JPH1092897A - 搬送ロボット及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空搬送ロボットにおける剛性低下を防ぎ、
粉塵の発生を抑制する。 【解決手段】 回転駆動機構１０１に接続した第１のウ
ィング１０３を反時計回りに、回転駆動機構１０２に接
続した第２のウィング１０４を時計回りに各々同じ角度
動かすとリンク機構によりフォーク１２２は図の下方向
に駆動する。このときフォーク１２２上の第１のアーム
１０７、第２のアーム１０９とサブアーム１１８、１１
９はそれぞれ異なる軸上を回転するために動作が拘束さ
れ、フォーク１２２は回転することなく、直進すること
が可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送ロボット及び
搬送方法に関するものであって、特に詳しくは、半導体
製造設備内において、真空室内でウエハ等を所望の位置
に移動することのできる真空搬送ロボット及びその搬送
方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、真空処理室内でウエハ等を所
望の位置に移動、搬送する搬送装置、搬送ロボットに関
しては多くの技術が開示されて来ている。その中でも、
リンク機構を使用してウエハ等を搭載するフォーク部を
直線的に往復動させると同時に、所定の旋回動作を行わ
せる搬送ロボットが知られており、その代表的な従来の
技術としては、図４Ａから図４Ｃに示されるようなウエ
ハ搬送ロボットがある。

【０００３】即ち、図４の搬送ロボットに於いては、真
空用の回転駆動機構２０１と、前記回転駆動機構２０１
と同心で動作する回転駆動機構２０２と、前記回転駆動
機構２０１に結合され回転動作する第１のウィング２０
３と、前記回転駆動機構２０２に結合され回転する第２
のウィング２０４と、前記第１のウィング２０３上に配
置された回転機構２０５と、前記第２のウィング２０４
上に、前記回転駆動機構２０２の動作中心から、前記回
転駆動機構２０１の動作中心と前記回転機構２０５の間
の距離、と等距離に配置された回転機構２０６と、前記
回転機構２０５に結合され回転動作する第１のアーム２
０７と、前記回転機構２０６に結合され回転動作する第
２のアーム２０８と、前記第１のアーム２０７上に配置
された回転機構２０９と、前記第２のアーム２０８上
に、前記回転機構２０５と前記回転機構２０９との間の
距離と同一の距離で前記回転機構２０６から配置された
回転機構２１０と、前記回転機構２０９と同心で配置さ
れた同期歯車２１１と、前記回転機構２１０と同心で配
置された同期歯車２１２と、前記第１のアーム２０７と
第２のアーム２０８が前記第１のウィング２０３及び第
２のウィング２０４に対して等角度動作を可能にするた
めに、前記同期歯車２１１、同期歯車２１２を配置され
たフォーク２１３を含んで構成される。

【０００４】上記した同期歯車の詳細な構成例は、図５
に例示されている。係る構成からなる搬送ロボットは、
回転駆動機構２０１に接続した第１のウィング２０３が
反時計回りに、回転駆動機構２０２に接続された第２の
ウィング２０４が時計回りに、共に同一の摺動平面内
で、同じ角速動作すると、第１のアーム２０７と第２の
アーム２０８を介してフォーク２１３は図４Ｂに示す図
４Ａの側面図の上下の方向に動作する。

【０００５】尚図４Ｃは、図４Ａで示される搬送ロボッ
トの正面図である。このとき、同期歯車２１１、２１２
により第１のアーム２０７と第２のアーム２０８は第１
と第２のウィング２０３、２０４に対して同じ角度で動
作するため、フォーク２１３は回転することなく直進す
ることができる。又、特開昭６２−１９１３０８号公報
には、４本のロッドが１対の駆動歯車と１対の従動歯車
とによって２組の歯車によってフォーク部を前後動させ
る機構が示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、係る従
来の搬送装置ではウエハ搬送には不向きである。なぜな
ら、従来に於いては、係るリンク機構による搬送ロボッ
トのフォークの直進性を高めるため、歯車を使用する必
要が有った。つまり、係るリンク機構に於いては、如何
に精密に各部品を設計製作しても、それぞれの部品に於
ける設計マージンが存在するので、フォーク部を前後動
させる際に左右に微小に揺動する事がある。

【０００７】近年の高密度化、高微細化された半導体の
加工処理に際しては、係る微小な揺動、或いは微小なず
れも問題となる。従って、上記第１と第２のアーム部の
接点部には、歯車を使用せざるを得ない状態である。然
しながら、歯車を使用する事は、歯車同志の摩擦接触に
よって材料を磨耗させ、粉塵が発生するため、特に真空
処理室内では、製品に重大の欠点が発生する恐れがあ
り、又当該歯車間でのクリアランスによって、バックラ
ッシュが発生して、位置ずれが発生する他、歯車による
変形が発生して、当該リンク機構の剛性が低下し、フォ
ークが左右にふらつくと言う問題も発生している。

【０００８】一方、上記リンク部の各ロッドをチェーン
或いはベルト等で積極的に駆動させる事により、上記の
問題は解決できるが、ゴミ、塵の発生の他、当該リンク
機構の重量が増加して、駆動エネルギーの増加、撓みの
発生等の別の問題も発生する。本発明の目的は、上記し
た従来技術の欠点を改良し、歯車を使用せずに、リンク
機構を構成し、バックラッシュによる剛性の低下を防止
し、且つゴミ、塵、粉塵等の発生を抑制しえる真空処理
室内での適用に適した搬送ロボットを提供するものであ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、基本的には以下に記載されたような技術
構成を採用するものである。即ち、本発明にかかる第１
の態様としては、第１の回転駆動手段に結合されて一つ
の平面内で揺動する第１のウイング部、該第１の回転駆
動手段の回転軸と同芯状に配置された第２の回転駆動手
段に結合されて前記と同一の平面内で且つ該第１のウイ
ング部と反対の方向に揺動する第２のウイング部、該第
１のウイング部の先端部に適宜の第１のウイング回転機
構部を介して旋回自在に取りつけられている第１のアー
ム部、該第２のウイング部の先端部に適宜の第２のウイ
ング回転機構部を介して旋回自在に取りつけられている
第２のアーム部、該第１のアーム部と該第２のアーム部
の先端部に適宜の第１アーム回転機構部と第２アーム回
転機構部とを介して取り付けられている単一のフォーク
部とから構成され、当該第１と第２のウイング部と当該
第１と第２のアーム部とが同一平面内で摺動する４つ棒
リンク機構を構成して、当該フォーク部に回転運動と所
定の方向への直線的運動を付与せしめる様に構成された
搬送ロボットに於いて、当該回転駆動手段の近傍に設け
られた第１の補助回転機構部に旋回自在に取り付けられ
た第３のウイング部と該第３のウイング部の先端部に適
宜の第３のウイング回転機構部を介してその一端部が旋
回自在に取りつけられ、その他端部が、該フォーク部の
適宜の部位に設けられている第２の補助回転機構部に旋
回自在に取り付けられた第３のアーム部とで構成された
少なくとも一つの補助リンク部が、その摺動平面が該４
つ棒リンク機構の摺動平面に対して所定の角度を形成す
る様に配置されている搬送ロボットである。

【００１０】又第２の態様としては、第１の回転駆動手
段に結合されて一つの平面内で揺動する第１のウイング
部、該第１の回転駆動手段の回転軸と同芯状に配置され
た第２の回転駆動手段に結合されて前記と同一の平面内
で且つ該第１のウイング部と反対の方向に揺動する第２
のウイング部、該第１のウイング部の先端部に適宜の第
１のウイング回転機構部を介して旋回自在に取りつけら
れている第１のアーム部、該第２のウイング部の先端部
に適宜の第２のウイング回転機構部を介して旋回自在に
取りつけられている第２のアーム部、該第１のアーム部
と該第２のアーム部の先端部に適宜の第１アーム回転機
構部と第２アーム回転機構部とを介して取り付けられて
いる単一のフォーク部とから構成され、当該第１と第２
のウイング部と当該第１と第２のアーム部とが同一平面
内で摺動する４つ棒リンク機構を構成して、当該フォー
ク部に回転運動と所定の方向への直線的運動を付与せし
める様に構成された搬送ロボットに於いて、当該４つ棒
リンク機構に、４つ棒リンク機構が形成する摺動平面と
異なる平面を形成して摺動する少なくとも一つの補助リ
ンク部を設け、当該フォーク部を、当該４つ棒リンク機
構がが形成する摺動平面と該補助リンク部が形成する摺
動平面との交差線に沿って制限的に直線移動させる搬送
方法である。

【００１１】

【実施の形態】本発明に係る搬送ロボット及び搬送方法
に於いては、上記したような技術構成を採用しているの
で、４つ棒リンク機構によるフォーク部の直線運動を該
リンク機構に対して所定の角度を以て配置された少なく
とも一つの補助リンク部によって所定の方向性を付与す
る様に制限する事が可能となるので、歯車を一切使用し
なくとも当該フォーク部の左右動を防止し、且つ必要な
剛性を付与する事が出来るので、塵、粉塵も発生せず、
精密なフォーク部の直線運動軌跡を確保する事が可能と
なる。

【００１２】

【実施例】以下に、本発明に係る搬送ロボット及び搬送
方法に付いての具体例を図面を参照しながら詳細に説明
する。即ち、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）は、本発明に係る
搬送ロボット１の一具体例の構成の概略を示す斜視図、
側面図及び正面図であり、図中、第１の回転駆動手段１
０１に結合されて一つの平面６内で揺動する第１のウイ
ング部１０３、該第１の回転駆動手段１０１の回転軸１
２と同芯状に配置された第２の回転駆動手段１０２に結
合されて前記と同一の平面内で且つ該第１のウイング部
１０３と反対の方向に揺動する第２のウイング部１０
４、該第１のウイング部１０３の先端部に適宜の第１の
ウイング回転機構部１０５を介して旋回自在に取りつけ
られている第１のアーム部１０７、該第２のウイング部
１０４の先端部に適宜の第２のウイング回転機構部１０
６を介して旋回自在に取りつけられている第２のアーム
部１０９、該第１のアーム部１０７と該第２のアーム部
１０９の先端部に適宜の歯車を使用しない形式の第１ア
ーム回転機構部１０８と第２アーム回転機構部１１０と
を介して取り付けられている単一のフォーク部１２２と
から構成され、当該第１と第２のウイング部１０３、１
０４と当該第１と第２のアーム部１０７、１０９とが同
一平面内で摺動する４つ棒リンク機構２を構成して、当
該フォーク部１２２に回転運動及び所定の方向への直線
的運動を付与せしめる様に構成された搬送ロボット１に
於いて、当該回転駆動手段１０１或いは１０２の近傍に
設けられた第１の補助回転機構部１１３に旋回自在に取
り付けられた第３のウイング部１１５と該第３のウイン
グ部１１５の先端部に適宜の第３のウイング回転機構部
１１７を介してその一端部が旋回自在に取りつけられ、
その他端部が、該フォーク部１２２の適宜の部位に設け
られている第２の補助回転機構部１２１に旋回自在に取
り付けられた第３のアーム部１１９とで構成された少な
くとも一つの補助リンク部３が、その摺動平面５が該４
つ棒リンク機構の摺動平面６に対して所定の角度を形成
する様に配置されている搬送ロボット１が示されてい
る。

【００１３】図１Ｂは、上記した図１Ａの搬送ロボット
の構成を右側の側面から見た側面図である。尚、上記本
発明に係る搬送ロボット１に於いては、該第１の回転駆
動手段１０１の回転軸１２と第１のウイング部１０３に
設けられた第１のウイング回転機構部１０５との距離と
該第２の回転駆動手段１０２の回転軸１２と第１のウイ
ング部１０４に設けられた第２のウイング回転機構部１
０６との距離は互いに等しくなる様に設定されている事
が望ましく、又同様に、該第１のウイング回転機構部１
０５と該第１のアーム部１０７の先端部に設けられた第
１アーム回転機構部１０８と距離と、該第２のウイング
回転機構部１０６と該第２のアーム部１０９の先端部に
設けられた第２アーム回転機構部１１０と距離との距離
は互いに等しくなる様に設定されている事が望ましい。

【００１４】本具体例に於ける搬送ロボット１に於い
て、該補助リンク部３の摺動平面５と該４つ棒リンク機
構の摺動平面６とのなす当該所定の角度は、０度以上９
０度又はそれ以下の範囲である事が望ましい。本発明に
於いて当該補助リンク部３は必ずしも一つである必要は
なく、２個或いはそれ以上の複数個配置されてもよい。

【００１５】図１は、本発明に係る搬送ロボット１に於
いて、一つの４つ棒リンク機構２に対して２個の補助リ
ンク部３、３’とを設けた例を示したものであり、係る
場合には、当該補助リンク部３、３’はそれぞれの摺動
面５、５’が該４つ棒リンク機構２の摺動平面６の法線
４に対して対照的に配置される事が望ましい。尚、該第
２の補助リンク部３’の構成は、該第１の補助リンク部
３の構成と同一であり、特に説明は要しないであろう。

【００１６】本発明に於いて、図１Ｃに示す様に、当該
補助リンク部３を一個だけ設ける搬送ロボット１に於い
ては、当該補助リンク部３の摺動平面５は、該４つ棒リ
ンク機構２の摺動平面６と直角となる様に設ける事が望
ましく、又２個の場合には、図１Ｃに示す様に、当該補
助リンク部３と補助リンク部３’とを、該４つ棒リンク
機構の摺動平面６に対して９０度以内の適宜の角度を以
て両者対照となる様に配置する事が望ましい。

【００１７】つまり、本発明に於ける該搬送ロボット１
は、主にウェファの真空加工処理室内で使用する様に意
図されているので、当該搬送ロボット１と真空加工処理
室内の壁との空間が制限されている場合には、当該補助
リンク部３を一個だけで然かも当該補助リンク部３の摺
動平面５は、該４つ棒リンク機構２の摺動平面６と直角
となる様に設ける事は困難な場合が多く、従ってその場
合には、図１に示す様な形式の補助リンク部３、３’を
使用する事が望ましい。

【００１８】本発明に於いては、当該４つ棒リンク機構
２が形成する摺動平面６と該補助リンク部３が形成する
摺動平面５との交差線に沿って当該フォーク部を制限的
に直線移動させる事が出来ると同時に、剛性を付与出来
る上に、更に当該フォーク部の左右のずれの発生もな
い。本発明に於いては、該第１のアーム部１０７と該第
２のアーム部１０９の先端部には、従来の様に歯車を使
用する代わりに、適宜の歯車を使用しない形式の回転機
構、例えば、塵、粉塵、ゴミ等の発生の無い、高性能の
ベアリング等の機構を採用するものであり、その具体例
の一例は図２Ａに示されている通り、第１のアーム１０
７と第２のアーム１０９の先端に設けられている、第１
アーム回転機構部１０８と第２アーム回転機構部１１０
とを介して取り付けられている単一のフォーク部１２２
とから構成され、本発明に於いて、該補助リンク部３を
所定の角度を有して該４つ棒リンク機構２と結合する機
構の例を示すならば、例えば、当該第１の補助回転機構
部１１３の回転軸１３１は、図２Ｂに示す様に、該第１
の回転駆動手段１０１若しくは第２の回転駆動手段１０
２の回転軸１２と所定の角度を形成して設けられてお
り、該第２の補助回転機構部１２１の回転軸１３３は、
同様に該第１アーム回転機構部若しくは第２アーム回転
機構部の回転軸と所定の角度θを形成して設けられてお
り、従って、該第１の補助回転機構部１２１の回転軸１
３１と該第２の補助回転機構部１２１の回転軸１３３と
は互いに平行に形成されている事が必要である。

【００１９】係る該第１アーム回転機構部１１３及び第
２アーム回転機構部１２１は、図２Ｂ及び図２Ｃに示す
様に、上面７及び８が所定の角度の傾斜した面を有する
ブロック９及び１０を使用し、当該ブロック９及び１０
の上記傾斜面７、８に回転軸１３１及び１３３をそれぞ
れ設けたものを使用する事が出来る。又、上記した様
に、当該補助リンク部３を一組だけ設ける場合で、その
配置形態が、該４つ棒リンク機構２の摺動平面６に対し
て直角に配置する場合には、当該補助回転機構部の構成
は、図２Ｄに示す様に、垂直に形成されたブロック１１
の側面に当該ブロックの当該側面に直角に回転軸１３６
を設けたものを使用する事が出来る。

【００２０】本発明に於ける当該回転機構部１０５、１
０６、１０８、１１０及び補助回転機構部１１３及び１
２１は何れもベアリングで構成されている事が望まし
い。尚、本発明に於いて該補助リンク部３’を併用する
場合に於ける当該補助回転機構部１１２及び１２０の構
成は、上記した補助リンク部３に於ける補助回転機構部
１１３及び１２１と同様の構成である。

【００２１】以下に、本発明に係る搬送ロボット１に於
いて、２個の補助リンク部３、３’を使用した具体例の
構成とその作動に付いて図１及び図３を参照しながら詳
細に説明する。即ち、図１Ａ〜Ｃは本発明における真空
搬送ロボットの一実施例の三面図である。図１において
本発明の搬送ロボット１は真空用の回転駆動機構１０１
と、前記回転駆動機構１０１と同心で動作する回転駆動
機構１０２と、前記回転駆動機構１０１に結合され回転
動作する第１のウィング１０３と、前記回転駆動機構１
０２に結合され回転動作する第２のウィング１０４とか
ら構成されている。

【００２２】そして、前記第１のウィング１０３上に
は、前記第１ウィング回転機構１０５が配置されている
と同時に、前記第２のウィング１０４上には、該第２回
転駆動機構１０２の動作中心から、前記第１回転駆動機
構１０１の動作中心と前記第１ウィング回転機構１０５
との距離と、等距離に配置された第２ウィング回転機構
１０６が設けられている。

【００２３】更に、前記第１ウィング回転機構１０５に
結合されて回転動作する第１のアーム１０７と、前記第
１のアーム１０７上に配置された第１アーム回転機構部
１０８と、前記第２ウィング回転機構１０６に結合され
て回転動作する第２のアーム１０９と、前記第２のアー
ム１０９上で、前記第２ウィング回転機構１０６から、
前記第１ウィング回転機構１０５と前記第１アーム回転
機構１０８との距離と、等距離に配置された第２のアー
ム回転機構１１０とが設けられている。

【００２４】又、前記第１回転駆動機構１０１又は１０
２の動作中心９に対し同心で回転可能な第３の回転機構
１１１と前記第１ウィング回転機構１０５の回転軸に対
し所定の角度を有する回転軸１３１’を持った第１の補
助回転機構部１１２が、該第３の回転機構１１１上の一
部に配置されると共に、第３の回転機構１１１と前記第
２ウィング回転機構１０６の回転軸１３１に対し、前記
第１の補助回転機構部１１２の回転軸と等しい角度を有
する回転軸１３１を持った第１の補助回転機構部１１３
が、同様に該第３の回転機構１１１上の一部に配置され
ている。

【００２５】当該第３の回転機構１１１は、該第１と第
２の回転駆動機構１０１又は１０２と連動して同軸的に
回転せしめられるものである事が望ましく、例えば、同
心円状に２分割されて個別に回転しうる回転部材を用い
る事も可能である。一方、前記第３の回転機構１１１上
の前記第１の補助回転機構１１３に結合され回転動作す
る第３のウィング１１５と、前記第３の回転機構１１１
上の前記第１の補助回転機構部１１２に結合され回転動
作する第４のウィング１１４とが設けられると共に、前
記第３のウィング１１５上に配置され、前記第１の補助
回転機構部１１３と回転軸が平行に形成された回転機構
１１７と、前記第４のウィング１１４上に配置され、前
記第１の補助回転機構部１１２と回転軸が平行に形成さ
れたな回転機構１１６とが更に設けられる。

【００２６】一方、前記回転機構１１７に結合され、第
３のウィング１１５に対して回転動作する第３のアーム
１１９と、前記回転機構１１６に結合され、前記第４の
ウィング１１４に対して回転動作する第４のアーム１１
８と、前記第３のアーム１１９の他端部と接続され、該
フォーク部１２２の適宜の位置上に配置され、且つ前記
第１の補助回転機構１１３と回転軸が平行な第２補助回
転機構１２１と、前記第４のアーム１１８の他端部と接
続され、該フォーク部１２２の適宜の位置上に配置さ
れ、且つ前記第１の補助回転機構部１１２と回転軸が平
行な第２補助回転機構部１２０とが設けられている。

【００２７】つまり、前記第１アーム回転機構１０８、
第２アーム回転機構１１０、第２補助回転機構１２０及
び第２補助回転機構１２１とが共に配置されたフォーク
１２２を含むことで構成される。次に図３Ａ乃至図３Ｃ
を参照して、本発明に係る搬送ロボットの実施の形態の
動作について説明する。図３Ａは、当該搬送ロボットの
フォーク１２２がウェファ１２３を搭載した状態で、最
も縮んだ状態にある場合を示している。

【００２８】係る状態において、第１の回転駆動機構１
０１に接続した第１のウィング１０３を反時計回りに、
又第２の回転駆動機構１０２に接続された第２のウィン
グ１０４を時計回りに各々同じ角度動かすと、第１のア
ーム１０７、第２のアーム１０９はフォーク１２２上で
第１アーム回転機構１０８、第２アーム回転機構１１
０、を回転させるため、リンク機構２によりフォーク１
２２は図３Ａの手前方向に移動し、図３Ｂから図３Ｃに
示す様に順次に前方に移動する事になる。

【００２９】このとき、フォーク１２２の動作に伴い接
続された補助リンク機構３、３’の前記第３のウィング
であるサブウィング１１５と第３のアームであるサブア
ーム１１９及び第４のウィングであるサブウィング１１
４と第４のアームであるサブアーム１１８は第２のウィ
ング１０４と第２のアーム１０９及び第１のウィング１
０３と第１のアーム１０７とはある角度を持った別平面
上を動作する。

【００３０】フォーク１２２上の第１のアーム１０７、
第２のアーム１０９と、第４のアームであるサブアーム
１１８、第３のアームであるサブアーム１１９はそれぞ
れ異なる軸上を回転するため動作が拘束され、フォーク
１２２は回転することなく、直進することが可能にな
り、例えば所定の真空容器２００内に所定の物体１２３
を搬送する事が出来る。

【００３１】上記した様に、本発明に於ける搬送ロボッ
トで実行される物品の搬送方法としては、例えば、第１
の回転駆動手段に結合されて一つの平面内で揺動する第
１のウイング部、該第１の回転駆動手段の回転軸と同芯
状に配置された第２の回転駆動手段に結合されて前記と
同一の平面内で且つ該第１のウイング部と反対の方向に
揺動する第２のウイング部、該第１のウイング部の先端
部に適宜の第１のウイング回転機構部を介して旋回自在
に取りつけられている第１のアーム部、該第２のウイン
グ部の先端部に適宜の第２のウイング回転機構部を介し
て旋回自在に取りつけられている第２のアーム部、該第
１のアーム部と該第２のアーム部の先端部に適宜の第１
アーム回転機構部と第２アーム回転機構部とを介して取
り付けられている単一のフォーク部とから構成され、当
該第１と第２のウイング部と当該第１と第２のアーム部
とが同一平面内で摺動する４つ棒リンク機構を構成し
て、当該フォーク部に所定の方向に直線的運動を付与せ
しめる様に構成された搬送ロボットに於いて、当該４つ
棒リンク機構に、４つ棒リンク機構が形成する摺動平面
と異なる平面を形成して摺動する少なくとも一つの補助
リンク部を設け、当該フォーク部を、当該４つ棒リンク
機構が形成する摺動平面と該補助リンク部が形成する摺
動平面との交差線に沿って制限的に直線移動させる様に
構成されるものである。

【００３２】

【発明の効果】本発明の搬送ロボットは歯車を一切使用
せず、高性能のベアリングをそれぞれの回転機構部に使
用しているので、バックラッシによる剛性低下が無く、
更には粉塵の発生も抑制することができるので、真空加
工処理室内での使用に最適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による搬送ロボットの一具体例
の構成を示す図であり、図１Ａは、当該搬送ロボットの
正面斜視図であり、図１Ｂは、図１Ａの側面図であり、
又、図１Ｃは、その正面図である。

【図２】図２は、本発明に係る搬送ロボットの特定部分
の拡大図であり、図２Ａは、フォーク部とアーム部との
接合部分を示すものであり、図２Ｂから図２Ｄは、本発
明に於いて使用される第１及び第２の補助回転機構部の
構成の例を示す図である。

【図３】図３Ａ〜図３Ｂは、本発明に係る搬送ロボット
の駆動方法の概要を説明する図である。

【図４】図４Ａから図４Ｃは、従来に於ける搬送ロボッ
トの構成の一例を示す図である。

【図５】図５は、従来の搬送ロボットに於いて歯車を使
用した例を説明する図である。

【符号の説明】

１…搬送ロボット ２…リンク機構 ３、３’…補助リンク機構 ５…補助リンク機構の摺動平面 ６…４つ棒リンク機構の摺動平面 ９、１０…ブロック １２…回転駆動機構の回転中心軸 １０１…第１の回転駆動機構 １０２…第２の回転駆動機構 １０３…第１のウィング １０４…第２のウィング １０５…第１ウィング回転機構 １０６…第２ウィング回転機構 １０７…第１のアーム １０８…第１アーム回転機構 １０９…第２のアーム １１０…第２アーム回転機構 １１１…第３の回転機構、搬送ロボットの旋回回転機構 １１２、１１３…第１の補助回転機構部 １１４…第４のウィング １１５…第３のウィング １１６、１１７…回転機構 １１８…第４のアーム １１９…第３のアーム １２０、１２１…第１及び第２補助回転機構 １２２…フォーク部 １２３…ウエハ ２０１…第１回転駆動機構 ２０２…第２回転駆動機構 ２０３、２０４…ウィング ２０５、２０６…回転機構 ２０７、２０８…アーム ２０９、２１０…回転機構 ２１１、２１２…同期歯車 ２１３…フォーク ２１４…ウエハ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の回転駆動手段に結合されて一つの
   平面内で揺動する第１のウイング部、該第１の回転駆動
   手段の回転軸と同芯状に配置された第２の回転駆動手段
   に結合されて前記と同一の平面内で且つ該第１のウイン
   グ部と反対の方向に揺動する第２のウイング部、該第１
   のウイング部の先端部に適宜の第１のウイング回転機構
   部を介して旋回自在に取りつけられている第１のアーム
   部、該第２のウイング部の先端部に適宜の第２のウイン
   グ回転機構部を介して旋回自在に取りつけられている第
   ２のアーム部、該第１のアーム部と該第２のアーム部の
   先端部に適宜の第１アーム回転機構部と第２アーム回転
   機構部とを介して取り付けられている単一のフォーク部
   とから構成され、当該第１と第２のウイング部と当該第
   １と第２のアーム部とが同一平面内で摺動する４つ棒リ
   ンク機構を構成して、当該フォーク部に回転運動及び所
   定の方向の直線的運動を付与せしめる様に構成された搬
   送ロボットに於いて、当該回転駆動手段の近傍に設けら
   れた第１の補助回転機構部に旋回自在に取り付けられた
   第３のウイング部と該第３のウイング部の先端部に適宜
   の第３のウイング回転機構部を介してその一端部が旋回
   自在に取りつけられ、その他端部が、該フォーク部の適
   宜の部位に設けられている第２の補助回転機構部に旋回
   自在に取り付けられた第３のアーム部とで構成された少
   なくとも一つの補助リンク部が、その摺動平面が該４つ
   棒リンク機構の摺動平面に対して所定の角度を形成する
   様に配置されている事を特徴とする搬送ロボット。
2. 【請求項２】 当該所定の角度は、該４つ棒リンク機構
   の摺動平面に対して０度〜９０度の範囲である事を特徴
   とする請求項１記載の搬送ロボット。
3. 【請求項３】 当該補助リンク部が複数個配置される場
   合には、各補助リンク部が、該４つ棒リンク機構の摺動
   平面の法線に対して対照的に配置される事を特徴とする
   請求項１又は２に記載の搬送ロボット。
4. 【請求項４】 当該第１の補助回転機構部の回転軸は、
   該第１の回転駆動手段若しくは第２の回転駆動手段の回
   転軸と所定の角度を形成して設けられており、該第２の
   補助回転機構部の回転軸は、該第１アーム回転機構部若
   しくは第２アーム回転機構部の回転軸と所定の角度を形
   成して設けられており、該第１の補助回転機構部の回転
   軸と該第２の補助回転機構部の回転軸とは互いに平行に
   形成されている事を特徴とする請求項１乃至３の何れか
   に記載の搬送ロボット。
5. 【請求項５】 該第１アーム回転機構部と第２アーム回
   転機構部とは、同一の回転機構部で構成されている事を
   特徴とする請求項１記載の搬送ロボット。
6. 【請求項６】 当該回転機構部及び補助回転機構部は何
   れもベアリングで構成されている事を特徴とする請求項
   １乃至５の何れかに記載の搬送ロボット。
7. 【請求項７】 第１の回転駆動手段に結合されて一つの
   平面内で揺動する第１のウイング部、該第１の回転駆動
   手段の回転軸と同芯状に配置された第２の回転駆動手段
   に結合されて前記と同一の平面内で且つ該第１のウイン
   グ部と反対の方向に揺動する第２のウイング部、該第１
   のウイング部の先端部に適宜の第１のウイング回転機構
   部を介して旋回自在に取りつけられている第１のアーム
   部、該第２のウイング部の先端部に適宜の第２のウイン
   グ回転機構部を介して旋回自在に取りつけられている第
   ２のアーム部、該第１のアーム部と該第２のアーム部の
   先端部に適宜の第１アーム回転機構部と第２アーム回転
   機構部とを介して取り付けられている単一のフォーク部
   とから構成され、当該第１と第２のウイング部と当該第
   １と第２のアーム部とが同一平面内で摺動する４つ棒リ
   ンク機構を構成して、当該フォーク部に回転運動及び所
   定の方向への直線的運動を付与せしめる様に構成された
   搬送ロボットに於いて、当該４つ棒リンク機構に、４つ
   棒リンク機構が形成する摺動平面と異なる平面を形成し
   て摺動する少なくとも一つの補助リンク部を設け、当該
   フォーク部を、当該４つ棒リンク機構が形成する摺動平
   面と該補助リンク部が形成する摺動平面との交差線に沿
   って制限的に直線移動させる事を特徴とする搬送方法。