JP6322318B2

JP6322318B2 - 搬送装置

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Publication number: JP6322318B2
Application number: JP2017083280A
Authority: JP
Inventors: 惇井浦
Original assignee: Daihen Corp
Current assignee: Daihen Corp
Priority date: 2017-04-20
Filing date: 2017-04-20
Publication date: 2018-05-09
Anticipated expiration: 2033-06-28
Also published as: JP2017159446A

Description

本発明は、搬送装置に関する。

従来から、基板等のワークを移送するための移送装置が知られている（たとえば特許文献１参照）。図１に示すように、従来の装置９００は、フロッグレッグ型ロボットと称されることもあり、前部アーム９１２〜９１５と、駆動アーム９１７，９１８と、基台９１９と、載置台９２５，９２６と、を備える。

駆動アーム９１７，９１８は各々、基台９１９に対して回動可能に支持されている。前部アーム９１２，９１３の基端は、駆動アーム９１７，９１８に回動可能にそれぞれ連結されている。前部アーム９１２，９１３の先端は、載置台９２５に連結されている。同様に、前部アーム９１４，９１５の基端は、駆動アーム９１７，９１８に回動可能にそれぞれ連結されている。前部アーム９１４，９１５の先端は、載置台９２６に連結されている。載置台９２５，９２６にはワークが載置された状態で、搬送される。装置９００では、駆動アーム９１７，９１８が基台９１９に対して回動することにより、載置台９２５，９２６が進退移動を行う。図１には、装置９００が原点姿勢にある状態を示しており、図２には、前部アーム９１２，９１３が伸展した状態を示している。装置９００はわずかな駆動で前後対称な２対のアームの伸縮動作が可能であるため、作業効率において優位である。

特表平７−５０４１２８号公報

一般的に装置９００としては、旋回範囲が小さいものが好まれる傾向にある。一方で、装置９００が搬送可能なワークの大きさをより大きくしたい要望もある。より大きなワークを搬送するためには、載置台９２５，９２６の伸縮動作距離をより長くすることが考えられる。載置台９２５，９２６の伸縮動作距離は、前部アーム９１２〜９１５の長さや、駆動アーム９１７，９１８の長さに依存している。そのため、伸縮動作距離を長くする際には、前部アーム９１２〜９１５の長さや、駆動アーム９１７，９１８の長さを長くすることが考えられる。しかしながら、前部アーム９１２〜９１５の長さや、駆動アーム９１７，９１８の長さを長くすると、装置９００の旋回範囲も大きくならざるをえない。

本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、旋回範囲を大きくすることなく、より大きなワークを搬送することが可能な搬送装置を提供することをその主たる課題とする。

本発明の第１の側面によると、基体と、第１移動部と、前記第１移動部に対して第１方向側に位置する第２移動部と、前記第１移動部および前記第２移動部を、前記第１方向に平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構は、回動部材と第１案内アームと第２案内アームと、を含み、前記回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記第１案内アームは、前記第１移動部に連結され、且つ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って延びる第１中間軸線周りに回
動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第２案内アームは、前記第２移動部に連結され、且つ、前記第２方向に沿って延びる第２中間軸線回りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第１中間軸線は、平面視において、前記第２中間軸線に対して前記第１方向側に位置している、搬送装置が提供される。

好ましくは、前記第１案内アームは、平面視において、前記第２案内アームに交差している。

好ましくは、前記第１案内アームは、前記第１方向側に湾曲した湾曲部を有する。

好ましくは、前記第２案内アームは、前記第１方向とは反対の第３方向側に湾曲した湾曲部を有する。

好ましくは、前記回動部材は、前記第２方向に沿って延びる回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されている。

好ましくは、前記回動部材は、１つの回動アームであり、前記回動アームには、前記第１案内アームおよび前記第２案内アームのいずれもが連結されている。

好ましくは、前記回動部材は、第１回動アームと第２回動アームとを含み、前記第１回動アームおよび前記第２回動アームは、前記基体に対して回動可能に、前記基体に連結されており、前記第１案内アームは、前記第１回動アームに対して前記第１中間軸線回りに回動可能に、前記第１回動アームに連結されており、前記第２案内アームは、前記第２回動アームに対して前記第２中間軸線回りに回動可能に、前記第２回動アームに連結されている。

好ましくは、前記回動部材、前記第１案内アーム、前記第２案内アーム、第１中間軸線、および第２中間軸線を、それぞれ、右側回動部材、右側第１案内アーム、右側第２案内アーム、右側第１中間軸線、および右側第２中間軸線とし、前記移動機構は、左側回動部材と左側第１案内アームと左側第２案内アームと、を含み、前記左側回動部材は、前記基体に対して、前記右側回動部材とは反対側に配置されており、前記左側回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記左側第１案内アームは、前記第１移動部に連結され、且つ、前記第２方向に沿って延びる左側第１中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結されており、前記左側第２案内アームは、前記第２移動部に連結され、且つ、前記第２方向に沿って延びる左側第２中間軸線回りに回動可能に、前記左側回動部材に連結されており、前記左側第１中間軸線は、平面視において、前記左側第２中間軸線に対して前記第１方向側に位置している。

好ましくは、前記左側第１案内アームは、平面視において、前記左側第２案内アームに交差している。

好ましくは、前記基体の内部に配置された駆動部を更に備え、前記駆動部は、前記左側回動部材および前記右側回動部材をそれぞれ、前記基体に対して回動させる。

好ましくは、各々がワークを保持するための第１保持部および第２保持部を更に備え、前記第１保持部は、前記第１移動部に取り付けられており、前記第２保持部は、前記第２移動部に取り付けられている。

本発明の第２の側面によると、基体と、第１移動部と、前記第１移動部に対して第１方向側に位置する第２移動部と、前記第１移動部および前記第２移動部を、前記第１方向に
平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構は、回動部材と第１案内アームと第２案内アームと、を含み、前記回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記第１案内アームは、前記第１移動部に連結され、且つ、前記第１方向に直交する第２方向に沿って延びる第１中間軸線周りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第２案内アームは、前記第２移動部に連結され、且つ、前記第２方向に沿って延びる第２中間軸線回りに回動可能に、前記回動部材に連結されており、前記第１中間軸線は、平面視において、前記第２中間軸線に対して前記第１方向側に位置しており、前記回動部材は、第１回動アームと第２回動アームとを含み、前記第１回動アームは、前記基体に対して前記第２方向に沿って延びる第１回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されており、前記第２回動アームは、前記基体に対して前記第２方向に沿って延びる第２回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されており、前記第１回動軸線は、前記第２回動軸線に対して前記第１方向側に位置している、搬送装置が提供される。

好ましくは、前記回動部材は、連結部を含み、前記連結部は、前記第１回動アームに対して、前記第２方向に沿って延びる第１中間軸線周りに回動可能に、前記第１回動アームに連結されており、前記連結部は、前記第２回動アームに対して、前記第２方向に沿って延びる第２中間軸線周りに回動可能に、前記第２回動アームに連結されており、前記第１中間軸線と前記第２中間軸線とは、互いに離間している。

好ましくは、前記第１中間軸線と前記第２中間軸線との離間距離は、前記第１回動軸線と前記第２回動軸線との離間距離と、同一である。

好ましくは、前記第１案内アームは、平面視において、前記第２案内アームと、前記第１回動アームと、前記第２回動アームとに交差している。

好ましくは、前記回動部材、前記第１案内アーム、前記第２案内アーム、第１中間軸線、および第２中間軸線を、それぞれ、右側回動部材、右側第１案内アーム、右側第２案内アーム、右側第１中間軸線、および右側第２中間軸線とし、前記移動機構は、左側回動部材と左側第１案内アームと左側第２案内アームと、を含み、前記左側回動部材は、前記基体に対して、前記右側回動部材とは反対側に配置されており、前記左側回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、前記左側第１案内アームは、前記第２方向に沿って延びる左側第１中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結され、且つ、前記第１移動部に連結されており、前記左側第２案内アームは、前記第２方向に沿って延びる左側第２中間軸線回りに回動可能に、前記左側回動部材に連結され、且つ、前記第２移動部に連結されており、平面視において、前記左側第１中間軸線は、前記左側第２中間軸線に対して前記第１方向側に位置している。

好ましくは、前記左側回動部材は、左側第１回動アームと、左側第２回動アームと、を含み、前記左側第１案内アームは、平面視において、前記左側第２案内アームと、前記左側第１回動アームと、前記左側第２回動アームとに交差している。

好ましくは、前記右側第１回動アームおよび前記右側第２回動アームのいずれか一方は、前記駆動部によって回動させられる駆動アームであり、前記右側第１回動アームおよび前記右側第２回動アームの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームであり、前記左側第１回動アームおよび前記左側第２回動アームのいずれか一方は、前記駆動部によって回動させられる駆動アームであり、前記左側第１回動アームおよび前記左側第２回動
アームの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。

従来の搬送装置を示す平面図である。従来の搬送装置を示す平面図である。（ａ）は、本発明の第１実施形態の搬送装置を示す平面図である。（ｂ）は、（ａ）のｂ−ｂ線に沿う断面図である。図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う模式的な部分断面図である。（ａ）は、図３に示した搬送装置の第１伸展姿勢を示す平面図である。（ｂ）は、（ａ）に示した搬送装置の断面図である。図５に続く、搬送装置の原点姿勢を示す平面図である。図６に続く、搬送装置の第２伸展姿勢を示す平面図である。図７に続く、搬送装置の原点姿勢を示す平面図である。図８に続く、搬送装置を示す平面図である。本発明の第１実施形態の変形例を示す平面図である。本発明の第２実施形態の搬送装置を示す平面図である。図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿う模式的な部分断面図である。図１１に示した搬送装置の第１伸展姿勢を示す平面図である。図１３から、右側第２回動アーム、左側第２回動アーム、および、第２手首部等を省略した平面図である。図１３から、右側第１回動アーム、左側第１回動アーム、および、第１手首部等を省略した平面図である。

以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。

＜第１実施形態＞
図３〜図９を用いて、本発明の第１実施形態について説明する。

図３は、（ａ）は、本発明の第１実施形態の搬送装置を示す平面図である。（ｂ）は、（ａ）のｂ−ｂ線に沿う断面図である。図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う模式的な部分断面図である。

これらの図に示す搬送装置１は、ワーク８９（図５参照）を搬送するための搬送ロボットである。ワーク８９は、たとえば板状であり、ガラスパネル、あるいは、液晶ＦＰＤ用基板である。図示しないが、搬送装置１の周囲には、たとえばワーク収容機構が配置される。ワーク収容機構は、各々がワーク８９を収容する複数の収容空間を有している。

図３、図４に示すように、搬送装置１は、基体１１と、移動機構１３と、第１手首部１４Ａと、第２手首部１４Ｂと、第１保持部１５Ａ（図３にて２点鎖線で示している）と、第２保持部１５Ｂ（図３にて２点鎖線で示している）と、駆動部７１と、を含む。

基体１１は、たとえば、胴体および上面フランジ（詳細な図示は省略）を含む。胴体は
、たとえば、円柱状である。上面フランジは胴部の上部に固定されている。上面フランジは、チャンバの底面と締結され、胴体はチャンバに吊り下げられた格好となる。

移動機構１３は、基体１１に対し、第１手首部１４Ａおよび第２手首部１４Ｂを移動させるための機構である。移動機構１３については後述する。

第１手首部１４Ａ（本発明の第１移動部の一例に相当する）および第２手首部１４Ｂ（本発明の第２移動部の一例に相当する）は、移動機構１３によって、第１方向Ｘ１に平行な平面（本実施形態では水平面）に沿って、基体１１に対し移動させられる。図３に表れているように、第１手首部１４Ａに対して第１方向Ｘ１側に、第２手首部１４Ｂが位置している。なお、第１手首部１４Ａおよび第２手首部１４Ｂは、基体１１に対して進退移動をした場合であっても、基体１１に対する姿勢が変化しないような構成となっている。

第１保持部１５Ａは、第１手首部１４Ａに取り付けられており、第１手首部１４Ａに固定されている。第１保持部１５Ａは第１手首部１４Ａと一体となって移動する。第１保持部１５Ａは、ワーク８９を保持するためのものである。ワーク８９を保持した状態で第１保持部１５Ａが移動することにより、ワーク８９は所望の位置まで搬送される。本実施形態においては、第１保持部１５Ａはワーク８９を載置することにより、ワーク８９を搬送する。本実施形態とは異なり、第１保持部１５Ａはワーク８９を載置するものには限定されない。たとえば、第１保持部１５Ａは、ワーク８９をワーク８９の上面から吸着することにより、ワーク８９を保持するものであってもよい。

本実施形態においては、第１保持部１５Ａは、２つの第１エンドエフェクタ１５３Ａを有する。各第１エンドエフェクタ１５３Ａは、一方向に沿って延びる細板状である。２つの第１エンドエフェクタ１５３Ａにワーク８９が載置されることにより、ワーク８９が搬送される。

第２保持部１５Ｂは、第２手首部１４Ｂに取り付けられており、第２手首部１４Ｂに固定されている。第２保持部１５Ｂは第２手首部１４Ｂと一体となって移動する。第２保持部１５Ｂは、ワーク８９を保持するためのものである。ワーク８９を保持した状態で第２保持部１５Ｂが移動することにより、ワーク８９は所望の位置まで搬送される。本実施形態においては、第２保持部１５Ｂはワーク８９を載置することにより、ワーク８９を搬送する。本実施形態とは異なり、第２保持部１５Ｂはワーク８９を載置するものには限定されない。たとえば、第２保持部１５Ｂは、ワーク８９をワーク８９の上面から吸着することにより、ワーク８９を保持するものであってもよい。

本実施形態においては、第２保持部１５Ｂは、２つの第２エンドエフェクタ１５３Ｂを有する。各第２エンドエフェクタ１５３Ｂは、一方向に沿って延びる細板状である。２つの第２エンドエフェクタ１５３Ｂにワーク８９が載置されることにより、ワーク８９が搬送される。

次に、移動機構１３について説明する。図３に示すように、移動機構１３は、右側回動部材４１と、右側第１案内アーム４３Ａと、右側第２案内アーム４３Ｂと、左側回動部材５１と、左側第１案内アーム５３Ａと、左側第２案内アーム５３Ｂと、を含む。

右側回動部材４１は、基体１１に対して回動可能に、基体１１に支持されている。右側回動部材４１は、第１方向Ｘ１に平行な平面内において、基体１１に対して回動可能である。本実施形態では、右側回動部材４１は、第１方向Ｘ１に直交する第２方向Ｘ２に沿って延びる右側回動軸線４１１ａ周りに回動可能である。本実施形態においては更に、右側回動部材４１は１つの右側回動アーム４１１である。右側回動アーム４１１は一方向に沿
って延びる棒状である。右側回動アーム４１１は、基体１１に対して右側回動軸線４１１ａ周りに回動可能に、基体１１に連結されている。

なお、右側回動アーム４１１を基体１１に対し回動可能な構成とするために、たとえば、図示しない垂直上向きの軸部が、右側回動アーム４１１の基端に形成された孔にはめ込まれている。以下に述べる回動可能な構成も軸部が孔にはめ込まれている構成となっており、以下では、軸部と孔との関係の説明を省略する。

右側第１案内アーム４３Ａは、右側回動部材４１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第１中間軸線４３Ａａ周りに回動可能に、右側回動部材４１に連結されている。具体的には、右側第１案内アーム４３Ａと右側回動部材４１とは、各々の一端において連結されている。また、右側第１案内アーム４３Ａは、第１手首部１４Ａに対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第１手首軸線４３Ａｃ周りに回動可能に、第１手首部１４Ａに連結されている。具体的には、右側第１案内アーム４３Ａの他端において、右側第１案内アーム４３Ａは第１手首部１４Ａに連結されている。右側第１案内アーム４３Ａは、平面視において、右側回動部材４１に交差している。

右側第２案内アーム４３Ｂは、右側回動部材４１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第２中間軸線４３Ｂａ周りに回動可能に、右側回動部材４１に連結されている。具体的には、右側第２案内アーム４３Ｂと右側回動部材４１とは、各々の一端において連結されている。平面視において、右側第１中間軸線４３Ａａが、右側第２中間軸線４３Ｂａに対して第１方向Ｘ１側に位置している。また、右側第２案内アーム４３Ｂは、第２手首部１４Ｂに対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第２手首軸線４３Ｂｃ周りに回動可能に、第２手首部１４Ｂに連結されている。具体的には、右側第２案内アーム４３Ｂの他端において、右側第２案内アーム４３Ｂは第２手首部１４Ｂに連結されている。右側第２案内アーム４３Ｂは、平面視において、右側回動部材４１および右側第１案内アーム４３Ａに交差している。

右側第１案内アーム４３Ａは、右側回動部材４１と右側第２案内アーム４３Ｂとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。具体的には、図３に示すように、本実施形態においては、右側第１案内アーム４３Ａは、第１方向Ｘ１側に湾曲した湾曲部４３Ａｂを有している。

右側第２案内アーム４３Ｂは、右側回動部材４１と右側第１案内アーム４３Ａとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。図３に示すように、本実施形態においては、右側第２案内アーム４３Ｂは、第１方向Ｘ１とは反対の第３方向Ｘ３側に湾曲した湾曲部４３Ｂｂを有している。

左側回動部材５１、左側第１案内アーム５３Ａ、および左側第２案内アーム５３Ｂは、上述の右側回動部材４１、右側第１案内アーム４３Ａ、および右側第２案内アーム４３Ｂに対して、基体１１を挟んで、それぞれ対称となっている（すなわち、図３（ａ）では上下対称となっている）。以下具体的に説明する。

左側回動部材５１は、基体１１に対して回動可能に、基体１１に支持されている。左側回動部材５１は、第１方向Ｘ１に平行な平面内において、基体１１に対して回動可能である。本実施形態では、左側回動部材５１は、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側回動軸線５１１ａ周りに回動可能である。本実施形態においては更に、左側回動部材５１は１つの左側回動アーム５１１である。左側回動アーム５１１は一方向に沿って延びる棒状である。左側回動アーム５１１は、基体１１に対して左側回動軸線５１１ａ周りに回動可能に、基体１１に連結されている。

本実施形態においては、左側回動軸線５１１ａは、右側回動軸線４１１ａと異なる位置に位置しており、具体的には、左側回動軸線５１１ａおよび右側回動軸線４１１ａは、図３（ａ）の上下方向に互いに離間している。本実施形態とは異なり、左側回動軸線５１１ａおよび右側回動軸線４１１ａは、たとえば、図３（ａ）の横方向に離間していてもよい。あるいは、左側回動軸線５１１ａおよび右側回動軸線４１１ａは、同一の位置に位置していても良い。すなわち、右側回動部材４１の回動軸と、左側回動部材５１の回動軸とが、同一の位置に位置していてもよい。

左側第１案内アーム５３Ａは、左側回動部材５１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第１中間軸線５３Ａａ周りに回動可能に、左側回動部材５１に連結されている。具体的には、左側第１案内アーム５３Ａと左側回動部材５１とは、各々の一端において連結されている。また、左側第１案内アーム５３Ａは、第１手首部１４Ａに対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第１手首軸線５３Ａｃ周りに回動可能に、第１手首部１４Ａに連結されている。具体的には、左側第１案内アーム５３Ａの他端において、左側第１案内アーム５３Ａは第１手首部１４Ａに連結されている。左側第１案内アーム５３Ａは、平面視において、左側回動部材５１に交差している。

左側第２案内アーム５３Ｂは、左側回動部材５１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第２中間軸線５３Ｂａ周りに回動可能に、左側回動部材５１に連結されている。具体的には、左側第２案内アーム５３Ｂと左側回動部材５１とは、各々の一端において連結されている。平面視において、左側第１中間軸線５３Ａａが、左側第２中間軸線５３Ｂａに対して第１方向Ｘ１側に位置している。また、左側第２案内アーム５３Ｂは、第２手首部１４Ｂに対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第２手首軸線５３Ｂｃ周りに回動可能に、第２手首部１４Ｂに連結されている。具体的には、左側第２案内アーム５３Ｂの他端において、左側第２案内アーム５３Ｂは第２手首部１４Ｂに連結されている。左側第２案内アーム５３Ｂは、平面視において、左側回動部材５１および左側第１案内アーム５３Ａに交差している。

左側第１案内アーム５３Ａは、左側回動部材５１と左側第２案内アーム５３Ｂとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。図３に示すように、本実施形態においては、左側第１案内アーム５３Ａは、第１方向Ｘ１側に湾曲した湾曲部５３Ａｂを有している。

左側第２案内アーム５３Ｂは、左側回動部材５１と左側第１案内アーム５３Ａとの連結箇所との干渉を防止するような形状となっている。図３に示すように、本実施形態においては、左側第２案内アーム５３Ｂは、第１方向Ｘ１とは反対の第３方向Ｘ３側に湾曲した湾曲部５３Ｂｂを有している。

図４に示す駆動部７１は、右側回動部材４１および左側回動部材５１を回動させるための駆動源である。駆動部７１は、たとえば、基体１１（具体的には胴体）の内部に配置されている。本実施形態では、駆動部７１は、２つのモータ７１４、７１５を含む。モータ７１４の回転は、たとえば図示しない減速機によって回転速度が減少させられて、右側回動部材４１に伝達される。これにより、右側回動部材４１が基体１１に対して回動する。同様に、モータ７１５の回転は、たとえば図示しない減速機によって回転速度が減少させられて、左側回動部材５１に伝達される。これにより、左側回動部材５１が基体１１に対して回動する。

なお、駆動部７１として２つのモータを含む例を示したが、本実施形態とは異なり、駆動部７１がモータ１つのみを含む構成を採用してもよい。この場合には、１つのモータと
共に複数のギアを用いて、右側回動部材４１および左側回動部材５１をそれぞれ回動させるとよい。

次に、搬送装置１の動作について説明する。

［原点姿勢］
まず、図３に示す搬送装置１の姿勢を、原点姿勢と呼ぶ。原点姿勢の搬送装置１においては、後述する第１伸展姿勢の場合よりも、第１保持部１５Ａおよび第１手首部１４Ａが第１方向Ｘ１側に位置しており、且つ、後述する第２伸展姿勢の場合よりも、第２保持部１５Ｂおよび第２手首部１４Ｂが、第３方向Ｘ３側に位置している。

［原点姿勢〜第１伸展姿勢］
次に、駆動部７１を駆動させることにより、図５に示すように右側回動部材４１を基体１１に対して反時計回りに回動させ、左側回動部材５１を基体１１に対して時計回りに回動させる。これにより、右側第１案内アーム４３Ａが右側回動部材４１に対して回動し、左側第１案内アーム５３Ａが左側回動部材５１に対して回動する。この回動により、第１保持部１５Ａおよび第１手首部１４Ａが、第３方向Ｘ３に向かって進行してゆく。

一方、右側回動部材４１および左側回動部材５１の回動に伴い、右側第２案内アーム４３Ｂが右側回動部材４１に対して回動し、左側第２案内アーム５３Ｂが左側回動部材５１に対して回動する。この回動により、第２保持部１５Ｂおよび第２手首部１４Ｂも、第３方向Ｘ３に向かって移動する。なお、第２保持部１５Ｂおよび第２手首部１４Ｂの移動速度（後退速度）は、第１保持部１５Ａおよび第１手首部１４Ａの進行速度に比べて、比較的低速である。

このようにして搬送装置１は、図５に示すように、移動機構１３におけるアーム（右側回動アーム４１１、左側回動アーム５１１、右側第１案内アーム４３Ａ、および左側第１案内アーム５３Ａ）が伸展した姿勢となる。図５に示す搬送装置１の姿勢を、第１伸展姿勢と呼ぶ。搬送装置１が第１伸展姿勢である状態で、移動機構１３と第１保持部１５Ａが上昇するなどして、第１保持部１５Ａにワーク８９が保持（載置）される。

［第１伸展姿勢〜原点姿勢］
次に、右側回動部材４１および左側回動部材５１を、図３〜図５における回動方向とは逆方向に回動させる。具体的には、右側回動部材４１を基体１１に対して時計回りに回動させ、左側回動部材５１を基体１１に対して反時計回りに回動させる。このようにして、図６に示すように、第１保持部１５Ａにワーク８９が保持された状態のまま、搬送装置１が原点姿勢に戻る。

［原点姿勢〜第２伸展姿勢］
次に、引き続き、図７に示すように右側回動部材４１を基体１１に対して時計回りに回動させ、左側回動部材５１を基体１１に対して反時計回りに回動させる。これにより、右側第２案内アーム４３Ｂが右側回動部材４１に対して回動し、左側第２案内アーム５３Ｂが左側回動部材５１に対して回動する。この回動により、第２保持部１５Ｂおよび第２手首部１４Ｂが、第１方向Ｘ１に向かって進行してゆく。

一方、右側回動部材４１および左側回動部材５１の回動に伴い、右側第１案内アーム４３Ａが右側回動部材４１に対して回動し、左側第１案内アーム５３Ａが左側回動部材５１に対して回動する。この回動により、第１保持部１５Ａおよび第１手首部１４Ａも、第１方向Ｘ１に向かって移動する。なお、第１保持部１５Ａおよび第１手首部１４Ａの移動速度（後退速度）は、第２保持部１５Ｂおよび第２手首部１４Ｂの進行速度に比べて、比較
的低速である。

このようにして搬送装置１は、図７に示すように、アーム（右側回動アーム４１１、左側回動アーム５１１、右側第２案内アーム４３Ｂ、および左側第２案内アーム５３Ｂ）が伸展した姿勢となる。図７に示す搬送装置１の姿勢を、第２伸展姿勢と呼ぶ。搬送装置１が第２伸展姿勢である状態で、移動機構１３と第２保持部１５Ｂとが共に上昇するなどして、第２保持部１５Ｂにワーク８９が保持（載置）される。

［第２伸展姿勢〜原点姿勢］
次に、右側回動部材４１および左側回動部材５１を、図６〜図７における回動方向とは逆方向に回動させる。具体的には、右側回動部材４１を基体１１に対して反時計回りに回動させ、左側回動部材５１を基体１１に対して時計回りに回動させる。このようにして、図８に示すように、第１保持部１５Ａおよび第２保持部１５Ｂにワーク８９が保持された状態のまま、搬送装置１が原点姿勢に戻る。

［装置の旋回］
次に、図９に示すように、基体１１をたとえば９０度時計回りに回転させる。すなわち、搬送装置１を９０度時計回りに旋回させる。同図では、搬送装置１が原点姿勢で旋回した場合の旋回範囲を、旋回範囲Ｒ１として示している。その後、図示は省略するが、搬送装置１を上述の第１伸展姿勢に移行させて、第１保持部１５Ａ上のワーク８９を搬送装置１外の所望の箇所に載置する。同様に、搬送装置１を上述の第２伸展姿勢に移行させて、第２保持部１５Ｂ上のワーク８９を搬送装置１外の所望の箇所に載置する。このようにして、搬送装置１を用いてワーク８９の搬送が行われる。

次に、本実施形態の作用効果について説明する。

本実施形態においては、図３に示したように、右側第１案内アーム４３Ａは、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第１中間軸線４３Ａａ周りに回動可能に、右側回動部材４１に連結されている。右側第２案内アーム４３Ｂは、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第２中間軸線４３Ｂａ回りに回動可能に、右側回動部材４１に連結されている。右側第１中間軸線４３Ａａは、平面視において、右側第２中間軸線４３Ｂａに対して第１方向Ｘ１側に位置している。このような構成によると、搬送装置１が原点姿勢にある際の第１手首部１４Ａを、より第１方向Ｘ１側に位置させることができ、また、搬送装置１が原点姿勢にある際の第２手首部１４Ｂを、より第３方向Ｘ３側に位置させることができる。すなわち、搬送装置１が原点姿勢にある場合の第１手首部１４Ａおよび第２手首部１４Ｂの各位置を、それぞれ後退方向にシフトさせることができる。このことは、搬送装置１の旋回範囲Ｒ１を大きくすることなく、より大きなワーク８９を搬送するのに適する。

具体的には、次のとおりである。まず、第１保持部１５Ａおよび第２保持部１５Ｂは、搬送装置１が原点姿勢にある場合に、旋回範囲Ｒ１内に収まる大きさに設計される。原点姿勢の搬送装置１が旋回した際に、第１保持部１５Ａや第２保持部１５Ｂが、旋回範囲Ｒ１外に配置された設備（ワーク収容機構等、図示略）に衝突することを防止するためである。また、本実施形態では、上述のように、搬送装置１が原点姿勢にある場合の第１手首部１４Ａおよび第２手首部１４Ｂの各位置を、それぞれ後退方向にシフトさせることができるので、旋回範囲Ｒ１を大きくすることなく、第１方向Ｘ１における寸法がより大きな第１保持部１５Ａおよび第２保持部１５Ｂを用いることができる。第１方向Ｘ１における寸法がより大きな第１保持部１５Ａおよび第２保持部１５Ｂを用いることができると、第１保持部１５Ａや第２保持部１５Ｂに保持（載置）されるワーク８９の大きさを、より大きくできる。したがって、本実施形態によると、旋回範囲Ｒ１を大きくすることなく、より大きなワーク８９を搬送することができることとなる。

搬送装置１の旋回範囲Ｒ１を大きくすることなくより大きなワーク８９を搬送することができると、搬送装置１と旋回範囲が同等の偏菱リンク構造のアームを１つのみ有する搬送装置を含む設備において、搬送装置以外の設備を変更することなく、搬送装置１に換装することが可能である。

本実施形態においては、左側第１案内アーム５３Ａは、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第１中間軸線５３Ａａ周りに回動可能に、左側回動部材５１に連結されている。左側第２案内アーム５３Ｂは、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第２中間軸線５３Ｂａ回りに回動可能に、左側回動部材５１に連結されている。左側第１中間軸線５３Ａａは、平面視において、左側第２中間軸線５３Ｂａに対して第１方向Ｘ１側に位置している。このことも、搬送装置１の旋回範囲Ｒ１を大きくすることなく、より大きなワーク８９を搬送するのに適する。

本実施形態においては、右側第１案内アーム４３Ａは、第１方向Ｘ１側に湾曲した湾曲部４３Ａｂを有する。このような構成によると、右側第１案内アーム４３Ａが、右側第２中間軸線４３Ｂａに沿う軸部（あるいはこれの軸受、以下同様）と干渉することを回避できる。これにより、右側第１案内アーム４３Ａを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置１が第１伸展姿勢を適切にとることが可能となる。同様に、左側第１案内アーム５３Ａは、第１方向Ｘ１側に湾曲した湾曲部５３Ａｂを有する。左側第１案内アーム５３Ａが、左側第２中間軸線５３Ｂａに沿う軸部と干渉することを回避できる。これにより、左側第１案内アーム５３Ａを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置１が第１伸展姿勢を適切にとることが可能となる。

本実施形態においては、右側第２案内アーム４３Ｂは、第１方向Ｘ１とは反対の第３方向側に湾曲した湾曲部４３Ｂｂを有する。このような構成によると、右側第２案内アーム４３Ｂが、右側第１中間軸線４３Ａａに沿う軸部と干渉することを回避できる。これにより、右側第２案内アーム４３Ｂを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置１が第２伸展姿勢を適切にとることが可能となる。同様に、左側第２案内アーム５３Ｂは、第１方向Ｘ１とは反対の第３方向側に湾曲した湾曲部５３Ｂｂを有する。本実施形態によると、左側第２案内アーム５３Ｂが、左側第１中間軸線５３Ａａに沿う軸部と干渉することを回避できる。これにより、左側第２案内アーム５３Ｂを十分に伸展させることができる。そのため、搬送装置１が第２伸展姿勢を適切にとることが可能となる。

なお、アームに形成された湾曲部は、図３等に示したものに限定されず、たとえば、図１０に示した湾曲部４３Ａｂ，４３Ｂｂのようなものであってもよい。

＜第２実施形態＞
図１１〜図１５を用いて、本発明の第２実施形態について説明する。

図１１は、本発明の第２実施形態の搬送装置を示す平面図である。図１２は、図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿う模式的な部分断面図である。

なお、以下の説明では、上記と同一もしくは類似の構成については上記と同一の符号を付し、説明を適宜省略する。

図１１、図１２に示す搬送装置１βは、基体１１と、移動機構１３と、第１手首部１４Ａと、第２手首部１４Ｂと、第１保持部１５Ａと、第２保持部１５Ｂと、駆動部７１（図１２参照）と、ギア７２１〜７２４を含む。移動機構１３、駆動部７１、およびギア７２１〜７２４以外の本実施形態の各構成は、搬送装置１における構成と略同様であるから説
明を省略する。

搬送装置１βにおける移動機構１３は、右側回動部材４１と左側回動部材５１の具体的構成が、搬送装置１における構成と異なっている。以下具体的に説明する。

本実施形態においても、右側回動部材４１は、基体１１に対して回動可能に、基体１１に支持されている。右側回動部材４１は、第１方向Ｘ１に平行な平面内において、基体１１に対して回動可能である。

本実施形態では、右側回動部材４１は、右側第１回動アーム４１Ａと、右側第２回動アーム４１Ｂと、右側連結部４１８とを含む。

右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂはいずれも、一方向に沿って延びる棒状である。右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂの回動軸線は、互いに異なる位置に位置している。具体的には、右側第１回動アーム４１Ａは、基体１１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第１回動軸線４１Ａａ周りに回動可能に、基体１１に連結されている。一方、右側第２回動アーム４１Ｂは、基体１１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第２回動軸線４１Ｂａ周りに回動可能に、基体１１に連結されている。右側第２回動軸線４１Ｂａよりも第１方向Ｘ１側に、右側第１回動軸線４１Ａａが位置している。右側第２回動軸線４１Ｂａと、右側第１回動軸線４１Ａａとは、図１１の左右方向に並んで位置している。

右側連結部４１８は、右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂのそれぞれに回動可能に、右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂに連結されている。本実施形態では、右側連結部４１８は、右側第１回動アーム４１Ａに対して右側第１中間軸線４３Ａａ周りに回動可能に右側第１回動アーム４１Ａに連結されている。また、右側連結部４１８は、右側第２回動アーム４１Ｂに対して右側第２中間軸線４３Ｂａ周りに回動可能に、右側第２回動アーム４１Ｂに連結されている。

右側第１案内アーム４３Ａは、右側第１回動アーム４１Ａに対して右側第１中間軸線４３Ａａ周りに回動可能に、右側第１回動アーム４１Ａに連結されている。一方、右側第２案内アーム４３Ｂは、右側第２回動アーム４１Ｂに対して右側第２中間軸線４３Ｂａ周りに回動可能に、右側第２回動アーム４１Ｂに連結されている。

本実施形態においては、右側第２回動軸線４１Ｂａと右側第１回動軸線４１Ａａとの離間距離Ｌ４１は、右側第２中間軸線４３Ｂａと右側第１中間軸線４３Ａａとの離間距離Ｌ４３と同一である。本実施形態とは異なり、離間距離Ｌ４１が距離Ｌ４３より小さくてもよいし、あるいは、離間距離Ｌ４１が距離Ｌ４３より大きくてもよい。

本実施形態においても、左側回動部材５１は、基体１１に対して回動可能に、基体１１に支持されている。左側回動部材５１は、第１方向Ｘ１に平行な平面内において、基体１１に対して回動可能である。

本実施形態では、左側回動部材５１は、左側第１回動アーム５１Ａと、左側第２回動アーム５１Ｂと、左側連結部５１８とを含む。

左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂはいずれも、一方向に沿って延びる棒状である。左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂの回動軸線は、互いに異なる位置に位置している。具体的には、左側第１回動アーム５１Ａは、基体１１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第１回動軸線５１Ａａ周りに回動可
能に、基体１１に連結されている。一方、左側第２回動アーム５１Ｂは、基体１１に対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる左側第２回動軸線５１Ｂａ周りに回動可能に、基体１１に連結されている。左側第２回動軸線５１Ｂａよりも第１方向Ｘ１側に、左側第１回動軸線５１Ａａが位置している。左側第２回動軸線５１Ｂａと、左側第１回動軸線５１Ａａとは、図１１の左右方向に並んで位置している。

本実施形態では、左側第１回動軸線５１Ａａは、右側第１回動軸線４１Ａａと同じ位置に位置している。また、左側第２回動軸線５１Ｂａは、右側第２回動軸線４１Ｂａと同じ位置に位置している。本実施形態とは異なり、左側第１回動軸線５１Ａａは、右側第１回動軸線４１Ａａと異なる位置に位置していてもよい。同様に、左側第２回動軸線５１Ｂａは、右側第２回動軸線４１Ｂａと異なる位置に位置していてもよい。

左側連結部５１８は、左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂのそれぞれに回動可能に、左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂに連結されている。本実施形態では、左側連結部５１８は、左側第１回動アーム５１Ａに対して左側第１中間軸線５３Ａａ周りに回動可能に、左側第１回動アーム５１Ａに連結されている。また、左側連結部５１８は、左側第２回動アーム５１Ｂに対して左側第２中間軸線５３Ｂａ周りに回動可能に、左側第２回動アーム５１Ｂに連結されている。

左側第１案内アーム５３Ａは、左側第１回動アーム５１Ａに対して左側第１中間軸線５３Ａａ周りに回動可能に、左側第１回動アーム５１Ａに連結されている。一方、左側第２案内アーム５３Ｂは、左側第２回動アーム５１Ｂに対して左側第２中間軸線５３Ｂａ周りに回動可能に、左側第２回動アーム５１Ｂに連結されている。

本実施形態においては、左側第２回動軸線５１Ｂａと左側第１回動軸線５１Ａａとの離間距離Ｌ５１は、左側第２中間軸線５３Ｂａと左側第１中間軸線５３Ａａとの離間距離Ｌ５３と同一である。本実施形態とは異なり、離間距離Ｌ５１が距離Ｌ５３より小さくてもよいし、あるいは、離間距離Ｌ５１が距離Ｌ５３より大きくてもよい。

本実施形態では、右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂのいずれか一方は、図１２に示す駆動部７１によって回動させられる駆動アームであり、右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂのいずれか一方は、駆動部７１によって回動させられる駆動アームであり、左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。

特に、本実施形態では、右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂが駆動アームであり、右側第２回動アーム４１Ｂおよび左側第１回動アーム５１Ａは、従動アームである。すなわち、駆動部７１によって右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂが、回動させられる。一方、右側第２回動アーム４１Ｂおよび左側第１回動アーム５１Ａには、駆動部７１の駆動力は直接伝達されない。そのため、右側第２回動アーム４１Ｂには、右側連結部４１８を介して、右側第１回動アーム４１Ａの回動運動が伝達される。その結果、右側第２回動アーム４１Ｂは、右側第１回動アーム４１Ａの回動に追従して回動する。同様に、左側第１回動アーム５１Ａには、左側連結部５１８を介して、左側第２回動アーム５１Ｂの回動運動が伝達される。そのため、左側第１回動アーム５１Ａは、左側第２回動アーム５１Ｂの回動に追従して回動する。

本実施形態では、右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂが駆動アームであり、右側第２回動アーム４１Ｂおよび左側第１回動アーム５１Ａが従動アームで
ある例を示したが、本実施形態とは異なり、右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂが従動アームであり、右側第２回動アーム４１Ｂおよび左側第１回動アーム５１Ａが駆動アームであってもよい。右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第１回動アーム５１Ａが駆動アームであり、右側第２回動アーム４１Ｂおよび左側第２回動アーム５１Ｂが従動アームであってもよい。更に、右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第１回動アーム５１Ａが従動アームであり、右側第２回動アーム４１Ｂおよび左側第２回動アーム５１Ｂが駆動アームであってもよい。

図１２に示す駆動部７１は、右側回動部材４１および左側回動部材５１を回動させるための駆動源である。駆動部７１は、たとえば、基体１１（具体的には胴体）の内部に配置されている。

図１２に示すように、本実施形態では、駆動部７１は１つのモータ７１６である。モータ７１６の駆動軸７１１には、ギア７２１が固定されている。ギア７２１はギア７２２と噛み合っている。ギア７２２は、左側第２回動アーム５１Ｂの回動軸に固定されている。左側第２回動アーム５１Ｂの回動軸には、ギア７２３が固定されている。ギア７２３はギア７２４と噛み合っている。ギア７２４は、右側第１回動アーム４１Ａの回動軸に固定されている。

モータ７１６の駆動軸７１１が回転すると、ギア７２１が回転する。ギア７２１が回転すると、ギア７２２を介して、左側第２回動アーム５１Ｂの回動軸に伝達され、当該回動軸が回転する。これにより、左側第２回動アーム５１Ｂが回動する。一方、左側第２回動アーム５１Ｂの回動軸が回転すると、ギア７２３も回転する。ギア７２３の回転はギア７２４を介して、右側第１回動アーム４１Ａの回動軸に伝達され、当該回転軸が回転する。これにより、右側第１回動アーム４１Ａが回動する。

なお、右側第１回動アーム４１Ａの回転軸は、左側第２回動アーム５１Ｂの回動軸とは、反対方向に回転する。そのため、右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂの回動方向は互いに反対となる。たとえば、右側第１回動アーム４１Ａが時計回りに回動する場合には、左側第２回動アーム５１Ｂは反時計回りに回動する。あるいは、右側第１回動アーム４１Ａが反時計回りに回動する場合には、左側第２回動アーム５１Ｂは時計回りに回動する。

次に、搬送装置１βの動作について説明する。

［原点姿勢］
第１実施形態と同様に、図１１に示す搬送装置１βの姿勢を、原点姿勢と呼ぶ。

［原点姿勢〜第１伸展姿勢］
図１３は、図１１に示した搬送装置１の第１伸展姿勢を示す平面図である。図１４は、図１３から、右側第２回動アーム、左側第２回動アーム、および、第２手首部等を省略した平面図である。図１５は、図１３から、右側第１回動アーム、左側第１回動アーム、および、第１手首部等を省略した平面図である。

次に、駆動部７１を駆動させることにより、図１３に示すように右側回動部材４１を基体１１に対して反時計回りに回動させ、左側回動部材５１を基体１１に対して時計回りに回動させる。具体的には、右側回動部材４１のうち右側第１回動アーム４１Ａが反時計回りに回動させられる。

右側第１回動アーム４１Ａが反時計回りに回動すると、上述のように、右側第１回動ア
ーム４１Ａの回動に追従して右側第２回動アーム４１Ｂも反時計回りに回動する。一方、左側回動部材５１のうち左側第２回動アーム５１Ｂは時計回りに回動させられる。左側第２回動アーム５１Ｂが時計回りに回動すると、上述のように、左側第２回動アーム５１Ｂの回動に追従して左側第１回動アーム５１Ａも時計回りに回動する。右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第１回動アーム５１Ａの回動により、右側第１案内アーム４３Ａが右側回動部材４１（具体的には、右側第１回動アーム４１Ａ）に対して回動し、左側第１案内アーム５３Ａが左側回動部材５１（具体的には、左側第１回動アーム５１Ａ）に対して回動する。その結果、第１保持部１５Ａおよび第１手首部１４Ａが、第３方向Ｘ３に向かって進行してゆく。

一方、右側回動部材４１（右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂ）および左側回動部材５１（左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂ）の回動に伴い、右側第２案内アーム４３Ｂが右側回動部材４１（具体的には、右側第２回動アーム４１Ｂ）に対して回動し、左側第２案内アーム５３Ｂが左側回動部材５１（具体的には、左側第２回動アーム５１Ｂ）に対して回動する。この回動により、第２保持部１５Ｂおよび第２手首部１４Ｂも、第３方向Ｘ３に向かって移動する。なお、第２保持部１５Ｂおよび第２手首部１４Ｂの移動速度（後退速度）は、第１保持部１５Ａおよび第１手首部１４Ａの進行速度に比べて、比較的低速である。

このようにして搬送装置１βは、図１３に示す姿勢となる。図１３に示す搬送装置１βの姿勢を、第１実施形態と同様に第１伸展姿勢と呼ぶ。搬送装置１βが第１伸展姿勢である状態で、移動機構１３と第１保持部１５Ａが上昇するなどして、第１保持部１５Ａにワーク８９が保持（載置）される。

［第１伸展姿勢〜原点姿勢］
次に、図示は省略するが、右側回動部材４１（右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂ）および左側回動部材５１（左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂ）を逆方向に回動させることにより、第１保持部１５Ａにワーク８９が保持された状態のまま、搬送装置１βが、図１１に示した原点姿勢に戻る。

［その後］
その後は、第１実施形態で述べたのと同様に、搬送装置１βを第２伸展姿勢に移行させるなどして、ワーク８９の搬送が行われる。

本実施形態によると、第１実施形態で述べた作用効果に加え、以下の作用効果を奏する。

本実施形態においては、右側第１回動軸線４１Ａａは、右側第２回動軸線４１Ｂａに対して第１方向Ｘ１側に位置している。また、右側連結部４１８は、右側第１回動アーム４１Ａに対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第１中間軸線４３Ａａ周りに回動可能に、右側第１回動アーム４１Ａに連結されており、且つ、右側第２回動アーム４１Ｂに対して、第２方向Ｘ２に沿って延びる右側第２中間軸線４３Ｂａ周りに回動可能に、右側第２回動アーム４１Ｂに連結されている。このような構成によると、右側第１中間軸線４３Ａａと右側第２中間軸線４３Ｂａとの距離に応じて、搬送装置１βの動作時における、右側第１中間軸線４３Ａａと右側第２中間軸線４３Ｂａとを結ぶ直線の傾きを、所望の傾きにすることが可能となる。たとえば、右側第１中間軸線４３Ａａと右側第２中間軸線４３Ｂａとの距離を、右側第１回動アーム４１Ａと右側第２回動アーム４１Ｂとの距離と同一に設定することによって、搬送装置１βの動作時において、右側第１中間軸線４３Ａａと右側第２中間軸線４３Ｂａとを結ぶ直線を、第１方向Ｘ１に平行に維持できる。搬送装置１βの動作時において、右側第１中間軸線４３Ａａと右側第２中間軸線４３Ｂａとを結ぶ直
線を、第１方向Ｘ１に平行に維持できると、たとえば、右側第１案内アーム４３Ａに湾曲部を形成せずに、一方向に沿って延びる形状としたとしても、右側第１案内アーム４３Ａが、右側第２中間軸線４３Ｂａに沿う軸部と干渉することを回避できる。右側第２案内アーム４３Ｂ、左側第１案内アーム５３Ａ、および左側第２案内アーム５３Ｂに関しても同様である。

また、右側第１中間軸線４３Ａａと右側第２中間軸線４３Ｂａとの距離を、右側第１回動アーム４１Ａと右側第２回動アーム４１Ｂとの距離よりも大きくすることにより、搬送装置１βが原点姿勢である際の第１手首部１４Ａおよび第２手首部１４Ｂを、更に後退方向に位置させることが可能となる。

本実施形態においては、右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂのいずれか一方は、駆動部７１によって回動させられる駆動アームであり、右側第１回動アーム４１Ａおよび右側第２回動アーム４１Ｂの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂのいずれか一方は、駆動部７１によって回動させられる駆動アームであり、左側第１回動アーム５１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである。更に本実施形態においては、駆動部７１として一つのモータ７１６を用いて、２つの回動アーム（右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂ）を直接回動させている。モータを複数用意する必要がないことは、コストの低減に資する。なお、本実施形態とは異なり、複数のモータを用いて２つの回動アーム（右側第１回動アーム４１Ａおよび左側第２回動アーム５１Ｂ）を直接回動させる構成であっても、本発明には含まれる。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。

上述の説明では、移動部の一例として手首部を示し、手首部に保持部が取り付けられている例を示した。しかしながら、本発明はこれに限定されない。たとえば、移動部が、ワークを載置するなどのワークを保持する機能を果たすものであってもよい。

１，１β 搬送装置
１１基体
１３移動機構
１４Ａ第１手首部（第１移動部）
１４Ｂ第２手首部（第２移動部）
１５３Ａ第１エンドエフェクタ
１５３Ｂ第２エンドエフェクタ
１５Ａ第１保持部
１５Ｂ第２保持部
４１右側回動部材
４１１右側回動アーム
４１１ａ右側回動軸線
４１８右側連結部
４１Ａ右側第１回動アーム
４１Ａａ右側第１回動軸線
４１Ｂ右側第２回動アーム
４１Ｂａ右側第２回動軸線
４３Ａ右側第１案内アーム
４３Ａａ右側第１中間軸線
４３Ａｂ湾曲部
４３Ａｃ右側第１手首軸線
４３Ｂ右側第２案内アーム
４３Ｂａ右側第２中間軸線
４３Ｂｂ湾曲部
４３Ｂｃ右側第２手首軸線
５１左側回動部材
５１１左側回動アーム
５１１ａ左側回動軸線
５１８左側連結部
５１Ａ左側第１回動アーム
５１Ａａ左側第１回動軸線
５１Ｂ左側第２回動アーム
５１Ｂａ左側第２回動軸線
５３Ａ左側第１案内アーム
５３Ａａ左側第１中間軸線
５３Ａｂ湾曲部
５３Ａｃ左側第１手首軸線
５３Ｂ左側第２案内アーム
５３Ｂａ左側第２中間軸線
５３Ｂｂ湾曲部
５３Ｂｃ左側第２手首軸線
７１駆動部
７１１駆動軸
７１４〜７１６モータ
７２１〜７２４ギア
８９ワーク
Ｌ４１，Ｌ４３，Ｌ５１，Ｌ５３距離
Ｒ１旋回範囲
Ｘ１第１方向
Ｘ２第２方向
Ｘ３第３方向

Claims

基体と、
第１移動部と、
前記第１移動部に対して第１方向側に位置し、後退方向が前記第１移動部の後退方向とは反対方向の第２移動部と、
前記第１移動部および前記第２移動部を、前記第１方向に平行な平面に沿って前記基体に対して移動させる移動機構と、を備え、
前記移動機構は、回動部材と第１案内アームと第２案内アームと、を含み、
前記回動部材は、第１回動アームと第２回動アームとを含み、
前記第１回動アームは、前記基体に対して前記第１方向に直交する第２方向に沿って延びる第１回動軸線周りに回動可能に、前記基体に連結されており、
前記第２回動アームは、前記基体に対して前記第２方向に沿って延びる第２回動軸線周りに回動可能に、前記第１回動アームに対して前記第１方向とは反対の第３方向側にて前記基体に連結されており、
前記第１案内アームは、前記第１移動部に連結され、且つ、前記第２方向に沿って延びる第１中間軸線周りに回動可能に、前記第１回動アームに連結されており、
前記第２案内アームは、前記第２移動部に連結され、且つ、前記第２方向に沿って延びる第２中間軸線周りに回動可能に、前記第２回動アームに連結されている、搬送装置。
前記第１中間軸線は、平面視において、前記第２中間軸線に対して前記第１方向側に位置しており、
前記第１回動軸線は、前記第２回動軸線に対して前記第１方向側に位置しており、
前記回動部材は、連結部を含み、
前記連結部は、前記第１回動アームに対して、前記第２方向に沿って延びる第１中間軸線周りに回動可能に、前記第１回動アームに連結されており、
前記連結部は、前記第２回動アームに対して、前記第２方向に沿って延びる第２中間軸線周りに回動可能に、前記第２回動アームに連結されており、
前記第１中間軸線と前記第２中間軸線とは、互いに離間している、請求項１に記載の搬送装置。
前記第１中間軸線と前記第２中間軸線との離間距離は、前記第１回動軸線と前記第２回動軸線との離間距離と、同一である、請求項２に記載の搬送装置。
前記第１案内アームは、平面視において、前記第２案内アームと、前記第１回動アームと、前記第２回動アームとに交差している、請求項２に記載の搬送装置。
前記回動部材、前記第１案内アーム、前記第２案内アーム、第１中間軸線、および第２中間軸線を、それぞれ、右側回動部材、右側第１案内アーム、右側第２案内アーム、右側第１中間軸線、および右側第２中間軸線とし、
前記移動機構は、左側回動部材と左側第１案内アームと左側第２案内アームと、を含み、
前記左側回動部材は、前記基体に対して、前記右側回動部材とは反対側に配置されており、
前記左側回動部材は、前記基体に対して回動可能に、前記基体に支持されており、
前記左側第１案内アームは、前記第２方向に沿って延びる左側第１中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結され、且つ、前記第１移動部に連結されており、
前記左側第２案内アームは、前記第２方向に沿って延びる左側第２中間軸線周りに回動可能に、前記左側回動部材に連結され、且つ、前記第２移動部に連結されており、
平面視において、前記左側第１中間軸線は、前記左側第２中間軸線に対して前記第１方向側に位置している、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の搬送装置。
前記左側回動部材は、左側第１回動アームと、左側第２回動アームと、を含み、
前記左側第１案内アームは、平面視において、前記左側第２案内アームと、前記左側第１回動アームと、前記左側第２回動アームとに交差している、請求項５に記載の搬送装置。
前記基体の内部に配置された駆動部を更に備え、
前記駆動部は、前記左側回動部材および前記右側回動部材をそれぞれ、前記基体に対して回動させる、請求項６に記載の搬送装置。
前記第１回動アームおよび前記第２回動アームを、それぞれ、右側第１回動アームおよび右側第２回動アームとし、
前記右側第１回動アームおよび前記右側第２回動アームのいずれか一方は、前記駆動部によって回動させられる駆動アームであり、前記右側第１回動アームおよび前記右側第２回動アームの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームであり、
前記左側第１回動アームおよび前記左側第２回動アームのいずれか一方は、前記駆動部によって回動させられる駆動アームであり、前記左側第１回動アームおよび前記左側第２回動アームの他方は、一方の回動に追従して回動する従動アームである、請求項７に記載の搬送装置。
各々がワークを保持するための第１保持部および第２保持部を更に備え、
前記第１保持部は、前記第１移動部に取り付けられており、前記第２保持部は、前記第２移動部に取り付けられている、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の搬送装置。
前記第１移動部が前記第３方向側に進行している際、前記第２移動部は前記第３方向側に後退し、前記第２移動部が前記第１方向側に進行している際、前記第１移動部は前記第１方向側に後退する、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の搬送装置。