JPH03212950A - ウエハー移替え装置 - Google Patents
ウエハー移替え装置Info
- Publication number
- JPH03212950A JPH03212950A JP2008725A JP872590A JPH03212950A JP H03212950 A JPH03212950 A JP H03212950A JP 2008725 A JP2008725 A JP 2008725A JP 872590 A JP872590 A JP 872590A JP H03212950 A JPH03212950 A JP H03212950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafers
- wafer
- cassettes
- holding parts
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、ウェハーの移替え装置に関する。
［従来の技術］
従来の枚葉式ウェハー移替え装置は、第２図に示すごと
（、ウェハー保持部２を１箇所有し、第一のウェハーカ
セットＢから第二のウェハーカセット９へウェハーを移
替えるときには、ウェハーを１枚づつウェハー保持部に
保持した後、第一のカセット８から取り出し、取出し機
構全体が第二のカセット９の方向へ反転し、ウェハーを
第二のカセットへ収納する方法が知られていた。
（、ウェハー保持部２を１箇所有し、第一のウェハーカ
セットＢから第二のウェハーカセット９へウェハーを移
替えるときには、ウェハーを１枚づつウェハー保持部に
保持した後、第一のカセット８から取り出し、取出し機
構全体が第二のカセット９の方向へ反転し、ウェハーを
第二のカセットへ収納する方法が知られていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来の枚葉式ウェハー移替え装置では一方のウ
ェハーカセットから他方のウェハーカセットへウェハー
を１枚づつ移動することになる一例として、異なる２つ
のカセッ）Ａ、Ｂがあり、ともにウェハーが充填されて
おり、Ａに収納されているウェハーをＢへ、ＢＫ収納さ
れているウェハーをＡへ移替えたい場合を考える。従来
の技術でこのような移替えを行なうためには、第３のカ
セット○を用意し、Ａの収納ウェハーをＣへ移替え、続
いてＢの収納ウェハーをＡへ移替え、最後にＣに一時収
納されたウェハーをＢへ移替えるという手順で行なわな
ければならないという課題を有していた。
ェハーカセットから他方のウェハーカセットへウェハー
を１枚づつ移動することになる一例として、異なる２つ
のカセッ）Ａ、Ｂがあり、ともにウェハーが充填されて
おり、Ａに収納されているウェハーをＢへ、ＢＫ収納さ
れているウェハーをＡへ移替えたい場合を考える。従来
の技術でこのような移替えを行なうためには、第３のカ
セット○を用意し、Ａの収納ウェハーをＣへ移替え、続
いてＢの収納ウェハーをＡへ移替え、最後にＣに一時収
納されたウェハーをＢへ移替えるという手順で行なわな
ければならないという課題を有していた。
本発明の目的は、前述したような手順によらず簡単に、
しかも−時保管用の容器を使用することな（、短時間で
ウェハーの移替えができるウェハー移替え装置を提供す
ることにある。
しかも−時保管用の容器を使用することな（、短時間で
ウェハーの移替えができるウェハー移替え装置を提供す
ることにある。
［課題を解決するための手段］
本発明のウェハー移替え装置は、前記のような課題を解
決するため、２枚の異なるウェハーを保持する２つのウ
ェハー保持部と、該２つのウェハー保持部を移動させる
駆動手段と、該駆動手段全体を回転させる手段を有する
ことを特徴とする。
決するため、２枚の異なるウェハーを保持する２つのウ
ェハー保持部と、該２つのウェハー保持部を移動させる
駆動手段と、該駆動手段全体を回転させる手段を有する
ことを特徴とする。
［実施例コ
第１図は、本発明のウェハー移替え装置により第一のカ
セット８の収納ウェハーを第二のカセット９へ枚葉移替
えすると同時に、第二のカセット９の収納ウェハーを第
一のカセット８へ移替よるときの実施例を示すものであ
る。第１図（α）は２ケ所のウェハー保持部２上に移替
えられるウェハー１が保持されている状態である。２つ
のウェハー保持部２は、リンク機構３に連結されている
。更にリンク機構３は、ステージ４上に固定された２つ
のシリンダ５によって駆動し、ロッド６が伸びた状態で
カセット８及び９のウェハーにウェハー保持部が達する
。
セット８の収納ウェハーを第二のカセット９へ枚葉移替
えすると同時に、第二のカセット９の収納ウェハーを第
一のカセット８へ移替よるときの実施例を示すものであ
る。第１図（α）は２ケ所のウェハー保持部２上に移替
えられるウェハー１が保持されている状態である。２つ
のウェハー保持部２は、リンク機構３に連結されている
。更にリンク機構３は、ステージ４上に固定された２つ
のシリンダ５によって駆動し、ロッド６が伸びた状態で
カセット８及び９のウェハーにウェハー保持部が達する
。
第１図（α）の状態からシリンダ５０ロツド６が縮むと
、ウェハー１はカセット８及び９から同時に引き出され
る。絖いてステージ４全体が架台７上で１８０度回転し
、反対側のカセットにウェハー保持部２が向けられる。
、ウェハー１はカセット８及び９から同時に引き出され
る。絖いてステージ４全体が架台７上で１８０度回転し
、反対側のカセットにウェハー保持部２が向けられる。
この回転途中の状態を示すのが第１図（ｈ）である。反
対側のカセットにウェハー保持部が向いた後は、ウェハ
ー１の取出し手順と逆の手順でウェハー１をカセット８
及び９に同時に挿入する。続いてウェハー１をそれぞれ
のカセット内に置いた後、ロッド６を縮めウェハー保持
部にウェハーを置かないままカセットから離す。次に、
ステージ４全体をカセットのスロットのピッチ分だけ上
下方向に移動させる以上に述べた、第１のカセット８及
び第２のカセットそれぞれ１枚のウェハーを交換手順を
、それぞれのカセット８及び９の収納枚数分だけくり返
すと、すべてのウェハーの移替えが完了する。
対側のカセットにウェハー保持部が向いた後は、ウェハ
ー１の取出し手順と逆の手順でウェハー１をカセット８
及び９に同時に挿入する。続いてウェハー１をそれぞれ
のカセット内に置いた後、ロッド６を縮めウェハー保持
部にウェハーを置かないままカセットから離す。次に、
ステージ４全体をカセットのスロットのピッチ分だけ上
下方向に移動させる以上に述べた、第１のカセット８及
び第２のカセットそれぞれ１枚のウェハーを交換手順を
、それぞれのカセット８及び９の収納枚数分だけくり返
すと、すべてのウェハーの移替えが完了する。
本実施例では、カセットとカセットとの収納ウェハーの
移替えを例として用いているが、拡散炉などの熱処理装
置に用いるウェハーボードとカセット間のウェハー移替
えに適用しても同様の効果が得られることは言うまでも
ない。
移替えを例として用いているが、拡散炉などの熱処理装
置に用いるウェハーボードとカセット間のウェハー移替
えに適用しても同様の効果が得られることは言うまでも
ない。
［発明の効果コ
以上述べたように、本発明のウェハー移替え装置によれ
ば、２つのウェハー保持部持つことＫより、枚葉式ウェ
ハー移替え時間を約６分の１に低減するとともに、従来
技術で必要とされたウェハーの一時保管用のカセットを
使用せずに移替えることができるという効果がある。
ば、２つのウェハー保持部持つことＫより、枚葉式ウェ
ハー移替え時間を約６分の１に低減するとともに、従来
技術で必要とされたウェハーの一時保管用のカセットを
使用せずに移替えることができるという効果がある。
第１図（α＞ ＃ ＜ｂ＞は、本発明のウェハー移替え
装置の平面図。 第２図は、従来技術によるウェハー移替え装置の平面図
。 １・・・・・−・・°ウェハー ２・・・・・・・・・ウェハー保持部 ６・・・・・・・・・リンク機構 ４・・・・・・・・・ステージ ５・・・・・・・・・シリンダ ６・・・・・・・・・ロッド ７・・・・・・・・・架 台
装置の平面図。 第２図は、従来技術によるウェハー移替え装置の平面図
。 １・・・・・−・・°ウェハー ２・・・・・・・・・ウェハー保持部 ６・・・・・・・・・リンク機構 ４・・・・・・・・・ステージ ５・・・・・・・・・シリンダ ６・・・・・・・・・ロッド ７・・・・・・・・・架 台
Claims (1)
- ２枚の異なるウェハーを保持する２つのウェハー保持部
と、該２つのウェハー保持部を移動させる駆動手段と、
該駆動手段全体を回転させる手段とを有することを特徴
とするウェハー移替え装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008725A JPH03212950A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | ウエハー移替え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008725A JPH03212950A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | ウエハー移替え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03212950A true JPH03212950A (ja) | 1991-09-18 |
Family
ID=11700931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008725A Pending JPH03212950A (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 | ウエハー移替え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03212950A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0430447A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の移し換え装置 |
| JPH11514303A (ja) * | 1995-10-27 | 1999-12-07 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | ２つの基板ホルダを備えた基板移送装置 |
-
1990
- 1990-01-18 JP JP2008725A patent/JPH03212950A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0430447A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板の移し換え装置 |
| JPH11514303A (ja) * | 1995-10-27 | 1999-12-07 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | ２つの基板ホルダを備えた基板移送装置 |
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