JPH11514303A - 2つの基板ホルダを備えた基板移送装置 - Google Patents
2つの基板ホルダを備えた基板移送装置Info
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- JPH11514303A JPH11514303A JP9516678A JP51667897A JPH11514303A JP H11514303 A JPH11514303 A JP H11514303A JP 9516678 A JP9516678 A JP 9516678A JP 51667897 A JP51667897 A JP 51667897A JP H11514303 A JPH11514303 A JP H11514303A
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. ほぼX字形部材を有し、中心に近いアームがX字形部材の中心で互い に回転自在に接続された可動アームアセンブリと、 各々がX字形部材の異なる1対の端部に接続されている2つの基板ホルダと、 からなることを特徴とする基板移送装置。 2. 前記可動アームアセンブリは、X字形部材の異なる対の端部に基板ホ ルダを接続する2対の末端アームを含むことを特徴とする請求の範囲第1項記載 の基板移送装置。 3. 前記末端アームは、X字形部材の端部に回動自在に接続されているこ とを特徴とする請求の範囲第2項記載の基板移送装置。 4. X字形部材は、同軸駆動軸によって互いに回動自在に接続されている 3つのアームを有することを特徴とする請求の範囲第1項記載の基板移送装置。 5. 2つの前記基板ホルダは、伸張及び収縮の平行パスに配置され、一方 のパスが他方のパス上に直接位置していることを特徴とする請求の範囲第1項記 載の基板移送装置。 6. 中心に近いアームは、それぞれ上方アーム部及び下方アーム部を有し 、中心に近いアームの第1のものの 下方アーム部は、中心に近いアームの第2のものの上方アーム部の下方を通過す るようになっており、第2の中心に近いアームの下方アーム部は、第1の中心に 近いアームの上方アーム部の下方を通過するようになっていることを特徴とする 請求の範囲第1項記載の基板移送装置。 7. 下方アーム部は、中心に向かって突出する張出し部を有することを特 徴とする請求の範囲第6項記載の基板移送装置。 8. 第1駆動軸及び第2駆動軸を有している同軸駆動軸アセンブリと、 同軸駆動軸アセンブリに連結された4つの中心に近いアーム部を備え、中心に 近いアーム部の各々は軸アセンブリから軸アセンブリの異なる高さで伸張し、中 心に近いアーム部の第1及び第3のものは第1駆動軸に連結され、中心に近いア ーム部の第2及び第4のものは第2駆動軸に連結されている可動アームアセンブ リと、 からなることを特徴とする基板移送装置。 9. 前記可動アームアセンブリは、ほぼX字形の変形自在な構成を有して いることを特徴とする請求の範囲第8項記載の基板移送装置。 10. 前記可動アームアセンブリは、2対の末端アーム部を含み、前記2 対の末端アーム部は2つの基板ホルダを中心に近いアーム部の異なる対に接続す ることを特徴とする請求の範囲第8項記載の基板移送装置。 11. 4つの中心に近いアーム部は、3つのアーム部材だけで構成される ことを特徴とする請求の範囲第8項記載の基板移送装置。 12. 可動アームアセンブリに接続された2つの基板ホルダをさらに有し 、2つの前記基板ホルダは、伸張及び収縮の平行パスに配置され、一方のパスが 他方のパスの上方に直接位置することを特徴とする請求の範囲第8項記載の基板 移送装置。 13. 中心に近いアーム部のうちの2つは、同軸駆動軸アセンブリに向か って突出する上方張出し部を有することを特徴とする請求の範囲第8項記載の基 板移送装置。 14. 基板処理装置において処理チャンバに対して基板を移送する方法で あって、 ほぼX字形の可動アームアセンブリの交差アームをほぼX字形の中心を中心に 互いに反対方向に回転させて移動させる行程と、 2つの基板ホルダを、アームの移動に伴い、ほぼX字形の中心に対して互いに 反対方向に移動させる行程と、 からなることを特徴とする方法。 15. 交差アームを移動させる行程は、交差アームに接続された2つの同 軸駆動軸を互いに反対方向に回転させる行程を含むことを特徴とする請求の範囲 第14項記載の方法。 16. 2つの基板ホルダを移動させる行程は、ホル ダを実質的に平行に移動させて一方のホルダが他方のホルダの上方を移動する行 程からなることを特徴とする請求の範囲第14記載の方法。 17. 基板処理装置において処理チャンバに対して基板を移送する方法で あって、 伸張位置と収縮位置との間で移動可能な2つの基板ホルダを基板移送装置に供 給する行程と、 伸張位置と収縮位置との間で一斉に反対方向に2つの基板ホルダを移動させて 、第2のホルダが第1のホルダの上方を移動する行程と、 からなることを特徴とする方法。 18. 基板移送装置を供給する行程は、可動アームアセンブリに再構成可 能なほぼX字形部材を供給することを特徴とする請求の範囲第17項記載の方法 。 19. 駆動軸アセンブリと、 駆動軸アセンブリに取り付けられた可動アームアセンブリと、 可動アームアセンブリに接続された2つの基板ホルダと、を有し、 可動アームアセンブリは、少なくとも2つの前腕部を有し、各前腕部は別々の 基板ホルダに接続され、両前腕部は駆動軸アセンブリに対して伸張自在であって 基板ホルダを中心に対して回転移動させずに駆動軸アセンブリの中心に対して外 側に同じ方向へ基板ホルダを移動させることを特 徴とする基板移送装置。 20. 駆動アセンブリと、駆動アセンブリに取り付けられた可動アームア センブリと、可動アームアセンブリに接続された少なくとも2つの基板ホルダと を有する基板移送装置において、 可動アームアセンブリは、可動アームアセンブリの同一側部に可動アームアセ ンブリの中心に対して基板ホルダを伸張したり収縮するように適切な形状を有し て構成されていることを特徴とする基板移送装置。 21. 基板ホルダの一方は、他方の基板ホルダの上方の面内に位置するこ とを特徴とする請求の範囲第20項記載の装置。 22. 可動アームアセンブリは、駆動アセンブリの中心を中心として基板 ホルダを回転させずに、基板ホルダを平行パスにおいて伸張させ収縮せしめる手 段を含むことを特徴とする請求の範囲第20項記載の装置。 23. 基板処理装置において処理チャンバに対して基板を移送する方法で あって、 可動アームアセンブリの中心を中心として可動アームアセンブリの駆動アーム を互いに反対方向に移動させる行程と、 駆動アームの移動に伴い、可動アームアセンブリの中心に対して互いに反対方 向に可動アームアセンブリの同一側部の2つの基板ホルダを移動させる行程と、 からなることを特徴とする方法。 24. 駆動アームを移動させる行程は、駆動アームに接続された2つの同 軸駆動軸を互いに反対方向に回転させる行程からなることを特徴とする請求の範 囲第23項記載の方法。 25. 2つの基板ホルダを移動させる行程は、ホルダをほぼ平行パスに 沿って移動させて一方のホルダが他方のホルダの上方を移動する行程からなるこ とを特徴とする請求の範囲第23項記載の方法。
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