JPH1138067A - 回路基板の検査装置および検査方法 - Google Patents
回路基板の検査装置および検査方法Info
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- JPH1138067A JPH1138067A JP9197654A JP19765497A JPH1138067A JP H1138067 A JPH1138067 A JP H1138067A JP 9197654 A JP9197654 A JP 9197654A JP 19765497 A JP19765497 A JP 19765497A JP H1138067 A JPH1138067 A JP H1138067A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】インバータ回路基板の検査を検査装置により行
うに際して、検査装置自身が有する固有の誤差要因を除
去して、正確な測定データを得ることにある。 【解決手段】インバータ回路基板２に電圧を与える電源
装置１１、検査条件を設定する検査条件設定装置１２、
検査項目についての測定を行う計測装置１３と、データ
を管理するデータ管理部２１を有する制御装置１４とか
らなる検査装置であって、製品回路基板２Ｂの検査に先
立って基準回路基板２Ａによる測定データと目標基準デ
ータとの差を補正データとして記憶する記憶部２３を設
けるとともに、製品回路基板２Ｂの検査時にデータ管理
部２１に入力されたその測定データを、記憶部２３から
の補正データに基づき補正するように構成したものであ
る。
うに際して、検査装置自身が有する固有の誤差要因を除
去して、正確な測定データを得ることにある。 【解決手段】インバータ回路基板２に電圧を与える電源
装置１１、検査条件を設定する検査条件設定装置１２、
検査項目についての測定を行う計測装置１３と、データ
を管理するデータ管理部２１を有する制御装置１４とか
らなる検査装置であって、製品回路基板２Ｂの検査に先
立って基準回路基板２Ａによる測定データと目標基準デ
ータとの差を補正データとして記憶する記憶部２３を設
けるとともに、製品回路基板２Ｂの検査時にデータ管理
部２１に入力されたその測定データを、記憶部２３から
の補正データに基づき補正するように構成したものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板の検査装
置および検査方法に関し、特に検査時における測定誤差
を除去し得るものに関する。
置および検査方法に関し、特に検査時における測定誤差
を除去し得るものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、インバータ回路基板の検査を行う
場合、回路基板に所定電圧を印加するとともに所定の検
査負荷を与え、そして各種の検査項目について、それぞ
れ測定データが自動的に得られる自動検査装置により行
われていた。
場合、回路基板に所定電圧を印加するとともに所定の検
査負荷を与え、そして各種の検査項目について、それぞ
れ測定データが自動的に得られる自動検査装置により行
われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、インバータ
回路基板に電圧を印加した場合、高圧高周波微小電流が
流れるため、検査時には、検査装置自身の構成部品およ
び配線が浮遊抵抗成分となって電気的損失が発生し、し
たがって入力電圧が減少して、正確な測定データが得ら
れないという問題がある。
回路基板に電圧を印加した場合、高圧高周波微小電流が
流れるため、検査時には、検査装置自身の構成部品およ
び配線が浮遊抵抗成分となって電気的損失が発生し、し
たがって入力電圧が減少して、正確な測定データが得ら
れないという問題がある。
【０００４】そこで、本発明は、このような回路基板の
検査を行うに際して、正確な測定データを得ることを目
的とする。
検査を行うに際して、正確な測定データを得ることを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の回路基板の検査装置は、回路基板に所定の
電圧および所定の検査条件を与えて、所定の検査項目に
ついて測定を行う装置であって、回路基板の検査に先立
って基準回路基板による測定データと目標基準データと
の差を補正データとして記憶する記憶部を設けるととも
に、回路基板の検査時にデータの管理部に入力された測
定データを、上記記憶部からの補正データに基づき補正
するように構成したものである。
に、本発明の回路基板の検査装置は、回路基板に所定の
電圧および所定の検査条件を与えて、所定の検査項目に
ついて測定を行う装置であって、回路基板の検査に先立
って基準回路基板による測定データと目標基準データと
の差を補正データとして記憶する記憶部を設けるととも
に、回路基板の検査時にデータの管理部に入力された測
定データを、上記記憶部からの補正データに基づき補正
するように構成したものである。
【０００６】上記回路基板の検査装置の構成によると、
回路基板の検査を行うに際して、検査により得られた測
定データを、基準回路基板の検査により得られた補正デ
ータに基づき補正を行うため、正確な測定データが得ら
れる。
回路基板の検査を行うに際して、検査により得られた測
定データを、基準回路基板の検査により得られた補正デ
ータに基づき補正を行うため、正確な測定データが得ら
れる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の回路基板の検査装置は、
回路基板に電圧を与える電源部と、回路基板に与える検
査条件を設定する検査条件設定部と、所定の検査項目に
ついての測定を行う計測部と、少なくとも測定データを
管理する管理部とを有する回路基板の検査装置であっ
て、回路基板の検査に先立って基準回路基板による測定
データと目標基準データとの差を補正データとして記憶
する記憶部を設けるとともに、回路基板の検査時に上記
管理部に入力されたその測定データを、上記記憶部から
の補正データに基づき補正するように構成したものであ
る。
回路基板に電圧を与える電源部と、回路基板に与える検
査条件を設定する検査条件設定部と、所定の検査項目に
ついての測定を行う計測部と、少なくとも測定データを
管理する管理部とを有する回路基板の検査装置であっ
て、回路基板の検査に先立って基準回路基板による測定
データと目標基準データとの差を補正データとして記憶
する記憶部を設けるとともに、回路基板の検査時に上記
管理部に入力されたその測定データを、上記記憶部から
の補正データに基づき補正するように構成したものであ
る。
【０００８】また、本発明の回路基板の検査装置におけ
る検査方法は、回路基板に電圧を与える電源部と、回路
基板に与える検査条件を設定する検査条件設定部と、所
定の検査項目についての測定を行う計測部と、少なくと
も測定データを管理する管理部とを有する回路基板の検
査装置における検査方法であって、回路基板の検査に先
立って基準回路基板における測定データと目標基準デー
タとの差を記憶させておき、回路基板の検査時に上記管
理部に入力されたその測定データを、上記記憶部からの
補正データに基づき補正する方法である。
る検査方法は、回路基板に電圧を与える電源部と、回路
基板に与える検査条件を設定する検査条件設定部と、所
定の検査項目についての測定を行う計測部と、少なくと
も測定データを管理する管理部とを有する回路基板の検
査装置における検査方法であって、回路基板の検査に先
立って基準回路基板における測定データと目標基準デー
タとの差を記憶させておき、回路基板の検査時に上記管
理部に入力されたその測定データを、上記記憶部からの
補正データに基づき補正する方法である。
【０００９】上記の検査装置および検査方法によると、
正しい基準回路基板を使用して、検査装置自身が有する
固有条件により発生する誤差、すなわち補正データを求
めておき、検査対象である製品回路基板を測定した際に
得られた測定データに対して、補正データを使用して誤
差を除去するようにしたので、検査装置が固有の誤差要
因を含んでいる場合でも、常に、正しい測定データを得
ることができる。
正しい基準回路基板を使用して、検査装置自身が有する
固有条件により発生する誤差、すなわち補正データを求
めておき、検査対象である製品回路基板を測定した際に
得られた測定データに対して、補正データを使用して誤
差を除去するようにしたので、検査装置が固有の誤差要
因を含んでいる場合でも、常に、正しい測定データを得
ることができる。
【００１０】以下、本発明の実施の形態における回路基
板の検査装置および検査方法を、図１〜図３に基づき説
明する。図１は回路基板の自動検査装置の概略構成を示
すブロック図であり、図２は同検査装置における基準回
路基板の検査方法を示すフローチャート図であり、また
図３は同検査装置における製品回路基板の検査方法を示
すフローチャート図である。
板の検査装置および検査方法を、図１〜図３に基づき説
明する。図１は回路基板の自動検査装置の概略構成を示
すブロック図であり、図２は同検査装置における基準回
路基板の検査方法を示すフローチャート図であり、また
図３は同検査装置における製品回路基板の検査方法を示
すフローチャート図である。
【００１１】図１において、１は例えばインバータ回路
基板の検査を自動的に行う自動検査装置（以下、単に検
査装置という）で、測定される回路基板２に所定の電圧
を印加するための電源装置（電源部）１１と、回路基板
２に与える負荷、入力レベルなどの負荷条件すなわち検
査条件を設定するとともにその出力を行う検査条件設定
装置（検査条件設定部）１２と、回路基板２の測定箇所
に対して検査を行うための各種計測装置（計測部）１３
と、上記電源装置１１、検査条件設定装置１２および各
種計測装置１３を制御する制御装置（マイクロコンピュ
ータなどを有するもの）１４とから構成されている。
基板の検査を自動的に行う自動検査装置（以下、単に検
査装置という）で、測定される回路基板２に所定の電圧
を印加するための電源装置（電源部）１１と、回路基板
２に与える負荷、入力レベルなどの負荷条件すなわち検
査条件を設定するとともにその出力を行う検査条件設定
装置（検査条件設定部）１２と、回路基板２の測定箇所
に対して検査を行うための各種計測装置（計測部）１３
と、上記電源装置１１、検査条件設定装置１２および各
種計測装置１３を制御する制御装置（マイクロコンピュ
ータなどを有するもの）１４とから構成されている。
【００１２】上記制御装置１４は、検査条件を蓄積する
とともに各種計測装置１３から入力された測定データに
所定の処理を施すデータ管理部２１と、このデータ管理
部２１から上記検査条件を入力して電源装置１１に出力
電圧データを出力するとともに検査条件設定装置１２に
検査条件を出力するコントローラ部２２と、上記データ
管理部２１に入力された測定データおよび補正データ
（後述する）を記憶する記憶部２３とから構成されてい
る。
とともに各種計測装置１３から入力された測定データに
所定の処理を施すデータ管理部２１と、このデータ管理
部２１から上記検査条件を入力して電源装置１１に出力
電圧データを出力するとともに検査条件設定装置１２に
検査条件を出力するコントローラ部２２と、上記データ
管理部２１に入力された測定データおよび補正データ
（後述する）を記憶する記憶部２３とから構成されてい
る。
【００１３】次に、上記自動検査装置における検査方法
について、図２および図３に基づき説明する。まず、図
２に示すように、基準のインバータ回路基板である基準
回路基板（マスタ基板ともいう）２Ａの検査を行う。
について、図２および図３に基づき説明する。まず、図
２に示すように、基準のインバータ回路基板である基準
回路基板（マスタ基板ともいう）２Ａの検査を行う。
【００１４】すなわち、データ管理部２１からコントロ
ーラ部２２に検査条件が送られ、ここから電源装置１１
に基準回路基板２Ａに印加すべき電圧データが出力され
るとともに検査条件設定装置１２から検査条件（例えば
負荷データ、入力レベルなど）が基準回路基板２Ａの入
力用端子に与えられる（ステップ１）。
ーラ部２２に検査条件が送られ、ここから電源装置１１
に基準回路基板２Ａに印加すべき電圧データが出力され
るとともに検査条件設定装置１２から検査条件（例えば
負荷データ、入力レベルなど）が基準回路基板２Ａの入
力用端子に与えられる（ステップ１）。
【００１５】そして、上記基準回路基板２Ａにおいて、
各種計測装置１３により、所定の検査が行われるととも
にその測定データがデータ管理部２１に送られ、ここで
基準回路基板２Ａで得られるべき本来の正しい測定デー
タすなわち目標基準データとの差が求められるとともに
（ステップ２）、この差が補正データとして記憶部２３
に送られて記憶される（ステップ３）。
各種計測装置１３により、所定の検査が行われるととも
にその測定データがデータ管理部２１に送られ、ここで
基準回路基板２Ａで得られるべき本来の正しい測定デー
タすなわち目標基準データとの差が求められるとともに
（ステップ２）、この差が補正データとして記憶部２３
に送られて記憶される（ステップ３）。
【００１６】この基準回路基板２Ａの検査により、検査
装置１自身が有する固有の誤差要因、すなわち装置自身
の浮遊抵抗などに起因して発生する誤差を知ることがで
き、この誤差である補正データに基づき実際の製品回路
基板（インバータ回路基板）２Ｂに対する測定データに
対して補正を行うことができる。
装置１自身が有する固有の誤差要因、すなわち装置自身
の浮遊抵抗などに起因して発生する誤差を知ることがで
き、この誤差である補正データに基づき実際の製品回路
基板（インバータ回路基板）２Ｂに対する測定データに
対して補正を行うことができる。
【００１７】すなわち、図３に示すように、製品回路基
板２Ｂの検査を行う場合、まずデータ管理部２１にて、
記憶部２３から補正データを読み出しておき（ステップ
１）、そしてコントローラ部２２からの検査の指示によ
り、製品回路基板２Ｂの検査を行い（ステップ２）、そ
の結果である測定データがデータ管理部２１に入力され
る。
板２Ｂの検査を行う場合、まずデータ管理部２１にて、
記憶部２３から補正データを読み出しておき（ステップ
１）、そしてコントローラ部２２からの検査の指示によ
り、製品回路基板２Ｂの検査を行い（ステップ２）、そ
の結果である測定データがデータ管理部２１に入力され
る。
【００１８】そして、このデータ管理部２１において、
実測された測定データ（実測データ）に対し、読み込ま
れた補正データが考慮されて（例えば、加算される）、
誤差が除去された正確なデータすなわち検査結果が演算
により求められ、この検査結果が出力される（ステップ
３）。
実測された測定データ（実測データ）に対し、読み込ま
れた補正データが考慮されて（例えば、加算される）、
誤差が除去された正確なデータすなわち検査結果が演算
により求められ、この検査結果が出力される（ステップ
３）。
【００１９】このように、予め、正しい基準回路基板を
使用して、検査装置自身が有する固有条件により発生す
る誤差を求めておき、実際に検査対象となる製品回路基
板（インバータ回路基板）を測定した際に得られた測定
データから、誤差である補正データを使用してその誤差
を除去するようにしているので、検査装置が固有の誤差
要因を含んでいる場合でも、常に、正しい測定データを
得ることができる。
使用して、検査装置自身が有する固有条件により発生す
る誤差を求めておき、実際に検査対象となる製品回路基
板（インバータ回路基板）を測定した際に得られた測定
データから、誤差である補正データを使用してその誤差
を除去するようにしているので、検査装置が固有の誤差
要因を含んでいる場合でも、常に、正しい測定データを
得ることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、本発明の回路基板の検査
装置および検査方法によると、正しい基準回路基板を使
用して、検査装置自身が有する固有の要因により発生す
る誤差を求めておき、検査対象である製品回路基板を測
定した際に得られた測定データから、誤差である補正デ
ータを使用して誤差を除去するようにしたので、検査装
置が固有の誤差要因を含んでいる場合でも、常に、正し
い測定データを得ることができる。
装置および検査方法によると、正しい基準回路基板を使
用して、検査装置自身が有する固有の要因により発生す
る誤差を求めておき、検査対象である製品回路基板を測
定した際に得られた測定データから、誤差である補正デ
ータを使用して誤差を除去するようにしたので、検査装
置が固有の誤差要因を含んでいる場合でも、常に、正し
い測定データを得ることができる。
【図１】本発明の実施の形態における検査装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】同検査装置における基準回路基板の測定方法を
示すフローチャート図である。
示すフローチャート図である。
【図３】同検査装置における製品回路基板の測定方法を
示すフローチャート図である。
示すフローチャート図である。
１ 自動検査装置 ２ 回路基板 １１ 電源装置 １２ 検査条件設定装置 １３ 計測装置 １４ 制御装置 ２１ データ管理部 ２２ コントローラ部２３ ２３ 記憶部
Claims (2)
- 【請求項１】回路基板に電圧を与える電源部と、回路基
板に与える検査条件を設定する検査条件設定部と、所定
の検査項目についての測定を行う計測部と、少なくとも
測定データを管理する管理部とを有する回路基板の検査
装置であって、回路基板の検査に先立って基準回路基板
による測定データと目標基準データとの差を補正データ
として記憶する記憶部を設けるとともに、回路基板の検
査時に上記管理部に入力されたその測定データを、上記
記憶部からの補正データに基づき補正するように構成し
たことを特徴とする回路基板の検査装置。 - 【請求項２】回路基板に電圧を与える電源部と、回路基
板に与える検査条件を設定する検査条件設定部と、所定
の検査項目についての測定を行う計測部と、少なくとも
測定データを管理する管理部とを有する回路基板の検査
装置における検査方法であって、回路基板の検査に先立
って基準回路基板における測定データと目標基準データ
との差を記憶させておき、回路基板の検査時に上記管理
部に入力されたその測定データを、上記記憶部からの補
正データに基づき補正することを特徴とする回路基板の
検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9197654A JPH1138067A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | 回路基板の検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9197654A JPH1138067A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | 回路基板の検査装置および検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1138067A true JPH1138067A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16378104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9197654A Withdrawn JPH1138067A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | 回路基板の検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1138067A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003035739A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法 |
| CN102749531A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 联发科技股份有限公司 | 测试模块、测试方法以及测试系统 |
| JP2013205026A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
| KR101887118B1 (ko) * | 2017-02-27 | 2018-08-09 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 프로브 카드 테스트 시스템 및 방법 |
-
1997
- 1997-07-24 JP JP9197654A patent/JPH1138067A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003035739A (ja) * | 2001-07-24 | 2003-02-07 | Hioki Ee Corp | 基準データ作成方法 |
| JP4723128B2 (ja) * | 2001-07-24 | 2011-07-13 | 日置電機株式会社 | 基準データ作成方法 |
| CN102749531A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 联发科技股份有限公司 | 测试模块、测试方法以及测试系统 |
| JP2013205026A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
| KR101887118B1 (ko) * | 2017-02-27 | 2018-08-09 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 프로브 카드 테스트 시스템 및 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040722 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20061102 |