KR19990067126A

KR19990067126A - 이중 기판 홀더를 가진 기판 운송 장치

Info

Publication number: KR19990067126A
Application number: KR1019980703069A
Authority: KR
Inventors: 제임스 씨이. 데이비스 쥬니어; 크리스토퍼 에이. 호프마이스터
Original assignee: 스탠리 디. 피에코스; 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드
Priority date: 1995-10-27
Filing date: 1996-10-18
Publication date: 1999-08-16
Also published as: EP0862510A1; AU7517596A; JPH11514303A; TW401370B; WO1997015423A1; JP4063323B2; EP0862510A4; KR100482295B1; US5647724A; JP2008055599A

Abstract

기판 운송 장치는 가동 아암 조립체, 두 개의 기판 홀더 및 동축 구동 샤프트 조립체를 가진다. 가동 아암 조립체는 그의 중심이 동축 구동 샤프트 조립체에 연결된 전체적인 X-형상 부분을 가진다. 기판 홀더는 X-형상 부분의 다른 쌍의 아암 부분들에 연결된다. 동축 구동 샤프트 조립체는 펼쳐진 위치와 접혀진 위치와의 사이에서 동시에 역방향 운동으로 두 개의 기판 홀더를 이동시키기 위해 X-형상 부분의 아암을 서로 상대적으로 이동시킨다.

Description

이중 기판 홀더를 가진 기판 운송 장치

미국특허 제4,951,601호는 다수의 처리챔버와 기판 운송 장치를 가진 기판 처리 장치를 기술하고 있다. 미국특허 제5,180,276호는 두 개의 기판 홀더를 가진 기판 운송 장치를 기술하고 있다. 미국특허 제5,270,600호는 기판 운송 장치의 동축 구동 샤프트 조립체를 기술하고 있다.

본 발명은 기판 운송 장치에 관한 것으로, 특히 다수의 기판 홀더를 가진 강치에 관한 것이다.

본 발명의 전술한 관점 및 다른 특징들이 첨부 도면을 참조하여 이하에서 상세히 설명된다.

도1은 본 발명의 특징들을 구현하는 기판 운송 장치를 가지는 기판 처리 장치의 도식적인 평면도이다.

도2는 도1에 도시된 기판 운송 장치의 가동 아암 조립체의 X-형상 부분의 평면도이다.

도3은 부분적으로 절결된 부분을 갖는 도2에 도시된 X-형상 부분의 단면도이다.

도4A-4E는 5개의 상이한 위치에서의 가동 아암 조립체와 기판 홀더를 도시하는 도1에 도시된 기판 운송 장치의 도식적인 평면도이다.

도5는 본 발명의 다른 실시예의 부분적인 절결부분을 갖는 단면도이다.

본 발명의 일 실시예에 따라서, 가동 아암 조립체와 두 개의 기판 홀더를 구비하는 기판 운송 장치가 제공된다. 가동 아암 조립체는 그의 중심에서 인접한 아암들이 서로 회전가능하게 연결되어 전체적으로 X-형상부분을 가진다. 각각의 기판 홀더는 X-형상부분의 다른 쌍의 단부에 부착된다.

본 발명의 다른 실시예에 따라서, 동축 구동 샤프트 조립체와 가동아암 조립체를 구비하는 기판 운송 장치가 제공된다. 구동 조립체는 제1 구동 샤프트와 제2 구동 샤프트를 가진다. 가동 아암 조립체는 동축 구동 샤프트 조립체에 견고하게 연결된 4개의 인접한 아암 부분을 가진다. 인접한 아암 부분들의 각각은 샤프트 조립체의 다른 높이에서 샤프트 조립체로부터 연장한다. 인접한 아암 부분들중 제1 및 제3 부분들은 제1 구동 샤프트에 견고하게 연결되고 인접한 아암 부분들중 제2 및 제4 부분들은 제2 구동 샤프트에 견고하게 연결된다.

본 발명의 한 방법에 따라서, 기판 처리 장치에서 처리 챔버의 내부 및 외부로 기판을 운송하는 방법은 전체적인 X-형상의 중심에 대해 회전방향의 반대방향으로 전체적인 X-형상의 가동 아암 조립체의 크로스 아암을 이동하는 단계, 및 아암들이 이동될 때 전체적인 X-형상의 중앙에 대해 반대방향으로 두 개의 기판 홀더를 이동하는 단계를 구비한다.

본 발명의 다른 방법에 따라서, 기판 처리 장치에서 처리 챔버의 내부 및 외부로 기판을 운송하는 방법은 기판 운송 장치에 펼쳐진 위치와 접혀진 위치와의 사이를 이동하는 두 개의 기판 홀더를 제공하는 단계, 및 홀더들중 제1 홀더를 홀더들중 제2 홀더의 위로 이동시켜 그들의 펼쳐진 위치와 접혀진 위치와의 사이에서 일제히 반대로 두 개의 기판 홀더를 이동시키는 단계를 구비한다.

도1을 참조하면, 본 발명의 특징들을 구현하는 기판 운송 장치(12)를 가지는 기판 처리 장치(10)의 도식적인 평면도가 도시되어 있다. 본 발명이 도면에 도시된 실시예를 참조로 기술된다고 할지라도, 본 발명은 많은 형태의 다른 실시예에서도 구현될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 부가적으로, 모든 적합한 크기, 형상 또는 형태의 재료 또는 부분들이 사용될 수 있다.

기판 운송 장치(12)에 부가하여, 기판 처리 장치(10)는 다수의 기판 처리 챔버(14)와 챔버(15)에 연결된 기판 카세트 엘리베이터(16)를 포함한다. 수송 장치(12)는 적어도 부분적으로 챔버(15)내에 위치되며 챔버(14)와 엘리베이터(16) 사이 및/또는 그 중에, 반도체 웨이퍼 또는 평 패널 디스플레이와 같은 그러한 평평한 기판을 수송하기에 적합하다. 다른 실시예에서, 기판 운송 장치(12)는 모든 적합한 형태의 기판 처리 장치에 사용될 수 있다. 또한, 도2, 도3 및 도4E를 참조하면, 운송 장치(12)는 일반적으로 가동 아암 조립체(18), 동축 구동 샤프트 조립체(20), 및 두 개의 기판 홀더(22, 23)를 구비한다. 동축 구동 샤프트 조립체(20)는 제2 샤프트(26)내측에 회전가능하게 위치된 제1 샤프트(24)를 포함한다. 두 개의 샤프트(24, 26)는 서로에 대해 같은 방향으로 그리고 반대 방향으로 서로 조화하여 축방향으로 회전할 수 있고, 화살표(Z)로 표시된 바와같이 서로 상향 및 하향으로 이동할 수 있다. 그러한 동축 구동 샤프트 조립체는 참조로 본 명세서에 포함된 미국 특허 제5,270,600호에 기술되어 있다. 그러나, 모든 적합한 형태의 구동 조립체는 두 개 이상의 구동 샤프트를 갖는 동축 구동 조립체 또는 비-동축 구동 조립체를 포함하여 사용될 수 있다.

가동 아암 조립체(18)는 전체적인 X-형상 부분(28) 및 4개의 말단 아암(30, 31, 32, 33)을 구비한다. 말단 아암(30, 31, 32, 33)은 기판 홀더(22, 23)를 X-형상 부분(28)에 연결한다. X-형상 부분(28)은 두 개의 크로스 아암(42, 43)의 4개의 말단 아암 부분(38, 39, 40, 41)을 형성하는 3개의 아암 부재(34, 35, 36)를 가진다. 부분(28)은 X-형상을 이루는 것으로 언급되어 있다. 그러나, 두 개의 아암(42, 43)은 구동 샤프트 조립체(20)에 대한 그들의 중심 연결부에서 서로 상대적으로 이동할 수 있다. 따라서, X-형상 부분(28)은 이동가능한 또는 형을 바꿀수 있는 X-형상으로 이루어진다. 도1 및 도4C에 도시된 한 위치에서, X-형상 부분은 두 개의 아암(42, 43)이 서로 직접 정렬되기 때문에 그의 전체적인 X-형상을 느슨하게 한다. 그러나, 모든 다른 비-정렬된 위치에서, 상기 부분(28)은 전체적인 X-형상의 프로필을 가진다. 따라서, 상기 부분(28)은 보다 좋은 기술용어로 표현하기가 어렵기 때문에 X-형상 부분으로서 언급된다. 두 개의 크로스 아암(42, 43)은 전체적인 X-형상을 이루고 있다. 제1 아암(42)은 제1 및 제3 아암 부분(38, 40)을 이루는 제1 아암 부재(34)를 구성한다. 제2 아암(43)은 제2 및 제4 아암 부분(39, 41)을 이루는 제2 및 제3 아암부재(35, 36)를 구성한다.

도3에 가장 잘 도시된 바와같이, 제1 아암 부재(34)는 스크류(44)에 의해 제1 구동 샤프트(24)에 견고하게 부착된다. 제1 아암 부분(38)은 그의 말단부에 피벗(46)을 가지며 제1 높이에서 샤프트 조립체(20)에 연결된다. 정지부재(48)는 제1 아암 부분(38)의 아래로 연장한다. 제3 아암 부분(40)은 제1 아암 부분(38)과 일체로 형성된다. 제3 아암 부분(40)은 구동 샤프트 조립체(20)가 그곳을 통과하게 하는 구멍(50)을 가진다. 제3 아암 부분(40)은 조립체(20)상의 제3 높이에서 구동 샤프트 조립체(20)로부터 연장한다. 피벗(54)을 가지는 상부 돌출 부분(52)을 갖는 상부 연장부(51)는 제3 아암 부분(40)의 말단부에 위치된다. 돌출 부분(52)은 X-형상의 중심을 향하여 내측방향으로 연장한다. 제2 아암 부분(39)는 구동 샤프트 조립체(20)로 하여금 그곳을 통과하게 하는 구멍(58)을 가진다. 제2 아암 부분(39)은 스크류(56)에 의해 제2 구동 샤프트(26)에 견고하게 부착된다. 제2 아암 부분(39)은 조립체(20)상의 제2 높이에서 구동 샤프트 조립체(20)로부터 연장한다. 직립 기둥(62)상의 피벗(60)은 제2 아암 부분(39)의 말단부에 위치된다. 제4 아암 부분(41)은 구동 샤프트 조립체(20)로 하여금 그곳을 통과하게 하는 구멍(64)을 가진다. 제4 아암 부분(41)은 스크류(66)에 의해 제2 구동 샤프트(26)에 견고하게 부착된다. 제4 아암 부분(41)의 말단부는 피벗(70)을 가지는 상부 돌출부(68)를 갖는 상부 연장부(69)를 가진다. 제4 아암 부분(41)은 조립체(20)상의 제4 높이에서 구동 샤프트 조립체로부터 연장한다. 따라서, 제4 아암 부분(38, 39, 40, 41)은 조립체(20)상의 4개의 상이한 높이에서 구동 샤프트 조립체(20)로부터 연장한다. 제3 아암 부분(40)과 제4 아암 부분(41)은 제1 및 제2 아암 부분(38, 39)의 말단부로 하여금 그곳을 통과하게 하기 위한 채널(72, 74)을 형성한다.

도4E에서 가장 잘 도시된 바와같이, 제1 말단 아암(30)은 제1 아암 부분(38)의 제1 피벗(46)상에 피벗가능하게 장착된 일 단부와 제1 기판 홀더(22)에 피벗가능하게 장착된 대향한 단부를 가진다. 제2 말단 아암(31)은 제2 아암 부분(39)의 제2 피벗(60)상에 피벗가능하게 장착된 일 단부와 제1 기판 홀더(22)에 피벗가능하게 장착된 대향한 단부를 가진다. 따라서, 제1 홀더(22)는 피벗(46, 60)의 쌍, 즉 X-형상 부분(28)의 크로스 아암(42, 43)으로 부터의 하나의 피벗에 피벗가능하게 장착된다. 제3 말단 아암(32)은 제3 아암 부분(40)의 제3 피벗(54)상에 피벗가능하게 장착된 하나의 단부와 제2 기판 홀더(23)에 피벗가능하게 장착된 대향한 단부를 가진다. 제4 말단 아암(33)은 제4 아암 부분(41)의 제4 피벗(70)상에 피벗가능하게 장착된 하나의 단부와 제2 기판 홀더(23)에 피벗가능하게 장착된 대향한 단부를 가진다. 따라서, 제2 홀더(23)는 피벗(54, 70)의 쌍, 즉 X-형상 부분(28)의 크로스 아암(42, 43)의 각각으로 부터의 하나의 피벗에 피벗가능하게 장착된다. 다른 실시예에 있어서, 말단 아암을 X-형상 부분(28) 및/또는 홀더(22, 23)에 연결하는 다른 형태가 또한 제공될 수 있다. 말단 아암(30)보다 다른 코넥터 또는 연결 조립체가 또한 제공될 수 있다.

피벗(46, 60)의 제1 쌍과 그들의 대응하는 말단 아암(30, 31)은 제1 하부 상대 이동 평면에 위치된다. 제1 기판 홀더(22)는 또한 제1 상대 하부 평면에 위치된다. 피벗(54, 70)의 제2쌍과 그의 대응하는 말단 아암(32, 33)은 제2 상대 상부 이동평면에 위치된다. 제2 기판 홀더(23)는 또한 이 제2 상대 상부 평면에 위치된다. 양호한 실시예에서, 말단 아암(30, 31)의 제1쌍은 홀더(22)를 일정한 방향으로 유지시키기 위한 동작을 등록하기 위해 상호결합된 기어 부분을 홀더(22)에 가진다. 말단 아암(32, 33)의 제2쌍도 또한 양호하게는 홀더(23)를 일정한 방향으로 유지시키기 위한 동작을 등록하기 위해 상호결합된 기어 부분을 홀더(23)에 가진다. 그러나, 홀더(22, 23)를 적절한 방향으로 유지시키기 위한 모든 적합한 형태의 시스템이 사용될 수 있다.

기판 홀더(22, 23)는 챔버(14)와 엘리베이터(16)에 삽입되고 그곳으로부터 제거되기에 적합하다. 홀더(22, 23)는 기판을 그위에 지지하기에 적합하며 이것에 의해 기판이 챔버(14)와 엘리베이터(16) 사이 및/또는 중에서 이동되게 한다. 홀더(22, 23)를 챔버 또는 엘리베이터속으로 적절히 반듯하게 삽입하기 위해 항상 외측방향으로 향하는 그러한 가동 아암 조립체(18)에 기판 홀더를 일직선으로 유지하기 위한 수단이 제공된다(도시되지 않음). 이것은 발명의 명칭이 "관절로 이어진 아암 이동 장치"인 미국특허출원 제08/421,533호에 기술된 바와같은 그러한 상호결합된 기어 이빨 또는 S-형 밴드 조인트 제한부(band joint constraint)를 가지는 홀더(22, 23)에 말단 아암(30, 31, 32, 33)의 단부들을 포함할 수 있는데, 이것은 본 명세서에 참조로 기재되어 있다. 다른 실시예에서, 모든 적합한 형태의 기판 홀더 또는 방향 제한부(orientation constraint)가 사용될 수 있다.

이제 도4A-4E를 참조하여, 기판 이동 장치(12)의 작동이 기술될 것이다. 도4C와 도1은 장치(12)가 원래의 위치에 있는 것을 도시한다. 이러한 원래의 위치에서 양측의 구동 샤프트(24, 26)는 동일한 방향으로 회전되어서 챔버(14) 또는 엘리베이터(16)중 선택된 것의 전방으로 홀더(22, 23)를 회전시킬 수 있다. 이러한 원래의 위치에서, 상부 홀더(23)는 하부 홀더(22)의 위로 위치된다. 말단 아암(33)은 말단 아암(30)의 위에 위치된다. 말단 아암(32)은 말단 아암(31)의 위에 위치된다. 제1 아암 부분(38)은 오버행 부분(68)을 제외하고는 제4 아암 부분(41)의 위에 위치된다. 제2 아암 부분(39)은 오버행 부분(52)을 제외하고는 제3 아암 부분(40)의 위에 위치된다.

도4A는 상부 홀더(23)가 펼쳐진 위치에 있고 하부 홀더(22)가 접혀진 위치에 있는 것을 도시한다. 도4B는 도4C에 도시된 원래의 위치와 도4A에 도시된 상부 홀더 연장 위치와의 사이에 있는 장치의 중간 위치를 도시한다. 이들 두 개의 위치들 사이를 이동시키기 위해, 두 개의 구동 샤프트(24, 26)가 서로에 대해 반대방향으로 축방향으로 회전된다. 도4E는 하부 홀더(22)가 펼쳐진 위치에 있고 상부 홀더(23)가 접혀진 위치에 있는 것을 도시한다. 도4D는 도4C에 도시된 원래의 위치와 도4E에 도시된 하부 홀더 연장 위치와의 사이에 있는 장치(12)의 중간 위치를 도시한다. 두 개의 홀더(22, 23)는 그들의 펼쳐진 위치와 그들의 원래의 위치와의 사이에서 반대방향으로 일제히 이동되고 상부 홀더(23)는 하부 홀더(22)의 위에서 평면으로 이동한다. 가동 아암 조립체(18)는 홀더를 X-형상 부분의 중심에 더욱 가깝게 이동하도록 홀더가 접혀지기에 충분한 공간을 허용한다. 정지부재(48)는 두 개의 크로스 아암(42, 43)이 축방향으로 서로 회전하는 것을 제한한다. 가동 아암 조립체(18)는 각각의 아암(42, 43)이 약 160°회전할 수 있도록 설계된다. 그러나, 다른 실시예에서 다른 회전각도가 제공될 수 있다. X-형상 부분(28)은 도4A 및 도4E에 도시된 위치들 사이에서 아암 부분들(38, 39, 40, 41)의 방해받지 않는 이동과 그들 두 개의 상이한 상대 평면 운동에서 말단 아암과 홀더의 방해받지 않는 이동을 허용하도록 설계되었다. 이것은 두 개의 홀더(22, 23)가 조립체(18)의 같은 측면상에 위치되게 한다. 두 쌍의 말단 아암(30, 31 및 32, 33)은 그들 각각의 기판 홀더(22, 23)에 대한 팔뚝 부분으로서 작용한다. 다른 실시예에서 둘 이상의 기판 홀더가 제공될 수 있고, 및/또는 조립체(12)의 부가적인 측면들상에 위치될 수 있다. 구동 샤프트 조립체(20)는 홀더(22, 23)를 Z-방향(도3 참조)으로 수직하게 이동시켜 연장될 홀더를 원하는 수용 챔버(14) 또는 엘리베이터(16)의 개구에 정렬시킨다. 조립체의 같은 측면상에 두 개의 홀더(22, 23)를 위치설정하는 것은 기판 처리 장치(10)에서의 스루풋(throughput)을 가속화시킬 수 있다. 장치(12)의 같은 측면상에 홀더(22, 23)를 위치설정하는 것은 홀더로 하여금 실제로 평행한 통로를 따라 이동하게 하고, 한 홀더가 다른 홀더의 위에 배치되고, 한 홀더가 다른 홀더위에서 평면적으로 이동하게 함으로써 성취된다.

이제 도5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예가 도시된다. 운송 장치(112)는 두 개의 구동 샤프트(124, 126)와 동축의 구동 샤프트 조립체(120)를 가진다. 가동 아암 조립체(118)는 4개의 구동 아암(138, 139, 140, 141)과 4개의 구동 아암 또는 팔뚝 부분(130, 131, 132, 133)을 가진다. 두개의 홀더(122, 123)는 팔뚝 부분(130, 131, 132, 133)의 단부에 부착된다. 이 실시예에서, 제2 및 제4 구동 아암(139, 141)은 패스너(156)(그중 하나만 도시됨)에 의해 서로 견고하게 연결된다. 제4 구동 아암(141)은 패스너(166)(그중 하나만 도시됨)에 의해 외측 구동 샤프트(126)의 상부에 견고하게 부착된다. 따라서, 외측 구동 샤프트(126)가 이동될 때, 제2 및 제4 구동 아암(139, 141)가 이동된다. 제3 구동 아암(140)은 패스너(140b)가 부착되는 부분(140a)을 가진다. 패스너(140b)는 또한 제1 구동 아암(138)의 부분(138a)에 부착된다. 이것은 제1 구동 아암(138)을 제3 구동 아암(140)에 견고하게 부착한다. 제4 구동 아암(141)은 부분(140a)으로 하여금 그곳을 통해 이동시키도록 하기위한 포켓(180)을 가진다. 제1 구동 아암(138)은 패스너(144)(그중 두 개만 도시됨)에 의해 내측 구동 샤프트(124)의 상부에 견고하게 부착된다. 제3 구동 아암(140)은 그위에 피벗(154)을 가지는 그곳에 부착된 연장부(151)를 가진다. 마찬가지로, 제4 구동 아암(141)은 피벗(170)을 가지는 그곳에 부착된 연장부(169)를 가진다. 제1 및 제2 구동 아암(138, 139)은 또한 피벗(146, 160)을 각각 가진다. 제4 팔뚝 부분(130, 131, 132, 133)은 적합한 베어링에 의해 피벗(146, 154, 160, 170)상에 장착된다. 이 실시예는 도3에 도시된 실시예보다 더 콤팩트하며 제조하기가 더 용이하다. 또한 구동 아암은 그들 각각의 구동 샤프트에 대해 상대적으로 이동할 기회가 실제로 없다.

또 다른 실시예에서, 두 개의 구동 샤프트 조립체가 사용될 수 있다; 하나는 챔버(15)속으로 상향으로 연장하며 다른 하나는 챔버(15)속으로 하향으로 연장한다. 도1을 참조하면, 구동 아암이 구동 샤프트의 한 측면상에서 단일의 반경방향으로 펼쳐지고 또 접혀질 수 있기 때문에, 기판 홀더는 챔버(14) 또는 엘리베이터(16)의 하나로부터 기판을 후퇴시킬 수 있고 구동 샤프트 조립체의 중심축을 중심으로 기판 홀더를 회전시키는 일이 없이 같은 챔버(14) 또는 엘리베이터(16)속으로 기판을 삽입할 수 있다. 이것은 명백히 기판을 수송하는 시간을 절약할 수 있다. 구동 아암과 기판 홀더를 구동 샤프트 조립체의 같은 측면상에 가지는 능력은 본 발명의 주요 특징 및 개선이다.

전술한 설명은 본 발명을 예시적으로만 설명한 것이라는 점이 이해되어야 한다. 다양한 대안 및 변형예가 본 발명의 정신으로부터 벗어나지 않고 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 창작될 수 있다. 따라서, 본 발명은 첨부된 특허청구의 범위의 범주내에 들어가는 모든 그러한 대안, 변형예, 및 변화를 포함해야 한다.

Claims

기판 운송 장치에 있어서,

X-형상 부분의 중심에서 인접하는 아암들이 회전가능하게 서로 연결되는 전체적인 X-형상 부분을 가지는 가동 아암 조립체, 및

홀더들의 각각이 X-형상 부분의 다른 쌍의 말단들에 연결되는 두 개의 기판 홀더를 구비함을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제1항에 있어서, 가동 아암 조립체는 기판 홀더를 X-형상 부분의 다른 쌍의 단부에 연결하는 두쌍의 말단 아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제2항에 있어서, 말단 아암은 X-형상 부분의 단부에 피벗가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제1항에 있어서, X-형상 부분은 동축 구동 샤프트에 의해 피벗가능하게 서로 연결된 3개의 아암을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제1항에 있어서, 두 개의 기판 홀더는 한 통로가 다른 통로의 바로 위에 위치되어 펼쳐지고 또 접혀지는 평행한 통로내에 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제1항에 있어서, 인접한 아암들은 각각 상부 아암 부분과 하부 아암 부분을 가지며, 인접 아암의 제1 부분은 인접 아암의 제2 부분의 상부 아암 부분의 아래를 통과하기에 적합하며, 제2 인접 아암의 하부 아암 부분은 제1 인접 아암의 상부 아암 부분의 아래를 통과하기에 적합 한 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제6항에 있어서, 하부 아암 부분은 중심을 향해 돌출하는 오버행 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
기판 운송 장치에 있어서,

제1 구동 샤프트와 제2 구동 샤프트를 가지는 동축 구동 샤프트 조립체, 및

4개의 인접 아암 부분들이 동축 구동 아암 조립체에 견고하게 연결되며, 인접 아암 부분들의 각각은 샤프트 조립체의 다른 높이에서 샤프트 조립체로부터 연장하고, 인접 아암 부분들의 제1 및 제3 부분은 제1 구동 샤프트에 견고하게 연결되며, 인접 아암 부분들의 제2 및 제4 부분은 제2 구동 샤프트에 견고하게 연결되는 가동 아암 조립체를 구비함을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제8항에 있어서, 가동 아암 조립체는 전체적으로 교환가능한 X-형상 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제8항에 있어서, 가동 아암 조립체는 두 개의 기판 홀더를 다른 쌍의 인접 아암 부분에 연결하는 두쌍의 말단 아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제8항에 있어서, 4개의 인접 아암 부분들은 3개의 아암 부재들만으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제8항에 있어서, 두 개의 기판 홀더가 가동 아암 조립체에 연결되며, 두 개의 기판 홀더는 펼쳐지고 또 접혀지는 평행한 통로에 위치되고 한 통로가 다른 통로의 바로 위에 위치되도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제8항에 있어서, 인접 아암 부분들은 동축 구동 샤프트 조립체를 향해 돌출하는 상부 오버행 부분들을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
기판을 기판 처리 장치의 처리 챔버의 내부 및 외부로 운송하기 위한 방법에 있어서,

전체적인 X-형상의 중심에 대해 반대방향의 회전으로 전체적인 X-형상 가동 아암 조립체의 크로스 아암을 이동시키며,

아암이 이동될 때 전체적인 X-형상의 중심에 대해 상대적인 반대 방향으로 두 개의 기판 홀더를 이동시키는 단계를 구비함을 특징으로 하는 방법.
제14항에 있어서, 크로스 아암을 이동시키는 단계는 반대의 회전방향으로 크로스 아암에 연결된 두 개의 동축 구동 샤프트를 회전시키는 단계를 구비함을 특징으로 하는 방법.
제14항에 있어서, 두 개의 기판 홀더를 이동시키는 단계는 홀더의 하나가 홀더의 다른 하나의 위에서 이동하는 상태로 실제로 평행한 통로를 따라 홀더를 이동시키는 단계를 구비함을 특징으로 하는 방법.
기판을 기판 처리 장치의 처리 챔버의 내부 및 외부로 운송하기 위한 방법에 있어서,

두 개의 기판 홀더가 펼쳐진 위치와 접혀진 위치와의 사이를 이동할 수 있는 기판 운송 장치를 제공하며,

홀더의 제2 부분이 홀더의 제1 부분의 위로 이동하는 상태로 펼쳐진 위치와 접혀진 위치와의 사이를 동시에 반대방향으로 두 개의 기판 홀더를 이동시키는 단계를 구비함을 특징으로 하는 방법.
제17항에 있어서, 기판 운송 장치를 제공하는 단계는 재배치가능한 전체적인 X-형상 부분을 가동 아암 조립체에 제공하는 것을 특징으로 하는 방법.
기판 운송 장치에 있어서,

구동 샤프트 조립체,

구동 샤프트 조립체에 장착된 가동 아암 조립체, 및

가동 아암 조립체에 연결된 두 개의 기판 홀더를 구비하며,

가동 아암 조립체는 적어도 두 개의 팔뚝 부분을 가지며, 각각의 팔뚝 부분은 기판 홀더에 독립적으로 연결되며, 팔뚝 부분들은 중심에 관하여 기판 홀더를 회전가능하게 이동시키지 않고 구동 샤프트 조립체의 중심에 관하여 외측으로 동일한 방향으로 기판 홀더를 이동시키기 위해 구동 샤프트 조립체에 관해 펼쳐질 수 있는 것을 특징으로 하는 이중 기판 홀더를 가진 기판 운송 장치.
구동 조립체, 구동 조립체에 장착된 가동 아암 조립체, 및 가동 아암 조립체에 연결된 적어도 두 개의 기판 홀더를 가지는 기판 운송 장치에 있어서,

가동 아암 조립체의 같은 측면상의 가동 아암 조립체의 중심에 대해 기판 홀더를 연장 및 수축시키 적합하게 형성 및 배열된 가동 아암 조립체를 구비함을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제20항에 있어서, 기판 홀더의 하나는 다른 기판 홀더 위의 평면에 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
제20항에 있어서, 가동 아암 조립체는 구동 조립체의 중심에 대해 기판 홀더를 회전시키지 않고 평행한 통로에서 기판 홀더를 펼쳐지게 하고 또 접혀지게 하기 위한 수단을 구비함을 특징으로 하는 기판 운송 장치.
기판을 기판 처리 장치의 처리 챔버의 내부 및 외부로 운송하기 위한 방법에 있어서,

가동 아암 조립체의 중심에 대해 반대 회전 방향으로 가동 아암 조립체의 구동 아암을 이동시키며,

구동 아암이 이동될 때 가동 아암 조립체의 중심에 관하여 반대방향으로 가동 아암 조립체의 같은 측면상에서 두 개의 기판 홀더를 이동시키는 단계를 구비함을 특징으로 하는 방법.
제23항에 있어서, 구동 아암은 구동 아암에 연결된 두 개의 동축 구동 샤프트를 반대 회전 방향으로 회전시키는 단계를 구비함을 특징으로 하는 방법.
제23항에 있어서, 두 개의 기판 홀더를 이동시키는 단계는 홀더의 하나가 홀더의 다른 하나의 위에서 이동하는 상태로 실제로 평행한 통로들을 따라서 홀더를 이동시키는 단계를 구비함을 특징으로 하는 방법.