為にローディングステー
ションへ帰還される。処理済みディスクを第２カセット
へ転送した後、該栓の他方のセクションをブランクディ
スクロードステーションへ戻すべく指向させ、そこで該
他方の栓セクションはブランクディスクカセットからの
ライン内の次のブランクディスク内の第１栓セクション
と噛み合わされる。該栓の該他方のセクションはアンロ
ードステーションから補助的ロボットアームによってロ
ードステーションへ直線的に又は回転的に搬送される。
別法として、該補助的ロボットアームは、直ぐ前に処理
したディスクから除去した両方の栓セクションを持った
新たなブランクディスクをロードし且つ該栓を持ったブ
ランクディスクを該第１ロボットアームによってピック
アップする為に準備するべくプログラムし且つ一対のア
ームとして構成することが可能である。

本発明の１側面は、パネル検知機構を設けることであ
り、即ち担持パネル上に精密な方形のインデックス用凹
所を設け、それらの凹所は該パネルにおけるディスク装
着用孔の各々の中心を表している。本ロボット即ち自動
方式は、シーク型センサを収納しており、それは該凹所
のx,y,z軸エッジ及び底部表面をプローブ即ち探査し、
本ロボットを担持パネルに関して精密に整合させ、従っ
てそれは把持したディスクをディスク保持孔内へ及びそ
こから外へ把持したディスクを精密に位置決めさせる。
このことは、各パネルがパネルロード／パネルアンロー
ドステーションに到達する時に行われる。該プローブ
は、ローディング及びアンローディング位置において担
持パネルのカント、不整合、又は湾曲を補償する。本発
明の別の特徴は、ディスクの担持パネル内への及びそこ
からのローディング及びアンローディングの間にディス
ク保持孔内のパネル表面によってディスクのエッジ近傍
のディスク表面にスクラッチ即ち引掻っき傷を付けられ
ることを防止する為に、把持した栓及びディスクの自動
的傾斜運動を包含する。別法として又は付加的に、担持
パネル自身を傾斜させてパネルのディスク保持孔へ及び
そこからディスクの出入を容易化させることが可能であ
る。

以下、添付の図面を参考に、本発明の具体的実施の態様
に付いて詳細に説明する。

第１図は対応する数のブランクディスクを受け取る為の
複数個のディスク装着装置11を具備するパネル担持体10
を示している。典型的な市販の実施例においては、６個
又はそれ以上の孔が、２つ、３つ又はそれ以上の幾つか
の水平な列の幾つかの整合した孔として設けられてい
る。

各孔は第２図に示される如く構成されており、従って全
体的な孔11は該孔内に装着されるべきディスクの全直径
よりも小さな直径13を持っている。これはディスクのエ
ッジが該ディスクのスパッタコーティングにおける交差
汚染を阻止している。上部エッジ開口は空洞部12を有し
ており、且つ底部エッジ14は内部Ｖ形状又はＵ形状溝15
を持っている。空洞部12は、中心点16の周りの円弧によ
って形成されており、且つ開口直径13及び溝15は両方共
中心点17の周りに形成されている。孔内に挿入される
と、ブランクディスクは溝15内に収納され、その上部外
側周辺エッジは表面18上の空洞部12内に収納される（第
３図）。ディスクの挿入、コーティング又は除去の間
に、ディスクの動作可能な磁気的にコーティングされた
部分がパネルに接触することはない。意図されているこ
とは、ディスク装着用空洞部の幾つかはパネルの両側に
形成形成され、該パネルの両側からロボットアームが同
時的にアクセスすることを可能とし、その際にディスク
のパネルへの出入のローディング及びアンローディング
をスピードアップすることを可能とすることである。こ
の様な場合に、空洞部12は或る孔11においてパネルの一
方の側に形成され、残りの孔11においてパネルの他方の
側に形成される。

第４図はディスク23の中央孔22の閉塞の為の磁気的に接
続した栓20を示している。ディスク中央線20は、その上
に外部ノブ24を持った第１栓セクション21を有してお
り、該ノブは該ディスクを種々の位置へ移動させる為に
凹入の空洞部25内に位置決め可能なロボット把持手段に
よって把持される。ソフトアイロン即ち軟鉄のポールピ
ース即ち極部材26がセクション21内に圧入されている。
第２の栓セクション27も外部ノブ28を持っており、全体
的な栓20の反対側に位置されており、従って該栓はディ
スク中央孔22内に装着し且つそこから取り出すことが可
能である。永久磁石ディスク29が、第２ポールピース30
内に圧入又はその他の手段によって固着されており、従
って磁力が２つの栓セクションを一体的に保持して孔22
を封止し且つ適宜のロボットフィンガによって該栓及び
それが接続されている該ディスクを取り扱うことを可能
とする。摺擦及び粒子発生を最小とする為に、磁石29の
面表面は、栓セクションを一体的に保持する磁束フィー
ルドに実効的な影響を与えること無しに、例えば0.004
インチ（0.01cm）の小さな量だけポールピース26から離
隔されている。

本発明の全体的な概念の１実施例を第５図に示してあ
り、その場合、各ディスクがカセットから取り出された
後に栓を各ディスクの中央孔内に挿入し且つこの様にロ
ボットアームで把持され栓がされたディスクを把持パネ
ル内に挿入すべく移動させる為にロボットアームが設け
られている。閉栓及び開栓操作の為のロボットアーム
は、この操作の為に２つの対向する把持器を持った独立
的な直線運動共通閉栓用アームロボットとすることが可
能であり、又は該栓の１つのセクションにおける単一把
持器アームを該ディスクを担持パネル内に挿入する為に
使用されるロボットアームによって取り扱われ且つ閉栓
させることが可能である。パネルがディスクでローディ
ングされた後に、それは適宜の案内レール又はその他の
コンベヤ上を１つ又はそれ以上の処理ステーションへ進
行し、その場合に担持体内のディスクの露出部分は磁気
物質によって両側共コーティングされて「処理済み」デ
ィスクを形成する。次いで、該パネルはコンベヤによっ
てパネルロード／アンロードステーション９へ帰還さ
れ、そこで処理済みディスクを除去して新たなブランク
ディスクを挿入する。矢印46によって示される如く、パ
ネル10の上部エッジは、鉛直から数（１−２）mm後ろへ
傾斜させて、閉栓したディスクをパネル溝及び空洞部内
への挿入を容易化させる。位置Ａにおいて実線で示して
あるロボットアーム50が近接し且つ前にディスクの中央
孔内に挿入されている栓20のノブ24を適宜のジョー即ち
顎部によって把持する。該ロボットは、セイコ−モデル
RT3000タイプのロボットでも又は任意の水平方向に関節
を持ったタイプのロボットでも良い。ロボットアーム50
はその把持したディスクと共に位置Ｂへ移動し、且つ新
たなブランクディスクを担持パネル10内の孔11内に位置
させる。初期のパネルローディング操作において、該ロ
ボットは次いで帰還して位置Ａにおいて引き続く新たな
ブランクディスクをピックアップし、移動して位置Ｂ′
において該パネル内にそれを挿入する。ロボットアーム
50がＡからＢへ移動する場合、直線的に移動する共通閉
栓用アーム40、41は２つの栓半割り21,27（第４図）を
新たなブランクディスク内に配置させる。アーム41は便
宜上破断されて示されている。各閉栓用アームの端部
は、栓20のノブ24,28を把持する為の把持用乃至はジョ
ー手段42を有しており、従って該栓のこれらの半割りは
互いに係合する為に両側からディスクの中央孔内に挿入
される。

アーム40,41が栓をディスク孔内に挿入した後に、該ジ
ョー42が後退して、該ディスクを閉栓させたままとし、
且つ該アームが後退して（矢印43）、ロボット50が閉栓
されたディスクを栓ノブの１つによってピックアップす
ることを可能とする。

パネル内のディスクが処理されると、即ちスパッタコー
ティングされると、担持パネル10が第５図に示した位置
へ帰還し、そこで位置Ｂにあるロボットアーム50（又は
パネル内の異なったディスク孔における位置Ｂ′等）が
処理済みディスクを把持し且つ開栓ステーションにおい
て案内路44,45内に挿入する為に位置Ｓに隣接する位置
へそれを搬送する。ロボットアームジョー39は該処理済
みディスクを解放し、該ロボットアームは脇へ移動し、
且つアーム40、41が、点線で示される如く、開栓位置へ
延長される。ジョー42は該栓ノブを把持し、該アームが
離隔又は後退して該栓半割りを分離し且つ該栓を処理済
みディスクから除去する。次いで、該処理済みディスク
は案内44、45及び支持部材53及び54によって仕上げ済み
ディスクカセット内へ案内される（第６図）。次いで、
アーム40、41は閉栓ステーションへ直線的に帰還し、そ
こで再度２つの栓半割りをロボット位置Ａに隣接する新
たなブランクディスク内へ挿入する。アーム40,41のジ
ョーが次いでディスク中央孔内の栓半割りを解放し、且
つ該アームは更に後退されて、パネル内の次の孔へ移動
して挿入する為にこの次の新たなディスク上の栓ノブを
把持する為にロボットアーム50のアクセスを可能とす
る。Ａにおける閉栓位置も、新たなブランクディスクカ
セットから取り出される新たなディスクを案内し且つ保
持する為に案内路47,48を持っている。

第６図は、特に第１カセットからの新たなブランクディ
スクの運動及び処理済みディスクの第２カセット内への
配置を示した。第５図において図示したディスク転送シ
ステムの端面図である。アーム40、41がバードライブ又
はその他の搬送装置上を位置Ａにおいて新たなブランク
ディスク23を閉栓し且つ次いで位置Ｃにおいて処理済み
ディスク23′を開栓する為の位置へ移動する。新たなブ
ランクディスクは内部的に側部溝を付けたカセット内に
収容されており、且つカセットは支持テーブル又はブリ
ッジ49下側に位置される。押し出しアーム52を持った押
し出し機構51が保持されたディスク下側のカセット内の
底部スロットを介して通過し、該ディスクの底部に当接
し、且つそれを案内部47,48内に上方へ押し上げる。押
し出しアーム52の上端はブランクディスクを垂直位置へ
位置させ、そこでそれは栓20を挿入するアーム40、41の
作用によって閉栓される。ロボット50が処理済みディス
クを案内路44、45へ帰還させると、該ディスクは押し出
しロッド54の上端53によって支持され、それは次いで処
理済みディスクをカセット55内に加工させる。カセット
56が全体的にインデックスされ且つ位置Ａにおいて新た
なディスクを空にさせると、それは位置Ｃへ移動されて
処理済みディスクを受け取り、それは該カセットの内部
側部溝内に組入れられる。カセット56及び55はインデッ
クスされ、従ってそれらは該案内部の下でより特定的に
閉栓及び開栓ステーションの下側を移動して、順次、カ
セット内の各ディスクを位置決めして、アーム52、54内
において上方へ押し上げられるか又は下方へ担持されて
新たなディスク及び処理済みディスクを夫々支持する。
アーム52、54は共に接続され、従って完了した処理済み
ディスク23′がロボット50によって位置Ｃへ移動される
と、アーム54が上方位置となって、それを支持し、且つ
アーム52は位置Ａにおいて閉栓の為に新たなディスクを
取り上げる。アーム40,41がロボット50によって位置Ｃ
に搬送された完了した仕上げ済みディスク23′を開栓し
た後、アーム52、54は下方向へ後退し、仕上げ済みディ
スクをカセット55内に残し且つカセットの底部から離れ
る。ロボット50が閉栓されたディスク23をパネル10へ取
り込んだので、アーム52は空の状態で下降する。次い
で、該カセットが１ノッチだけインデックスされて、ス
ロット付きカセット51内の次の新たなブランクディスク
の底部及びカセット55内の次の空のスロットの底部及び
夫々の案内部とラインアップ即ち１列に整合する。上述
したシーケンスにおいて、アーム40、41はディスク23及
び23′内へ及びそこからの栓の全ての閉栓及び開栓を行
う。以下に説明するその他の実施例において、ロボット
50は変形されて閉栓及び開栓において一部の役割を果
す。又、その他の実施例において、サイクル時間を減少
させる為に、ディスク持ち上げ器52,54はディスクを出
し入れする為に独立的に移動されることが可能であり、
且つ対応するカセット56、55は独立的にインデックスさ
せることが可能である。

第７図及び第８図はアーム40、41の閉栓及び開栓作用を
示しており、その場合に、把持ジョー42は栓の夫々のノ
ブ28、24を把持する。矢印57は、案内部47内に保持され
ている如き新たなディスク23の中央孔内に２つの半割り
の栓を着座させる為の該ジョーの内方運動を示してい
る。第８図は、矢印58の方向におけるアーム40、41の外
方運動による仕上げ済みディスク23′からの栓半割り2
1,27の分離を示している。

第９図は並列タイプカセット運動に関連して、セイコー
SCARAモデルTT2000の如き水平方向に関節を持ったタイ
プのロボット60の使用状態を示している。カセット61
は、コンベヤ62によって位置Ｄ内へ搬送され、そこでそ
れは閉栓ステーション下側の横方向位置Ａへ前進され、
そこでそれはインデックスされて連続的な新たなディス
クを閉栓の為に提供する。この実施例におけるロボット
60は、栓20の半割りの１つをディスク中央孔内に閉栓さ
せることを助け、それは該孔にパネル10に対面する方向
から進入する。他方の栓半割りは、栓セクションノブを
把持する為に適したジョー38を持った単一並進閉栓／開
栓アーム63によってディスク23の反対側から新たなディ
スク23内に挿入される。矢印64は並進運動を示してい
る。カセット61がブランクディスクの位置Ａにおいて空
にされ且つ先のカセットが位置Ｃにおいて処理済み仕上
げ済みのディスクで充填された後、空及び充填されたカ
セットは爾後に位置Ｃへ移動する為に横方向にコンベヤ
62へ帰還して移動され、該コンベヤから離れる方向を矢
印65で示してある。この実施例においては、ロボット60
は位置Ａにおいてディスク内の栓の半分を取り付け、該
栓の他の半分はアーム63によって挿入される。該栓のア
ーム63による解放の後、ロボット60は未だ全体的な栓を
把持しており、該パネルへ移動することが可能となり、
ブランクディスクを空のディスク保持孔へ搬送し且つ次
のディスク保持孔から仕上げ済みディスクをピックアッ
プし位置Ｃへ搬送して、直線的に移動されるアーム63上
のロボットジョー39及び把持手段38の結合した栓解放及
び後退作用により開栓させる。

第10図はカセット運動のシリアルな実施例を示してい
る。カセット70はコンベヤ71によって搬送され且つ把持
アーム72によってリフトされ且つパネル10と平行にベル
ト75上の位置へ移動され（矢印73）、そこで該カセット
は栓ロード位置Ａの下側を前進させる（矢印74）ことが
可能である。上述した如く、新たなディスクは、栓把持
ジョー81を持っているロボット80の作用によって閉栓さ
れるべきカセット70aから順次押し出され、且つ閉栓ア
ーム83のジョー82は位置Ａにおいて栓の他の半割りをデ
ィスク23内に挿入する。次いで、アーム33は図示した位
置へ後退し、従ってそれは、それがロボット80によって
位置Ｃへ搬送される時に、仕上げ済みディスク23′から
ディスク半割りを開栓することが可能である。仕上げ済
みデイスクは、ロボット把持ジョー81及びアクチュエー
タ83のジョー82によって開栓した後に、インデックスコ
ンベヤ75上でカセット70aに先行する仕上げ済みディス
クカセット70b内に案内される。栓の半割りが取り付け
られたロボット80は位置Ａへ帰還して新たなディスクを
開栓させる。該栓の他の半割りが取り付けられたアーム
83も位置Ａへ帰還して、ディスク孔内に該ロボットによ
って保持されているディスク半割りと共にそのディスク
半割りを挿入する。理解される如く、各カセットは順次
使用される。新たなディスクを持ったカセット70aが空
になると、それは次いで次の位置（カセット70b）へ移
動され、そこでそれは仕上げ済めディスクでパネル10か
ら充填される。パネル10は、勿論、新たなディスクで充
填した後に、ディスクコーティング回路を介して搬送
し、且つ処理後に、仕上げ済みディスクの除去及び新た
なブランクディスクの挿入の為に示した位置９へ帰還さ
れる。最後に、第２把持器84が仕上げ済みディスクで充
填されたカセット70cを持ち上げ且つそれをカセットの
パッキング又は格納の為にコンベヤ85上へ移動させる。

第11図は、栓ノブを把持し且つ解除するべく移動自在で
あるロボットアーム82の端部上の把持用ジョー81を詳細
に示している。一対の二重作動ピストン83,94を使用し
て、物理的に把持アーム82を下降させて、それが担持パ
ネル上の種々の列をロードする際に、その垂直方向のリ
ーチを延長している。従って、該把持器は下方向へ移動
して担持パネル内のディスク装着孔の下部水平列へ到達
することが可能である。復帰スプリング85は、延長した
位置から把持器ハッドを帰還させることを助け且つ更に
延長運動に対してのダンパーとして作用する。ピストン
ロッド87を有する第３ピストン86が設けられており、ロ
ッド87の下方向運動、即ち行程（第12図）は、パネル10
から離れる方向へ0.5゜乃至５゜の所定の傾斜角度にア
ーム82を傾斜させて、該ディスクの溝15内への進入を容
易とさせる。次いで、該ピストンロッドはその初期位置
へ帰還され（第11図）、従って該ディスクの上端は空洞
部12内に収納される。次いで、ジョー81が解放され且つ
ヘッド82が離隔して、閉栓済みディスクを担持パネル内
に残存させる。正の調節可能なストップ88が設けられて
いる。所望により、栓及びディスク又は栓半割りを別々
に増加するか又はそのでなければ保持する為のノブ28の
頂部と対向する該ヘッド内に位置されている吸引開口90
を持った補助真空ライン89を使用することも可能であ
る。

第13図は側部把持アーム82にそれに沿って装着されたセ
ンサ保持用アーム91を示している。該センサーアームか
ら、先端部93を持った直線的に移動自在なセンサ−プロ
ーブ92が延在しており、それはディスク装着孔11とパネ
ル10（第１図）との間に形成されたインデックス用凹所
94の位置を探査して、ロボットアーム92を孔11の中心に
関して正確に且つ簡潔的に位置決めさせる。プローブ92
は、それが凹所94を「発見」乃至は見つける迄、パネル
表面96に沿って並進的に移動する。ついで、それは、特
にその凹所を見つける１つの凹所の矩形状側部95（ｘ−
ｙ軸）及び底部（ｚ軸）の各々を探査する。次いで、そ
れは別の凹所へ移動し且つ特に既知のコンピュータ手段
及び方法によって各凹所を見つけ出す。従って、該パネ
ルが多少カントされたり又湾曲されたりしても簡潔的に
空間的に位置決めされ、そのことは該ロボットが閉栓し
たディスクを各パネル孔内に正確に位置決めすることを
可能とする。プローブ92は、日本のレピック（Repic）
インコーポレイテッドによって製造されているモデル3D
コンタクトセンサの如きストレインゲージ接触タイプセ
ンサとすることが可能である。

第14図は、閉栓及び開栓アームの実施例を示しており、
円弧状又は回転状の運動が該アームを閉栓及び開栓位置
へ往復的に移動させる。アーム97は、新たなブランクデ
ィスク23を閉栓した後に、点線の位置97′へ処理済みデ
ィスク23′を開栓させる為に正確に移動させることが可
能である。次いで、それは帰還するが、未だに除去した
栓セクションを保持しており、次の閉栓されるべきブラ
ンクディスクを閉栓する。アーム97は２アーム構成とす
ることが可能であり、その場合、第５図における如く、
ロボット50無しで、該アーム機構のみで該ディスクの両
側から閉栓及び開栓を行い且つ閉栓位置から後退して、
該ロボットジョー39によって閉栓済みディスクをピック
アップすることを可能とする（第９図）。

以上、本発明の具体的実施の態様に付いて詳細に説明し
たが、本発明はこれら具体例にのみ限定されるべきもの
では無く、本発明の技術的範囲を逸脱すること無しに種
々の変形が可能であることは勿論である。

【図面の簡単な説明】第１図はディスク保持装置を有する典型的な担持パネル
の正面図、第２図はパネル内のディスク保持孔の詳細な
正面図、第３図はディスク保持孔の断面図、第４図はデ
ィスク中央孔を閉塞し且つパネルローディング及びアン
ローディング位置にあるディスクを処理する為の２セク
ション栓の断面図、第５図は基本的なロボット運動を示
したディスク閉栓／開栓システム及びパネルロード／ア
ンロードインラインシステムの概略平面図、第６図はデ
ィスク排出ユニットを具備するカセットシステム及びデ
ィスク閉栓及びディスク開栓ステーションの概略端面
図、第７図はブランクディスク及びディスク閉栓操作の
概略側面図、第８図は処理済みディスク開栓操作の概略
側面図、第９図は別のタイプのディスク閉栓及び開栓シ
ステム及び栓がブランクディスク内に挿入される第１カ
セットからパネルへ又処理済みディスクの該栓が除去さ
れ且つ新たなブランクディスク内へ再度挿入されるべく
移動が準備される第２仕上げ済みディスクカセットへの
帰還のブランクディスクの転送を示した概略平面図、第
10図は栓挿入位置及び栓取り外し位置へのカセットのイ
ンライン運動の別の実施例を示した概略図、第11図はブ
ランクディスクを担持パネル内のディスク保持孔内に成
形型に配置させる為の栓把持及びディスク傾斜機構の概
略側面図、第12図は担持パネルディスク保持孔内へ及び
そこからブランク又は処理済みのディスクの出入を容易
とする為にディスクの傾斜を示した概略部分断面図、第
13図はロボットアームを担持パネル内のディスク保持孔
と簡潔的に整合させる為のセンサープローブ及びパネル
凹所の詳細な部分断面概略図、第14図は１つ又は一対の
閉栓及び開栓ロボットアームがこの様な機能的位置に回
転的に移動自在である本発明の１実施例を示した概略
図、である。（符号の説明） 9:ロード／アンロードステーション 10:担持パネル 11:ディスク装着孔 12:空洞部 20:栓（プラグ） 21:セクション 22:孔 23:ディスク 40,41:アーム 39,42:ジョー 50:ロボットアーム

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】担持パネル、各々が中央孔を持っている一
連のブランクディスクを前記担持パネル内に装着する為
の前記担持パネル内の孔手段、前記中央孔を一次的に閉
塞し且つ前記各ディスクを保持する為の中央栓、未処理
のブランクディスクを保持する為に閉栓ステーションに
設けられた第１ディスクカセット、未処理ディスクを受
け取る為に開栓ステーションに設けられた第２ディスク
カセット、中央栓をブランクディスクのディスク孔内に
挿入する第１手段、前記第１ディスクカセットからの前
記ブランクディスクの引き続くものを搬送し且つ前記担
持パネル内に挿入する為に前記栓上に把持可能な第１ロ
ボットアーム手段、前記栓上を把持可能な前記第１ロボ
ットアーム手段を具備しており前記担持パネルから処理
済みのディスクを除去し且つ前記デイスクを前記第２デ
ィスクカセットへ搬送する手段、前記処理済みのディス
クを前記第２ディスクカセット内へ挿入し且つ前記第１
ディスクカセット内の別のブランクディスクへ取り付け
る為に前記栓を帰還させる為に前記栓を処理済みのディ
スクから除去する第２手段、を有することを特徴とする
自動ディスク取扱い装置。
【請求項２】特許請求の範囲第１項において、前記第１
デイスクカセットが処理済みのディスクを受け取る為の
前記第２ディスクカセットとして機能する様に前記第１
ディスクカセットから全てのブランクディスクを除去し
た後に前記第１ディスクを前記開栓ステーションにおけ
る位置へ移動させる手段を有することを特徴とする装
置。
【請求項３】特許請求の範囲第１項において、前記栓を
前記ブランクデイスク内に挿入させる為に前記栓の両側
で前記栓を把持する為の前記挿入する第１手段上に栓把
持手段を有することを特徴とする装置。
【請求項４】特許請求の範囲第１項において、前記第１
デイスクカセットから引き続くブランクディスクを除去
し且つ引き続く処理済みのディスクを前記第２デイスク
カセットへ帰還させる為に前記第１及び第２のディスク
カセットを引き続く位置へインデックスさせる手段を有
することを特徴とする装置。
【請求項５】特許請求の範囲第１項において、前記中央
栓はディスクの両側から前記中央孔内に挿入可能な２つ
のセクションを有しており、且つ前記第１ロボットアー
ム手段は各ディスクの第１側部上で前記中央栓の第１セ
クションを把持する手段を具備しており、且つ処理済み
のディスクから前記栓を除去する前記第２手段は前記中
央栓が前記ディスクの中央孔を貫通して延在する様に前
記各ディスクの第２側部上の前記中央栓の第２セクショ
ンを把持する手段を具備することを特徴とする方式。
【請求項６】特許請求の範囲第１項において、前記ディ
スクの底部エッジが前記担持パネル内に最初に挿入され
る様に前記把持パネルに関して前記把持されているディ
スクを傾斜させる手段が前記第１ロボットアーム手段上
に設けられていることを特徴とする装置。
【請求項７】特許請求の範囲第１項において、前記第１
ロボットアーム手段によって前記担持パネルへ搬送され
る場合に、前記ディスクに関して前記担持パネルを傾斜
させる手段を有することを特徴とする装置。
【請求項８】特許請求の範囲第１項において、前記第１
ロボットアーム手段はブランクディスクを前記担持パネ
ル内に搬送し且つ挿入すべく動作する一方、前記第２手
段は栓を処理済みのディスクから除去すべく動作して、
処理済みのディスクを前記第２カセット内に挿入し且つ
別のブランクディスクへ取り付ける為に前記栓を前記閉
栓ステーションへ帰還させることを特徴とする装置。
【請求項９】特許請求の範囲第１項において、前記第１
ロボットアーム手段は、引き続き、前記担持パネルにお
ける処理済みディスクピックアップ位置から、前記第２
カセットにおけるディスクアンローディング位置へ、前
記第１カセットにおけるブランクディスクロード位置
へ、前記担持パネルにおけるブランクディスク挿入位置
へ、且つ前記担持パネルにおける別の処理済みディスク
ピックアップ位置へ移動して、前記担持パネルから別の
ディスクをピックアップすることを特徴とする装置。
【請求項１０】特許請求の範囲第１項において、前記デ
ィスクを前記担持パネルディスク装着孔手段内へ挿入し
且つそこから取り出す為に前記第１ロボットアーム手段
を正確に位置決めすることが可能である様に前記担持パ
ネルの所定の所望位置に関して前記担持パネルの実際の
位置を検知する手段が前記第１ロボットアーム手段上に
設けられていることを特徴とする装置。
【請求項１１】特許請求の範囲第10項において、前記検
知手段は前記第１ロボットアーム手段から前記担持パネ
ルへ延在するセンサプローブを具備しており、且つ前記
担持パネルは前記第１ロボットアーム手段の前記担持パ
ネル内の前記ディスク装着孔手段との整合を表す為に探
査され且つ位置決めされるべく所定位置に前記プローブ
に対面する表面上に一連のインデックス用凹所を具備し
ていることを特徴とする装置。
【請求項１２】特許請求の範囲第１項において、前記第
１カセットからブランクディスクを順次に排出し且つ処
理済みディスクを順次に前記第２カセット内に挿入する
手段が、前記第１及び第２カセットの各々内に伸長可能
に設けられていることを特徴とする装置。
【請求項１３】特許請求の範囲第１項において、前記栓
を処理済みデイスクから除去する前記第２手段及び前記
栓をブランクディスク内に挿入する前記第１手段が、前
記栓を保持する為に二重アーム直線作動栓把持手段を有
していることを特徴とする方式。
【請求項１４】特許請求の範囲第１項において、前記取
扱い装置がクリーンルーム包囲体内に収納されているこ
とを特徴とする装置。
【請求項１５】特許請求の範囲第１項において、前記栓
を処理済みディスクから除去し且つ前記栓をブランクデ
ィスクへ取り付ける前記第２手段が、前記栓を保持する
為の回転作動把持手段を有することを特徴とする装置。
【請求項１６】２つのセクションを持った栓が貫通して
延在する中央孔を持ったディスクに対しての栓挿入及び
栓除去装置において、閉栓ステーションに設けられてお
り前記栓をブランクデイスクの中央孔内に挿入する為の
第１手段、前記ブランクディスク及び挿入した栓をディ
スク装着ステーションへ及びそこから搬送する為の第２
手段、開栓ステーションに設けられており前記ディスク
装着ステーションからディスク及び挿入済み栓を受け取
り且つ前記栓を処理済みディスクから除去する為の第３
手段、前記栓を別のブランクディスク内へ挿入させる為
に除去した栓を前記閉栓ステーションへ帰還させる第４
手段、を有することを特徴とする装置。
【請求項１７】特許請求の範囲第16項において、前記栓
は前記ディスク中央孔の両側へ延在する２つのセクショ
ンを有しており、且つ前記搬送用の第２手段が前記栓の
セクションの１つを把持する為の栓把持アームを具備す
るロボットアームを有しており、且つ前記第２手段は栓
挿入及び栓除去の間に前記栓のセクションの他方を把持
する為の前記ロボットアームと一体的に動作可能な第２
アームを具備することを特徴とする装置。
【請求項１８】特許請求の範囲第16項において、前記第
１及び第３手段は、前記栓を前記ブランクディスク内に
挿入し且つ前記栓を前記閉栓した処理済みディスクから
除去する為の一対の共通アームを具備することを特徴と
する装置。
【請求項１９】特許請求の範囲第16項において、前記閉
栓ステーションにおいて前記第１手段へ引き続きブラン
クディスクを供給するブランクディスクカセット、及び
前記開栓ステーションにおいて前記第３手段から引き続
き処理済みディスクを受け取る処理済みディスクカセッ
トを有することを特徴とする装置。
【請求項２０】特許請求の範囲第19項において、引き続
くブランクディスクを前記第１手段へ供給し且つ引き続
く処理済みディスクを前記第３手段から受け取る為に、
夫々、前記ブランクディスクカセット及び前記処理済み
ディスクカセットをインデックスさせるインデックス手
段を有することを特徴とする装置。
【請求項２１】特許請求の範囲第20項において、前記第
２カセットが処理済みディスクで充填された時に前記第
３手段における位置から前記第２カセットを搬送する手
段、及びブランクディスクが空とされた時に前記第１カ
セットを前記第３手段における位置へ前記第１カセット
を移動させる手段を有することを特徴とする装置。
【請求項２２】一連のディスクをディスク担持パネル内
にローディングする方法において、一連のディスク保持
孔を持ったパネルを設け、各々が中央孔を持ったブラン
クディスクの第１カセットを設け、前記第１カセットか
らブランクディスクを排出し、中央栓を把持し装着し且
つ前記ブランクディスクの中央孔内に挿入する為に少な
くとも１つのロボットアームを操作し、前記ブランクデ
ィスク及び栓を前記少なくとも１個のロボットアームに
よって前記パネルへ搬送し且つ前記ブランクディスク及
び栓を前記ディスク保持孔の一つの中に装着し、前記少
なくとも１個のロボットアームを前記パネル内の前記デ
ィスク保持孔の別のものへ移動させて前記パネル内に装
着した処理済みディスク及び栓を把持し、前記少なくと
も１個のロボットアーム及び前記把持した処理済みディ
スク及び栓を第２カセットに隣接する位置へ搬送し、前
記栓を前記処理済みディスクから除去し、前記除去した
栓を前記第１カセットに隣接する位置へ帰還させて前記
栓を前記第１カセットから排出された別のブランクディ
スク内にへ再度挿入させることを特徴とする方法。
【請求項２３】特許請求の範囲第22項において、前記栓
を前記処理済みディスクから除去した後に、処理済みデ
ィスクを前記第２カセット内に挿入することを特徴とす
る方法。
【請求項２４】特許請求の範囲第23項において、前記第
２カセットが処理済みディスクで充填された時に前記第
２カセットを脇へ移動させ、且つ前記第１カセットがブ
ランクディスクを空にした時に、前記第１カセットを前
記第１カセットが処理済みディスクを受け取る為に該第
２カセットとして機能する位置へ移動させることを特徴
とする方法。
【請求項２５】特許請求の範囲第22項において、ブラン
クディスク及び栓を前記パネルへ又処理済みディスク及
び栓を前記第２カセットに隣接する位置から及びその位
置へ把持し且つ隣接する為に前記ロボットアームを移動
させ、前記第１カセットからのブランクディスク内へ栓
を挿入し且つ前記第２カセットに隣接する位置における
処理済みディスクから栓を除去する為に一対のロボット
アームを移動させることを特徴とする方法。
【請求項２６】特許請求の範囲第25項において、前記ロ
ボットアームがブランクディスク及び栓を前記パネルへ
及びそこから搬送している間に、前記一対のロボットア
ームをブランクディスク栓挿入位置から処理済みディス
ク栓除去位置へ及びその逆へ移動させることを特徴とす
る方法。
【請求項２７】特許請求の範囲第22項において、前記パ
ネルの空間位置を検知し、且つ前記パネルの検知した位
置に関して前記ロボットアームを移動させて前記ブラン
クディスクの各々を前記一連のパネルディスク保持孔の
夫々内へ簡潔的に挿入して及び夫々から除去することを
特徴とする方法。
【請求項２８】特許請求の範囲第22項において、前記パ
ネルに関して前記ロボットアーム上の前記ブランクディ
スク及び栓を傾斜させて前記ブランクディスク及び栓の
前記パネルディスク保持孔内への進入を容易化させ、且
つ前記ロボットアーム上の前記処理済みディスク及び栓
を傾斜させて前記パネルから前記処理済みディスクを除
去することを特徴とする方法。
【請求項２９】特許請求の範囲第22項において、前記ブ
ランクディスクの上部部分を該パネルから離脱する様に
傾斜させて、該ブランクディスクの底部部分が最初に該
パネルディスク保持孔内に進入させることを特徴とする
方法。
【請求項３０】特許請求の範囲第29項において、前記ブ
ランクディスクは約0.5゜乃至５゜の角度で該パネルか
ら離隔する様に傾斜させることを特徴とする方法。
【請求項３１】担持パネル、各々が中央孔を持っており
前記担持パネル内における一連のブランクディスクを装
着する為の前記担持パネル内の孔手段、未処理ブランク
ディスクを保持し且つ処理済みディスクを受け取る為の
ディスクカセット手段、前記ブランクディスクを引き続
き前記ディスクカセット手段から前記担持パネル内へ搬
送し且つ挿入する為に１個のディスクに関して把持可能
な第１ロボットアーム手段、前記第１ロボットアーム手
段を具備しており前記担持パネルから処理済みディスク
を除去し且つ前記ディスクを前記ディスクカセット手段
へ搬送する為の手段、を有することを特徴とするロボッ
トディスク取扱い装置。
【請求項３２】特許請求の範囲第31項において、前記デ
ィスクの底部エッジが前記担持パネル内に最初に挿入さ
れる様に前記担持パネルに関して前記把持したディスク
を傾斜する手段が前記第１ロボットアーム手段上に設け
られていることを特徴とする装置。
【請求項３３】特許請求の範囲第31項において、前記第
１ロボットアーム手段によって前記担持パネルへ搬送さ
れる際に前記ディスクに関して前記担持パネルを傾斜す
る手段を有することを特徴とする装置。
【請求項３４】特許請求の範囲第31項において、前記中
央孔を一次的に閉塞し且つ前記各ディスクを自動的に保
持する為の中央栓を有しており、前記第１ロボットアー
ム手段はブランクディスクを前記担持パネル内へ及びそ
こから挿入する為に前記栓を把持可能であることを特徴
とする装置。